JP2009537305A - ポリシラザン廃棄物の処理 - Google Patents

Abstract

本発明はポリシラザン廃棄物材料の処理方法を提供する。

Description

本発明は、より安全で費用効率の高い廃棄物処理を容易にするためのポリシラザン廃棄物の処理方法に関する。

ポリシラザンは、例えば、半導体素子及び平面パネルスクリーンなどの基体表面に固体ケイ酸塩（すなわち、ガラス）コーティングを生じさせるために用いられている。コーティング工程に続き、エッジビードリムーバ（ｅｄｇｅ ｂｅａｄ ｒｅｍｏｖｅｒ）溶媒系を用いたエッジビード除去（ＥＢＲ：Ｅｄｇｅ Ｂｅａｄ Ｒｅｍｏｖａｌ）工程が行われる。エッジビード除去工程後、有機溶液を用いて残存するポリシラザンの全てを機器表面からすすぎ落とす。その後ポリシラザン−有機工程廃棄物流をすすぎ落とし、輸送ラインを介して工程廃棄物保持容器へ排出させる。満杯になった後、工程廃棄物保持容器を密封することができるか、あるいは液体を別の廃棄物容器へ移して廃棄物処理のために移動させることができる。

現在の処理工程では、廃棄物保持容器に、それが満杯になるまで、不安定なポリシラザン−有機工程廃棄物流を収集することが必要である。保持容器が一旦満杯になると、廃棄物の一時的な安定化のため、廃棄物は排気口を有するドラムに移される。最終的にこのドラムは密封されて廃棄物処理に送られる。

現在の廃棄処理工程にはいくつかの問題が存在する。不安定になったポリシラザン廃棄物は、非意図的に存在する汚染物質（すなわち、ＯＨ−供与化学物質である水、アルコール類、アルデヒド類など）と反応する可能性がある。その反応により、ポリシラザンが分解して水素ガスとアンモニアガスとシランガスとが生じる。ポリシラザン−有機廃棄物は、廃棄物溶液が非意図的な汚染物質に接触した場合にさらに分解を受けないよう、安定化（中和化としてもまた知られる）させなくてはならない。

さらに、廃棄物ドラムを通気した状態で放置することにより、ポリシラザン−有機廃棄物の排ガス（ｏｆｆ−ｇａｓ）を可能にし、推奨されるその継続期間は１０日間である。この推奨される排気時間がポリシラザン−有機廃棄物を「安定化する」のに不十分な場合は排ガスを継続することになる。これにより、さらなる分解が生じて廃棄物容器が変形する（すなわち、膨らむ（ｂｕｌｇｉｎｇ））結果となり、それにより、ついには容器が完全に壊滅的に破損する場合がある。これは、深刻で潜在的な健康問題と安全性の問題を持ち出す。

さらに、もしポリシラザンを中和するのに不適当な材料が使用されたり、あるいはポリシラザン−有機廃棄物を安定化するのに過剰な溶液が使用されたりあるいはこれが不適当な時点で添加されたりした場合には、該溶液が二相分離したり、あるいは廃棄物との反応により固体ゲルや塩沈殿物が生じたりする恐れがある。これらの全ては望ましくない副反応である。

したがって、安全で問題の少ないポリシラザン廃棄物の処理法が必要とされている。

本発明は、ポリシラザン廃棄物を、ＯＨ含有化合物及びＯＨ含有化合物とアルカリとの混合物からなる群から選択される処理安定剤に接触させるステップを含むポリシラザン廃棄物の処理方法に関する。処理安定剤又は処理安定剤溶液は、（ａ）処理安定剤を、ポリシラザン廃棄物の廃棄物流中に注入、（ｂ）処理安定剤を、ポリシラザン廃棄物を収容している容器中に添加、あるいは（ｃ）ポリシラザン廃棄物を、処理安定剤を収容している容器中に添加することにより、ポリシラザン廃棄物と接触させることができる。

ＯＨ含有化合物の例には、例えば、アルコール類、エーテルアルコール類、グリコール類、及びカルボン酸類ならびにそれらの混合物が含まれるが、それらに限定されるものではない。アルコール類の例には、それらに限定されるものではないが、例えば、メタノール、エタノール、ｎ−プロパノール、イソプロパノール、ｎーブタノール、ｓｅｃ−プロパノール、フェノールなどが含まれる。エーテルアルコール類の例には、それらに限定されるものではないが、例えば、１−ブトキシエトキシ−２−プロパノール、３−メチル−３−メトキシブタノール、エチレングリコールｎ−ブチルエーテル、エチレングリコールフェニルエーテル、エチレングリコールプロピルエーテル、ジエチレングリコールヘキシルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールエチルエーテル、プロピレングリコールイソブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールｎ−プロピルエーテル、プロピレングリコールフェニルエーテル、プロピレングリコール−ｔ−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル、トリエチレングリコールエチルエーテル、トリエチレングリコールメチルエーテル、トリエチレングリコールｎ−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテル、トリプロピレングリコールｎ−ブチルエーテル、及びそれらの混合物が含まれる。グリコール類の例には、それらに限定されるものではないが、例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール、ヘキシレングリコール、ブタンジオール、グリセリンなど、及びそれらの混合物が含まれる。カルボン酸の例には、それらに限定されるものではないが、例えば、非分岐状の飽和又は不飽和モノカルボン酸として、メタン酸（ギ酸）、エタン酸（酢酸）、プロパン酸（プロピオン酸）、ペンタン酸（バレリアン酸）、ヘキサン酸（カプロン酸）、分岐状の飽和又は不飽和モノカルボン酸として、２−メチルペンタン酸、２−エチルヘキサン酸、非分岐状の飽和又は不飽和ジー又はトリーカルボン酸として、プロパン二酸（マロン酸）、ブタン二酸（コハク酸）、ペンタン二酸（グルタル酸）、ヘキサン二酸（アジピン酸）、芳香族モノー、ジー及びトリーカルボン酸として、安息香酸、２−カルボキシ安息香酸（フタル酸）、３−カルボキシ安息香酸（イソフタル酸）、４−カルボキシ安息香酸（テトラフタル酸）、３，４−カルボキシ安息香酸（トリメリト酸）、ヒドロキシ酸として、ヒドロキフェニル酢酸（マンデリン酸）、２−ヒドロキシプロピオン酸（乳酸）、ヒドロキシコハク酸（マレイン酸）、２，３−ジヒドロキシブタン二酸（酒石酸）、２−ヒドロキシ−１，２，３−プロパントリカルボン酸（クエン酸）、アスコルビン酸、２−ヒドロキシ安息香酸（サリチル酸）、３，４，５−トリヒドロキシ安息香酸（ガリン酸）など、ならびにそれらの混合物が含まれる。アルカリの例には、それらに限定されるものではないが、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化アンモニウム、水酸化テトラメチルアンモニウム、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、水酸化アンモニウム、ジエチルアミン、ジメチルアミン、トリメタノールアミン、ブチルジメチルアミン、ジブチルメチルアミン、トリヒドロキシアミン、モノプロピルアミン、ジプロピルアミン、トリプロピルアミン、モノプロパノールアミン、ジプロパノールアミン、トリプロパノールアミン、モノイソプロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン、トリイソプロパノールアミン、ｎ−ブチルアミン、ｔ−ブチルアミン、メチルプロピルアミン、エチルジメチルアミン、２−アミノ−１，３−プロパンジオール、２−アミノ−２−メチル−１，３−プロパンジオール、エタノールプロパノールアミン、２−（ブチルアミノ）エタノール、２−（シクロヘキシルアミノ）エタノール、２−アミノ−１−ブタノール、２−（２‘−アミノエトキシ）エタノール、ビス（アミノエチル）アミン、ビス（アミノプロピル）アミン、トリス（アミノエチル）アミン、トリス（アミノプロピル）アミン、ピリジン、ピペリジン、モルホリン、アニリン及びそれらの混合物が含まれる。

通常、処理安定剤のポリシラザン廃棄物に対する比が約１：２〜約１：１４で処理安定剤はポリシラザン廃棄物に添加され、約１：４〜約１：１０、約１：６〜約１：９、さらには約１：７〜約１：９の比もまた考慮される。処理安定剤のための担体溶媒は任意である。

本発明はまた、ポリシラザン廃棄物を処理するための処理安定剤としての、ＯＨ含有化合物又はＯＨ含有化合物とアルカリとの混合物の使用も提供する。

［発明の詳細な説明］
本発明は、ポリシラザン廃棄物を、ＯＨ含有化合物及びＯＨ含有化合物とアルカリとの混合物とからなる群から選択される処理安定剤と接触させることを含む、ポリシラザン廃棄物の処理方法に関する。処理安定剤又は処理安定剤溶液は、（ａ）処理安定剤をポリシラザン廃棄物の廃棄物流中に注入することにより、（ｂ）処理安定剤を、ポリシラザン廃棄物を収容している容器中に添加することにより、あるいは（ｃ）ポリシラザン廃棄物を、処理安定剤を収容している容器中に添加することにより、ポリシラザン廃棄物と接触させることができる。

ＯＨ含有化合物の例には、それらに限定されるものではないが、例えば、アルコール類、エーテルアルコール類、グリコール類、及びカルボン酸類ならびにそれらの混合物が含まれる。アルコール類の例には、それらに限定されるものではないが、メタノール、エタノール、ｎ−プロパノール、イソプロパノール、ｎ−ブタノール、ｓｅｃ−ブタノール、フェノールなどが含まれる。エーテルアルコール類の例には、それらに限定されるものではないが、例えば、１−ブトキシエトキシ−２−プロパノール、３−メチル−３−メトキシブタノール、エチレングリコールｎ−ブチルエーテル、エチレングリコールフェニルエーテル、エチレングリコールプロピルエーテル、ジエチレングリコールヘキシルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールエチルエーテル、プロピレングリコールイソブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールｎ−プロピルエーテル、プロピレングリコールフェニルエーテル、プロピレングリコール−ｔ−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル、トリエチレングリコールエチルエーテル、トリエチレングリコールメチルエーテル、トリエチレングリコールｎ−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテル、トリプロピレングリコールｎ−ブチルエーテル、及びそれらの混合物が含まれる。グリコール類の例には、それらに限定されるものではないが、例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール、ヘキシレングリコール、ブタンジオール、グリセリンなど、及びそれらの混合物が含まれる。カルボン酸の例には、それらに限定されるものではないが、例えば、非分岐状の飽和又は不飽和モノカルボン酸として、メタン酸（ギ酸）、エタン酸（酢酸）、プロパン酸（プロピオン酸）、ペンタン酸（バレリアン酸）、ヘキサン酸（カプロン酸）など、分岐状の飽和又は不飽和モノカルボン酸類として、２−メチルペンタン酸、２−エチルヘキサン酸など、非分岐状の飽和又は不飽和ジー又はトリ−カルボン酸類として、プロパン二酸（マロン酸）、ブタン二酸（コハク酸）、ペンタン二酸（グルタル酸、ヘキサン二酸（アジピン酸）、芳香族モノ−、ジー、及びトリーカルボン酸として、安息香酸、２−カルボキシ安息香酸（フタル酸）、３−カルボキシ安息香酸（イソフタル酸）、４−カルボキシ安息香酸（テレフタル酸）、３，４−ジカルボキシ安息香酸（トリメリト酸）、ヒドロキシ酸として、ヒドロキシフェニル酢酸（マンデリン酸）、２−ヒドロキシプロピオン酸（乳酸）、ヒドロキシコハク酸（マレイン酸）、２，３−ジヒドロキシブタン二酸（酒石酸）、２−ヒドロキシ−１，２，３−プロパントリカルボン酸（クエン酸）、アスコルビン酸、２−ヒドロキシ安息香酸（サリチル酸）、３，４，５−トリヒドロキシ安息香酸（没食子酸）など、ならびにそれらの混合物が含まれる。アルカリの例としては、それらに限定されるものではないが、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化アンモニウム、水酸化テトラメチルアンモニウム、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、水酸化アンモニウム、ジエチルアミン、ジメチルアミン、トリメタノールアミン、ブチルジメチルアミン、ジブチルメチルアミン、トリヒドロキシアミン、モノプロピルアミン、ジプロピルアミン、トリプロピルアミン、モノプロパノールアミン、ジプロパノールアミン、トリプロパノールアミン、モノイソプロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン、トリイソプロパノールアミン、ｎ−ブチルアミン、ｔ−ブチルアミン、メチルプロピルアミン、エチルジメチルアミン、２−アミノ−１，３−プロパンジオール、２−アミノ−２−メチル−１，３−プロパンジオール、エタノールプロパノールアミン、２−（ブチルアミノ）エタノール、２−（シクロヘキシルアミノ）エタノール、２−アミノ−１−ブタノール、２−（２‘アミノエトキシ）エタノール、ビス（アミノエチル）アミン、ビス（アミノプロピル）アミン、トリス（アミノエチル）アミン、トリス（アミノプロピル）アミン、ピリジン、ピペリジン、モルホリン、アニリン、及びそれらの混合物が含まれる。

通常、処理安定剤のポリシラザン廃棄物に対する比、約１：２〜約１：１４で処理安定剤はポリシラザン廃棄物に添加され、約１：４〜約１：１０、約１：６〜約１：９、さらには約１：７〜約１：９の比もまた考慮される。処理安定剤のための担体溶媒は任意である。

本発明により、２つの主たる問題が確認されかつ解決された。安定剤を添加しなかったりその量が不十分であったりした場合、あるいは、費やした保持時間が十分に長くなかった場合、ポリシラザン−有機廃棄物は分解し続けることになる。これは、ドラムを過圧したり膨ませたりする排ガスが誘発される恐れがあり、その結果ドラムが破損することがある。上記で指摘したように、ポリシラザン廃棄物に対して不適当な中和溶液や安定剤溶液あるいは過剰な安定剤溶液を加えた場合、廃棄保持容器内で安定剤溶液が相互作用により安定化を制限する二相分離を形成したり、あるいは溶液が反応して重合化（すなわち、固体ゲルの形成）や沈殿物（すなわち、ケイ酸塩の塩）を生じさせたりする恐れがある。安定化が遅くなったこと及び／又は廃棄物保持タンクの凝固したゲルや沈殿した廃棄物溶液の清掃が必要であることにより、工程の休止期間中に相当な過剰経費がかかる結果となるであろう。

本発明者等はプロセスウィンドウ（ｐｒｏｃｅｓｓ ｗｉｎｄｏｗ）の存在を発見した。もし中和溶液又は安定化溶液の添加が少なすぎる場合、残存するポリシラザンが廃棄物流中に存在する成分と反応し続けて排ガス（ｏｆｆ−ｇａｓ）が生じる恐れがある。もし中和溶液又は安定化溶液の廃棄物溶液への添加が多すぎる場合、ゲルの形成や沈殿が生じる結果を招く恐れがある。もし不適当な中和溶液又は安定化溶液を用いた場合、添加量が少なすぎる場合や二相分離が生じ得る場合と同様に廃棄物溶液は十分に安定化されず、ポリシラザンと安定剤との接触に悪影響を及ぼして安定化速度を遅くしたり、ゲルが形成したり沈殿したりする結果となり、それによって移し換えならびに廃棄処理がさらに困難なものとなる。

ＯＨ含有化合物（例えば、アルコール類、エーテルアルコール類、グリコール類、カルボン酸類）単独あるいは反応開始剤（例えば、アルカリ）との組み合わせを用いることにより、ポリシラザン廃棄物溶液を中和すなわち安定化することが可能であった。中和又は安定化の絶対的程度は、添加するＯＨ含有化合物単独あるいは反応開始剤との混合物の反応活性、品質、濃度に依存してよい。組み合わせて用いるとき、ＯＨ含有化合物に添加するアルカリの量は存在するＯＨ含有化合物の量に基づいて約２％乃至約２０％である。

ＯＨ含有化合物の例には、それらに限定されるものではないが、例えば、アルコール類、エーテルアルコール類、グリコール類、及びカルボン酸類ならびにそれらの混合物が含まれる。アルコールの例には、それらに限定されるものではないが、メタノール、エタノール、ｎ−プロパノール、イソプロパノール、ｎ−ブタノール、ｓｅｃ−ブタノール、フェノールなどが含まれる。エーテルアルコール類の例には、それらに限定されるものではないが、例えば、１−ブトキシエトキシ−２−プロパノール、３−メチル−３−メトキシブタノール、エチレングリコールｎ−ブチルエーテル、エチレングリコールフェニルエーテル、エチレングリコールプロピルエーテル、ジエチレングリコールヘキシルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールエチルエーテル、プロピレングリコールイソブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールｎ−プロピルエーテル、プロピレングリコールフェニルエーテル、プロピレングリコール−ｔ−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル、トリエチレングリコールエチルエーテル、トリエチレングリコールメチルエーテル、トリエチレングリコールｎ−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテル、トリプロピレングリコールｎ−ブチルエーテル、及びそれらの混合物が含まれる。グリコール類の例には、それらに限定されるものではないが、例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール、ヘキシレングリコール、ブタンジオール、グリセリンなど、及びそれらの混合物が含まれる。カルボン酸類の例には、それらに限定されるものではないが、例えば、非分岐状の飽和又は不飽和モノカルボン酸類として、メタン酸（ギ酸）、エタン酸（酢酸）、プロパン酸（プロピオン酸）、ペンタン酸（バレリアン酸）、ヘキサン酸（カプロン酸）、分岐状の飽和又は不飽和モノカルボン酸として、２−メチルペンタン酸、２−エチルヘキサン酸、非分岐状の飽和又は不飽和ジ−又はトリーカルボン酸として、プロパン二酸（マロン酸）、ブタン二酸（コハク酸）、ペンタン二酸（グルタル酸）、ヘキサン二酸（アジピン酸）、芳香族モノ−、ジ−及びトリ−カルボン酸として、安息香酸、２−カルボキシ安息香酸（フタル酸）、３−カルボキシ安息香酸（イソフタル酸）、４−カルボキシ安息香酸（テレフタル酸）、３，４−ジカルボキシ安息香酸（トリメリト酸）、ヒドロキシ酸として、ヒドロキシフェニル酢酸（マンデル酸）、２−ヒドロキシプロピオン酸（乳酸）、ヒドロキシコハク酸（マレイン酸）、２，３−ジヒドロキシブタン二酸（酒石酸）、２−ヒドロキシ−１，２，３−プロパントリカルボン酸（クエン酸）、アスコルビン酸、２−ヒドロキシ安息香酸（サリチル酸）、３，４，５−トリヒドロキシ安息香酸（没食子酸）など、及びそれらの混合物が含まれる。アルカリの例としては、それらに限定されるものではないが、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化アンモニウム、水酸化テトラメアンモニウム、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、水酸化アンモニウム、ジエチルアミン、ジメチルアミン、トリメタノールアミン、ブチルジメチルアミン、ジブチルメチルアミン、トリヒドロキシアミン、モノプロピルアミン、ジプロピルアミン、トリプロピルアミン、モノプロパノールアミン、ジプロパノールアミン、トリプロパノールアミン、モノイソプロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン、トリイソプロパノールアミン、ｎ−ブチルアミン、ｔ−ブチルアミン、メチルプロピルアミン、エチルジメチルアミン、２−アミノ−１，３−プロパンジオール、２−アミノ−２−メチル−１，３−プロパンジオール、エタノールプロパノールアミン、２−（ブチルアミノ）エタノール、２−（シクロヘキシルアミノ）エタノール、２−アミノ−１−ブタノール、２−（２‘アミノエトキシ）エタノール、ビス（アミノエチル）アミン、ビス（アミノプロピル）アミン、トリス（アミノエチル）アミン、トリス（アミノプロピル）アミン、ピリジン、ピペリジン、モルホリン、アニリン、及びそれらの混合物が含まれる。

処理安定剤に添加されるその他の任意の材料とは担体溶媒である。担体溶媒はポリシラザンと反応しないものである。例としては、炭化水素溶媒（例えば、テトラヒドロナフタレン）、酢酸エーテル（例えば、酢酸プロピレングリコールモノメチルエーテル）、及びポリシラザンと反応しないその他の類似の溶媒が含まれる。いくつかの好ましい実施形態は、処理安定剤溶液を形成するのに、６０℃（１４０°Ｆ）を超える引火点を有する担体溶媒を含む。

本発明によって得られる利点の一つとは、処理したポリシラザン廃棄物を、非有害な廃棄物として廃棄することが可能となることである。担体溶媒、アルコール、及びアルコールとアルカリとの混合物を含んでなる処理安定剤を適切な量で用いたとき、高い引火点の担体溶媒を使用した場合に、処理したポリシラザン廃棄物の引火点は６０℃より大きい。これにより、廃棄物は非有害物として移されかつ燃料配合物に有用となるため、廃棄が簡便となる。したがって、その他の設備やポリシラザン材料が被覆される同じ設備からの溶媒の廃棄物流を担体溶媒として使用することができ、その際、廃棄物流の引火点は６０℃を超えるものとなる。

本発明の方法は、不安定化された廃棄物の廃棄処理に関して３つの主要な利点を提供するものである。
１） 安全性がより高いこと、
２） 時間を節約すること、
３） 費用効率がより高いこと。

廃棄物保管所に送られる廃棄物ドラムにポリシラザン廃棄物を投入する前にこれを安定化することにより、最悪なドラム破損を生じさせ得るようなドラムの加圧を引き起こす排ガスの発生という不安定化溶液の潜在性が排除される。また、全てのポリシラザン廃棄物は廃棄物ドラムに投入される前に安定化されるため、廃棄のためにドラムに移される廃棄物を、本発明の方法が用いられなかった場合に生じ得る発生ガスを排気するのにある期間放置する必要がない。最後に、安定化した廃棄物は、所望ならば、焼却の必要性のためではなく熱を回収するために燃料と配合することによって廃棄することができる。不安定化した廃棄物自体は、非常に不安定であるか又は非常に反応性が高いために燃料混合によって処理することができない。廃棄物を焼却する費用は、燃料混合による廃棄物処理の費用のおおよそ３倍である。

処理安定剤をポリシラザン廃棄物と接触させる場合、接触は現場で行うことができる。すなわち、ポリシラザン廃棄物が生じて保持タンク内に置かれると、その後ある量の処理安定剤を保持タンクに添加する。処理安定剤の量がポリシラザン廃棄物の量よりも多いため、分離ミキサを必要とすることなく混合される。

バッチ（ｂａｔｃｈ）条件では、ポリシラザン廃棄物は保持タンク内に保持されており、次いでこれがドラムにポンプで汲み入れられる場合、処理安定剤はポリシラザン廃棄物がドラム内にポンプで汲み入れられた後に添加するか、あるいはドラムに予めある量の処理安定剤を仕込み、次いでドラム内容物を撹拌する。

以下の実施例は、本発明を利用した方法を詳細に例示するものである。しかしながら、これらの実施例は本発明の範囲を何らかの方法で制限したり限定したりするものではないため、該実施例を、本発明を実施するために排他的に利用しなくてはならない条件、パラメータ、あるいは値を提供するもの、と解釈すべきではない。別途指示がない限り、全ての部ならびに百分率は重量部ならびに重量％である。

安定化の速度と程度の指標として絶対圧力測定を用いて安定化実験を行った。

両端にキャップをし、溶接してふさいだステンレス鋼管を用いて圧力実験を行った。最上部のキャップには６．３５ｍｍ（１／４インチ）ねじ山を設けた開口部があった。この１／４インチのねじ山を設けた開口部には、Ｔ継手（ｔｅｅ）に連結された６．３５ｍｍ（１／４インチ）管がねじ込まれていた。T継手の側部からは圧力調整器を備えたある長さの管が出ており、Ｔ継手の最上部には模擬のポリシラザン廃棄物と安定剤溶液とが導入されるように、注入隔膜が取り付けられた遮断弁が備えられていた。鋼管は、約５２．０７ｃｍ（２０．５インチ）〜５５．８８ｃｍ（２２インチ）の高さであり、５．０８ｃｍ（２インチ）の外径を有するものであった。使用した３つの加圧容器の内側容積は、容器１では６８０ｍｌ、容器２では６７０ｍｌ、容器３では７００ｍｌであった。

おおよそ９０ｍｌの模擬のポリシラザン有機廃棄物溶液（Ｓｐｉｎｆｉｌ（Ｒ）４５００２（ジ−ｎ−ブチルエーテル溶液としてのポリシラザン））と、ＡＺ（Ｒ）ＨＣ−１００（強い芳香を有する炭化水素混合物）又はＡＺ Ｓｐｉｎｆｉｌ（Ｒ） Ｒｉｎｓｅ ５００ ＥＢＲ Ｈ（２５：１の比で、デカヒドロナフタレンと１，２，３，４−テトラヒドロナフタレンの５０／５０（重量／重量）混合物）のいずれか一方を、加圧容器中に注入した。その後、以下の処理安定化溶液を加圧容器に添加し、時間の関数として生じる絶対圧力（ｂａｒ）を測定することによってそれらの有効性を評価した。

（ａ） １０ｍｌ メタノール（加圧容器を６０分間振動しなかった）
（ｂ） １０ｍｌ エタノール
（ｃ） ５ｍｌ エタノール／１０％エタノールアミン
（ｄ） １０ｍｌ エタノール／１０％エタノールアミン
（ｅ） ６ｍｌ エタノール／１０％エタノールアミン
（ｆ） ８ｍｌ エタノール／１０％エタノールアミン
約６時間の期間後、ほとんどの処理安定化溶液、（ａ）、（ｄ）〜（ｆ）は、廃棄物を安定化した（絶対圧力は約１．３７９ｂａｒ（２０ｐｓｉ）に達していた）。さらに接触時間が長い、処理安定化溶液（ｂ）及び（ｃ）もまた廃棄物を安定化するものと予測された。

実施例における、別途明確に指示する場合を除いて、本明細書で特定する材料の量、反応条件（温度など）、分子量、炭素原子数などにおける全ての数量は、“約”という単語で修正されるものと理解すべきである。

本発明をその好ましい実施形態に関連して説明してきたが、当業者等にはそれらの多種多様な修正型は本明細書を読むことによって明らかなものとなるであろうことは理解すべきである。したがって、ここに開示の本発明は、そのような修正型も添付の請求項の範囲内であるよう、その範囲が及ぶことを意図するものである。

Claims (20)

1. ポリシラザン廃棄物を、ＯＨ含有化合物、及び、ＯＨ含有化合物とアルカリとの混合物からなる群から選択される処理安定剤と接触させることからなることを特徴とする、ポリシラザン廃棄物の処理方法。
2. 前記ポリシラザン廃棄物と処理安定剤との接触が、（ａ）前記処理安定剤を、ポリシラザン廃棄物の廃棄物流中に注入すること、（ｂ）前記処理安定剤を、ポリシラザン廃棄物を収容する容器中に添加すること、あるいは（ｃ）前記ポリシラザン廃棄物を、処理安定剤を収容する容器中に添加すること、によって起こることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
3. 前記処理安定剤が、担体溶媒をさらに含むことを特徴とする、請求項１又は２に記載の方法。
4. 前記処理安定剤が、アルコール類、エーテルアルコール類、グリコール類、カルボン酸類、及びそれらの混合物から選択されるＯＨ含有化合物であることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれかに記載の方法。
5. 前記ＯＨ含有化合物が、アルコール類、エーテルアルコール類、及びそれらの混合物から選択されることを特徴とする、請求項４に記載の方法。
6. 前記処理安定剤が、ＯＨ含有化合物とアルカリとの混合物であることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれかに記載の方法。
7. 前記ＯＨ含有化合物が、アルコール類、エーテルアルコール類、グリコール類、カルボン酸類、及びそれらの混合物から選択されることを特徴とする、請求項６に記載の方法。
8. 前記ＯＨ含有化合物が、アルコール類、エーテルアルコール類、及びそれらの混合物から選択されることを特徴とする、請求項７に記載の方法。
9. 前記処理安定剤が、約１：２の処理安定剤：ポリシラザン廃棄物乃至約１：１４の処理安定剤：ポリシラザン廃棄物の比で前記ポリシラザン廃棄物に添加されることを特徴とする、請求項１乃至８のいずれかに記載の方法。
10. 前記処理安定剤が、約１：４の処理安定剤：ポリシラザン廃棄物乃至約１：１０の処理安定剤：ポリシラザン廃棄物の比で前記ポリシラザン廃棄物に添加されることを特徴とする、請求項９に記載の方法。
11. 前記処理安定剤が、約１：６の処理安定剤：ポリシラザン廃棄物乃至約１：９の処理安定剤：ポリシラザン廃棄物の比で前記ポリシラザン廃棄物に添加されることを特徴とする、請求項１０に記載の方法。
12. 前記処理安定剤が、約１：７の処理安定剤：ポリシラザン廃棄物乃至約１：９の処理安定剤：ポリシラザン廃棄物の比で前記ポリシラザン廃棄物に添加されることを特徴とする、請求項１１に記載の方法。
13. ＯＨ含有化合物又は、ＯＨ含有化合物とアルカリとの混合物の、ポリシラザン廃棄物を処理するための処理安定剤としての使用。
14. 前記処理安定剤が担体溶媒をさらに含むことを特徴とする、請求項１３に記載の使用。
15. ＯＨ含有化合物、及び、ＯＨ含有化合物とアルカリとの混合物とからなる群から選択される、ポリシラザン廃棄物用処理安定剤。
16. 前記処理安定剤が、アルコール類、エーテルアルコール類、グリコール類、カルボン酸類、及びそれらの混合物から選択されるＯＨ含有化合物であることを特徴とする、請求項１５に記載の処理安定剤。
17. 前記ＯＨ含有化合物が、アルコール類、エーテルアルコール類、及びそれらの混合物から選択されることを特徴とする、請求項１６に記載の処理安定剤。
18. 前記処理安定剤が、ＯＨ含有化合物とアルカリとの混合物であることを特徴とする、請求項１５に記載の処理安定剤。
19. 前記ＯＨ含有化合物が、アルコール類、エーテルアルコール類、グリコール類、カルボン酸類、及びそれらの混合物から選択されることを特徴とする、請求項１８に記載の処理安定剤。
20. 前記ＯＨ含有化合物が、アルコール類、エーテルアルコール類、及びそれらの混合物から選択されることを特徴とする、請求項１９に記載の処理安定剤。