TWI426095B - 聚矽氮烷廢料之處理 - Google Patents

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Description

聚矽氮烷廢料之處理
本發明係關於處理聚矽氮烷廢料之方法，以便更安全、更成本有效地處理廢料。
聚矽氮烷用於製造諸如半導體裝置及平板螢幕等基板表面上之固體矽酸鹽(即玻璃)塗層。於塗覆製程後，使用邊緣珠粒去除溶劑系統實施邊緣珠粒去除製程。於該邊緣珠粒去除製程後，使用有機溶液沖洗掉設備表面之所有殘餘聚矽氮烷。然後，該聚矽氮烷有機制程廢料流被沖洗著沿引流管向下流動，經由轉移管線到達製程廢料存儲容器。於填滿後，可密封該製程廢料存儲容器或可使液體轉移至其他廢料容器，留待轉移來實施廢料處置。
目前之處置製程需要將未穩定之聚矽氮烷有機制程廢料流收集於廢料存儲容器中，直至該容器填滿。於該存儲容器填滿後，將廢料轉移至通氣桶中來進行廢料之臨時穩定。最後，密封該桶並運送以進行廢料處置。
目前之處置製程存在數種問題。未穩定之聚矽氮烷廢料可與無意間存在之污染物(即供OH化學品；水、醇類、醛類等)反應。該反應導致聚矽氮烷之分解，產生氫、氨及矽烷氣體。聚矽氮烷有機廢料必須加以穩定(亦稱為中和)，以便若廢料溶液與任何無意之污染物接觸，則其將不經受進一步之分解。
另外，廢料桶保持通風，從而聚矽氮烷有機廢料能排放氣體，建議保持時間為10天。若建議之通氣時間不足以使聚矽氮烷－有機廢料"穩定"，則其將繼續排放氣體。此進一步之分解可造成廢料容器變形(即膨脹)，最終可導致容器之徹底的災難性損壞。此帶來嚴重的潛在健康及安全問題。
另外，若使用不適宜的材料來中和聚矽氮烷或使用過量溶液來穩定聚矽氮烷－有機廢料或於不恰當的點添加，則可能得到溶液之兩相分離，或與廢料之反應可形成固體凝膠或鹽沉澱。該等皆係不期望之副反應。
因此，需要一種更安全、問題更少之處理聚矽氮烷廢料之方法。
本發明係關於處理聚矽氮烷廢料之方法，其包括使聚矽氮烷廢料與選自由含OH化合物及含OH化合物與鹼之混合物組成之群之處理穩定劑接觸。處理穩定劑或處理穩定劑溶液可藉由下列方式與聚矽氮烷廢料接觸：(a)將處理穩定劑注入聚矽氮烷廢料之廢料流中；(b)將處理穩定劑添加入含聚矽氮烷廢料之容器中；或(c)將聚矽氮烷廢料添加入含處理穩定劑之容器中。
含OH化合物之實例包括但不限於，舉例而言，醇、醚醇、二醇及羧酸及其混合物。醇之實例包括但不限於甲醇、乙醇、正丙醇、異丙醇、正丁醇、第二丁醇、酚及諸如此類。醚醇之實例包括但不限於，舉例而言，1－丁氧基乙氧基－2－丙醇、3－甲基－3－甲氧基丁醇、乙二醇正丁基醚、乙二醇苯基醚、乙二醇丙基醚、二乙二醇己基醚、二乙二醇單乙基醚、二乙二醇單甲基醚、二乙二醇單丁基醚、二乙二醇單丙基醚、丙二醇乙基醚、丙二醇異丁基醚、丙二醇單甲基醚、丙二醇單丁基醚、丙二醇單乙基醚、丙二醇正丙基醚、丙二醇苯基醚、丙二醇－第三丁基醚、二丙二醇乙基醚、二丙二醇單丁基醚、二丙二醇單甲基醚、二丙二醇單丙基醚、三乙二醇乙基醚、三乙二醇甲基醚、三乙二醇正丁基醚、三丙二醇甲基醚、三丙二醇正丁基醚及其混合物。二醇之實例包括但不限於，舉例而言，乙二醇、丙二醇、己二醇、丁二醇、甘油及諸如此類及其混合物。羧酸之實例包括但不限於，舉例而言，不具支鏈的飽和或不飽和單羧酸：甲酸(methanoic acid，formic acid)、乙酸(ethanoic acid，acetic acid)、丙酸(propanoic acid，propionic acid)、戊酸(pentanoic acid，valeric acid)、己酸(hexanoic acid，caproic acid)；具支鏈的飽和或不飽和單羧酸：2－甲基戊酸、2－乙基己酸；不具支鏈的飽和或不飽和二或三羧酸：丙二酸(propanedioic acid，malonic acid)、丁二酸(琥珀酸)、戊二酸(pentanedioic acid，glutaric acid)、己二酸(hexanedioic acid，adipic acid)；芳族單－、二－及三羧酸：苯甲酸、2－羧基苯甲酸(鄰苯二甲酸)、3－羧基苯甲酸(間苯二甲酸)、4－羧基苯甲酸(對苯二甲酸)、3,4－二羧基苯甲酸(偏苯三甲酸)；羥基酸：羥基苯基乙酸(扁桃酸)、2－羥基丙酸(乳酸)、羥基琥珀酸(馬來酸)、2,3－二羥基丁二酸(酒石酸)、2－羥基－1,2,3－丙烷三羧酸(檸檬酸)、抗壞血酸、2－羥基苯甲酸(水楊酸)、3,4,5－三羥基苯甲酸(沒食子酸)及諸如此類及其混合物。鹼之實例包括但不限於氫氧化鈉、氫氧化鉀、氫氧化銨、氫氧化四甲銨、單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、氫氧化銨、二乙基胺、二甲基胺、三甲醇胺、丁基二甲基胺、二丁基甲基胺、三羥基胺、單丙基胺、二丙基胺、三丙基胺、單丙醇胺、二丙醇胺、三丙醇胺、單異丙醇胺、二異丙醇胺、三異丙醇胺、正丁基胺、第三丁基胺、甲基丙基胺、乙基二甲基胺、2－胺基－1,3－丙二醇、2－胺基－2－甲基－1,3－丙二醇、乙醇丙醇胺、2－(丁基胺基)乙醇、2－(環己基胺基)乙醇、2－胺基－1－丁醇、2－(2'－胺基乙氧基)乙醇、雙(胺基乙基)胺、雙(胺基丙基)胺、叁(胺基乙基)胺、叁(胺基丙基)胺、吡啶、六氫吡啶、嗎啉、苯胺及其混合物。
處理穩定劑通常以約1：2至約1：14之處理穩定劑：聚矽氮烷廢料之比率添加至聚矽氮烷廢料中，約1：4至約1：10、約1：6到約1：9及約1：7至約1：9之比率亦涵蓋在內。處理穩定劑之載體溶劑係可選的。
本發明係關於處理聚矽氮烷廢料之方法，其包括使聚矽氮烷廢料與選自由含OH化合物及含OH化合物與鹼之混合物組成之群之處理穩定劑接觸。處理穩定劑或處理穩定劑溶液可藉由下列方式與聚矽氮烷廢料接觸：(a)將處理穩定劑注入聚矽氮烷廢料之廢料流中；(b)將處理穩定劑添加入含聚矽氮烷廢料之容器中；或(c)將聚矽氮烷廢料添加入含處理穩定劑之容器中。
含OH化合物之實例包括但不限於，舉例而言，醇、醚醇、二醇及羧酸及其混合物。醇之實例包括但不限於甲醇、乙醇、正丙醇、異丙醇、正丁醇、第二丁醇、酚及諸如此類。醚醇之實例包括但不限於，舉例而言，1－丁氧基乙氧基－2－丙醇、3－甲基－3－甲氧基丁醇、乙二醇正丁基醚、乙二醇苯基醚、乙二醇丙基醚、二乙二醇己基醚、二乙二醇單乙基醚、二乙二醇單甲基醚、二乙二醇單丁基醚、二乙二醇單丙基醚、丙二醇乙基醚、丙二醇異丁基醚、丙二醇單甲基醚、丙二醇單丁基醚、丙二醇單乙基醚、丙二醇正丙基醚、丙二醇苯基醚、丙二醇－第三丁基醚、二丙二醇乙基醚、二丙二醇單丁基醚、二丙二醇單甲基醚、二丙二醇單丙基醚、三乙二醇乙基醚、三乙二醇甲基醚、三乙二醇正丁基醚、三丙二醇甲基醚、三丙二醇正丁基醚及其混合物。二醇之實例包括但不限於，舉例而言，乙二醇、丙二醇、己二醇、丁二醇、甘油及諸如此類及其混合物。羧酸之實例包括但不限於，舉例而言，不具支鏈的飽和或不飽和單羧酸：甲酸(methanoic acid，formic acid)、乙酸(ethanoic acid，acetic acid)、丙酸(propanoic acid，propionic acid)、戊酸(pentanoic acid，valeric acid)、己酸(hexanoic acid，caproic acid)；具支鏈的飽和或不飽和單羧酸：2－甲基戊酸、2－乙基己酸；不具支鏈的飽和或不飽和二或三羧酸：丙二酸(propanedioic acid，malonic acid)、丁二酸(琥珀酸)、戊二酸(pentanedioic acid，glutaric acid)、己二酸(hexanedioic acid，adipic acid)；芳族單－、二－及三羧酸：苯甲酸、2－羧基苯甲酸(鄰苯二甲酸)、3－羧基苯甲酸(間苯二甲酸)、4－羧基苯甲酸(對苯二甲酸)、3,4－二羧基苯甲酸(偏苯三甲酸)；羥基酸：羥基苯基乙酸(扁桃酸)、2－羥基丙酸(乳酸)、羥基琥珀酸(馬來酸)、2,3－二羥基丁二酸(酒石酸)、2－羥基－1,2,3－丙烷三羧酸(檸檬酸)、抗壞血酸、2－羥基苯甲酸(水楊酸)、3,4,5－三羥基苯甲酸(沒食子酸)及諸如此類及其混合物。鹼之實例包括但不限於氫氧化鈉、氫氧化鉀、氫氧化銨、氫氧化四甲銨、單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、氫氧化銨、二乙基胺、二甲基胺、三甲醇胺、丁基二甲基胺、二丁基甲基胺、三羥基胺、單丙基胺、二丙基胺、三丙基胺、單丙醇胺、二丙醇胺、三丙醇胺、單異丙醇胺、二異丙醇胺、三異丙醇胺、正丁基胺、第三丁基胺、甲基丙基胺、乙基二甲基胺、2－胺基－1,3－丙二醇、2－胺基－2－甲基－1,3－丙二醇、乙醇丙醇胺、2－(丁基胺基)乙醇、2－(環己基胺基)乙醇、2－胺基－1－丁醇、2－(2'－胺基乙氧基)乙醇、雙(胺基乙基)胺、雙(胺基丙基)胺、叁(胺基乙基)胺、叁(胺基丙基)胺、吡啶、六氫吡啶、嗎啉、苯胺及其混合物。
該處理穩定劑通常以約1：2至約1：14之處理穩定劑：聚矽氮烷廢料之比率添加至聚矽氮烷廢料中，約1：4至約1：10、約1：6到約1：9及約1：7至約1：9之比率亦涵蓋在內。處理穩定劑之載體溶劑係可選的。
本發明已識別並解決兩大問題。若未添加穩定劑或添加之穩定劑不足或者保持時間不夠長，則聚矽氮烷－有機廢料將繼續分解。此可導致進一步之氣體排放，造成桶壓力過大並膨脹，這又可導致桶破裂。如先前所述，若添加不適宜的中和或穩定溶液或添加過多的穩定溶液，則聚矽氮烷廢料與穩定溶液可相互反應，形成兩相分離，從而使穩定受限或該等溶液可反應而在廢料存儲容器中導致聚合(即固體凝膠形成)或沉澱(即矽酸鹽)。此將帶來製程中斷時間中之相當大成本，這是由於穩定變慢及/或必須清除廢料存儲槽中之固化之凝膠或沉澱之廢料溶液。
我們已發現存在一製程窗口。若添加之中和溶液或穩定溶液過少，則殘餘之聚矽氮烷能繼續與廢料流中存在之材料反應而排放氣體。若添加至廢料溶液中之中和或穩定溶液過多，則可形成凝膠或沉澱。若使用不適宜的中和或穩定溶液，則類似於添加量過少，將不能恰當地穩定溶液，或可發生兩相分離，影響聚矽氮烷與穩定劑之接觸，減緩穩定速率，或可導致形成凝膠或沉澱，使得轉移及處置更加困難。
單獨使用含OH化合物(例如醇、醚醇、二醇、羧酸)之組合或使之與反應起始劑(例如鹼)結合使用，可中和或穩定聚矽氮烷廢料溶液。絕對的中和或穩定程度可能取決於單獨或與添加之反應起始劑混合物組合之含OH化合物之相對活性、量及濃度。當組合使用時，以存在的該含OH化合物之量計，添加至該含OH化合物中之鹼之量介於約2%至約20%之間。
含OH化合物之實例包括但不限於，舉例而言，醇、醚醇、二醇及羧酸及其混合物。醇之實例包括但不限於甲醇、乙醇、正丙醇、異丙醇、正丁醇、第二丁醇、酚及諸如此類。醚醇之實例包括但不限於，舉例而言，1－丁氧基乙氧基－2－丙醇、3－甲基－3－甲氧基丁醇、乙二醇正丁基醚、乙二醇苯基醚、乙二醇丙基醚、二乙二醇己基醚、二乙二醇單乙基醚、二乙二醇單甲基醚、二乙二醇單丁基醚、二乙二醇單丙基醚、丙二醇乙基醚、丙二醇異丁基醚、丙二醇單甲基醚、丙二醇單丁基醚、丙二醇單乙基醚、丙二醇正丙基醚、丙二醇苯基醚、丙二醇－第三丁基醚、二丙二醇乙基醚、二丙二醇單丁基醚、二丙二醇單甲基醚、二丙二醇單丙基醚、三乙二醇乙基醚、三乙二醇甲基醚、三乙二醇正丁基醚、三丙二醇甲基醚、三丙二醇正丁基醚及其混合物。二醇之實例包括但不限於，舉例而言，乙二醇、丙二醇、己二醇、丁二醇、甘油及諸如此類及其混合物。羧酸之實例包括但不限於，舉例而言，不具支鏈的飽和或不飽和單羧酸：甲酸(methanoic acid，formic acid)、乙酸(ethanoic acid，acetic acid)、丙酸(propanoic acid，propionic acid)、戊酸(pentanoic acid，valeric acid)、己酸(hexanoic acid，caproic acid)；具支鏈的飽和或不飽和單羧酸：2－甲基戊酸、2－乙基己酸；不具支鏈的飽和或不飽和二或三羧酸：丙二酸(propanedioic acid，malonic acid)、丁二酸(琥珀酸)、戊二酸(pentanedioic acid，glutaric acid)、己二酸(hexanedioic acid，adipic acid)；芳族單－、二－及三羧酸：苯甲酸、2－羧基苯甲酸(鄰苯二甲酸)、3－羧基苯甲酸(間苯二甲酸)、4－羧基苯甲酸(對苯二甲酸)、3,4－二羧基苯甲酸(偏苯三甲酸)；羥基酸：羥基苯基乙酸(扁桃酸)、2－羥基丙酸(乳酸)、羥基琥珀酸(馬來酸)、2,3－二羥基丁二酸(酒石酸)、2－羥基－1,2,3－丙烷三羧酸(檸檬酸)、抗壞血酸、2－羥基苯甲酸(水楊酸)、3,4,5－三羥基苯甲酸(沒食子酸)及諸如此類，及其混合物。鹼之實例包括但不限於氫氧化鈉、氫氧化鉀、氫氧化銨、氫氧化四甲銨、單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、氫氧化銨、二乙基胺、二甲基胺、三甲醇胺、丁基二甲基胺、二丁基甲基胺、三羥基胺、單丙基胺、二丙基胺、三丙基胺、單丙醇胺、二丙醇胺、三丙醇胺、單異丙醇胺、二異丙醇胺、三異丙醇胺、正丁基胺、第三丁基胺、甲基丙基胺、乙基二甲基胺、2－胺基－1,3－丙二醇、2－胺基－2－甲基－1,3－丙二醇、乙醇丙醇胺、2－(丁基胺基)乙醇、2－(環己基胺基)乙醇、2－胺基－1－丁醇、2－(2'－胺基乙氧基)乙醇、雙(胺基乙基)胺、雙(胺基丙基)胺、叁(胺基乙基)胺、叁(胺基丙基)胺、吡啶、六氫吡啶、嗎啉、苯胺及其混合物。
另一添加至該處理穩定劑中之可選材料係載體溶劑。該載體溶劑係不與聚矽氮烷反應者。實例包括烴溶劑(例如四氫萘)、醚乙酸酯(例如，丙二醇單甲基醚乙酸酯)及其他不與聚矽氮烷反應之類似溶劑。某些較佳實施例含有具有140℉以上之閃燃點之載體溶劑，以形成處理穩定劑溶液。
本發明益處之一係能夠將經處理之聚矽氮烷廢料處置為無害廢料。當包含載體溶劑及醇以及醇與鹼之混合物之處理穩定劑以適宜量使用時，若使用高閃燃點載體溶劑，則經處理聚矽氮烷廢料之閃燃點大於140℉。此使得處置更簡單，乃因現在廢料可作為無害廢料運輸並且變得可用於燃料摻混。因此，來自其他設施或甚至來自塗覆聚矽氮烷材料之同一設施之溶劑之廢料流可作用載體溶劑，但該廢料流之閃燃點須大於140℉。
本發明製程提供三個主要優於未穩定廢料之處置之優點：1)更安全，2)節省時間3)更成本有效。
藉由在填滿廢料桶以運送至廢料存放地點之前穩定聚矽氮烷廢料，可消除不穩定的溶液排放氣體而導致桶之壓力上升因而可能導致桶嚴重損壞之可能性。並且，由於所有聚矽氮烷廢料皆在廢料桶之填裝之前先經穩定，故轉移至桶中以待處置之廢料不必放置一段時間來排掉在不使用本發明製程情況下可能積聚的氣體。最後，若需要，可藉由燃料摻混處置經穩定的廢料來回收熱量而無需焚化之。未經穩定之廢料本身過於不穩定或反應性過高，因而無法藉由燃料摻混處置。焚化廢料之成本約係藉由燃料摻混處置廢料之成本的3倍。
當使處理穩定劑與聚矽氮烷廢料接觸時，該接觸可就地發生。即，當聚矽氮烷廢料產生並置於存儲槽內時，然後將一定量之處理穩定劑添加至該存儲槽中。由於該處理穩定劑之量將大於該聚矽氮烷廢料之量，故將進行混雜而無需單獨的混合器。
在批料情況下，其中聚矽氮烷廢料係收集於存儲槽中，然後泵入桶中，於聚矽氮烷廢料泵入桶中後將處理穩定劑添加至桶中，或桶中預添加有一定量之處理穩定劑，然後攪拌桶內容物。
下例實例將提供對於利用本發明之方法之詳細闡述。然而，該等實例並不意欲以任何方式製約或限制本發明之範圍並且不應理解為提供必須僅使用該等來實施本發明之條件、參數或值。除非另有規定，否則所有份數及百分比皆以重量計。
實例
使用絕對壓力量測結果作為穩定之速率及程度之指示來實施穩定實驗。
壓力實驗使用不銹鋼管實施，該等不銹鋼管兩端有帽並銲嚴。頂部帽中有英吋之螺紋開口。於該英吋螺紋開口中旋接有一連接至三通之英吋管。該三通側面係一定長度之管，在該三通之頂部有一壓力調節器，其具有一截止閥，截止閥上裝配有注入隔片，以允許引入該模擬聚矽氮烷廢料及穩定溶液。該等鋼管之長度約為20.5英吋至22英吋，外徑為2英吋。使用的三個壓力容器之內部容量為：壓力容器1為680毫升，壓力容器2為670毫升，而壓力容器3為700毫升。
向該等壓力容器中注入約90毫升模擬聚矽氮烷有機廢料溶液(Spinfil45002與AZHC－100或AZ SpinfilRinse 500 EBR，比率為25：1)。之後，向壓力容器內添加以下處理穩定劑溶液，藉由量測產生之作為時間函數之絕對壓力(psi)來評價彼等之功效：(a)10毫升甲醇(壓力容器未搖盪60分鐘)(b)10毫升乙醇(c)5毫升乙醇/10%乙醇胺(d)10毫升乙醇/10%乙醇胺(e)6毫升乙醇/10%乙醇胺(f)8毫升乙醇/10%乙醇胺
於約6小時後，大多數處理穩定劑溶液即(a)及(d)至(f)已穩定廢料(絕對壓力達約20 psi)。在接觸更長時間之情況下，處理穩定劑溶液(b)及(c)預計亦可穩定廢料。
除在實例中外，或若另有明確說明，本發明中闡述之材料、反應條件(例如溫度)、分子量、碳原子數量等之量應理解為由詞"約"修飾。
雖然已在本發明之較佳實施例方面對本發明予以闡釋，但應理解，熟習此項技術者於閱讀說明書後可明瞭其各種修飾形式。因此，應理解此處揭示之本發明意欲將此等修飾形式涵蓋在隨附申請專利範圍之範圍內。

Claims (20)

  1. 一種處理聚矽氮烷廢料之方法，其包括以聚矽氮烷溶液塗佈基材，將殘留之聚矽氮烷廢料沖洗至引流管中，自該引流管收集聚矽氮烷廢料，使該聚矽氮烷廢料與選自由含OH化合物及含OH化合物與鹼之混合物組成之群之處理穩定劑接觸，其中該含OH化合物係選自醇、醚醇、二醇、羧酸及其混合物，且進一步該接觸係在室溫下進行。
  2. 如請求項1之方法，其中該聚矽氮烷廢料與處理穩定劑之接觸係藉由以下發生：(a)將該處理穩定劑注入聚矽氮烷廢料之廢料流中；(b)將該處理穩定劑添加入含聚矽氮烷廢料之容器中；或(c)將該聚矽氮烷廢料添加入含處理穩定劑之容器中。
  3. 如請求項1之方法，其中該處理穩定劑另外包含載體溶劑。
  4. 如請求項1之方法，其中該處理穩定劑係選自醇、醚醇、二醇及其混合物之含OH化合物。
  5. 如請求項1之方法，其中該含OH化合物係選自醇及其混合物。
  6. 如請求項1之方法，其中該處理穩定劑係含OH化合物與鹼之混合物，其中該含OH化合物係選自醇、醚醇、二醇、羧酸及其混合物。
  7. 如請求項6之方法，其中該含OH化合物係選自醇、醚醇、二醇、羧酸及其混合物。
  8. 如請求項7之方法，其中該含OH化合物係選自醇、醚醇及其混合物。
  9. 如請求項1之方法，其中該處理穩定劑係以自約1：2處理穩定劑：聚矽氮烷廢料至約1：14處理穩定劑：聚矽氮烷廢料之比率添加至該聚矽氮烷廢料中。
  10. 如請求項1之方法，其中該處理穩定劑以自約1：4處理穩定劑：聚矽氮烷廢料至約1：10處理穩定劑：聚矽氮烷廢料之比率添加至該聚矽氮烷廢料中。
  11. 如請求項1之方法，其中該處理穩定劑以自約1：6處理穩定劑：聚矽氮烷廢料至約1：9處理穩定劑：聚矽氮烷廢料之比率添加至該聚矽氮烷廢料中。
  12. 如請求項1之方法，其中該處理穩定劑以自約1：7處理穩定劑：聚矽氮烷廢料至約1：9處理穩定劑：聚矽氮烷廢料之比率添加至該聚矽氮烷廢料中。
  13. 一種處理聚矽氮烷廢料之方法，其包括以聚矽氮烷溶液塗佈基材，將殘留之聚矽氮烷廢料沖洗至引流管中，自該引流管收集聚矽氮烷廢料，使該聚矽氮烷廢料與處理穩定劑溶液接觸，其中該處理穩定劑溶液包含載體溶劑及選自由含OH化合物及含OH化合物與鹼之混合物組成之群之處理穩定劑，其中該含OH化合物係選自醇、醚醇、二醇、羧酸及其混合物，且進一步該接觸係在室溫下進行。
  14. 如請求項13之方法，其中該聚矽氮烷廢料與處理穩定劑溶液之接觸係藉由以下發生：(a)將該處理穩定劑溶液注 入聚矽氮烷廢料之廢料流中；(b)將該處理穩定劑溶液添加入含聚矽氮烷廢料之容器中；或(c)將該聚矽氮烷廢料添加入含處理穩定劑溶液之容器中。
  15. 一種用於聚矽氮烷廢料之處理穩定劑，其係選自由含OH化合物及含OH化合物與鹼之混合物組成之群，其中該含OH化合物係選自醇、醚醇、二醇、羧酸及其混合物，且進一步該處理穩定劑與聚矽氮烷係在室溫下接觸。
  16. 如請求項15之處理穩定劑，其中該處理穩定劑係選自醇、醚醇、二醇及其混合物之含OH化合物。
  17. 如請求項16之處理穩定劑，其中該含OH化合物係選自醇及其混合物。
  18. 如請求項15之處理穩定劑，其中該處理穩定劑係含OH化合物與鹼之混合物，其中該含OH化合物係選自醇、醚醇、二醇、羧酸及其混合物。
  19. 如請求項18之處理穩定劑，其中該含OH化合物係選自醇、醚醇、二醇及其混合物。
  20. 如請求項19之處理穩定劑，其中該含OH化合物係選自醇及其混合物。
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