JP2010025982A - プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の基板搬送方法、及び表示用パネル基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板1より大きな枠41内に複数のワイヤ42を張って基板1の搬送台40を構成し、搬送台40の複数のワイヤ42に基板1を搭載する。搬送台40の枠41より小さなチャック10に搬送台40の複数のワイヤ42が収納される複数の溝11を設け、チャック10を複数の点で支持し、チャック10の周囲に搬送台40の枠41を支持する支持具39を設ける。基板1を搭載した搬送台40をチャック10へ搬送し、搬送台40の各ワイヤ42をチャック10の各溝11に挿入して、基板1をチャック10に搭載する。搬送台40の枠41を支持具39で支持し、チャック10及び支持具39を移動して、基板1の移動を行う。
【選択図】図8
Description
2 マスク
3 ベース
4 Xガイド
5 Xステージ
6 Yガイド
7 Yステージ
8 θステージ
10 チャック
11 溝
15 支持部
16 ねじ受け
17 カバー
18 ボルト
20 マスクホルダ
30 チャック支持台
31 ベース板
32 サークル
33 スポーク
34 リム
35 調整ねじ
36 ばね座金
37 平座金
38 止めナット
39 支持具
40 搬送台
41 枠
42 ワイヤ
43 凹部
50 ロボットアーム
51 アーム部
Claims (8)
- 基板より大きな枠と、枠内に張られた複数のワイヤとを有し、複数のワイヤに基板を搭載する搬送台と、
前記搬送台の複数のワイヤが収納される複数の溝を有し、前記搬送台の枠より小さなチャックと、
前記チャックを複数の点で支持するチャック支持台と、
前記チャックの周囲に設けられ、前記搬送台の枠を支持する支持具と、
前記チャック及び前記支持具を移動するステージとを備え、
基板を搭載した前記搬送台を前記チャックへ搬送し、前記搬送台の各ワイヤを前記チャックの各溝に挿入して、基板を前記チャックに搭載することを特徴とするプロキシミティ露光装置。 - 前記搬送台は、前記枠の底面に凹部又は凸部を有し、
前記支持具は、前記搬送台の枠の凹部又は凸部と接触する凸部又は凹部を有することを特徴とする請求項1に記載のプロキシミティ露光装置。 - 前記チャックの各溝の縁が、不規則な線で構成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のプロキシミティ露光装置。
- 基板より大きな枠内に複数のワイヤを張って基板の搬送台を構成し、
搬送台の複数のワイヤに基板を搭載し、
搬送台の枠より小さなチャックに搬送台の複数のワイヤが収納される複数の溝を設け、
チャックを複数の点で支持し、
チャックの周囲に搬送台の枠を支持する支持具を設け、
基板を搭載した搬送台をチャックへ搬送し、
搬送台の各ワイヤをチャックの各溝に挿入して、基板をチャックに搭載し、
搬送台の枠を支持具で支持し、
チャック及び支持具を移動して、基板の移動を行うことを特徴とするプロキシミティ露光装置の基板搬送方法。 - 搬送台の枠の底面に凹部又は凸部を設け、
支持具に凸部又は凹部を設け、
支持具の凸部又は凹部を搬送台の枠の凹部又は凸部に接触させて、搬送台の枠を支持することを特徴とする請求項4に記載のプロキシミティ露光装置の基板搬送方法。 - チャックの各溝の縁を、不規則な線で構成することを特徴とする請求項4又は請求項5に記載のプロキシミティ露光装置の基板搬送方法。
- 請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載のプロキシミティ露光装置を用いて基板の露光を行うことを特徴とする表示用パネル基板の製造方法。
- 請求項4乃至請求項6のいずれか一項に記載のプロキシミティ露光装置の基板搬送方法を用いて基板をチャックに搭載し、基板の露光を行うことを特徴とする表示用パネル基板の製造方法。
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