JP2009052998A - 多層膜反射鏡、多層膜反射マスク及びそれらを用いたeuv露光装置 - Google Patents
多層膜反射鏡、多層膜反射マスク及びそれらを用いたeuv露光装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】本発明の多層膜反射鏡は、基材上にMoを主成分とするMo層とSiを主成分とするSi層とからなるMo-Siペア層を交互に設けた多層膜反射鏡であって、基材直上の第1番目のMo-Siペア層から第n番目のMo-Siペア層におけるMo層の厚さSi層の厚さが等しくなるように設定されることを特徴とする
【選択図】 図2
Description
Claims (7)
- 基材上にMoを主成分とするMo層とSiを主成分とするSi層とからなるMo-Siペア層を交互に設けた多層膜反射鏡であって、
基材直上の第1番目のMo-Siペア層から第n番目のMo-Siペア層におけるMo層の厚さとSi層の厚さとが等しくなるように設定されることを特徴とする多層膜反射鏡。 - 基材上に設けられる全てのMo-Siペア層数が40であり、9≦n≦18であることを特徴とする請求項1に記載の多層膜反射鏡。
- 基材上に設けられる全てのMo-Siペア層数が40であり、n=14であることを特徴とする請求項1に記載の多層膜反射鏡。
- 基材上にMoを主成分とするMo層とSiを主成分とするSi層とからなるMo-Siペア層を交互に設け、Mo-Siペア層上に吸収層を設けた多層膜反射マスクであって、
基材直上の第1番目のMo-Siペア層から第n番目のMo-Siペア層におけるMo層の厚さとSi層の厚さとが等しくなるように設定されることを特徴とする多層膜反射マスク。 - 基材上に設けられる全てのMo-Siペア層数が40であり、9≦n≦18であることを特徴とする請求項1に記載の多層膜反射マスク。
- 基材上に設けられる全てのMo-Siペア層数が40であり、n=14であることを特徴とする請求項1に記載の多層膜反射マスク。
- 請求項1乃至請求項3記載の多層膜反射鏡又は請求項4乃至請求項6の多層膜反射マスクのいずれかを用いたことを特徴とするEUV露光装置。
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