JP4560022B2 - 塗布、現像装置及び塗布、現像装置の制御方法並びに記憶媒体 - Google Patents
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Description
前記第1の基板搬送手段から受け渡された基板に対するレジストの塗布、レジストが塗布されかつ露光された後の基板に対する現像、またはその前後の処理を行う複数の処理モジュールと、これら処理モジュールに対し、順次基板を搬送する第2の基板搬送手段と、を備えた処理ステーションと、
この処理ステーションにて現像を終えた基板が置かれる第1の受け渡し部と、
前記キャリアステーションの第1の基板搬送手段により基板が受け取られる第2の受け渡し部と、
現像を終えた基板に対して検査を行い、検査に要する時間が互いに異なる複数の検査モジュールと、基板を一時的に滞留させるバッファユニットと、バッファユニットと、前記第1の受け渡し部、第2の受け渡し部及び検査モジュールの間で基板の受け渡しを行う第3の基板搬送手段と、を備えた、処理ステーションで処理された基板をキャリアステーションに受け渡す検査ステーションと、
前記第3の基板搬送手段を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記第1の受け渡し部の基板を搬送するときには、
(a1)その基板が検査対象の基板か否かを判断し、
(a2)検査対象の基板でなければ、その基板を第2の受け渡し部に搬送し、
(a3)検査対象の基板であれば、検査にかかる検査モジュールが空いているか否かを判断し、空いていればその検査モジュールに搬送する一方、空いていなければバッファユニットに搬送するステップ、を実行し、
検査ステーション内のモジュールの基板を搬送するときには、
(b1)その基板に割り当てられている検査が全て終了しているか否かを判断し、
(b2)検査が終了していればその基板を前記第2の受け渡し部に搬送し、
(b3)検査が終了していなければ、終了していない検査モジュールが空いているか否かを判断し、空いていればその検査モジュールに搬送する一方、空いていなければバッファユニットに位置させるステップ、を実行する機能を備えていることを特徴とする。
前記(a3)において検査モジュールが空いていないと判断したら、バッファユニットに搬送するステップに代えて、
バッファユニットが空いているか否かを判断し、空いていれば前記基板をバッファユニットに搬送し、空いていなければ第2の受け渡し部に未検査基板として搬送するステップを実行してもよく、その場合、例えば前記(a3)においてバッファユニットが空いていなければアラームを発するアラーム発生手段が設けられており、また前記第2の受け渡し部に搬送された未検査基板として取り扱われる検査対象基板は、キャリアステーションに搬送されてもよく、この場合は例えば、検査対象基板は、キャリアに搬送される。
前記第1の基板搬送手段から受け渡された基板に対するレジストの塗布、レジストが塗布されかつ露光された後の基板に対する現像、またはその前後の処理を行う複数の処理モジュールと、これら処理モジュールに対し、順次基板を搬送する第2の基板搬送手段と、を備えた処理ステーションと、
この処理ステーションにて現像を終えた基板が置かれる第1の受け渡し部と、
前記キャリアステーションの第1の基板搬送手段により基板が受け取られる第2の受け渡し部と、
現像を終えた基板に対して検査を行い、検査に要する時間が互いに異なる複数の検査モジュールと、基板を一時的に滞留させるバッファユニットと、バッファユニットと、前記第1の受け渡し部、第2の受け渡し部及び検査モジュールの間で基板の受け渡しを行う第3の基板搬送手段と、を備えた、処理ステーションで処理された基板をキャリアステーションに受け渡す検査ステーションと、を備えた塗布、現像装置を制御する方法であって、
前記第1の受け渡し部の基板を搬送するときには、
(a1)その基板が検査対象の基板か否かを判断する工程と、
(a2)検査対象の基板でなければ、その基板を第2の受け渡し部に搬送する工程と、
(a3)検査対象の基板であれば、検査にかかる検査モジュールが空いているか否かを判断し、空いていればその検査モジュールに搬送する一方、空いていなければバッファユニットに搬送する工程と
を備え、
検査ステーション内のモジュールの基板を搬送するときには、
(b1)その基板に割り当てられている検査が全て終了しているか否かを判断する工程と、
(b2)検査が終了していればその基板を前記第2の受け渡し部に搬送する工程と、
(b3)検査が終了していなければ、終了していない検査モジュールが空いているか否かを判断し、空いていればその検査モジュールに搬送する一方、空いていなければバッファユニットに位置させる工程と、を備えていることを特徴とする。
バッファユニットが空いているか否かを判断し、空いていれば前記基板をバッファユニットに搬送し、空いていなければ第2の受け渡し部に未検査基板として搬送する工程を行ってもよく、この場合、例えば前記(a3)においてバッファユニットが空いていなければアラームを発する工程を含んでいる。
この受け渡し部から基板を前記検査ステーションを横切って処理ステーションに搬送する工程と、をさらに備えていてもよい。
前記コンピュータプログラムは、既述の塗布、現像装置の制御方法を実施するためのものであることを特徴とする。
サイクル1では、既述の経路を通ってレジストパターンが形成された先頭のウエハWであるウエハ「1」が、受け渡しステージTRS1あるいはTRS2に搬入される。以後は説明の便宜上、受け渡しステージTRS1、TRS2にウエハWが交互に搬入されるものとする。この時点では検査モジュールE1〜E3、受け渡しステージTRS8、TRS9のいずれにもウエハWは入っていない。
次のサイクル2では、処理ステーションS2の受け渡しステージTRS2から搬送手段51にウエハ「1」が受け渡される。図6に示したようにウエハ「1」は検査モジュールE1により処理を行うことが決定されているが、この時点で検査モジュールE1は空であり、検査モジュールE1からはインレディ信号が出力されているため、制御部100により搬送手段51は、図8のフローチャートに従って、ウエハ「1」を検査モジュールE1に搬送する。
前記搬送手段61は、
a)前記キャリアステーションS1と処理ステーションS2との間のウエハWの受け渡しを優先するように制御される。
b)ウエハWに割り当てられた処理の順番の小さいウエハWから検査モジュールE1(E2、E3)に対して搬入を行い、
c)ウエハWに割り当てられた処理の順番に拘わらず、検査が終了しているウエハWを検査モジュールE1(E2、E3)から搬出するように制御される。
a)キャリア20から処理前のウエハWを受け取って受け渡しモジュールTRSaに受け渡し、
b)受け渡しモジュールTRSbから処理済みのウエハWを受け取ってキャリア20に戻し、
c)処理済みのウエハWをキャリア20から受け渡しモジュールTRScに受け渡し、
d)検査されたウエハWを受け渡しモジュールTRSdからキャリア20に戻す という搬送を行う。
51,52 搬送手段
BU バッファユニット
A メインアーム
TRS 受け渡しステージ
Claims (19)
- 複数枚の基板を収納したキャリアが載置され、キャリアとの間で基板の受け渡しを行う第1の基板搬送手段を備えたキャリアステーションと、
前記第1の基板搬送手段から受け渡された基板に対するレジストの塗布、レジストが塗布されかつ露光された後の基板に対する現像、またはその前後の処理を行う複数の処理モジュールと、これら処理モジュールに対し、順次基板を搬送する第2の基板搬送手段と、を備えた処理ステーションと、
この処理ステーションにて現像を終えた基板が置かれる第1の受け渡し部と、
前記キャリアステーションの第1の基板搬送手段により基板が受け取られる第2の受け渡し部と、
現像を終えた基板に対して検査を行い、検査に要する時間が互いに異なる複数の検査モジュールと、基板を一時的に滞留させるバッファユニットと、バッファユニットと、前記第1の受け渡し部、第2の受け渡し部及び検査モジュールの間で基板の受け渡しを行う第3の基板搬送手段と、を備えた、処理ステーションで処理された基板をキャリアステーションに受け渡す検査ステーションと、
前記第3の基板搬送手段を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記第1の受け渡し部の基板を搬送するときには、
(a1)その基板が検査対象の基板か否かを判断し、
(a2)検査対象の基板でなければ、その基板を第2の受け渡し部に搬送し、
(a3)検査対象の基板であれば、検査にかかる検査モジュールが空いているか否かを判断し、空いていればその検査モジュールに搬送する一方、空いていなければバッファユニットに搬送するステップ、を実行し、
検査ステーション内のモジュールの基板を搬送するときには、
(b1)その基板に割り当てられている検査が全て終了しているか否かを判断し、
(b2)検査が終了していればその基板を前記第2の受け渡し部に搬送し、
(b3)検査が終了していなければ、終了していない検査モジュールが空いているか否かを判断し、空いていればその検査モジュールに搬送する一方、空いていなければバッファユニットに位置させるステップ、を実行する機能を備えていることを特徴とする塗布、現像装置。 - 前記制御部は、
前記(a3)において検査モジュールが空いていないと判断したら、バッファユニットに搬送するステップに代えて、
バッファユニットが空いているか否かを判断し、空いていれば前記基板をバッファユニットに搬送し、空いていなければ第2の受け渡し部に未検査基板として搬送するステップを実行することを特徴とする請求項1記載の塗布、現像装置。 - 前記(a3)においてバッファユニットが空いていなければアラームを発するアラーム発生手段が設けられていることを特徴とする請求項2記載の塗布、現像装置。
- 前記第2の受け渡し部に搬送された未検査基板として取り扱われる検査対象基板は、キャリアステーションに搬送されることを特徴とする請求項2または3記載の塗布、現像装置。
- キャリアステーションに搬送された検査対象基板は、キャリアに搬送されることを特徴とする請求項4記載の塗布、現像装置。
- 前記制御部は、キャリアステーションに搬送された未検査基板として取り扱われる検査対象基板を、検査ステーションに搬送するステップを実行することを特徴とする請求項4または5に記載の塗布、現像装置。
- 未検査基板として取り扱われる検査対象基板を検査ステーションに搬送する前記ステップを実行するか否かを選択するための選択手段が設けられていることを特徴とする請求項6記載の塗布、現像装置。
- 第1の基板搬送手段によりキャリアから取り出された基板が受け渡される第3の受け渡し部と、この受け渡し部から基板を前記検査ステーションを横切って処理ステーションに搬送するためのシャトル搬送手段と、を備えたことを特徴とする請求項1ないし7のいずれか一に記載の塗布、現像装置。
- バッファユニットと第2の受け渡し部と第3の受け渡し部とは、互いに上下に積層されていることを特徴とする請求項8に記載の塗布、現像装置。
- バッファユニットと第2の受け渡し部と第3の受け渡し部と少なくとも一つの検査モジュールとは、互いに上下に積層されていることを特徴とする請求項8または9記載の塗布、現像装置。
- 複数枚の基板を収納したキャリアが載置され、キャリアとの間で基板の受け渡しを行う第1の基板搬送手段を備えたキャリアステーションと、
前記第1の基板搬送手段から受け渡された基板に対するレジストの塗布、レジストが塗布されかつ露光された後の基板に対する現像、またはその前後の処理を行う複数の処理モジュールと、これら処理モジュールに対し、順次基板を搬送する第2の基板搬送手段と、を備えた処理ステーションと、
この処理ステーションにて現像を終えた基板が置かれる第1の受け渡し部と、
前記キャリアステーションの第1の基板搬送手段により基板が受け取られる第2の受け渡し部と、
現像を終えた基板に対して検査を行い、検査に要する時間が互いに異なる複数の検査モジュールと、基板を一時的に滞留させるバッファユニットと、バッファユニットと、前記第1の受け渡し部、第2の受け渡し部及び検査モジュールの間で基板の受け渡しを行う第3の基板搬送手段と、を備えた、処理ステーションで処理された基板をキャリアステーションに受け渡す検査ステーションと、を備えた塗布、現像装置を制御する方法であって、
前記第1の受け渡し部の基板を搬送するときには、
(a1)その基板が検査対象の基板か否かを判断する工程と、
(a2)検査対象の基板でなければ、その基板を第2の受け渡し部に搬送する工程と、
(a3)検査対象の基板であれば、検査にかかる検査モジュールが空いているか否かを判断し、空いていればその検査モジュールに搬送する一方、空いていなければバッファユニットに搬送する工程と
を備え、
検査ステーション内のモジュールの基板を搬送するときには、
(b1)その基板に割り当てられている検査が全て終了しているか否かを判断する工程と、
(b2)検査が終了していればその基板を前記第2の受け渡し部に搬送する工程と、
(b3)検査が終了していなければ、終了していない検査モジュールが空いているか否かを判断し、空いていればその検査モジュールに搬送する一方、空いていなければバッファユニットに位置させる工程と、を備えていることを特徴とする塗布、現像装置の制御方法。 - 前記(a3)において検査モジュールが空いていないと判断したら、バッファユニットに搬送する工程に代えて、
バッファユニットが空いているか否かを判断し、空いていれば前記基板をバッファユニットに搬送し、空いていなければ第2の受け渡し部に未検査基板として搬送する工程を行うことを特徴とする請求項11記載の塗布、現像装置の制御方法。 - 前記(a3)においてバッファユニットが空いていなければアラームを発する工程を含むことを特徴とする請求項12記載の塗布、現像装置の制御方法。
- 前記第2の受け渡し部に搬送された未検査基板として取り扱われる検査対象基板は、キャリアステーションに搬送されることを特徴とする請求項12または13記載の塗布、現像装置の制御方法。
- キャリアステーションに搬送された検査対象基板はキャリアに搬送されることを特徴とする請求項14記載の塗布、現像装置の制御方法。
- キャリアステーションに搬送された未検査基板として取り扱われる検査対象基板を、検査ステーションに搬送する工程を含むことを特徴とする請求項14または15に記載の塗布、現像装置の制御方法。
- 検査対象基板を検査ステーションに搬送する前記工程を実行するか否かを選択する工程を含むことを特徴とする請求項16記載の塗布、現像装置の制御方法。
- 第1の基板搬送手段によりキャリアから取り出された基板を第3の受け渡し部に受け渡す工程と
この受け渡し部から基板を前記検査ステーションを横切って処理ステーションに搬送する工程と、をさらに備えることを特徴とする請求項11ないし17のいずれか一つに記載の塗布、現像装置の制御方法。 - 基板に対するレジストの塗布、レジストが塗布されかつ露光された後の基板に対する現像を行う塗布、現像装置に用いられるコンピュータプログラムが記憶された記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項11ないし18のいずれか一に記載の塗布、現像装置の制御方法を実施するためのものであることを特徴とする記憶媒体。
Priority Applications (7)
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