JP5353671B2 - Icp発光分光分析装置 - Google Patents
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Description
入口スリットと、該入口スリットを通して入射した光を波長分散させる波長分散素子と、分散光のうちの特定波長の光を外部へ取り出す出口スリットとを含むシーケンシャル型分光器を具備するICP発光分光分析装置において、
a)幅の異なる複数のスリット開口が波長分散方向に所定間隔離間して設けられた出口スリットと、
b)前記出口スリットの外側に配設された光検出器と、
c)前記波長分散素子を回転させる波長分散素子駆動手段と、
d)前記出口スリットを波長分散方向に移動させるスリット駆動手段と、
e)前記スリット駆動手段を制御することにより、前記波長分散素子から光検出器に至る光の光軸上に前記複数のスリット開口の何れかを切替配置するスリット切替制御手段と、
f)操作者が高速定性分析、前記高速定性分析よりも低速で行われる通常定性分析、又は定量分析を指定するための指定手段と、
を有し、
前記複数のスリット開口の少なくとも1つが、波長分解能が0.1nm〜1.0nmとなる開口幅を有する高速定性分析用スリット開口であり、前記複数のスリット開口の少なくとも1つが、波長分解能が0.05nm以下となる開口幅を有する低速分析用スリット開口であって、
前記スリット切替制御手段が、前記指定手段により操作者から高速定性分析が指定されたときに、前記高速定性分析用スリット開口が前記光軸上に配置されるよう前記スリット駆動手段を制御し、前記指定手段により操作者から通常定性分析又は定量分析が指定されたときに、前記低速分析用スリット開口が前記光軸上に配置されるよう前記スリット駆動手段を制御することを特徴としている。
Δλ=D×w …(1)
但し、Dは逆線分散、wは出口スリットの開口幅である。なお、逆線分散Dは、出口スリット面上での単位長さ当たりの波長差であり、以下の式(2)で求められる。
D=cosβ/(N×m×f) …(2)
但し、βは回折角度、Nは回折格子の刻線数、mは回折次数、fは分光器の焦点距離である。
即ち、本発明に係るICP発光分光分析装置は、
g)前記光軸上に配置されたスリット開口を通過する光の波長が変化するように前記スリット駆動手段を制御するスリット走査制御手段、
を更に有するものとすることが望ましい。
20…オートサンプラ
30…分光部
31…レンズ
32…入口スリット
33…第1凹面鏡
34…平面回折格子
35…第2凹面鏡
37…マスク
36、38…出口スリット
38a…第1スリット開口
38b…第2スリット開口
40…検出部
41…検出器
50…データ処理部
60…制御部
61…主制御部
62…波長走査制御部
63…スリット切替制御部
81…回折格子駆動モータ
82…出口スリット駆動モータ
90…光軸
Claims (2)
- 入口スリットと、該入口スリットを通して入射した光を波長分散させる波長分散素子と、分散光のうちの特定波長の光を外部へ取り出す出口スリットとを含むシーケンシャル型分光器を具備するICP発光分光分析装置において、
a)幅の異なる複数のスリット開口が波長分散方向に所定間隔離間して設けられた出口スリットと、
b)前記出口スリットの外側に配設された光検出器と、
c)前記波長分散素子を回転させる波長分散素子駆動手段と、
d)前記出口スリットを波長分散方向に移動させるスリット駆動手段と、
e)前記スリット駆動手段を制御することにより、前記波長分散素子から光検出器に至る光の光軸上に前記複数のスリット開口の何れかを切替配置するスリット切替制御手段と、
f)操作者が高速定性分析、前記高速定性分析よりも低速で行われる通常定性分析、又は定量分析を指定するための指定手段と、
を有し、
前記複数のスリット開口の少なくとも1つが、波長分解能が0.1nm〜1.0nmとなる開口幅を有する高速定性分析用スリット開口であり、前記複数のスリット開口の少なくとも1つが、波長分解能が0.05nm以下となる開口幅を有する低速分析用スリット開口であって、
前記スリット切替制御手段が、前記指定手段により操作者から高速定性分析が指定されたときに、前記高速定性分析用スリット開口が前記光軸上に配置されるよう前記スリット駆動手段を制御し、前記指定手段により操作者から通常定性分析又は定量分析が指定されたときに、前記低速分析用スリット開口が前記光軸上に配置されるよう前記スリット駆動手段を制御することを特徴とするICP発光分光分析装置。 - 更に、
g)前記光軸上に配置されたスリット開口を通過する光の波長が変化するように前記スリット駆動手段を制御するスリット走査制御手段、
を有することを特徴とする請求項1に記載のICP発光分光分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009279590A JP5353671B2 (ja) | 2009-12-09 | 2009-12-09 | Icp発光分光分析装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009279590A JP5353671B2 (ja) | 2009-12-09 | 2009-12-09 | Icp発光分光分析装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2011122888A JP2011122888A (ja) | 2011-06-23 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2009279590A Expired - Fee Related JP5353671B2 (ja) | 2009-12-09 | 2009-12-09 | Icp発光分光分析装置 |
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JP (1) | JP5353671B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114486773A (zh) * | 2021-12-29 | 2022-05-13 | 聚光科技(杭州)股份有限公司 | 多种气体的分析装置和方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05215604A (ja) * | 1992-02-03 | 1993-08-24 | Shimadzu Corp | 分光分析装置 |
JP2700607B2 (ja) * | 1993-11-08 | 1998-01-21 | 日本分光株式会社 | 分光器用スリット切替機構 |
JPH1030962A (ja) * | 1996-07-15 | 1998-02-03 | Shimadzu Corp | 発光分析装置 |
JP2003166878A (ja) * | 2001-12-04 | 2003-06-13 | Shimadzu Corp | 分光光度計 |
JP5055863B2 (ja) * | 2006-07-14 | 2012-10-24 | 株式会社島津製作所 | 分光光度計及びそのスリット装置 |
WO2008105027A1 (ja) * | 2007-02-27 | 2008-09-04 | Fujitsu Limited | Wdm伝送装置 |
JP5187259B2 (ja) * | 2009-04-07 | 2013-04-24 | 株式会社島津製作所 | Icp発光分析装置及びicp発光分析方法 |
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Publication number | Publication date |
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JP2011122888A (ja) | 2011-06-23 |
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A977 | Report on retrieval |
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