JP2007059743A - 多層膜反射鏡および露光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】成膜面全面でトータルの膜応力が均一かつ最小となるような多層膜反射鏡を提供する。
【解決手段】本発明による多層膜反射鏡は、モリブデンを含む層(105)とシリコンを含む層(103)から成る層対を積み重ねた、光を反射するための第1の部分(A1)と、第1の部分の有する応力を相殺するように構成された層からなる第2の部分(B1、B2)とを基板上に有する。第1の部分の有する応力の、基板に平行な面内の分布に応じて第1の部分の有する応力を相殺するように第2の部分の層の構成を変化させたことを特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】本発明による多層膜反射鏡は、モリブデンを含む層(105)とシリコンを含む層(103)から成る層対を積み重ねた、光を反射するための第1の部分(A1)と、第1の部分の有する応力を相殺するように構成された層からなる第2の部分(B1、B2)とを基板上に有する。第1の部分の有する応力の、基板に平行な面内の分布に応じて第1の部分の有する応力を相殺するように第2の部分の層の構成を変化させたことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、極紫外線または軟X線を露光光源として用いる、露光装置および当該露光装置に使用される多層膜反射鏡に関するものである。
現在、半導体集積回路の製造方法として高い処理速度が得られる縮小投影露光が広く利用されている。近年、半導体集積回路素子の微細化の進展に伴い、光の回折限界によって制限される光学系の解像力を向上させるために、従来の紫外線に代わって、これより波長の短い波長11〜14nm程度の軟X線を使用した投影リソグラフィ技術が開発されている(たとえば、非特許文献1参照)。この技術は、最近ではEUV(Extreme UltraViolet: 極紫外線)リソグラフィとも呼ばれている。EUVリソグラフィは、従来の光リソグラフィ(波長190nm程度以上)では実現不可能な、50nm以下の解像力を有する将来のリソグラフィ技術として期待されている。
この波長域では物質の屈折率が1に非常に近いので、屈折や反射を利用した従来の光学素子は使用できない。屈折率が1よりも僅かに小さいことによる全反射を利用した斜入射ミラーや、界面での微弱な反射光の位相を合わせて多数重畳させて、全体として高い反射率を得る多層膜反射鏡などが使用される。13.4nm付近の波長域では、モリブデン(Mo)層とシリコン(Si)層を交互に積層したMo/Si多層膜を用いると直入射で67.5%の反射率を得ることができる。
この波長域では物質の屈折率が1に非常に近いので、屈折や反射を利用した従来の光学素子は使用できない。屈折率が1よりも僅かに小さいことによる全反射を利用した斜入射ミラーや、界面での微弱な反射光の位相を合わせて多数重畳させて、全体として高い反射率を得る多層膜反射鏡などが使用される。13.4nm付近の波長域では、モリブデン(Mo)層とシリコン(Si)層を交互に積層したMo/Si多層膜を用いると直入射で67.5%の反射率を得ることができる。
図6は、Mo/Si多層膜のMo/Si層対の厚さに対するモリブデン層の厚さの割合をΓ値とした場合に、Γ値とMo/Si多層膜のピーク反射率との関係を示す図である。1層対の厚さは7nm、層対数は50である。また、光の波長は13.5nmである。図からわかるように、高いピーク反射率を得るためには、Γ値は0.35乃至0.4であることが望ましい。
EUVリソグラフィ用光学系をはじめとするEUV用多層膜を使用した光学系では、多層膜の有する膜応力が問題となる。多層膜の総膜厚は1ミクロン以下と薄いため、膜応力による基板の変形量は小さいが、EUVリソグラフィで使用される反射鏡には非常に高い形状の精度が求められるので、応力を制御し、低減する必要がある。
Mo/Si多層膜の応力低減の手法として、多層膜中におけるモリブデン層とシリコン層の厚さの割合を変えて成膜する手法が提案されている。
EUVリソグラフィ用光学系をはじめとするEUV用多層膜を使用した光学系では、多層膜の有する膜応力が問題となる。多層膜の総膜厚は1ミクロン以下と薄いため、膜応力による基板の変形量は小さいが、EUVリソグラフィで使用される反射鏡には非常に高い形状の精度が求められるので、応力を制御し、低減する必要がある。
Mo/Si多層膜の応力低減の手法として、多層膜中におけるモリブデン層とシリコン層の厚さの割合を変えて成膜する手法が提案されている。
図7は、Mo/Si多層膜のΓ値と多層膜応力との関係を示す図である。1層対の厚さは7nm、層対数は50である。また、光の波長は13.5nmである。図からわかるように、Γ値が0.35乃至0.4であるときに多層膜応力は、−500乃至−400MPaである。負の符号は、圧縮応力を示す。Γ値を0.5以上にすると、膜応力は引張り応力に転ずる。Γ値が0.65の多層膜応力は+400MPa(引張り応力)となる。したがって、Γ値が0.35乃至0.4である、ピーク反射率の高い多層膜と同じ厚さだけ引張り応力を有する多層膜を成膜することによってピーク反射率の高い多層膜の応力をほぼ相殺できる。具体的には、まず基板上にΓ値が0.65のMo/Si多層膜を成膜し、その上にΓ値が0.35のMo/Si多層膜を成膜することによってお互いの応力を相殺する。このとき、表面側には反射率の高いΓ値が0.35のMo/Si多層膜が成膜されているので、低応力値と共に高い反射率が得られる。
多層膜応力は、多層膜の厚さに比例する。したがって、Γ値の異なる2組の多層膜の応力が、符号が異なり絶対値が等しくなるように、2組の多層膜のΓ値および厚さを定めれば、2組の多層膜全体の応力は相殺される。
D. Tichenor, et al., SPIE 2437 (1995) 292
従来の手法でMo/Si多層膜の応力を大幅に低減することは可能である。しかし、成膜装置の特性によって基板上の成膜位置によって膜質が微妙に違い、それによって膜応力が基板面上で完全には均一ではない場合がある。
図3は、成膜装置の構成を示す図である。基板101は、回転する基板ホルダ201上に取り付けられる。2基のカソード209、211のそれぞれのシャッター205、207の開閉により、回転する基板101上にモリブデン層とシリコン層が交互に成膜される。このような成膜装置においてモリブデン層とシリコン層の膜厚が均一になるように成膜をおこないMo/Si多層膜を成膜した場合、基板中央部に成膜されるMo/Si多層膜と周辺部で成膜される多層膜は、1層対の厚さとΓ値は同一である。
図3は、成膜装置の構成を示す図である。基板101は、回転する基板ホルダ201上に取り付けられる。2基のカソード209、211のそれぞれのシャッター205、207の開閉により、回転する基板101上にモリブデン層とシリコン層が交互に成膜される。このような成膜装置においてモリブデン層とシリコン層の膜厚が均一になるように成膜をおこないMo/Si多層膜を成膜した場合、基板中央部に成膜されるMo/Si多層膜と周辺部で成膜される多層膜は、1層対の厚さとΓ値は同一である。
図4は、上記のようにして成膜された従来の多層膜反射鏡の構成を示す図である。図4(a)は、1層対の厚さが7nm、Γ値が0.4の層対(103および105)から成るピーク反射率の高い多層膜(構成A0)を示す。図4(b)は、ピーク反射率の高い多層膜の応力を相殺するように、1層対の厚さが7nm、Γ値が0.7の層対(107および109)から成る多層膜(構成B0)上に構成A0の多層膜を積層した構成を示す。
しかし、成膜面において、成膜装置の回転軸に対応する部分を中心として半径方向に応力の分布が存在する場合がある。たとえば、構成A0の多層膜の応力が基板中央部で−400MPa(圧縮応力)であり、基板周辺部では−380MPaであるとする。一方、構成B0の多層膜の応力が基板中央部で+400MPa(引張り応力)であり、基板周辺部では+420MPaであるとする。このような場合には、仮に成膜装置の回転軸に相当する部分(基板の中央部)で応力が相殺されても、基板の周辺部では応力が相殺されない。
したがって、構成A0の多層膜の応力が成膜面上で分布していても、成膜面全面でトータルの膜応力が均一かつ最小となるような多層膜反射鏡に対するニーズがある。
したがって、構成A0の多層膜の応力が成膜面上で分布していても、成膜面全面でトータルの膜応力が均一かつ最小となるような多層膜反射鏡に対するニーズがある。
本発明による多層膜反射鏡は、モリブデンを含む層とシリコンを含む層から成る層対を積み重ねた、光を反射するための第1の部分と、第1の部分の有する応力を相殺するように構成された層からなる第2の部分とを基板上に有する。第1の部分が有する応力の、基板に平行な面内の分布に応じて、第1の部分が有する応力を相殺するように第2の部分の層の構成を変化させたことを特徴とする。
したがって、第1の部分の有する応力が成膜面上で分布していても、成膜面全面でトータルの膜応力が均一かつ最小となる。
本発明の多層膜反射鏡は、成膜面全面でトータルの膜応力が均一かつ最小となるので、基板の変形量が小さく、形状精度が高くなる。
図1は、本発明の第一の実施形態の構成を示す図である。
本実施形態は、EUV光学系に用いられる多層膜反射鏡であり、高精度に加工された凹面基板101上に構造A1および構造B1を有する2種類の多層膜が成膜されている。
本実施形態は、EUV光学系に用いられる多層膜反射鏡であり、高精度に加工された凹面基板101上に構造A1および構造B1を有する2種類の多層膜が成膜されている。
構造A1を有する多層膜は、EUV光反射層であり、表面側に配置される。構造A1は、モリブデン層105とシリコン層103の層対から成る。本実施形態において構造A1の層対の数は50である。構造A1の1層対の厚さは7nm、Γ値は0.4である。
構造A1を有する多層膜と基板表面との間には、応力相殺を目的とした構造B1を有する多層膜が成膜されている。構造B1は、モリブデン層109とシリコン層107の層対から成る。本実施形態において構造B1の層対の数は50である。構造B1の1層対の厚さは7nmである。Γ値は、基板中央部では0.7、基板周辺部では0.65であり、基板中央部から基板周辺部にかけて、基板に平行な面の中心からの距離にしたがってΓ値を変化させている。基板中央部から基板周辺部にかけて、基板に平行な面の中心からの距離にしたがってΓ値を変化させているのは、構造A1を有する多層膜の応力が基板中央部では−400MPa、基板周辺部では−380MPaであり、基板中央部から基板周辺部にかけて、基板に平行な面の中心からの距離にしたがって変化しているからである。このように変化しているのは、基板を回転させる製造方法のためであり、基板に平行な面の中心の位置は、製造プロセスにおける回転軸の位置に相当する。
構造A1を有する多層膜と基板表面との間には、応力相殺を目的とした構造B1を有する多層膜が成膜されている。構造B1は、モリブデン層109とシリコン層107の層対から成る。本実施形態において構造B1の層対の数は50である。構造B1の1層対の厚さは7nmである。Γ値は、基板中央部では0.7、基板周辺部では0.65であり、基板中央部から基板周辺部にかけて、基板に平行な面の中心からの距離にしたがってΓ値を変化させている。基板中央部から基板周辺部にかけて、基板に平行な面の中心からの距離にしたがってΓ値を変化させているのは、構造A1を有する多層膜の応力が基板中央部では−400MPa、基板周辺部では−380MPaであり、基板中央部から基板周辺部にかけて、基板に平行な面の中心からの距離にしたがって変化しているからである。このように変化しているのは、基板を回転させる製造方法のためであり、基板に平行な面の中心の位置は、製造プロセスにおける回転軸の位置に相当する。
本実施形態において、構造A1を有する多層膜が特許請求の範囲の第1の部分に相当し、構造B1を有する多層膜が特許請求の範囲の第2の部分に相当する。
図7に関して説明したように、Γ値が大きなほど引張り応力は大きくなる。構造B1を有する多層膜のΓ値は、基板中央部では+400MP、基板周辺部では+380MPaの引張り応力を有するように定められている。構造B1を有する多層膜の応力は、表面側に成膜された構造A1を有する多層膜の応力とは符号が逆であり、その大きさ(絶対値)は基板中央部から周辺部にわたり同様な分布を有している。したがって、応力は相殺され、成膜による基板の変形は生じない。また、構造B1を有する多層膜の1層対の厚さは面内で7nmと均一であるため、基板表面に構造B1を有する多層膜から成る応力相殺層を成膜することにより成膜後の表面側の多層膜が成膜される面は基板面に対して変化していない。
図3は、成膜装置の構成を示す図である。基板101は、回転する基板ホルダ201上に取り付けられる。2基のカソード209、211のそれぞれのシャッター205、207の開閉により、回転する基板101上にモリブデン層とシリコン層が交互に成膜される。成膜中には基板101の表面近傍で遮蔽板203が移動することにより、層の厚さの半径方向の分布が制御される。
図2は、本発明の第二の実施形態の構成を示す図である。
本実施形態では、第一の実施形態と比較して、応力相殺層に相当する構造B2のみが異なるので、構造B2のみを説明する。応力相殺層に相当する構造B2はモリブデン・ルテニウム合金(Mo50%、Ru50%)層114とシリコン層113の2層から成っている。これらの層の応力はそれぞれ引張り応力、圧縮応力であるので、2層の厚さの和が100nmと一定となるようにしながら、それぞれの層の厚さを制御して、表面側のEUV光反射層の応力を面内全体で相殺している。モリブデン層の厚さが増大すると膜の表面粗さが急激に増大する傾向があるが、モリブデン・ルテニウム層は合金層であるため、モリブデン層と比較して表面粗さの増大は小さい。したがって、本実施形態のように10nmを超える膜厚となる場合には多層膜の構成材料として適している。
本実施形態において、構造B2の層対が特許請求の範囲の第2の部分に相当する。
図2は、本発明の第二の実施形態の構成を示す図である。
本実施形態では、第一の実施形態と比較して、応力相殺層に相当する構造B2のみが異なるので、構造B2のみを説明する。応力相殺層に相当する構造B2はモリブデン・ルテニウム合金(Mo50%、Ru50%)層114とシリコン層113の2層から成っている。これらの層の応力はそれぞれ引張り応力、圧縮応力であるので、2層の厚さの和が100nmと一定となるようにしながら、それぞれの層の厚さを制御して、表面側のEUV光反射層の応力を面内全体で相殺している。モリブデン層の厚さが増大すると膜の表面粗さが急激に増大する傾向があるが、モリブデン・ルテニウム層は合金層であるため、モリブデン層と比較して表面粗さの増大は小さい。したがって、本実施形態のように10nmを超える膜厚となる場合には多層膜の構成材料として適している。
本実施形態において、構造B2の層対が特許請求の範囲の第2の部分に相当する。
本実施形態においては、構造B2の層対の数が1であるので、層対の数が多い場合に比較して製造が容易である。
本実施形態では応力相殺層が2層から構成されているが、膜の構成数はこれに限るものではない。
本実施形態では応力相殺層はモリブデン・ルテニウム層とシリコン層から成っているが、構成材料はこれに限るものではない。
本実施形態では応力相殺層が2層から構成されているが、膜の構成数はこれに限るものではない。
本実施形態では応力相殺層はモリブデン・ルテニウム層とシリコン層から成っているが、構成材料はこれに限るものではない。
図5は、本発明による多層膜反射鏡を使用した露光装置の構成を示す図である。
光源31から放出されたEUV光は、コリメータミラーとして作用する凹面反射鏡34を介してほぼ平行光束となり、一対のフライアイミラー35aおよび35bからなるオプティカルインテグレータ35に入射する。一対のフライアイミラー35aおよび35bとして、たとえば特許文献1に開示されたフライアイミラーを用いることができる。
こうして、フライアイミラー35bの反射面の近傍、すなわちオプティカルインテグレータ35の射出面の近傍には、所定の形状を有する実質的な面光源が形成される。実質的な面光源からの光は平面反射鏡36により偏向された後、マスクM上に細長い円弧状の照明領域を形成する。ここで、円弧状の照明領域を形成するための開口板は、図示していない。マスクMの表面で反射された光は、その後、投影光学系37の多層膜反射鏡M1、M2、M3、M4、M5、M6で順に反射されて、露光光1として、マスクMの表面に形成されたパターンの像を、ウエハ2上に塗布されたレジスト3上に形成する。
光源31から放出されたEUV光は、コリメータミラーとして作用する凹面反射鏡34を介してほぼ平行光束となり、一対のフライアイミラー35aおよび35bからなるオプティカルインテグレータ35に入射する。一対のフライアイミラー35aおよび35bとして、たとえば特許文献1に開示されたフライアイミラーを用いることができる。
こうして、フライアイミラー35bの反射面の近傍、すなわちオプティカルインテグレータ35の射出面の近傍には、所定の形状を有する実質的な面光源が形成される。実質的な面光源からの光は平面反射鏡36により偏向された後、マスクM上に細長い円弧状の照明領域を形成する。ここで、円弧状の照明領域を形成するための開口板は、図示していない。マスクMの表面で反射された光は、その後、投影光学系37の多層膜反射鏡M1、M2、M3、M4、M5、M6で順に反射されて、露光光1として、マスクMの表面に形成されたパターンの像を、ウエハ2上に塗布されたレジスト3上に形成する。
本発明の多層膜反射鏡は、成膜面全面でトータルの膜応力が均一かつ最小となるので、基板の変形量が小さく、形状精度が高い。したがって、本発明による多層膜反射鏡を使用する本発明の露光装置の投影光学系の収差は小さい。
101…基板、103、107、113…シリコンを含む層、105、109、114…モリブデンを含む層
Claims (7)
- モリブデンを含む層とシリコンを含む層から成る層対を積み重ねた、光を反射するための第1の部分と、第1の部分の有する応力を相殺するように構成された層からなる第2の部分とを基板上に有する多層膜反射鏡であって、第1の部分が有する応力の、基板に平行な面内の分布に応じて、第1の部分が有する応力を相殺するように第2の部分の層の構成を変化させたことを特徴とする多層膜反射鏡。
- 第1の部分の有する応力が、基板に平行な面の中心からの距離にしたがって変化している場合に、当該変化に応じて第1の部分の有する応力を相殺するように、前記中心からの距離にしたがって第2の部分の層の構成を変化させたことを特徴とする請求項1に記載の多層膜反射鏡。
- 第2の部分が、モリブデンを含む層とシリコンを含む層から成る層対からなり、層対の厚さは一定であり、層対の厚さに対するモリブデンを含む層の厚さの比率をΓ値とした場合に、第1の部分の有する応力の分布に応じて第1の部分の有する応力を相殺するように、前記Γ値を変化させたことを特徴とする請求項1または2に記載の多層膜反射鏡。
- 第2の部分の前記層対の数が1であることを特徴とする請求項3に記載の多層膜反射鏡。
- 第2の部分のモリブデンを含む層がモリブデンからなることを特徴とする請求項3または4に記載の多層膜反射鏡。
- 第2の部分のモリブデンを含む層がモリブデン・ルテニウム合金からなることを特徴とする請求項3または4に記載の多層膜反射鏡。
- 請求項1から6のいずれかに記載の多層膜反射鏡を使用した光学系を有することを特徴とする投影露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005245270A JP2007059743A (ja) | 2005-08-26 | 2005-08-26 | 多層膜反射鏡および露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005245270A Pending JP2007059743A (ja) | 2005-08-26 | 2005-08-26 | 多層膜反射鏡および露光装置 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2007059743A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102193121A (zh) * | 2010-03-17 | 2011-09-21 | 卡尔蔡司Smt有限责任公司 | 反射光学元件、投射***和投射曝光设备 |
CN102782531A (zh) * | 2009-12-15 | 2012-11-14 | 卡尔蔡司Smt有限责任公司 | 用于极紫外光刻的反射光学元件 |
CN108089407A (zh) * | 2016-11-22 | 2018-05-29 | 佳能株式会社 | 光学元件、曝光装置以及物品的制造方法 |
-
2005
- 2005-08-26 JP JP2005245270A patent/JP2007059743A/ja active Pending
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CN102193121A (zh) * | 2010-03-17 | 2011-09-21 | 卡尔蔡司Smt有限责任公司 | 反射光学元件、投射***和投射曝光设备 |
CN102193121B (zh) * | 2010-03-17 | 2015-06-17 | 卡尔蔡司Smt有限责任公司 | 反射光学元件、投射***和投射曝光设备 |
CN108089407A (zh) * | 2016-11-22 | 2018-05-29 | 佳能株式会社 | 光学元件、曝光装置以及物品的制造方法 |
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