JP2009047533A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】センサチップ20の裏面側に配置されるチップ裏面側保護部材50を構成する第1保護部材51および第2保護部材52において、センサチップ20の裏面に接する第1保護部材51に含まれるオイル量よりも圧力媒体に接する第2保護部材52に含まれるオイル量を多くする。これにより、第2保護部材52を第1保護部材51へのオイル供給源として機能させる。
【選択図】図1
Description
以下、本発明の第1実施形態について図を参照して説明する。本実施形態で示される圧力センサは、例えば、インテークマニホールド等に設置される吸気圧センサや、自動車用ディーゼルエンジンの排気ガス浄化システム(DPFシステム)において排気ガスの圧力を検出する圧力センサとして用いられるものである。
本実施形態では、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。上記第1実施形態では、オイル供給源である第2保護部材52とセンサチップ20の裏面に接する第1保護部材51とを同じ材質のもので構成していたが、本実施形態では、第2保護部材52に代えてオイルを含有したプレートを用いることが特徴となっている。
本実施形態では、上記各実施形態と異なる部分についてのみ説明する。上記各実施形態では、圧力導入孔13の第1孔13a内において第1保護部材51の上に第2保護部材52やプレート部材53が配置されていたが、本実施形態では、第1孔13a内においてオイル供給源となる部材の上に第1保護部材51が配置された構造になっていることが特徴となっている。
本実施形態では、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。本実施形態では、第1保護部材51にオイルを直接供給することが特徴となっている。
本実施形態では、上記各実施形態と異なる部分についてのみ説明する。上記各実施形態では、圧力センサはセンサチップ20の表面と裏面とでそれぞれ受けた圧力の差圧を検出するものとして構成されていたが、絶対圧を検出する圧力センサに上記した発明の内容を適用することができる。
本実施形態では、第5実施形態と異なる部分についてのみ説明する。図8は、本発明の第6実施形態に係る圧力センサの一部概略断面図である。この図に示されるように、第1保護部材51の上に、第1保護部材51よりも多くのオイルが混合されたプレート部材53が配置されている。このように、絶対圧を測定する圧力センサにおいて、プレート部材53を採用した構成とすることもできる。
本実施形態では、第5、第6実施形態と異なる部分についてのみ説明する。図9は、本発明の第7実施形態に係る圧力センサの一部概略断面図である。本実施形態では、センサチップ70の圧力受圧面に接する第1保護部材51よりも、当該第1保護部材51よりも下層のゴム部材55に含まれるオイル量を多くしてゴム部材55をオイル供給源として機能させている。このように、第1保護部材51に覆われたゴム部材55をオイル供給源とすることもできる。なお、本実施形態に係るゴム部材55は、本発明のオイル供給部材に相当する。
上記各実施形態に示される圧力センサの形態は一例を示すものであって、これらに限らず他の形態であっても構わない。
Claims (13)
- 圧力受圧面を有し、前記圧力受圧面で圧力媒体の圧力を検出してその圧力に応じた電気信号を発生するセンサチップ(20、70)を、オイル材が混合された複数の保護部材(50)で被覆保護してなる圧力センサであって、
前記複数の保護部材(50)のうち、少なくとも、前記センサチップ(20、70)の圧力受圧面に接する第1保護部材(51)に含まれるオイル材の量よりも、この第1保護部材(51)に接する第2保護部材(52)に含まれるオイル材の量が多くなっており、前記第2保護部材(52)は前記第1保護部材(51)のオイル供給源になっていることを特徴とする圧力センサ。 - 一面および他面を有する板状のものであって、前記一面に凹部(12)が形成され、この凹部(12)の底面と前記他面とを貫通する圧力導入孔(13)が形成されたケース(10)を備え、
前記センサチップ(20)は、一面および他面を有する板状のものであって、前記一面および他面が圧力受圧面になっており、前記各圧力受圧面にそれぞれ印加される圧力の差圧を検出するようになっており、前記圧力受圧面の一方が前記ケース(10)の圧力導入孔(13)に対向するように前記凹部(12)内に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。 - 前記複数の保護部材(50)は、前記第1保護部材(51)と前記第2保護部材(52)との二層のみによって構成され、前記第1保護部材(51)は前記センサチップ(20)の圧力受圧面の一方に接するように前記圧力導入孔(13)内に充填されると共に、前記第2保護部材(52)は圧力導入孔(13)内であって前記第1保護部材(51)の上に配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の圧力センサ。
- 前記第2保護部材(52)は、オイル材が含まれたシート状をなしており、前記第1保護部材(51)の上に配置されるプレート部材(53)として構成されていることを特徴とする請求項3に記載の圧力センサ。
- 前記ケース(10)内に液状のオイル(17)が配置されたオイル供給室(16)が設けられており、前記オイル(17)は前記オイル供給室(16)から前記圧力導入孔(13)に通じる通路(19)を通過して前記圧力導入孔(13)内に配置された前記第1保護部材(51)に直接接しており、前記オイル(17)が前記第1保護部材(51)に対するオイル供給源になっていることを特徴とする請求項2ないし4のいずれか1つに記載の圧力センサ。
- 前記圧力導入孔(13)は、前記ケース(10)の他面に開口する第1孔(13a)と、前記第1孔(13a)よりも径が小さく前記ケース(10)の凹部(12)の底面に開口する第2孔(13b)とによって構成され、前記第2孔(13b)の開口部分に前記第1孔(13a)内に突出する堤防部(15)が設けられており、
前記複数の保護部材(50)は、前記第1保護部材(51)とオイル供給部材(54)とのみによって構成され、前記第1保護部材(51)は前記センサチップ(20)の圧力受圧面の一方に接するように前記第2孔(13b)内に充填されると共に、前記オイル供給部材(54)は前記第1孔(13a)内であってこの第1孔(13a)の壁面と前記堤防部(15)とで囲まれた領域に配置されると共に前記第1保護部材(51)に覆われており、
前記オイル供給部材(54)に含まれるオイル材の量は、前記第1保護部材(51)に含まれるオイル材の量よりも多くなっており、前記オイル供給部材(54)は前記第1保護部材(51)のオイル供給源になっていることを特徴とする請求項2に記載の圧力センサ。 - 前記ケース(10)内に液状のオイル(17)が配置されたオイル供給室(16)が設けられており、前記オイル(17)は前記オイル供給室(16)から前記第1孔(13a)に通じる通路(19)を通過して前記第1孔(13a)内に配置された前記オイル供給部材(54)に直接接しており、前記オイル(17)が前記オイル供給部材(54)に対するオイル供給源になっていることを特徴とする請求項6に記載の圧力センサ。
- 凹部(81)を有するケース(80)を備え、
前記センサチップ(70)は、圧力受圧面を有する板状のものであって、前記圧力受圧面に印加される圧力を絶対圧として検出するように前記凹部(81)内に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。 - 前記複数の保護部材(50)は、前記第1保護部材(51)と前記第2保護部材(52)との二層のみによって構成され、前記第1保護部材(51)は前記センサチップ(20)の圧力受圧面の一方に接するように前記凹部(81)内に充填されると共に、前記第2保護部材(52)は凹部(81)内であって前記第1保護部材(51)の上に配置されていることを特徴とする請求項8に記載の圧力センサ。
- 前記第2保護部材(52)は、オイル材が含まれたシート状をなしており、前記第1保護部材(51)の上に配置されるプレート部材(53)として構成されていることを特徴とする請求項9に記載の圧力センサ。
- 前記ケース(80)内に液状のオイル(17)が配置されたオイル供給室(16)が設けられており、前記オイル(17)は前記オイル供給室(16)から前記凹部(81)に通じる通路(19)を通過して前記凹部(81)内に配置された前記第1保護部材(51)に直接接しており、前記オイル(17)が前記第1保護部材(51)に対するオイル供給源になっていることを特徴とする請求項8ないし10のいずれか1つに記載の圧力センサ。
- 前記複数の保護部材(50)は、第1保護部材(51)とオイル供給部材(55)との二層のみによって構成され、前記第1保護部材(51)は前記センサチップ(70)の圧力受圧面に接するように前記凹部(81)内に充填されると共に、前記オイル供給部材(55)は前記凹部(81)の底面に充填され前記第1保護部材(51)に覆われていることを特徴とする請求項8に記載の圧力センサ。
- 前記ケース(80)内に液状のオイル(17)が配置されたオイル供給室(16)が設けられており、前記オイル(17)は前記オイル供給室(16)から前記凹部(81)に通じる通路(19)を通過して前記凹部(81)内に配置された前記オイル供給部材(55)に直接接しており、前記オイル(17)が前記オイル供給部材(55)に対するオイル供給源になっていることを特徴とする請求項12に記載の圧力センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007213488A JP4893529B2 (ja) | 2007-08-20 | 2007-08-20 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007213488A JP4893529B2 (ja) | 2007-08-20 | 2007-08-20 | 圧力センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009047533A true JP2009047533A (ja) | 2009-03-05 |
JP4893529B2 JP4893529B2 (ja) | 2012-03-07 |
Family
ID=40499893
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007213488A Expired - Fee Related JP4893529B2 (ja) | 2007-08-20 | 2007-08-20 | 圧力センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4893529B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113286992A (zh) * | 2019-01-03 | 2021-08-20 | 德尔福知识产权有限公司 | 压力传感器组件 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9534975B2 (en) * | 2014-08-25 | 2017-01-03 | Measurement Specialties, Inc. | Freeze proof protection of pressure sensors |
JP2016212015A (ja) * | 2015-05-12 | 2016-12-15 | アルプス電気株式会社 | 圧力検知装置 |
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JP3591425B2 (ja) * | 2000-04-27 | 2004-11-17 | 株式会社デンソー | 圧力センサ |
-
2007
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CN113286992B (zh) * | 2019-01-03 | 2023-03-14 | 德尔福知识产权有限公司 | 压力传感器组件 |
US11719589B2 (en) | 2019-01-03 | 2023-08-08 | Delphi Technologies Ip Limited | Systems and methods for pressure sensor assembly including improved encapsulation material |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP4893529B2 (ja) | 2012-03-07 |
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