JP2009076893A - 塗布、現像装置、塗布、現像方法及び記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数設けられた各レジスト膜形成ブロックのレジスト膜形成用搬送手段が、互いに独立して当該ブロック内で各種の処理を行うモジュール間を基板を搬送し、また処理ブロック搬入用搬送手段が、各レジスト膜形成ブロックの搬入用受け渡しステージへ1枚ずつ基板を順にサイクリックに搬送すると共に露光装置搬入用搬送手段が、レジスト膜形成ブロックの搬入用受け渡しステージに搬送された順に各レジスト膜形成ブロックのバッファモジュールに搬入された基板を露光装置に搬入する。同等のスループットを達成するために1つのレジスト膜形成ブロックに同種のモジュールを複数ないしは多数設置する場合に比べて、レジスト膜形成用搬送手段の負荷が抑えられる。
【選択図】図8
Description
a)前記処理ブロックは、各々キャリアブロック側からインターフェイスブロック側へ向かって形成された複数のレジスト膜形成ブロック及び現像処理ブロックと、を備え、
b)前記レジスト膜形成ブロックは、キャリアブロックから搬入された基板が載置される搬入用受け渡しステージと、レジストを基板に塗布する塗布モジュールと、基板を加熱する加熱モジュールと、基板を冷却する冷却モジュールと、レジスト膜形成済みの基板を露光装置へ搬入する前に一時的に滞留させるバッファモジュールと、これらモジュール間で基板を搬送するレジスト膜形成用搬送手段と、を備え、
c)前記現像処理ブロックは、露光装置から払い出された露光済みの基板が載置される露光済み基板受け渡しステージと、現像液を基板に供給するための現像モジュールと、基板を加熱する加熱モジュールと、基板を冷却する冷却モジュールと、現像処理済みの基板が載置される現像済み基板受け渡しステージと、これらモジュール間で基板を搬送する現像処理用搬送手段と、を備え
d)各レジスト膜形成ブロックのバッファモジュールからインターフェイスブロックを介して基板を露光装置に搬入するための露光装置搬入用搬送手段と、
キャリアから払い出された基板を各レジスト膜形成ブロックの搬入用受け渡しステージへと搬送する処理ブロック搬入用搬送手段と、
現像処理ブロックの受け渡しステージから現像済みの基板を当該基板が払い出されたキャリアに戻すための払い戻し用搬送手段と、が設けられ、
e)各レジスト膜形成ブロックのレジスト膜形成用搬送手段は互いに独立して当該ブロック内の各モジュール間を基板を搬送し、
f)前記処理ブロック搬入用搬送手段は、各レジスト膜形成ブロックの搬入用受け渡しステージへ1枚ずつ基板を順にサイクリックに搬送すると共に前記露光装置搬入用搬送手段は、前記搬入用受け渡しステージに搬送された順に各レジスト膜形成ブロックのバッファモジュールに搬入された基板を露光装置に搬入することを特徴とする。
前記下層膜形成ブロックは、キャリアブロックから搬入された基板が載置される搬入用受け渡しステージと、下層膜を形成するための薬液を基板に塗布する塗布モジュールと、基板を加熱する加熱モジュールと、基板を冷却する冷却モジュールと、これらモジュール間で基板を搬送する下層膜形成用搬送手段と、下層膜が形成された基板を搬出するための搬出用ステージと、を備え、
前記処理ブロック搬入用搬送手段は、レジスト膜形成ブロックの搬入用受け渡しステージに基板を搬送する代わりに、前記下層膜形成ブロックの搬入用受け渡しステージに基板を搬入し、
下層膜形成ブロックの搬出用ステージから各レジスト膜形成ブロックの搬入用受け渡しステージへ1枚ずつ基板を順にサイクリックに搬送するブロック間受け渡し手段が設けられていてもよい。前記下層膜は例えば反射防止膜である。
前記上層膜形成ブロックは、上層膜を形成するための薬液を基板に塗布する塗布モジュールと、基板を加熱する加熱モジュールと、基板を冷却する冷却モジュールと、これらモジュール間で基板を搬送する上層膜形成用搬送手段と、を備え、
前記露光装置搬入用手段は、レジスト膜形成ブロックのバッファモジュールから基板を搬送する代わりに、レジスト膜形成ブロックの搬入用受け渡しステージに搬送された順に上層膜が形成された基板を前記上層膜形成ブロックからインターフェイスブロックを介して露光装置に搬入し、
レジスト膜形成済みの基板を露光装置へ搬入する前に一時的に滞留させる前記バッファモジュールは各レジスト膜形成ブロックか、当該レジスト膜形成ブロックの代わりに前記上層膜形成ブロックに設けられ、
レジスト膜が形成された基板をレジスト膜形成ブロックから上層膜形成ブロックへ搬送するためのブロック間搬送手段が設けられていてもよい。この場合、前記バッファモジュールは上層膜形成ブロックに設けられ、
前記ブロック間搬送手段は、レジスト膜が形成された基板を当該バッファモジュールへ搬送し、
上層膜形成ブロックは上層膜が形成された基板を搬出するための搬出用ステージを備え、
前記露光装置搬入用手段は、前記搬出用ステージから基板を搬出してもよい。そして、前記上層膜は例えば反射防止膜かまたは液浸露光を行う際にレジスト膜の表面を保護する保護膜である。
一の現像処理ブロックには他の現像処理ブロックよりも多くの現像モジュールが設けられ、
前記一の現像処理ブロックには複数枚連続して露光済みの基板が搬送され、且つ他の現像処理ブロックには1枚あるいは一の現像処理ブロックに連続して搬送される基板の枚数より少ない枚数の前記基板が連続して搬送され、
これらの一の現像ブロックへの基板の搬送と、他の現像ブロックへの基板の搬送とが交互に繰り返し行われてもよい。この場合例えば前記一の現像ブロックには他の現像ブロックの2倍の数の現像モジュールが設けられ、
一の現像ブロックへの2枚連続した基板の搬送と、他の現像ブロックへの1枚の基板の搬送が交互に行われる。レジスト膜形成ブロックにおいて塗布モジュール、加熱モジュール、冷却モジュールは例えば夫々複数設けられている。
a)前記処理ブロックは、各々キャリアブロック側からインターフェイスブロック側へ向かって形成された複数のレジスト膜形成ブロック及び現像処理ブロックと、を備え、
b)前記レジスト膜形成ブロックは、キャリアブロックから搬入された基板が載置される搬入用受け渡しステージと、レジストを基板に塗布する塗布モジュールと、基板を加熱する加熱モジュールと、基板を冷却する冷却モジュールと、レジスト膜形成済みの基板を露光装置へ搬入する一時的に滞留させるバッファモジュールと、これらモジュール間で基板を搬送するレジスト膜形成用搬送手段と、を備え、
c)前記現像処理ブロックは、露光装置から払い出された露光済みの基板が載置される露光済み基板受け渡しステージと、現像液を基板に供給するための現像モジュールと、基板を加熱する加熱モジュールと、基板を冷却する冷却モジュールと、現像処理済みの基板が載置される現像済み基板受け渡しステージと、これらモジュール間で基板を搬送する現像処理用搬送手段と、を備えており、
処理ブロック搬入用搬送手段により、キャリアから払い出された基板を各レジスト膜形成ブロックの搬入用受け渡しステージへ1枚ずつ基板を順にサイクリックに搬送する工程と、
各レジスト膜形成ブロックのレジスト膜形成用搬送手段によりこれら各ブロックのモジュール間で互いに独立して基板を搬送する工程と、
前記露光装置搬入用搬送手段により、前記搬入用受け渡しステージに搬送された順に各レジスト膜形成ブロックのバッファモジュールに搬入された基板をインターフェイスブロックを介して露光装置に搬入する工程と、
露光済みの基板を前記現像処理用搬送手段により現像処理ブロックの各モジュール間で搬送する工程と、
払い戻し用搬送手段により現像処理ブロックの受け渡しステージから現像済みの基板を当該基板が払い出されたキャリアに戻す工程と、
を含むことを特徴とする。
前記下層膜形成ブロックは、キャリアブロックから搬入された基板が載置される搬入用受け渡しステージと、下層膜を形成するための薬液を基板に塗布する塗布モジュールと、基板を加熱する加熱モジュールと、基板を冷却する冷却モジュールと、これらモジュール間で基板を搬送する下層膜形成用搬送手段と、下層膜が形成された基板を搬出するための搬出用ステージと、を備え、
前記処理ブロック搬入用搬送手段により、キャリアから払い出された基板を各レジスト膜形成ブロックの搬入用受け渡しステージへ1枚ずつ順にサイクリックに搬送する工程の代わりに、前記処理ブロック搬入用搬送手段により、キャリアから払い出された基板を前記下層膜形成ブロックの搬入用受け渡しステージに搬入する工程と、
ブロック間受け渡し手段により下層膜形成ブロックの搬出用ステージから各レジスト膜形成ブロックの搬入用受け渡しステージへ1枚ずつ基板を順にサイクリックに搬送する工程と、
を備えたことを特徴とする。
レジスト膜形成済みの基板を露光装置へ搬入する前に一時的に滞留させる前記バッファモジュールは各レジスト膜形成ブロックか、当該レジスト膜形成ブロックの代わりに前記上層膜形成ブロックに設けられ、
前記上層膜形成ブロックは、上層膜を形成するための薬液を基板に塗布する塗布モジュールと、基板を加熱する加熱モジュールと、基板を冷却する冷却モジュールと、これらモジュール間で基板を搬送する上層膜形成用搬送手段と、を備え、
前記露光装置搬入用手段によりレジスト膜形成ブロックのバッファモジュールから基板を搬送する代わりに、レジスト膜形成ブロックの搬入用受け渡しステージに搬送された順に基板を前記上層膜形成ブロックからインターフェイスブロックを介して露光装置に搬入する工程と、
ブロック間搬送手段によりレジスト膜が形成された基板をレジスト膜形成ブロックから上層膜形成ブロックに搬送する工程と、
を備えていてもよく、この場合例えば前記バッファモジュールは上層膜形成ブロックに設けられ、上層膜形成ブロックは上層膜が形成された基板を搬出するための搬出用ステージを備え、前記ブロック間搬送手段により基板を搬送する工程は、レジスト膜が形成された基板を前記搬出用ステージから前記バッファモジュールへ搬送する工程を含み、
前記露光装置搬入用手段により前記上層膜形成ブロックから基板を露光装置に搬入する工程は、前記搬出用ステージから基板を搬出する工程を含む。
また、前記現像処理ブロックは例えば複数設けられており、
一の現像処理ブロックには他の現像処理ブロックよりも多くの現像モジュールが設けられ、
前記一の現像処理ブロックに複数枚連続して露光済みの基板が搬送する工程と、
他の現像処理ブロックに1枚あるいは前記一の現像処理ブロックに連続して搬送される基板の枚数より少ない枚数の前記基板を連続して搬送する工程と、
を含み、
これらの一の現像ブロックへの基板の搬送工程と、他の現像ブロックへの基板の搬送工程とを交互に繰り返し行ってもよい。
前記コンピュータプログラムは、上述の塗布、現像方法を実施するためのものであることを特徴とする。
キャリアC1がキャリアブロックS1に搬入されると、先ずウエハA1がキャリアC1からキャリアアーム12→受け渡しステージTRS1→受け渡しアームD1→受け渡しステージTRS2の順に搬送され、その後受け渡しステージTRS2からCOT層G2の搬送アームE2により疎水化処理モジュールADH21Aに搬送されて疎水化処理を受ける。続いてウエハA2がキャリアC1からキャリアアーム12→受け渡しステージTRS1→受け渡しアームD1→受け渡しステージTRS3の順に搬送され、TRS3からCOT層G3の搬送アームE3により疎水化処理モジュールADH31Aに搬送されて処理を受ける。
然る後、ウエハA3がウエハA1と同様の経路でキャリアC1から受け渡しステージTRS2に搬送され、受け渡しステージTRS2から搬送アームE2を介して疎水化処理モジュールADH21Bに搬送される。続いてウエハA4がウエハA2と同様の経路でキャリアC1から受け渡しステージTRS3に搬送され、受け渡しステージTRS3から搬送アームE3を介して疎水化処理モジュールADH31Bに搬送される。
ウエハA1の疎水化処理モジュールADH21Aでの処理が終了し、当該ウエハA1がADH21A→搬送アームE2→冷却モジュールCPL22Aの順で搬送される一方で、ウエハA2の疎水化処理モジュールADH31Aでの処理が終了して、ウエハA2がADH31A→搬送アームE3→冷却モジュールCPL32Aの順で搬送される。その一方でウエハA5がウエハA1と同様の経路でキャリアC1から受け渡しステージTRS2に搬送され、TRS2から搬送アームE2を介して疎水化処理モジュールADH21Aに搬送され、それに続いてウエハA6がウエハA2と同様の経路でキャリアC1から受け渡しステージTRS3に搬送され、TRS3から搬送アームE3を介して疎水化処理モジュールADH31Aに搬送される。
ウエハA3の疎水化処理モジュールADH21Bでの処理が終了し、ADH21B→搬送アームE2→冷却モジュールCPL22Bの順で搬送される。その一方でウエハA4の疎水化処理モジュールADH31Bでの処理が終了し、ADH31B→搬送アームE3→冷却モジュールCPL32Bの順で搬送される。
冷却モジュールCPL22Aにて冷却処理を終えたウエハA1が搬送アームE2を介して塗布モジュールCOT23Aに搬送され、レジスト塗布処理を受ける。その一方で冷却モジュールCPL22Bにて冷却処理を終えたウエハA2が搬送アームE3を介して塗布モジュールCOT33Aに搬送され、レジスト塗布処理を受ける。
冷却モジュールCPL22Bで処理を終えたウエハA3が搬送アームE2を介して塗布モジュールCOT23Bに搬送され、レジスト塗布処理を受ける。その一方で、冷却モジュールCPL32Bで処理を終えたウエハA4が搬送アームE3を介して塗布モジュールCOT33Bに搬送され、レジスト塗布処理を受ける。
冷却モジュールCPL22Aで処理を終えたウエハA5が搬送アームE2を介して塗布モジュールCOT23Cに搬送されてレジスト塗布処理を受ける。その一方で、冷却モジュールCPL32Aで処理を終えたウエハA6が搬送アームE3を介して塗布モジュールCOT33Cに搬送されてレジスト塗布処理を受ける。
塗布処理を終えたウエハA1が搬送アームE2を介して加熱モジュールHP24Aに搬送される一方で、塗布処理を終えたウエハA2が搬送アームE3を介して加熱モジュールHP34Aに搬送される。
塗布処理を終えたウエハA3が搬送アームE2を介して加熱モジュールHP24Bに搬送される一方で、塗布処理を終えたウエハA4が搬送アームE3を介して加熱モジュールHP34Bに搬送される。
塗布処理を終えたウエハA5が搬送アームE2を介して加熱モジュールHP24Cに搬送される一方で、塗布処理を終えたウエハA6が搬送アームE3を介して加熱モジュールHP34Cに搬送される。
加熱処理を終えたウエハA1が搬送アームE2を介して周縁露光モジュールWEE25に搬送される一方で、加熱処理を終えたウエハA2が搬送アームE3を介して周縁露光モジュールWEE35に搬送される。
周縁露光モジュールWEE25にて処理を終えたウエハA1が搬送アームE2を介してバッファモジュールBM26に搬送される一方で、周縁露光モジュールWEE35にて処理を終えたウエハA2が搬送アームE3を介してバッファモジュールBM36に搬送される。続いて加熱処理を終えたウエハA3が搬送アームE2を介してWEE25に搬送される一方で、加熱処理を終えたウエハA4が搬送アームE3を介してWEE35に搬送される。
ウエハA1がバッファモジュールBM26から受け渡しアームD1→シャトルアーム16→インターフェイスアームI→露光装置S4の順で搬送され、続いてウエハA2がバッファモジュールBM36から受け渡しアームD1→シャトルアーム16→インターフェイスアームI→露光装置S4の順で搬送される。その一方で周縁露光モジュールWEE25にて周縁露光処理を終えたウエハA3が搬送アームE2を介してバッファモジュールBM26に搬送され、然る後そのWEE25にウエハA5が搬送される。また周縁露光モジュールWEE35にて周縁露光処理を終えたウエハA4が搬送アームE3を介してバッファモジュールBM36に搬送され、然る後当該WEE35にウエハA6が搬送される。
ウエハA3がウエハA1と同様の経路で露光装置S4に搬送され、続いてウエハA4がウエハA2と同様の経路で露光装置S4に搬送される。その一方でWEE35にて周縁露光処理を終えたウエハA5が搬送アームE2を介してバッファモジュールBM26に搬送されると共に周縁露光処理を終えたウエハA6が搬送アームE3を介してバッファモジュールBM36に搬送される。
ADH 疎水化処理モジュール
BM バッファモジュール
C キャリア
E1〜E5 搬送アーム
G1,G5 現像ブロック
G2,G3,G4 塗布ブロック
COT 塗布モジュール
CPL 冷却モジュール
DEV 現像モジュール
HP 加熱モジュール
S1 キャリアブロック
S2 処理ブロック
S3 インターフェイスブロック
S4 露光装置
TRS 受け渡しステージ
Claims (20)
- キャリアブロックにキャリアにより搬入された基板を処理ブロックに受け渡し、この処理ブロックにてレジスト膜を含む塗布膜を形成した後、インターフェイスブロックを介して露光装置に搬送し、前記インターフェイスブロックを介して戻ってきた露光後の基板を前記処理ブロックにて現像処理して前記キャリアブロックに受け渡す塗布、現像装置において、
a)前記処理ブロックは、各々キャリアブロック側からインターフェイスブロック側へ向かって形成された複数のレジスト膜形成ブロック及び現像処理ブロックと、を備え、
b)前記レジスト膜形成ブロックは、キャリアブロックから搬入された基板が載置される搬入用受け渡しステージと、レジストを基板に塗布する塗布モジュールと、基板を加熱する加熱モジュールと、基板を冷却する冷却モジュールと、レジスト膜形成済みの基板を露光装置へ搬入する前に一時的に滞留させるバッファモジュールと、これらモジュール間で基板を搬送するレジスト膜形成用搬送手段と、を備え、
c)前記現像処理ブロックは、露光装置から払い出された露光済みの基板が載置される露光済み基板受け渡しステージと、現像液を基板に供給するための現像モジュールと、基板を加熱する加熱モジュールと、基板を冷却する冷却モジュールと、現像処理済みの基板が載置される現像済み基板受け渡しステージと、これらモジュール間で基板を搬送する現像処理用搬送手段と、を備え、
d)各レジスト膜形成ブロックのバッファモジュールからインターフェイスブロックを介して基板を露光装置に搬入するための露光装置搬入用搬送手段と、
キャリアから払い出された基板を各レジスト膜形成ブロックの搬入用受け渡しステージへと搬送する処理ブロック搬入用搬送手段と、
現像処理ブロックの受け渡しステージから現像済みの基板を当該基板が払い出されたキャリアに戻すための払い戻し用搬送手段と、が設けられ、
e)各レジスト膜形成ブロックのレジスト膜形成用搬送手段は互いに独立して当該ブロック内の各モジュール間を基板を搬送し、
f)前記処理ブロック搬入用搬送手段は、各レジスト膜形成ブロックの搬入用受け渡しステージへ1枚ずつ基板を順にサイクリックに搬送すると共に前記露光装置搬入用搬送手段は、前記搬入用受け渡しステージに搬送された順に各レジスト膜形成ブロックのバッファモジュールに搬入された基板を露光装置に搬入することを特徴とする塗布、現像装置。 - 前記処理ブロックはキャリアブロック側からインターフェイスブロック側へ向かって形成された、レジスト膜の下層に膜を形成するための下層膜形成ブロックを備え、
前記下層膜形成ブロックは、キャリアブロックから搬入された基板が載置される搬入用受け渡しステージと、下層膜を形成するための薬液を基板に塗布する塗布モジュールと、基板を加熱する加熱モジュールと、基板を冷却する冷却モジュールと、これらモジュール間で基板を搬送する下層膜形成用搬送手段と、下層膜が形成された基板を搬出するための搬出用ステージと、を備え、
前記処理ブロック搬入用搬送手段は、レジスト膜形成ブロックの搬入用受け渡しステージに基板を搬送する代わりに、前記下層膜形成ブロックの搬入用受け渡しステージに基板を搬入し、
下層膜形成ブロックの搬出用ステージから各レジスト膜形成ブロックの搬入用受け渡しステージへ1枚ずつ基板を順にサイクリックに搬送するブロック間受け渡し手段が設けられたことを特徴とする請求項1記載の塗布、現像装置。 - 前記下層膜は反射防止膜であることを特徴とする請求項2記載の塗布、現像装置。
- 前記処理ブロックはキャリアブロック側からインターフェイスブロック側へ向かって形成された、レジスト膜の上層に膜を形成するための上層膜形成ブロックを備え、
前記上層膜形成ブロックは、上層膜を形成するための薬液を基板に塗布する塗布モジュールと、基板を加熱する加熱モジュールと、基板を冷却する冷却モジュールと、これらモジュール間で基板を搬送する上層膜形成用搬送手段と、を備え、
前記露光装置搬入用手段は、レジスト膜形成ブロックのバッファモジュールから基板を搬送する代わりに、レジスト膜形成ブロックの搬入用受け渡しステージに搬送された順に上層膜が形成された基板を前記上層膜形成ブロックからインターフェイスブロックを介して露光装置に搬入し、
レジスト膜形成済みの基板を露光装置へ搬入する前に一時的に滞留させる前記バッファモジュールは各レジスト膜形成ブロックか、当該レジスト膜形成ブロックの代わりに前記上層膜形成ブロックに設けられ、
レジスト膜が形成された基板をレジスト膜形成ブロックから上層膜形成ブロックへ搬送するためのブロック間搬送手段が設けられることを特徴とする請求項1記載の塗布、現像装置。 - 前記バッファモジュールは上層膜形成ブロックに設けられ、
前記ブロック間搬送手段は、レジスト膜が形成された基板を当該バッファモジュールへ搬送し、
上層膜形成ブロックは上層膜が形成された基板を搬出するための搬出用ステージを備え、
前記露光装置搬入用手段は、前記搬出用ステージから基板を搬出することを特徴とする請求項4記載の塗布、現像装置。 - 前記上層膜は反射防止膜かまたは液浸露光を行う際にレジスト膜の表面を保護する保護膜であることを特徴とする請求項4または5記載の塗布、現像装置。
- 各レジスト膜形成ブロック及び現像処理ブロックは互いに積層されていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか一つに記載の塗布、現像装置。
- レジスト膜形成ブロックは2つ設けられ、前記処理ブロック搬入用搬送手段は、各レジスト膜形成ブロックの搬入用受け渡しステージへ1枚ずつ基板を交互に搬送し、露光装置搬入用搬送手段は各レジスト膜形成ブロックのバッファモジュールから基板を交互に、各搬入用受け渡しステージへ搬入されたものから順に露光装置に搬入することを特徴とする請求項1ないし7のいずれか一つに記載の塗布、現像装置。
- 前記現像処理ブロックは複数設けられ、各露光済み基板受け渡しステージに露光済みの基板が1枚ずつサイクリックに搬送されることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか一つに記載の塗布、現像装置。
- 現像処理ブロックは複数設けられ、
一の現像処理ブロックには他の現像処理ブロックよりも多くの現像モジュールが設けられ、
前記一の現像処理ブロックには複数枚連続して露光済みの基板が搬送され、且つ他の現像処理ブロックには1枚あるいは一の現像処理ブロックに連続して搬送される基板の枚数より少ない枚数の前記基板が連続して搬送され、
これらの一の現像ブロックへの基板の搬送と、他の現像ブロックへの基板の搬送とが交互に繰り返し行われることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか一つに記載の塗布、現像装置。 - 前記一の現像ブロックには他の現像ブロックの2倍の数の現像モジュールが設けられ、
一の現像ブロックへの2枚連続した基板の搬送と、他の現像ブロックへの1枚の基板の搬送が交互に行われることを特徴とする請求項10記載の塗布、現像装置。 - レジスト膜形成ブロックにおいて塗布モジュール、加熱モジュール、冷却モジュールは夫々複数設けられていることを特徴とする請求項1ないし11のいずれか一つに記載の塗布、現像装置。
- キャリアブロックにキャリアにより搬入された基板を処理ブロックに受け渡し、この処理ブロックにてレジスト膜を含む塗布膜を形成した後、インターフェイスブロックを介して露光装置に搬送し、前記インターフェイスブロックを介して戻ってきた露光後の基板を前記処理ブロックにて現像処理して前記キャリアブロックに受け渡す塗布、現像装置の運転方法において、
a)前記処理ブロックは、各々キャリアブロック側からインターフェイスブロック側へ向かって形成された複数のレジスト膜形成ブロック及び現像処理ブロックと、を備え、
b)前記レジスト膜形成ブロックは、キャリアブロックから搬入された基板が載置される搬入用受け渡しステージと、レジストを基板に塗布する塗布モジュールと、基板を加熱する加熱モジュールと、基板を冷却する冷却モジュールと、レジスト膜形成済みの基板を露光装置へ搬入する一時的に滞留させるバッファモジュールと、これらモジュール間で基板を搬送するレジスト膜形成用搬送手段と、を備え、
c)前記現像処理ブロックは、露光装置から払い出された露光済みの基板が載置される露光済み基板受け渡しステージと、現像液を基板に供給するための現像モジュールと、基板を加熱する加熱モジュールと、基板を冷却する冷却モジュールと、現像処理済みの基板が載置される現像済み基板受け渡しステージと、これらモジュール間で基板を搬送する現像処理用搬送手段と、を備えており、
処理ブロック搬入用搬送手段により、キャリアから払い出された基板を各レジスト膜形成ブロックの搬入用受け渡しステージへ1枚ずつ基板を順にサイクリックに搬送する工程と、
各レジスト膜形成ブロックのレジスト膜形成用搬送手段によりこれら各ブロックのモジュール間で互いに独立して基板を搬送する工程と、
前記露光装置搬入用搬送手段により、前記搬入用受け渡しステージに搬送された順に各レジスト膜形成ブロックのバッファモジュールに搬入された基板をインターフェイスブロックを介して露光装置に搬入する工程と、
露光済みの基板を前記現像処理用搬送手段により現像処理ブロックの各モジュール間で搬送する工程と、
払い戻し用搬送手段により現像処理ブロックの受け渡しステージから現像済みの基板を当該基板が払い出されたキャリアに戻す工程と、
を含むことを特徴とする塗布、現像方法。 - 前記処理ブロックはキャリアブロック側からインターフェイスブロック側へ向かって形成されたレジスト膜の下層に膜を形成するための下層膜形成ブロック、を備え、
前記下層膜形成ブロックは、キャリアブロックから搬入された基板が載置される搬入用受け渡しステージと、下層膜を形成するための薬液を基板に塗布する塗布モジュールと、基板を加熱する加熱モジュールと、基板を冷却する冷却モジュールと、これらモジュール間で基板を搬送する下層膜形成用搬送手段と、下層膜が形成された基板を搬出するための搬出用ステージと、を備え、
前記処理ブロック搬入用搬送手段により、キャリアから払い出された基板を各レジスト膜形成ブロックの搬入用受け渡しステージへ1枚ずつ順にサイクリックに搬送する工程の代わりに、前記処理ブロック搬入用搬送手段により、キャリアから払い出された基板を前記下層膜形成ブロックの搬入用受け渡しステージに搬入する工程と、
ブロック間受け渡し手段により下層膜形成ブロックの搬出用ステージから各レジスト膜形成ブロックの搬入用受け渡しステージへ1枚ずつ基板を順にサイクリックに搬送する工程と、
を備えたことを特徴とする請求項13記載の塗布、現像方法。 - 前記処理ブロックはキャリアブロック側からインターフェイスブロック側へ向かって形成されたレジスト膜の上層に膜を形成するための上層膜形成ブロックを備え、
レジスト膜形成済みの基板を露光装置へ搬入する前に一時的に滞留させる前記バッファモジュールは各レジスト膜形成ブロックか、当該レジスト膜形成ブロックの代わりに前記上層膜形成ブロックに設けられ、
前記上層膜形成ブロックは、上層膜を形成するための薬液を基板に塗布する塗布モジュールと、基板を加熱する加熱モジュールと、基板を冷却する冷却モジュールと、これらモジュール間で基板を搬送する上層膜形成用搬送手段と、を備え、
前記露光装置搬入用手段によりレジスト膜形成ブロックのバッファモジュールから基板を搬送する代わりに、レジスト膜形成ブロックの搬入用受け渡しステージに搬送された順に基板を前記上層膜形成ブロックからインターフェイスブロックを介して露光装置に搬入する工程と、
ブロック間搬送手段によりレジスト膜が形成された基板をレジスト膜形成ブロックから上層膜形成ブロックに搬送する工程と、
を備えたことを特徴とする請求項13記載の塗布、現像方法。 - 前記バッファモジュールは上層膜形成ブロックに設けられ、上層膜形成ブロックは上層膜が形成された基板を搬出するための搬出用ステージを備え、前記ブロック間搬送手段により基板を搬送する工程は、レジスト膜が形成された基板を前記搬出用ステージから前記バッファモジュールへ搬送する工程を含み、
前記露光装置搬入用手段により前記上層膜形成ブロックから基板を露光装置に搬入する工程は、前記搬出用ステージから基板を搬出する工程を含むことを特徴とする請求項15記載の塗布、現像方法。 - レジスト膜形成ブロックは2つ設けられ、前記処理ブロック搬入用搬送手段は、各レジスト膜形成ブロックの搬入用受け渡しステージへ1枚ずつ基板を交互に搬送し、露光装置搬入用搬送手段は各レジスト膜形成ブロックのバッファモジュールから基板を交互に、各搬入用受け渡しステージへ搬入されたものから順に露光装置に搬入することを特徴とする請求項13ないし16のいずれか一つに記載の塗布、現像方法。
- 前記現像処理ブロックは複数設けられ、各露光済み基板を各現像処理ブロックの受け渡しステージに1枚ずつサイクリックに搬送する工程を含むことを特徴とする請求項13ないし17のいずれか一つに記載の塗布、現像方法。
- 前記現像処理ブロックは複数設けられており、
一の現像処理ブロックには他の現像処理ブロックよりも多くの現像モジュールが設けられ、
前記一の現像処理ブロックに複数枚連続して露光済みの基板が搬送する工程と、
他の現像処理ブロックに1枚あるいは前記一の現像処理ブロックに連続して搬送される基板の枚数より少ない枚数の前記基板を連続して搬送する工程と、
を含み、
これらの一の現像ブロックへの基板の搬送工程と、他の現像ブロックへの基板の搬送工程とを交互に繰り返し行うことを特徴とする請求項13ないし17のいずれか一つに記載の塗布、現像方法。 - レジストが塗布され、露光された後の基板に対する現像を行う塗布、現像装置に用いられるコンピュータプログラムが記憶された記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項13ないし19のいずれか一つに記載の塗布、現像方法を実施するためのものであることを特徴とする記憶媒体。
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