JP2014067910A - 塗布膜形成装置、塗布膜形成方法、塗布、現像装置、塗布、現像方法及び記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】保持部に保持された基板に、前記塗布液を供給する塗布液供給部と、前記保持部に保持された基板に前記塗布液が供給された後、当該基板を前記搬送機構に受け渡すまでの間に、前記塗布膜形成装置に発生する異常を検出する異常検出機構と、前記異常検出機構により異常が検出されたときに、前記保持部に保持された基板に前記塗布膜の溶剤を供給して、基板から塗布膜を除去するための溶剤供給部と、制御部と、を備えるように装置を構成する。前記制御部は、塗布膜が除去された基板に、再度塗布液を供給して塗布膜を形成するために前記制御信号を出力することで速やかに塗布膜の再形成を行う。
【選択図】図8
Description
基板に塗布液を供給して塗布膜を形成する塗布膜形成装置において、
搬送機構により外部から受け渡された前記基板を保持する保持部と、
前記保持部に保持された基板に、前記塗布液を供給する塗布液供給部と、
前記保持部に保持された基板に前記塗布液が供給された後、当該基板を前記搬送機構に受け渡すまでの間に前記塗布膜形成装置に発生する異常を検出する異常検出機構と、
前記異常検出機構により異常が検出されたときに、前記保持部に保持された基板に前記塗布膜の溶剤を供給して、前記基板から塗布膜を除去するための溶剤供給部と、
前記塗布液供給部から前記基板への塗布液の供給を制御し、前記塗布膜が除去された基板に、再度塗布液を供給して塗布膜を形成するように制御信号を出力する制御部と、
を備えたことを特徴とする。
前記レジスト膜、レジスト膜の上側または下側に形成される積層膜のいずれかの互いに同種の塗布膜を各々形成する第1の塗布膜形成モジュール及び第2の塗布膜形成モジュールと、
前記基板を複数格納するためのキャリアを載置する載置台と、
前記キャリアに格納される基板を、前記第1の塗布膜形成モジュール、第2の塗布膜形成モジュールに各々振り分けて搬送する往路側搬送機構と、
前記第1の塗布膜形成モジュール及び第2の塗布膜形成モジュールで処理され、更に露光された基板を、当該基板に前記現像液を供給して現像する現像モジュールを介して前記キャリアに戻すように搬送する復路側搬送機構と、
を備え、
前記第1の塗布膜形成モジュールは、基板に塗布液を供給して塗布膜を形成する塗布膜形成装置であり、
搬送機構により外部から受け渡された前記基板を保持する保持部と、
前記保持部に保持された基板に、前記塗布液を供給する塗布液供給部と、
前記保持部に保持された基板に前記塗布液が供給された後、当該基板を前記搬送機構に受け渡すまでの間に、前記塗布膜形成装置に発生する異常を検出する異常検出機構と、
前記塗布液供給部から前記基板への塗布液の供給を制御し、前記塗布膜が除去された基板に、再度塗布液を供給して塗布膜を形成するように制御信号を出力する制御部と、
を備え、
前記異常検出機構により当該第1の塗布膜形成モジュールに異常が検出されたときに、前記往路側搬送機構は、当該第1の塗布膜形成モジュールへ搬送されるように予め設定されていた後続の基板を、第2の塗布膜形成モジュールに搬送することを特徴とする。
この異常への対処について説明するために、レジスト膜形成モジュールCOT3、COT4で異常が起きたときの動作について、さらに説明する。制御部5は異常が起きたレジスト膜形成モジュールCOT3、COT4について、通常に処理を行う通常処理モードから、リトライと呼ばれる動作を行うリトライモードに移行させる。このリトライは、異常が起きたモジュールを使用不可にするかしないかの指標とされる動作であり、オペレータは、前記異常に対する対処として、このリトライモードにおけるリトライの回数の上限値を設定することができる。
また、オペレータは前記異常が起きたときの対処として、異常の種別ごとに前記リワーク用のレシピ、及び再度のレジスト膜の形成(再処理)を行うか否かを設定することができる。さらにオペレータは異常の種別ごとに、再処理を行うように設定したウエハWについて、異常なウエハWとして取り扱うか、あるいは正常なウエハWとして取り扱うかを設定することができる。この正常なウエハW及び異常なウエハWについては後述する。
具体的に説明すると、再処理を行ったウエハWについて、正常なウエハWとして取り扱うように設定したものは、正常なウエハWである旨と再処理を行った旨とが記憶される。再処理を行ったウエハWについて、異常なウエハWとして取り扱うように設定したものは、異常である旨が記憶される。再処理を行わないように設定したウエハWは、異常なウエハWとして記憶される。レジスト膜の形成処理中に、当該処理を行うレジスト膜形成モジュールCOTに異常が発生しなかったウエハWについては、正常なウエハWである旨と再処理が行われなかった旨とが記憶される。この記憶部58のデータに従って、レジスト膜形成モジュールCOT3、COT4以降のウエハWの搬送が行われる。
これらの制御部5の各記憶部のデータは、当該制御部5に設けられる図示しない設定部より、装置1のオペレータが自在に更新することができる。
上記の各例では、第3の単位ブロックE3における搬送を説明したが、第4の単位ブロックE4についても、レジスト膜形成モジュール4A、4B及びその前後のモジュールで、単位ブロックE3と同様の搬送が行われる。
ロットAの15枚目のウエハWとは、キャリアCから15番目に払い出されたロットAのウエハWという意味であり、以下、搬送状態を説明するにあたり、各ウエハについてロット種別を示すアルファベットと、この払い出しの順番とを付して示す。例えば前記ロットAの15枚目のウエハWはウエハA15として表す。
また、リワークを行うための専用の装置も設ける必要がなくなるため半導体装置の製造コストの低下も図ることができる。さらに、このようにリワークを行う装置との間でキャリアCを受け渡す必要が無くなるため、キャリアCの搬送経路の複雑化を防ぎ、キャリアCに含まれるロットの管理が容易になる。
露光装置D4の前段にバッファモジュール23を配置することで、上記のようにリトライ、リワーク及びレジスト膜の再形成を行っても、既述のようにロット間でウエハWの露光の順番を揃えることができる。これによって露光装置D4で、ロットに合わせて部品の交換をする必要が無いのでスループットの低下をより確実に抑えられる。バッファモジュール23により、上記のようにロット内でもウエハWの露光の順番を揃えることができるため、露光装置D4の仕様に対応することができる。
1 塗布、現像装置
COT レジスト膜形成モジュール
ITC 保護膜形成モジュール
32 レジスト液供給ノズル
33 溶剤供給ノズル
34 スピンチャック
40 ポンプ
41 レジスト液供給部
5 制御部
51 プログラム
Claims (14)
- 基板に塗布液を供給して塗布膜を形成する塗布膜形成装置において、
搬送機構により外部から受け渡された前記基板を保持する保持部と、
前記保持部に保持された基板に、前記塗布液を供給する塗布液供給部と、
前記保持部に保持された基板に前記塗布液が供給された後、当該基板を前記搬送機構に受け渡すまでの間に前記塗布膜形成装置に発生する異常を検出する異常検出機構と、
前記異常検出機構により異常が検出されたときに、前記保持部に保持された基板に前記塗布膜の溶剤を供給して、基板から塗布膜を除去するための溶剤供給部と、
前記塗布膜が除去された基板に再度塗布液を供給して塗布膜を形成するように制御信号を出力し、前記塗布液供給部から前記基板への塗布液の供給を制御する制御部と、
を備えたことを特徴とする塗布膜形成装置。 - 前記制御部は、前記異常検出機構による異常の検出結果に基づいて、溶剤供給部から基板への溶剤の供給を制御するように制御信号を出力することを特徴とする請求項1記載の塗布膜形成装置。
- 前記異常検出機構は、前記基板に供給される塗布液の流量の異常及び前記塗布液供給部に設けられるポンプの動作の異常のうち少なくとも一方を検出することを特徴とする請求項1または2記載の塗布膜形成装置。
- 前記制御部は、前記ポンプの動作の異常が検出されたときに基板に再度の塗布液の供給を行う前に、当該再度の塗布液の供給時に前記ポンプの異常が再度検出されるか否かを推定するために、当該ポンプが予め設定された確認動作を行うように制御信号を出力することを特徴とする請求項3に記載の塗布膜形成装置。
- 基板にレジスト膜を形成し、前記露光されたレジスト膜に現像液を供給して現像する塗布、現像装置において、
前記レジスト膜、レジスト膜の上側または下側に形成される積層膜のいずれかの互いに同種の塗布膜を各々形成する第1の塗布膜形成モジュール及び第2の塗布膜形成モジュールと、
前記基板を複数格納するためのキャリアを載置する載置台と、
前記キャリアに格納される基板を、前記第1の塗布膜形成モジュール、第2の塗布膜形成モジュールに各々振り分けて搬送する往路側搬送機構と、
前記第1の塗布膜形成モジュール及び第2の塗布膜形成モジュールで処理され、更に露光された基板を、当該基板に前記現像液を供給して現像する現像モジュールを介して前記キャリアに戻すように搬送する復路側搬送機構と、
を備え、
前記第1の塗布膜形成モジュールは、基板に塗布液を供給して塗布膜を形成する塗布膜形成装置であり、
搬送機構により外部から受け渡された前記基板を保持する保持部と、
前記保持部に保持された基板に、前記塗布液を供給する塗布液供給部と、
前記保持部に保持された基板に前記塗布液が供給された後、当該基板を前記搬送機構に受け渡すまでの間に前記塗布膜形成装置に発生する異常を検出する異常検出機構と、
前記異常検出機構により異常が検出されたときに、前記保持部に保持された基板に前記塗布膜の溶剤を供給して、基板から塗布膜を除去するための溶剤供給部と、
前記塗布膜が除去された基板に再度塗布液を供給して塗布膜を形成するように制御信号を出力し、前記塗布液供給部から前記基板への塗布液の供給を制御する制御部と、
を備え、
前記異常検出機構により当該第1の塗布膜形成モジュールに異常が検出されたときに、前記往路側搬送機構は、当該第1の塗布膜形成モジュールへ搬送されるように予め設定されていた後続の基板を、第2の塗布膜形成モジュールに搬送することを特徴とする塗布、現像装置。 - 前記第1の塗布膜形成モジュールにて、基板に前記塗布膜の除去及び再度の塗布膜の形成が行われる間に、
この基板が属する第1のロットの後で露光装置に搬入されるように設定された第2のロットに属し、第2の塗布膜形成モジュールで処理された基板が先に露光装置に搬入されることを防ぐために、
当該第2のロットに属する基板を複数枚滞留させるバッファモジュールが設けられていることを特徴とする請求項5記載の塗布、現像装置。 - 前記バッファモジュールは、前記塗布膜の除去及び再度の塗布膜形成を行った基板を含めた前記第1のロット内の基板について、予め設定された順番で前記露光装置に基板を搬送するために、当該第1のロット内の基板を複数枚滞留させることを特徴とする請求項6記載の塗布、現像装置。
- 基板に塗布液を供給して塗布膜を形成する塗布膜形成方法において、
搬送機構により外部から受け渡された基板を保持部に保持する工程と、
前記保持部に保持された基板に、塗布液供給部から前記塗布液を供給する工程と、
前記保持部に保持された基板に前記塗布液が供給された後、前記搬送機構に受け渡すまでの間に異常検出機構により前記塗布膜形成装置に発生する異常を検出する工程と、
前記異常検出機構により異常が検出されたときに、溶剤供給部により前記保持部に保持された基板に前記塗布膜の溶剤を供給して、基板から塗布膜を除去する工程と、
前記塗布膜が除去された基板に、再度塗布液を供給して塗布膜を形成する工程と、
を備えたことを特徴とする塗布膜形成方法。 - 塗布膜形成装置に発生する異常を検出する工程は、前記基板に供給される塗布液の流量の異常及び前記塗布液供給部に設けられるポンプの動作の異常のうち少なくとも一方を検出することを特徴とする請求項8記載の塗布膜形成方法。
- 前記ポンプの動作の異常が検出されたときに基板に再度の塗布液の供給を行う前に、当該再度の塗布液の供給時に前記ポンプの異常が再度検出されるか否かを推定するために、当該ポンプが予め設定された確認動作を行うことを特徴とする請求項9記載の塗布膜形成方法。
- 基板にレジスト膜を形成し、前記露光されたレジスト膜に現像液を供給して現像する塗布、現像方法において、
第1の塗布膜形成モジュール及び第2の塗布膜形成モジュールにて、前記レジスト膜、レジスト膜の上側または下側に形成される積層膜のいずれかの互いに同種の塗布膜を各々形成する工程を行い、
前記第1の塗布膜形成モジュールにおいては、
基板に塗布液を供給して塗布膜を形成する塗布膜形成方法において、
搬送機構により外部から受け渡された基板を保持部に保持する工程と、
前記保持部に保持された基板に、塗布液供給部から前記塗布液を供給する工程と、
前記保持部に保持された基板に前記塗布液が供給された後、当該基板を前記搬送機構に受け渡すまでの間に異常検出機構により前記塗布膜形成装置に発生する異常を検出する工程と、
前記異常検出機構により異常が検出されたときに、溶剤供給部により前記保持部に保持された基板に前記塗布膜の溶剤を供給して、基板から塗布膜を除去する工程と、
前記塗布膜が除去された基板に、再度塗布液を供給して塗布膜を形成する工程と、を行い、
前記塗布、現像方法は、
前記基板を複数格納するためのキャリアを載置台に載置する工程と、
前記キャリアに格納される基板を、往路側搬送機構により前記第1の塗布膜形成モジュール、第2の塗布膜形成モジュールに各々振り分けて搬送する工程と、
前記第1の塗布膜形成モジュール及び第2の塗布膜形成モジュールで処理され、更に露光された基板を、復路側搬送機構により当該基板に前記現像液を供給して現像する現像モジュールを介して前記キャリアに戻すように搬送する工程と、
を備え、
前記第1の塗布膜形成モジュールの前記異常検出機構により当該第1の塗布膜形成モジュールに異常が検出されたときに、前記往路側搬送機構は、当該第1の塗布膜形成モジュールへ搬送されるように予め設定されていた後続の基板を、第2の塗布膜形成モジュールに搬送する工程と、
を備えることを特徴とする塗布、現像方法。 - 前記第1の塗布膜形成モジュールにて、基板に前記塗布膜の除去及び再度の塗布膜の形成が行われる間に、この基板が属する第1のロットの後で露光装置に搬入されるように設定された第2のロットに属し、第2の塗布膜形成モジュールで処理された基板が先に露光装置に搬入されることを防ぐために、当該第2のロットに属する基板をバッファモジュールに複数枚滞留させる工程を含むことを特徴とする請求項11記載の塗布、現像方法。
- 前記塗布膜の除去及び再度の塗布膜形成を行った基板を含めた前記第1のロット内の基板について、予め設定された順番で前記露光装置に基板を搬送するために、当該第1のロット内の基板を前記バッファモジュールに複数枚滞留させることを特徴とする請求項12記載の塗布、現像方法。
- 基板に塗布液を供給して塗布膜を形成する塗布膜形成装置に用いられるコンピュータプログラムが記憶された記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項8ないし10のいずれか一つに記載の塗布膜形成方法を実施するためのものであることを特徴とする記憶媒体。
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