JP2006200924A - 圧力センサの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 Au膜24の下地となるAl膜23や保護膜25の密着力を変える処理を行う。これにより、Al膜23や保護膜25とAu膜24との密着力を高くすることが可能となる。このため、Au膜24と保護膜25との界面を通じて腐食媒体がパッド側に浸入することを防止でき、パッドが腐食されることを防止することが可能となる。
【選択図】 図3
Description
以下、本発明の一実施形態が適用された圧力センサについて説明する。図1に、本実施形態における圧力センサS1の断面図を示し、この図に基づいて説明する。なお、この圧力センサS1は、例えば、ディーゼル車の排気清浄フィルタであるDPFの差圧計測等に適用される。
上記第1実施形態では、Au膜24の下地となるAl膜23や保護膜25の密着力を変える処理をプラズマ処理によって行っているが、これらの場所にUV照射を行うことによっても同様の効果を得ることができる。
上記実施形態では、Al膜23の表面にAu膜24を形成する電気的な接続構造を採用する場合について説明した。しかしながら、このような構造は単なる一例を示したものであり、他の構造としても構わない。
Claims (4)
- センサ素子(20)が形成された半導体基板(21)を用意する工程と、
前記半導体基板(21)の表面に、前記センサ素子(20)の所望場所に繋がるコンタクトホールが形成されてなる絶縁膜(22)を形成する工程と、
前記絶縁膜(22)の上の所定領域に、前記コンタクトホールを通じて前記センサ素子(20)と電気的に接続される第1金属膜(23)を形成する工程と、
前記第1金属膜(23)におけるパッドとなる領域が露出するように、前記第1金属膜(23)および前記絶縁膜(22)の上に保護膜(25)を形成する工程と、
前記第1金属膜(23)におけるパッドとなる領域および前記保護膜(25)のうち前記パッドの周囲に位置する部分の上に金属粒子を分散させた有機溶剤を吹き付けたのち熱処理によって焼結させることで第2金属膜(24)を形成する工程とを有し、
前記半導体基板(21)に形成された前記センサ素子(20)により、圧力導入孔(31)から導入された圧力測定対象の圧力に応じた検出信号を発生させるように構成される圧力センサの製造方法において、
前記第2金属膜(24)を形成する工程の前に、前記第1金属膜(23)におけるパッドとなる領域および前記保護膜(25)のうち前記パッドの周囲に位置する部分の表面に対して、前記第2金属膜(24)との密着力を高める処理を行う工程を行うことを特徴とする圧力センサの製造方法。 - 前記第1金属膜(23)を形成する工程では、前記第1金属膜(23)をAl膜によって形成し、
前記第2金属膜(24)を形成する工程では、前記金属粒子としてAu粒子が含まれた有機溶剤を用い、前記第2金属膜(24)をAu膜(24)が含まれる膜によって形成することを特徴とする請求項1に記載の圧力センサの製造方法。 - 前記密着力を変える処理を行う工程では、アルゴン(Ae)又は窒素(N2)とフロロカーボン(CF4)を含むガス雰囲気中においてプラズマ処理を行うことを特徴とする請求項1または2に記載の圧力センサの製造方法。
- 前記密着力を変える処理を行う工程を行ったのち、前記第2金属膜(24)を形成する工程の前に、前記半導体基板(21)を加熱して水の沸点以上まで加熱する工程を有していることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の圧力センサの製造方法。
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