JP2011043402A - X線スペクトル表示処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】各分光結晶(LiF, PET等)に対応したX線スペクトルに対し、分光範囲がオーバーラップする波長範囲内に適宜の切替波長を設定し、その前後でそれぞれスペクトルデータを選択する。これにより、同一波長に対するスペクトルは一意に決まる。また、分光結晶の分光範囲の波長幅や波長分解能に応じて、各測定波長範囲の波長目盛り間隔を適宜に設定する。波長分解能が低い長波長側では波長軸が圧縮される。これにより、グラフ上、各分光結晶に対応した測定波長範囲の表示幅が略同一になり、目盛り間隔も極端に変化しないので、分析者にとって違和感が少ない視認性の高いX線スペクトルとなる。
【選択図】図4
Description
a)前記複数のX線スペクトルに対し、オーバーラップする測定波長範囲内で、X線スペクトルを繋ぐ切替波長を設定し、該切替波長に応じてオーバーラップするX線スペクトルの一方を選択するオーバーラップ範囲処理手段と、
b)分光結晶に対応するX線スペクトルの波長範囲毎に、測定波長範囲及び/又は波長分解能に応じた波長軸の波長目盛り間隔を設定する波長軸設定手段と、
c)前記波長軸設定手段により波長目盛り間隔が設定された波長軸を有するグラフ上に、前記オーバーラップ範囲処理手段によりオーバーラップ範囲のデータが処理された複数のX線スペクトルを描画するグラフ形成手段と、
を備えることを特徴としている。
・LiF : 0.01nm
・PET : 0.02nm
・RAP : 0.1nm
・PbST : 0.5nm
・LiF : 0.025nm
・PET : 0.05nm
・RAP : 0.15nm
・PbST : 0.75nm
これは、LiFにおける1波長表示目盛り間隔を基準として、PET、RAP、PbSTにおける1波長表示目盛り間隔をそれぞれ、2倍、6倍、30倍に設定したものである。
10…中央制御部
11…表示処理部
12…操作部
13…表示部
2…偏向コイル
3…対物レンズ
4…試料ステージ
5…試料ステージ駆動部
6a〜6d…X線分光器
61a〜61d…分光結晶
62a〜62d…結晶移動直線
63a〜63d…X線検出器
64a〜64d…スリット
7…偏向コイル制御部
8…データ処理部
9…分析制御部
E…電子線
S…試料
Claims (2)
- 分光特性が互いに相違する複数の分光結晶を装備した1乃至複数のX線分光器を用い、1つの試料に対して測定波長範囲及び波長分解能が相違する複数のX線スペクトルを取得するX線分析装置にあって、それら複数のX線スペクトルを処理して表示するためのX線スペクトル表示処理装置において、
a)前記複数のX線スペクトルに対し、オーバーラップする測定波長範囲内で、X線スペクトルを繋ぐ切替波長を設定し、該切替波長に応じてオーバーラップするX線スペクトルの一方を選択するオーバーラップ範囲処理手段と、
b)分光結晶に対応するX線スペクトルの波長範囲毎に、測定波長範囲及び/又は波長分解能に応じた波長軸の波長目盛り間隔を設定する波長軸設定手段と、
c)前記波長軸設定手段により波長目盛り間隔が設定された波長軸を有するグラフ上に、前記オーバーラップ範囲処理手段によりオーバーラップ範囲のデータが処理された複数のX線スペクトルを描画するグラフ形成手段と、
を備えることを特徴とするX線スペクトル表示処理装置。 - 請求項1に記載のX線スペクトル表示処理装置であって、
利用され得る様々な分光結晶の組み合わせに対し、その組み合わせ毎に予め決められた切替波長及び波長目盛り間隔を記憶しておくデータベース、を備え、
前記オーバーラップ範囲処理手段及び前記波長軸設定手段は、前記データベースを利用して、分析に使用された分光結晶の組み合わせから切替波長及び波長目盛り間隔を導出することを特徴とするX線スペクトル表示処理装置。
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JP2009191643A JP5359681B2 (ja) | 2009-08-21 | 2009-08-21 | X線スペクトル表示処理装置 |
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2009
- 2009-08-21 JP JP2009191643A patent/JP5359681B2/ja active Active
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US10746675B2 (en) | 2017-07-31 | 2020-08-18 | Jeol Ltd. | Image processing device, analysis device, and image processing method for generating an X-ray spectrum |
Also Published As
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---|---|
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