JP7472512B2 - 分析装置および分析装置の制御方法 - Google Patents
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Description
図1は、実施の形態に係る分析装置の一例である電子プローブマイクロアナライザ(EPMA:Electron Probe Micro Analyzer)の全体構成図である。本実施の形態に係る分析装置は、試料に電子線を照射して、試料から発生する様々な信号を検出して分析する電子線マイクロアナリシス法を用いて、試料の表面の観察および組成の分析を行なう装置である。本実施の形態に係る分析装置は、EPMAに限定されるものではなく、エネルギー分散型X線分析装置(EDS:Energy Dispersive Spectrometer)を搭載した走査電子顕微鏡(SEM:Scanning Electron Microscope)であってもよい。
EPMA100は、試料Sの表面に電子線を照射し、当該表面から放出される各種信号を利用して試料Sの表面の組織および形態の観察と局所元素分析とを行なうように構成される。EPMA100は、試料S上における電子線Eの走査中、試料Sの表面の観察像(特性X線像、二次電子像、反射電子像)を表示部16に表示する。これにより、分析者は、試料Sの表面をリアルタイムで観察することができる。
次に、本実施の形態に係るEPMA100における同時表示モードの観察条件を設定する処理について説明する。
上述した複数の例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。
Claims (8)
- 試料の表面の観察および分析を行なう分析装置であって、
前記試料の表面に電子線を照射する照射装置と、
前記試料の表面から放出される複数種類の検出信号をそれぞれ検出する複数種類の検出器と、
前記複数種類の検出信号にそれぞれ対応する複数種類の観察像を表示する表示部と、
前記照射装置および前記表示部を制御する制御部とを備え、
前記複数種類の検出器は、前記試料の表面から放出される特性X線を検出するための少なくとも1つの分光器を含み、
前記複数種類の検出信号は、前記少なくとも1つの分光器によりそれぞれ検出される少なくとも1つの特性X線を含み、
前記分析装置は、前記複数種類の観察像のうちの少なくとも2種類の観察像を前記表示部に同時に並べて表示する同時表示モードを有しており、前記少なくとも2種類の観察像の表示条件を含む観察条件データを保存するための記憶部をさらに備え、
前記同時表示モードにおいて、前記制御部は、前記記憶部に保存されている前記観察条件データに基づいて前記照射装置、前記複数種類の検出器および前記表示部の動作を設定するとともに、前記少なくとも2種類の観察像を前記表示部に表示し、
前記少なくとも2種類の観察像の表示条件は、前記表示部における前記少なくとも2種類の観察像のレイアウトに関する条件を含み、
前記少なくとも2種類の観察像のレイアウトに関する条件は、観察目的の元素の特性X線を検出するための分光器の分光波長に関する情報を含む、分析装置。 - 前記複数種類の観察像の観察条件に関する設定を受け付ける操作部をさらに備え、
前記同時表示モードにおいて、前記操作部が前記少なくとも2種類の観察像の観察条件に関する設定を受け付けた場合には、前記制御部は、前記少なくとも2種類の観察像の前記観察条件データを生成して前記記憶部に保存する、請求項1に記載の分析装置。 - 前記制御部は、前記少なくとも2種類の観察像の観察条件データに対して、前記試料の観察目的に関連する情報を付記して前記記憶部に保存する、請求項2に記載の分析装置。
- 前記操作部が前記同時表示モードの設定を受け付けた場合、前記制御部は、
前記記憶部に保存されている前記観察条件データのリストを前記表示部に表示し、
前記操作部が前記リストから1つの観察条件データを選択する操作を受け付けたときには、選択された前記観察条件データに基づいて前記少なくとも2種類の観察像を前記表示部に表示する、請求項2または3に記載の分析装置。 - 前記少なくとも2種類の観察像の表示条件は、前記少なくとも2種類の観察像に対応する少なくとも2つの検出信号の表示条件を含む、請求項1から4のいずれか1項に記載の分析装置。
- 前記観察条件データは、前記電子線の照射条件および、前記電子線の走査条件をさらに含む、請求項1から5のいずれか1項に記載の分析装置。
- 試料の表面の観察および分析を行なう分析装置の制御方法であって、
前記分析装置は、
前記試料の表面に電子線を照射する照射装置と、
前記試料の表面から放出される複数種類の検出信号をそれぞれ検出する複数種類の検出器と、
前記複数種類の検出信号にそれぞれ対応する複数種類の観察像を表示する表示部とを含み、
前記複数種類の検出器は、前記試料の表面から放出される特性X線を検出するための少なくとも1つの分光器を含み、
前記複数種類の検出信号は、前記少なくとも1つの分光器により検出される少なくとも1つの特性X線を含み、
前記分析装置は、前記複数種類の観察像のうちの少なくとも2種類の観察像を前記表示部に同時に並べて表示する同時表示モードを有しており、
前記制御方法は、
前記少なくとも2種類以上の観察像の表示条件を含む観察条件データを記憶部に保存するステップと、
前記同時表示モードにおいて、前記記憶部に保存されている前記観察条件データに基づいて前記照射装置、前記複数種類の検出器および前記表示部の動作を設定するとともに、前記少なくとも2種類の観察像を前記表示部に表示するステップとを備え、
前記少なくとも2種類の観察像の表示条件は、前記表示部における前記少なくとも2種類の観察像のレイアウトに関する条件を含み、
前記少なくとも2種類の観察像のレイアウトに関する条件は、観察目的の元素の特性X線を検出するための分光器の分光波長に関する情報を含み、
前記表示するステップは、特性X線の観察像が表示対象に設定された場合に、前記分光波長に関する情報に基づいて、当該特性X線を検出する前記分光器を駆動するステップを含む、分析装置の制御方法。 - 前記同時表示モードにおいて、前記少なくとも2種類の観察像の観察条件に関する設定を受け付けた場合には、少なくとも2種類の観察像の観察条件データを生成して前記記憶部に保存するステップをさらに備える、請求項7に記載の分析装置の制御方法。
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