JP5052438B2 - プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の基板搬送方法、及び表示用パネル基板の製造方法 - Google Patents
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Description
2 マスク
3 ベース
4 Xガイド
5 Xステージ
6 Yガイド
7 Yステージ
8 θステージ
10 チャック
11 溝
15 支持部
16 ねじ受け
17 カバー
18 ボルト
20 マスクホルダ
30 チャック支持台
31 ベース板
32 サークル
33 スポーク
34 リム
35 調整ねじ
36 ばね座金
37 平座金
38 止めナット
39 支持具
40 搬送台
41 枠
42 ワイヤ
43 凹部
50 ロボットアーム
51 アーム部
Claims (4)
- マスクと基板との間に微小なギャップを設けてマスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置であって、
基板より大きな枠と、枠内に一方向に張られた複数のワイヤとを有し、複数のワイヤに基板を搭載する搬送台と、
前記搬送台の複数のワイヤが収納される、縁が不規則な線で構成された複数の溝を有し、前記搬送台の枠より小さなチャックと、
前記チャックを複数の点で支持するチャック支持台と、
前記チャックの周囲に設けられ、前記搬送台の枠を支持する支持具と、
前記チャック及び前記支持具を移動するステージとを備え、
前記搬送台は、前記枠の底面に凹部又は凸部を有し、
前記支持具は、前記搬送台の枠の凹部又は凸部と接触する凸部又は凹部を有し、
マスクの下の露光位置から離れた受け渡し位置において、基板を搭載した前記搬送台を前記チャックへ搬送し、前記搬送台の各ワイヤを前記チャックの各溝に挿入して、基板を前記チャックに搭載し、
前記支持具の凸部又は凹部を前記搬送台の枠の凹部又は凸部に接触させて、前記搬送台の枠を前記支持具で支持しながら、前記ステージにより前記チャック及び前記支持具を移動して、基板の受け渡し位置と露光位置との間の移動を行うことを特徴とするプロキシミティ露光装置。 - マスクと基板との間に微小なギャップを設けてマスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置の基板搬送方法であって、
基板より大きな枠内に一方向に複数のワイヤを張って基板の搬送台を構成し、
搬送台の複数のワイヤに基板を搭載し、
搬送台の枠より小さなチャックに搬送台の複数のワイヤが収納される複数の溝を設け、
チャックの各溝の縁を、不規則な線で構成し、
チャックを複数の点で支持し、
チャックの周囲に搬送台の枠を支持する支持具を設け、
搬送台の枠の底面に凹部又は凸部を設け、
支持具に搬送台の枠の凹部又は凸部と接触する凸部又は凹部を設け、
マスクの下の露光位置から離れた受け渡し位置において、基板を搭載した搬送台をチャックへ搬送し、
搬送台の各ワイヤをチャックの各溝に挿入して、基板をチャックに搭載し、
支持具の凸部又は凹部を搬送台の枠の凹部又は凸部に接触させて、搬送台の枠を支持具で支持しながら、
チャック及び支持具を移動して、基板の受け渡し位置と露光位置との間の移動を行うことを特徴とするプロキシミティ露光装置の基板搬送方法。 - 請求項1に記載のプロキシミティ露光装置を用いて基板の露光を行うことを特徴とする表示用パネル基板の製造方法。
- 請求項2に記載のプロキシミティ露光装置の基板搬送方法を用いて基板をチャックに搭載し、基板の露光を行うことを特徴とする表示用パネル基板の製造方法。
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