JP2005185897A - 六フッ化硫黄ガスの処理方法 - Google Patents
六フッ化硫黄ガスの処理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005185897A JP2005185897A JP2003427881A JP2003427881A JP2005185897A JP 2005185897 A JP2005185897 A JP 2005185897A JP 2003427881 A JP2003427881 A JP 2003427881A JP 2003427881 A JP2003427881 A JP 2003427881A JP 2005185897 A JP2005185897 A JP 2005185897A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- sulfur hexafluoride
- treating
- sulfur
- hexafluoride gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02C—CAPTURE, STORAGE, SEQUESTRATION OR DISPOSAL OF GREENHOUSE GASES [GHG]
- Y02C20/00—Capture or disposal of greenhouse gases
- Y02C20/30—Capture or disposal of greenhouse gases of perfluorocarbons [PFC], hydrofluorocarbons [HFC] or sulfur hexafluoride [SF6]
Landscapes
- Exhaust Gas Treatment By Means Of Catalyst (AREA)
- Catalysts (AREA)
Abstract
【課題】 ガス絶縁開閉装置などの絶縁媒体、LSIのドライエッチング剤あるいはフッ素化剤として使用されている六フッ化硫黄ガスの処理方法を提供する。
【解決手段】 六フッ化硫黄ガスを含む排ガスと処理剤とを接触させて当該排ガスから六フッ化硫黄ガスを除去する排ガスの処理方法において、前段で処理剤として触媒を含有した酸化珪素を用い、フッ化珪素ガスおよび酸化硫黄ガスを生成させ、後段で該生成ガスをアルカリ薬剤充填筒または湿式スクラバーで処理する。
【選択図】 図1
【解決手段】 六フッ化硫黄ガスを含む排ガスと処理剤とを接触させて当該排ガスから六フッ化硫黄ガスを除去する排ガスの処理方法において、前段で処理剤として触媒を含有した酸化珪素を用い、フッ化珪素ガスおよび酸化硫黄ガスを生成させ、後段で該生成ガスをアルカリ薬剤充填筒または湿式スクラバーで処理する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、ガス絶縁開閉装置などの絶縁媒体、LSIのドライエッチング剤あるいはフッ素化剤として使用されている六フッ化硫黄ガスの処理方法に関するものである。
六フッ化硫黄ガス(SF6)は、ガス絶縁開閉装置などの絶縁媒体として多量に使われている。また近年、LSIのドライエッチング剤あるいはフッ素化剤としても注目され、その需要も年々増加している。これら六フッ化硫黄ガスを使用する場合には、その残ガス等の排気の際にその除害が常に必要となる。特に六フッ化硫黄ガスは、オゾン破壊係数(ODP)や地球温暖化係数(GWP)が高く、近年国際的に大きな問題となっている。
これら六フッ化硫黄ガスは、大気中で極めて安定であり、水にもわずかしか溶解しないため、アルカリ薬剤を用いた除害装置や湿式スクラバーといった従来の除害技術では完全に処理ができない。また、燃焼ガスや熱を利用した分解による除害技術においては、六フッ化硫黄ガスが分解するものの未分解成分が残留したり、さらに除害困難な四フッ化硫黄ガスが生成したりする。
本出願人は、NF3の処理方法として、Siを始めとする各種金属、およびこれらの非酸化物系化合物とNF3を200℃〜800℃で反応させ、得られるフッ化物ガスを補集する方法を提案した(特許文献1)。しかしながらこの反応処理方法は、六フッ化硫黄ガスにおいては、必要な処理速度を得ようとするためには反応温度を高くしなければならず処理に余分の熱エネルギーを要し、反応器に要求される材質も高級品質なものになるという問題があった。また、六フッ化硫黄ガスをアルミナ(Al2O3)の存在下で分子状の酸素や水蒸気を接触させて分解処理をすること(特許文献2、特許文献3)が、開示されているが完全ではない。
本発明は、この様な点に着目してなされたもので、処理速度の低下がない六フッ化硫黄ガスの除害方法を提供することを目的とする。
特公昭63−48570号公報
特開平10−192653号公報
特開平10−286434号公報
本発明者らは、かかる問題点に鑑み鋭意検討の結果、常温では反応性が低く除害処理が困難な六フッ化硫黄ガスを、触媒を含有した酸化珪素を用い、フッ化珪素ガスおよび酸化硫黄ガスを生成させ、そのフッ化珪素ガスおよび酸化硫黄ガスを処理することで、容易かつ安価に六フッ化硫黄ガスを除害処理できることを見いだし、本発明に到達したものである。
すなわち本発明は、六フッ化硫黄ガスを含む排ガスと処理剤とを接触させて当該排ガスから六フッ化硫黄ガスを除去する排ガスの処理方法において、前段で処理剤として触媒を含有した酸化珪素を用い、フッ化珪素ガスおよび酸化硫黄ガスを生成させ、後段で該生成ガスをアルカリ薬剤充填筒または湿式スクラバーで処理することを特徴とする六フッ化硫黄ガスの処理方法を提供するものである。
以下、本発明の内容を詳細に述べる。
本発明に用いる触媒を含有させた酸化珪素は、六フッ化硫黄ガスとの反応により、フッ化珪素ガスおよび酸化硫黄ガスを生成させる。フッ化珪素ガスは、SiF4、SiOF2、Si2OF6等であり、主にSiF4を生成させる。また、酸化硫黄ガスは、SO2、SOF2、SO2F2等であり、主にSO2を生成させる。
次に、含有させる触媒は、Pt、Pd、Al2O3、Ga2O3、またはZnOである。これら触媒は、単独で含有させることもできるし、二種以上の混合物として含有させることもできる。また、触媒の量は、酸化珪素に対して、0.01〜5重量%の範囲が好ましい。0.01重量%未満だと触媒の効果が小さく好ましくなく、5重量%超だと酸化珪素とガスとの接触が少なくフッ化珪素ガスを生成できないため好ましくない。また、処理剤の加熱温度は、100〜1000℃の範囲が好ましい。100℃未満だと反応速度が低く十分な反応効率が得られず、1000℃を超えると酸化珪素や含有する触媒が軟化し、もしくは溶融し、ガスとの接触が充分なされなくなるため好ましくない。
最後に、生成されたフッ化珪素ガスおよび酸化硫黄ガスは、後段で水酸化カルシウム等のアルカリ薬剤を用いたアルカリ除害剤充填筒や水を使用した湿式スクラバー等の従来の除害技術で処理される。アルカリ除害剤充填筒では円筒内に水酸化カルシウムを主成分としたφ2〜5mm程度の粒状あるいは塊状に成形した除害剤が充填されており、上部から流入された上記生成ガスが、筒内で除害処理される。筒内では(1)式、(2)式のような反応式により上記ガス成分が固化し処理される。一方、湿式スクラバーでは円筒内の上部から水をノズルより噴射し分散させて、下部から流入された上記生成ガスが、ガスと水との接触により除害処理される。筒内では(3)式、(4)式のような反応式によりガス成分が液化あるいは固化し処理される。
SiF4<気体>+2Ca(OH)2 <固体>
→SiO2<固体>+4CaF2<固体>+O2<気体>・・・(1)
2SO2<気体>+2Ca(OH)2 <固体>
→2CaSO3<固体>+H2O<液体> ・・・(2)
SiF4<気体>+2H2O<液体>
→SiO2<固体>+4HF<液体> ・・・(3)
SO2<気体>+H2O<固体>
→H2SO3<液体> ・・・(4)
→SiO2<固体>+4CaF2<固体>+O2<気体>・・・(1)
2SO2<気体>+2Ca(OH)2 <固体>
→2CaSO3<固体>+H2O<液体> ・・・(2)
SiF4<気体>+2H2O<液体>
→SiO2<固体>+4HF<液体> ・・・(3)
SO2<気体>+H2O<固体>
→H2SO3<液体> ・・・(4)
以上詳述したように、本発明の方法によれば六フッ化硫黄ガスを含む排ガスと処理剤とを接触させて当該排ガスから六フッ化硫黄ガスを除去する排ガスの処理方法において、前段で処理剤として触媒を含有させた酸化珪素を用い、フッ化珪素ガスおよび酸化硫黄ガスを生成させ、後段でそれら生成ガスを処理することにより、六フッ化硫黄ガスを容易かつ安価に処理することができる。
以下、実施例により具体的に説明するが、かかる実施例に限定されるものではない。
実施例1〜9、比較例1〜2
図1に本発明方法による六フッ化硫黄ガスの処理確認のための実験フローの概略図を示す。処理対象となる排ガスを含んだサンプルガス1で、このガスを触媒を含有した酸化珪素を充填した充填筒2に導入し接触させる。その充填筒2は、加熱ヒータ3により加熱し、充填筒2内部を加熱する。充填筒出口には、切替弁4があり、出口ガスを後段のアルカリ薬剤充填筒5、または湿式スクラバー6に切り替えて処理する。これらでは、前段で生成したフッ化珪素ガスおよび酸化硫黄ガスを処理することが可能となる。さらにそれらの下流は、前段のみを通過したガスと後段を通過したガスとを切り替えるための切替弁7があり、それぞれのガスをフーリエ変換式赤外線吸光分析装置(FT−IR)8に接続し、処理状態を確認できる。
図1に本発明方法による六フッ化硫黄ガスの処理確認のための実験フローの概略図を示す。処理対象となる排ガスを含んだサンプルガス1で、このガスを触媒を含有した酸化珪素を充填した充填筒2に導入し接触させる。その充填筒2は、加熱ヒータ3により加熱し、充填筒2内部を加熱する。充填筒出口には、切替弁4があり、出口ガスを後段のアルカリ薬剤充填筒5、または湿式スクラバー6に切り替えて処理する。これらでは、前段で生成したフッ化珪素ガスおよび酸化硫黄ガスを処理することが可能となる。さらにそれらの下流は、前段のみを通過したガスと後段を通過したガスとを切り替えるための切替弁7があり、それぞれのガスをフーリエ変換式赤外線吸光分析装置(FT−IR)8に接続し、処理状態を確認できる。
実施例1においては、処理対象ガスとしてSF6=1000ppmを含む窒素ガスを用い、処理剤としてPtを0.1重量%含有させたSiO2を用いた。この充填筒加熱温度は700℃とした。この処理対象ガスを毎分500cm3程度導入し接触させた。反応で生成したフッ化珪素ガスおよび酸化硫黄ガスをアルカリ薬剤充填装置(アルカリ薬剤は、酸化カルシウムを使用)で処理した後、フーリエ変換式赤外線吸光分析装置で確認した。その結果、SF6は、検出下限の5ppm以下であり、良好に処理されていることが確認できた。また、反応で生成したフッ化珪素ガスおよび酸化硫黄ガスを湿式スクラバーで処理した後においても、同様に良好に処理されていることが確認できた。前段での反応生成物をフーリエ変換式赤外線吸光分析装置で定量分析した結果、式(5)で示されるような化学反応式により、四フッ化珪素であるSiF4および二酸化硫黄であるSO2が生成したものと考えられる。
2SF6+3SiO2→3SiF4+2SO2+O2・・・(5)
比較のため、Ptを含まないSiO2を用い、700℃、1000℃で実施例1と同様のガス処理を行った。その結果、表1に示したようにSF6は完全に除去できなかった。
比較のため、Ptを含まないSiO2を用い、700℃、1000℃で実施例1と同様のガス処理を行った。その結果、表1に示したようにSF6は完全に除去できなかった。
次に、実施例1と同様な方法で、処理対象ガスとして、SF6=1000ppmを含む窒素ガスを用い、触媒にPt、Pd、Al2O3、Ga2O3、ZnOの単一物質または混合物を用いた。触媒の濃度はいずれも0.1重量%とした。混合物の場合は、それぞれの成分がすべて0.1重量%となるようにした。この充填筒の加熱温度は500〜650℃とした。反応で生成したフッ化金属ガスをアルカリ薬剤充填装置および湿式スクラバーで処理した後、フーリエ変換式赤外線吸光分析装置で確認した結果、いずれの分析方法においても、SF6の検出下限の5ppm以下であり、良好に処理されていることが確認できた。これらの条件及び結果を表1に示した。
実施例10〜12
実施例1と同様な方法で、処理対象ガスとして、SF6=1000ppmを含む窒素ガスを用い、触媒にPtを用いた。触媒の濃度は、0.01重量%、1重量%、5重量%とし、加熱温度は、700℃とした。その結果、SF6の検出下限の5ppm以下であり、良好に処理されていることが確認できた。これらの条件及び結果を表1に示した。
実施例1と同様な方法で、処理対象ガスとして、SF6=1000ppmを含む窒素ガスを用い、触媒にPtを用いた。触媒の濃度は、0.01重量%、1重量%、5重量%とし、加熱温度は、700℃とした。その結果、SF6の検出下限の5ppm以下であり、良好に処理されていることが確認できた。これらの条件及び結果を表1に示した。
1・・・サンプルガス(六フッ化硫黄+窒素)
2・・・触媒を含有した酸化珪素の充填筒
3・・・充填筒加熱ヒータ
4・・・切り替え弁
5・・・アルカリ薬剤充填装置
6・・・湿式スクラバー
7・・・切り替え弁
8・・・フーリエ変換式赤外線吸光分析計
2・・・触媒を含有した酸化珪素の充填筒
3・・・充填筒加熱ヒータ
4・・・切り替え弁
5・・・アルカリ薬剤充填装置
6・・・湿式スクラバー
7・・・切り替え弁
8・・・フーリエ変換式赤外線吸光分析計
Claims (3)
- 六フッ化硫黄ガスを含む排ガスと処理剤とを接触させて当該排ガスから六フッ化硫黄ガスを除去する排ガスの処理方法において、前段で処理剤として触媒を含有した酸化珪素を用い、フッ化珪素ガスおよび酸化硫黄ガスを生成させ、後段でそのフッ化珪素ガスおよび酸化硫黄ガスをアルカリ薬剤充填筒または湿式スクラバーで処理することを特徴とする六フッ化硫黄ガスの処理方法。
- 触媒が、Pt、Pd、Al2O3、Ga2O3、またはZnOからなる一種または二種以上の混合物であることを特徴とする請求項1に記載の六フッ化硫黄ガスの処理方法。
- 前段の処理剤を100〜1000℃に加熱することを特徴とする請求項1〜請求項2の何れかに記載の六フッ化硫黄ガスの処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003427881A JP2005185897A (ja) | 2003-12-24 | 2003-12-24 | 六フッ化硫黄ガスの処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003427881A JP2005185897A (ja) | 2003-12-24 | 2003-12-24 | 六フッ化硫黄ガスの処理方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005185897A true JP2005185897A (ja) | 2005-07-14 |
Family
ID=34787029
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003427881A Pending JP2005185897A (ja) | 2003-12-24 | 2003-12-24 | 六フッ化硫黄ガスの処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005185897A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2468993C1 (ru) * | 2011-03-30 | 2012-12-10 | Открытое Акционерное Общество "Российский научно-исследовательский и проектный институт титана и магния" (ОАО "РИТМ") | Способ переработки отходящих газов, образующихся в процессе получения пирогенного диоксида кремния высокотемпературным гидролизом хлоридов кремния |
WO2013125791A1 (ko) * | 2012-02-23 | 2013-08-29 | (주) 파인텍 | 과불화화합물의 분리 및 재활용시스템 |
WO2013125792A1 (ko) * | 2012-02-23 | 2013-08-29 | (주) 파인텍 | 과불화화합물의 분리 및 재활용시스템 |
-
2003
- 2003-12-24 JP JP2003427881A patent/JP2005185897A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2468993C1 (ru) * | 2011-03-30 | 2012-12-10 | Открытое Акционерное Общество "Российский научно-исследовательский и проектный институт титана и магния" (ОАО "РИТМ") | Способ переработки отходящих газов, образующихся в процессе получения пирогенного диоксида кремния высокотемпературным гидролизом хлоридов кремния |
WO2013125791A1 (ko) * | 2012-02-23 | 2013-08-29 | (주) 파인텍 | 과불화화합물의 분리 및 재활용시스템 |
WO2013125792A1 (ko) * | 2012-02-23 | 2013-08-29 | (주) 파인텍 | 과불화화합물의 분리 및 재활용시스템 |
KR101410914B1 (ko) | 2012-02-23 | 2014-06-24 | (주)파인텍 | 과불화화합물의 분리 및 재활용시스템 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1732669B1 (en) | Method and apparatus for treating gas containing fluorine-containing compounds | |
KR100860835B1 (ko) | 육불화황의 처리방법 | |
JP2005185897A (ja) | 六フッ化硫黄ガスの処理方法 | |
JP4518460B2 (ja) | 排ガスからフッ素成分を選択的に回収する方法 | |
KR920007856B1 (ko) | 기체상태의 산성 할로겐 화합물의 제거방법 | |
JP5423594B2 (ja) | フッ素含有化合物ガスの除去方法 | |
WO2010067677A1 (ja) | 三フッ化塩素の除害方法 | |
JP4459648B2 (ja) | フッ素含有化合物を含むガスの処理方法及び装置 | |
JP3548135B2 (ja) | Pfc混合排ガスの回収前処理方法 | |
JP3565742B2 (ja) | フッ素含有化合物ガスの処理方法 | |
JPH08257359A (ja) | ペルフルオロカーボン含有ガスの流れを処理する方法 | |
KR101392805B1 (ko) | 피에프씨와 산 배기가스 제거용 흡착제 | |
JP2000005561A (ja) | フッ化物の処理方法 | |
JP3650588B2 (ja) | パーフルオロコンパウンドのリサイクル利用方法 | |
JP3463873B2 (ja) | パーフルオロコンパウンドのリサイクル利用方法 | |
JP4454275B2 (ja) | フッ素化合物の分解処理剤および分解処理方法 | |
JPH05261247A (ja) | 三フッ化窒素の除害方法 | |
JP6368465B2 (ja) | 排ガス処理方法 | |
JP5639757B2 (ja) | ガス処理方法 | |
JPS6312322A (ja) | 排ガス処理方法 | |
JP2001000837A (ja) | 半導体製造装置用排ガス処理装置 | |
JPH05506604A (ja) | 排気ガス状態調節 | |
JP3515766B2 (ja) | 二硫化炭素の除去方法 | |
KR20070018238A (ko) | 불소 포함 배기가스의 처리방법 및 이의 방법을 사용하기위한 흡착 컬럼 장치 | |
JPH0710335B2 (ja) | Nf3 排ガス処理方法および装置 |