JP2008294367A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】貫通電極を備える半導体チップを用いた場合においても、接続信頼性が向上するとともに製品の歩留まりが向上した半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の半導体装置10は、基板12と、基板12上に、貫通電極22を備える複数の半導体チップ(第1半導体チップ20aおよび第2半導体チップ20b)を貫通電極22に接続されたバンプ24を介して積層されてなる積層体26と、積層体26の基板12側の面と反対側の面または基板12と前記積層体との間に設けられた補強チップ(半導体チップ30)とを備える。補強チップの厚さが、複数の前記半導体チップのうち最も厚い半導体チップの厚さよりも厚い。
【選択図】図1
【解決手段】本発明の半導体装置10は、基板12と、基板12上に、貫通電極22を備える複数の半導体チップ(第1半導体チップ20aおよび第2半導体チップ20b)を貫通電極22に接続されたバンプ24を介して積層されてなる積層体26と、積層体26の基板12側の面と反対側の面または基板12と前記積層体との間に設けられた補強チップ(半導体チップ30)とを備える。補強チップの厚さが、複数の前記半導体チップのうち最も厚い半導体チップの厚さよりも厚い。
【選択図】図1
Description
本発明は、基板上に貫通電極を備える半導体チップが複数個積層されてなる半導体装置およびその製造方法に関する。
従来の半導体装置としては、例えば非特許文献1に記載されたものがある。同文献に記載された半導体装置を図6(b)に示す。
図6(b)に示すように、半導体装置は、基板112と、基板112上に積層された複数個の半導体チップ120と、封止材134とを備える。基板112は不図示の単一層または多層からなる配線層を有しており、シリコンまたは有機系材料からなる。基板112は裏面に半田ボール114を複数個備える。複数の半導体チップ120は、各々の貫通電極122に接続しているバンプ124を介して電気的に接続されている。
また、特許文献1には、第1半導体チップ上に、第1半導体チップよりも厚い第2半導体チップがフリップチップ実装により接合された半導体装置が記載されている。
また、特許文献1には、第1半導体チップ上に、第1半導体チップよりも厚い第2半導体チップがフリップチップ実装により接合された半導体装置が記載されている。
当該文献には、この半導体装置によれば、配線幅の大きい方の第1の半導体チップを、第2の半導体チップより薄くすることにより、実装時に発生する歪みの影響を厚みの薄い第1半導体チップに集中させ、厚い第2半導体チップの歪み量を少なくし、実装後の歪みによる回路配線への影響を少なくすることができると記載されている。なお、特許文献1には貫通電極に関する記載はない。
2002 Electronic Components and Technology Conference(ECTC2002) 473〜479頁 "Mechanical Effects of Copper Through-Vias in a 3D Die-Stacked Module" 特開2004−87732号公報
2002 Electronic Components and Technology Conference(ECTC2002) 473〜479頁 "Mechanical Effects of Copper Through-Vias in a 3D Die-Stacked Module"
貫通電極を備える半導体チップは、貫通電極形成プロセス上の問題から、その厚さは50〜100μm程度と薄いため、強度が低く反りやすい。このことに起因して、上記文献記載の従来技術は、以下の点で改善の余地を有していた。
第一に、非特許文献1に記載の半導体装置においては、製造プロセス中および使用時において、半導体チップ120を接続するバンプ124が破断することがあった。そのため、半導体装置において貫通電極を備える半導体チップと基板の接続信頼性が低下し、製品の歩留まりが低下することがあった。
第一に、非特許文献1に記載の半導体装置においては、製造プロセス中および使用時において、半導体チップ120を接続するバンプ124が破断することがあった。そのため、半導体装置において貫通電極を備える半導体チップと基板の接続信頼性が低下し、製品の歩留まりが低下することがあった。
第二に、特許文献1に記載の技術を、貫通電極を有する半導体チップに適用する場合、半導体チップの厚さは50〜100μm程度と非常に薄いため、一方の半導体チップをさらに薄くすると、さらなる強度低下や反りの増大を招く。また、厚さが50〜100μm程度しかない半導体チップに厚さの差をつけても歪を減らすことはできない。逆に、一方の半導体チップを厚くすることも考えられる。しかし、貫通電極を有する半導体チップを厚くすることは、貫通電極形成時のエッチングプロセスの時間を長くしてしまう等、実用上の問題がある。
このように、特許文献1の技術を、貫通電極を備える半導体チップを用いた半導体装置に適用することはできない。
上記第一の課題について本発明者らは鋭意研究し、以下のような知見を得た。図5、図6の工程断面図を参照して説明する。
図5(a)において、基板112が予め100℃程度に加熱されている。基板112は、ステージ(不図示)上に載置されている。貫通電極122を有する薄い半導体チップ120を、半田の溶融温度である200〜450℃程度に加熱し、加熱されている基板112上に搭載する。基板は、半導体チップに比べて長時間、温度が高い状態が継続する。このため、基板を200〜450℃程度の高温に加熱すると、基板上に形成されている配線材や半田の表面が酸化されてしまい、品質低下、歩留まり低下を引き起こす。したがって、基板は半導体チップよりも低い100℃程度に加熱される。
そして、図5(b)に示すように、200〜450℃程度に加熱された半導体チップ120をさらに搭載する。
そして、図5(b)に示すように、200〜450℃程度に加熱された半導体チップ120をさらに搭載する。
このような工程を繰り返すことにより、半導体チップ120を積層し、次いで常温程度にまで冷却してはんだ接合を行う(図6(a))。そして、基板112の裏面に半田ボール114を搭載する。そして、封止材134でパッケージングし、半導体装置を製造する(図6(b))。
しかしながら、このような製造方法においては、搭載する半導体チップ120と基板112側との間に温度差があるため、常温に戻す際に低下する温度幅は基板112よりも半導体チップ120の方が大きい。そのため、たとえ基板112が半導体チップ120と同じ材料であるシリコンから構成されていたとしても、半導体チップ120の熱収縮量が基板112よりも大きくなり、熱収縮量の差に起因する応力が基板112と半導体チップ120との境界に集中する。
そして、図7に示すように、この応力の集中により、基板112と半導体チップ120とを接合するバンプ124が破断し、モジュール全体に反りが発生する。本発明者らは、このような新規な知見に基づき、本発明を完成させた。
つまり、本発明によれば、基板と、前記基板上に、貫通電極を備える複数の半導体チップを前記貫通電極に接続されたバンプを介して積層されてなる積層体と、前記積層体の前記基板側の面と反対側の面または前記基板と前記積層体との間に設けられた補強チップと、を備え、前記補強チップの厚さが、前記複数の半導体チップのうち最も厚い半導体チップの厚さよりも厚い半導体装置が提供される。
本発明においては、前記積層体の前記基板側の面と反対側の面または前記基板と前記積層体との間に、前記複数の半導体チップのうち最も厚い半導体チップの厚さよりも厚い補強チップを備える。
この構成により、貫通電極を備える半導体チップのような薄いチップを積層した場合においても、積層体の剛性を向上させることができる。これにより、応力の集中によるバンプの破断を抑制することができ、積層体の反りを低減することができる。そのため、半導体装置の接続信頼性が向上するとともに製品の歩留まりが向上する。
なお、本発明において、補強チップとしては、半導体チップまたはダミーチップを用いることができる。ダミーチップとは、受動素子および能動素子のいずれも備えていないような半導体装置の電気的機能に寄与しない基板であってもよく、または受動素子のみ備えている半導体基板であってもよい。
本発明によれば、貫通電極を備える半導体チップを用いた場合においても、接続信頼性が向上するとともに製品の歩留まりが向上した半導体装置およびその製造方法が提供される。
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
(第1実施形態)
図1に示すように、本実施形態の半導体装置10は、基板12と、基板12上に第1半導体チップ20aおよび第2半導体チップ20bを積層してなる積層体26と、積層体26の上面に設けられた補強チップ(半導体チップ30)とを備える。
図1に示すように、本実施形態の半導体装置10は、基板12と、基板12上に第1半導体チップ20aおよび第2半導体チップ20bを積層してなる積層体26と、積層体26の上面に設けられた補強チップ(半導体チップ30)とを備える。
基板12は、裏面に複数の半田ボール14を備える。基板12はシリコンまたは有機系材料からなるパッケージ基板を用いることができる。基板12の厚みは200μm程度である。
第1半導体チップ20aは、複数の貫通電極22を備える。第1半導体チップ20aはバンプ24を介して垂直方向に配線がなされており、基板12および第2半導体チップ20bと電気的に接続されている。ここで、貫通電極を備える半導体チップの接続に用いるバンプは、貫通電極を備えない通常の半導体チップのフリップチップ接続に用いられるバンプよりも小さいため、以下ではマイクロバンプと呼ぶ。本明細書でマイクロバンプとは、直径50μm以下のバンプを意味する。本実施形態で用いるマイクロバンプ24は、直径20〜30μmである。
第2半導体チップ20bは、第1半導体チップ20aと同様の機能素子を備えていてもよく異なっていてもよい。第2半導体チップ20bは、複数の貫通電極22を備える。第2半導体チップ20bはマイクロバンプ24を介して垂直方向に配線がなされており、第1半導体チップ20aおよび半導体チップ30(補強チップ)と電気的に接続されている。
第2半導体チップ20bの厚みbは50μm程度である。第1半導体チップ20aと第2半導体チップ20bの厚みは略等しい。
第2半導体チップ20bの厚みbは50μm程度である。第1半導体チップ20aと第2半導体チップ20bの厚みは略等しい。
半導体チップ30(補強チップ)としては、通常の半導体チップを用いることができる。半導体チップ30は貫通電極を備えておらず、一方の面に複数個のマイクロバンプ24を備える。半導体チップ30はマイクロバンプ24を介して第2半導体チップ20bと電気的に接続されている。
半導体チップ30は、第1半導体チップ20aまたは第2半導体チップ20bよりも厚い。半導体チップ30の厚みaは、第2半導体チップ20bの厚みbの2倍以上、好ましくは3倍以上である。半導体チップ30の厚みaは、例えば120μm、400μm程度とすることができる。
ここで、チップの厚みと曲げ応力の関係を説明する。材料力学でよく知られているように、片持ち梁の曲げ応力Fと反り量hの関係は(式1)で与えられる。
式1:h=(2FL3)/(t3WE)
(t:チップ1層の厚さ、W:チップの幅、F:曲げ応力、L:チップ長さ、E:Siのヤング率)
(t:チップ1層の厚さ、W:チップの幅、F:曲げ応力、L:チップ長さ、E:Siのヤング率)
(式1)は、反り量hがチップの厚さtの3乗に反比例することを示している。厚さtが大きいと、チップ強度は大きく向上する。つまり、n層のチップ積層体の剛性は層数に比例し、単一チップの場合のn倍となる。それに対して、n倍の厚さのチップの剛性は元のチップに対してn3倍となり、大きく向上する。
半導体チップの曲げ強度も同様に、チップの厚さの3乗に比例する。したがって、半導体チップ30の好ましい曲げ強度は、第1半導体チップ20aに対する曲げ強度の比によっても表すことができる。つまり、半導体チップ30の曲げ強度は、第1半導体チップ20aの8倍以上、好ましくは10倍以上、さらに好ましくは27倍以上とすることができる。
曲げ強度は、3点曲げ試験によって測定することができる。3点曲げ試験とは、図8に示すようにチップの両端を支え、中心に荷重をかけたときのチップの変形量Dを測定する。曲げ強度の定量指標としては、1/Dで表すことができる。この方法は、薄いチップの強度測定方法としては最も広く用いられる方法であり、市販の装置で測定可能である。
基板12と、第1半導体チップ20aと、第2半導体チップ20bと、半導体チップ30との間に形成される各々の間隙には、アンダーフィル材(不図示)が充填されている。なお、これらの間隙の高さは、20μm程度である。
アンダーフィル材としては、第1半導体チップ20aまたは第2半導体チップ20bに比べて熱膨張係数が大きいものを用いることができ、エポキシ樹脂を含むアンダーフィル材を用いることができる。
積層体26は封止材34により封止されている。
積層体26は封止材34により封止されている。
本実施形態の構成の半導体装置の製造方法を説明する。
基板12上に、第1半導体チップ20aと、第2半導体チップ20bを搭載するところまでは、図5(a)および(b)と同様である。その後に、第1半導体チップ20aと、第2半導体チップ20bと同様の方法により、200〜450℃に加熱された半導体チップ30(補強チップ)を、第2半導体チップ20b上に接続する。そして、常温まで冷却して半田接合を行う。そして、基板の裏面に半田ボール14を搭載する。さらに、基板12、第1半導体チップ20a、第2半導体チップ20b、半導体チップ30のそれぞれの間隙にアンダーフィル樹脂を充填して後、封止材34でパッケージングして、半導体装置10を製造する。
基板12上に、第1半導体チップ20aと、第2半導体チップ20bを搭載するところまでは、図5(a)および(b)と同様である。その後に、第1半導体チップ20aと、第2半導体チップ20bと同様の方法により、200〜450℃に加熱された半導体チップ30(補強チップ)を、第2半導体チップ20b上に接続する。そして、常温まで冷却して半田接合を行う。そして、基板の裏面に半田ボール14を搭載する。さらに、基板12、第1半導体チップ20a、第2半導体チップ20b、半導体チップ30のそれぞれの間隙にアンダーフィル樹脂を充填して後、封止材34でパッケージングして、半導体装置10を製造する。
以下に、第1実施形態の効果を説明する。
本実施形態においては、貫通電極22を備える第1半導体チップ20aおよび第2半導体チップ20bを積層してなる積層体26の上面に、第1半導体チップ20a、第2半導体チップ20bのいずれのチップよりも厚い半導体チップ30を備える。
本実施形態においては、貫通電極22を備える第1半導体チップ20aおよび第2半導体チップ20bを積層してなる積層体26の上面に、第1半導体チップ20a、第2半導体チップ20bのいずれのチップよりも厚い半導体チップ30を備える。
この構成により、貫通電極を備える薄い第1半導体チップ20aおよび第2半導体チップ20bを積層してなる積層体26の剛性を向上させることができる。本実施形態における製造方法においても、従来同様に、搭載する半導体チップと基板側との間に温度差があるため、常温に戻す際に半導体チップの熱収縮量が基板のそれよりも大きい。しかしながら、補強チップである半導体チップ30の存在により、積層体26の剛性が向上しているため、応力の集中による、基板12と第1半導体チップ20aの間におけるマイクロバンプ24の破断を抑制し、積層体26の反りを低減することができる。そのため、半導体装置の接続信頼性が向上するとともに製品の歩留まりが向上する。
さらに、パッケージの剛性が向上するため熱等による内的応力や落下等による外的応力に対する耐性が向上し、第1半導体チップ20aと第2半導体チップ20bとを接続するマイクロバンプ24等の破断を抑制することで、マイクロバンプの接続信頼性が向上するとともに半導体装置の歩留まりが向上する。
本実施形態においては、半導体チップ30の曲げ強度が、第1半導体チップ20aまたは第2半導体チップ20bの8倍以上、好ましくは10倍以上、さらに好ましくは27倍以上とすることができる。
これにより、応力の集中による積層体26の反りをより低減することができ、マイクロバンプ24の破断を効果的に抑制することができ、上記の効果に特に優れる。
これにより、応力の集中による積層体26の反りをより低減することができ、マイクロバンプ24の破断を効果的に抑制することができ、上記の効果に特に優れる。
本実施形態においては、半導体チップ30を積層体26の上面に設けることができる。
この構成により、半導体チップ30が、積層体26の補強部材としての役割を果たすことになり、積層体26の剛性を効果的に向上させることができる。そのため、はんだ接合時において熱収縮量の違いにより発生するマイクロバンプ24の破断を効果的に抑制することができる。
この構成により、半導体チップ30が、積層体26の補強部材としての役割を果たすことになり、積層体26の剛性を効果的に向上させることができる。そのため、はんだ接合時において熱収縮量の違いにより発生するマイクロバンプ24の破断を効果的に抑制することができる。
また、はんだ接合工程において、内部応力でマイクロバンプ24が破断し、積層体26の一部や積層体26全体が反った場合においても、所定の形状に戻すことができる。つまり、剛性の高い半導体チップ30を上から搭載することにより上方から押圧し、さらに加熱することによりマイクロバンプ24を溶融させて再度接合することにより曲がった積層体26を所定の形状に戻すことができる。そのため、半導体装置の接続信頼性および歩留まりが向上する。
また、本実施形態においては、バンプとしてマイクロバンプを用いることができる。
貫通電極22を備える第1半導体チップ20aおよび第2半導体チップ20bを用いる場合、第1半導体チップ20aの表面および裏面の双方に多数の外部接続端子が露出するため、チップ間を接続するためにマイクロバンプ24を用いる。マイクロバンプ24は、直径20〜30μmと小さいため、接合面積も小さい。接合面積が小さくなると、接合部において破断し接続信頼性が低下するので、確実に接合することが必要である。
貫通電極22を備える第1半導体チップ20aおよび第2半導体チップ20bを用いる場合、第1半導体チップ20aの表面および裏面の双方に多数の外部接続端子が露出するため、チップ間を接続するためにマイクロバンプ24を用いる。マイクロバンプ24は、直径20〜30μmと小さいため、接合面積も小さい。接合面積が小さくなると、接合部において破断し接続信頼性が低下するので、確実に接合することが必要である。
本実施形態の半導体装置によれば、半導体チップ30により積層体26の反りを抑制し、マイクロバンプ24を確実に接合することができるので、マイクロバンプを用いた場合においても半導体装置の接続信頼性および歩留まりをより向上させることができる。
本実施形態においては、第1半導体チップ20aおよび第2半導体チップ20bに比べて熱膨張係数が大きいエポキシ樹脂等を含むアンダーフィル材を、第1半導体チップ20aと第2半導体チップ20bとの間隙に充填することができる。
製造時や使用時における高温から常温への温度下降時においてアンダーフィル材が収縮する。第1半導体チップ20aおよび第2半導体チップ20bは貫通電極22を有する薄いチップであるため、熱膨張係数が大きいアンダーフィル材が間隙に存在していると、マイクロバンプ24の周囲でアンダーフィル材が局所的に変形し、チップ割れ等が発生することがあった。
しかしながら、本構成を有する半導体装置によれば、半導体チップ30により積層体26の剛性が向上しているので、収縮量の違いに起因するチップの局所的な変形が抑えられるため応力を抑制し、チップ割れ等の発生を低減することができる。
本実施形態の構成の半導体装置は、パッケージの構造や製造工程等の変更をほとんど必要としない。本実施形態のように最上層の半導体チップ30の厚みを第1半導体チップ20aまたは第2半導体チップ20bよりも厚くする場合、単にシリコンウェハの裏面研削を行う際に厚みを厚くするだけであるので製造条件の変更に過ぎず、コストアップを抑制することができる。
(第2実施形態)
本実施形態の半導体装置は、図3に示すように、インターポーザ16と、インターポーザ16上に、貫通電極22を備える、第1半導体チップ20aおよび第2半導体チップ20bを積層されてなる積層体26と、第1半導体チップ20aおよび第2半導体チップ20bよりも厚い半導体チップ30(補強チップ)を積層体26の上面に備える。第1半導体チップ20aと第2半導体チップ20bの厚さは、それぞれ50μmである。
そして、インターポーザ16の裏面に第3半導体チップ36がマイクロバンプ24を介して搭載されている。
本実施形態の半導体装置は、図3に示すように、インターポーザ16と、インターポーザ16上に、貫通電極22を備える、第1半導体チップ20aおよび第2半導体チップ20bを積層されてなる積層体26と、第1半導体チップ20aおよび第2半導体チップ20bよりも厚い半導体チップ30(補強チップ)を積層体26の上面に備える。第1半導体チップ20aと第2半導体チップ20bの厚さは、それぞれ50μmである。
そして、インターポーザ16の裏面に第3半導体チップ36がマイクロバンプ24を介して搭載されている。
このように、本実施形態の半導体装置は、SMAFTI(SMArt chip connection with FeedThrough Interposer)パッケージ構造を有する。
インターポーザ16は、配線層を含む極めて薄い基板(FTI:Feedthrough Interposer)である。インターポーザ16は、配線層と、ポリイミド樹脂等からなる絶縁樹脂層との積層構造からなる。配線層の厚さは7μmであり、絶縁樹脂層の厚さは8μmである。その配線層側の面に、第1半導体チップ20aがマイクロバンプを介して接続されている。さらに、その絶縁樹脂層側の面に、半田ボール14が接続される外部接続電極(不図示)を複数備える。インターポーザ16の厚みは、15μm程度である。
本実施形態において、第1半導体チップ20aおよび第2半導体チップ20bとしてはメモリーチップを用いることができ、第3半導体チップ36としてはロジックチップを用いることができる。
本実施形態における半導体装置の製造方法を図面を参考にして説明する。
本実施形態における半導体装置の製造方法を図面を参考にして説明する。
まず、図2(a)に示すように、インターポーザ16を備えるシリコンウェハ18上に、第1実施形態と同様の方法により、貫通電極22を備える第1半導体チップ20aおよび第2半導体チップ20bを積層して積層体26を形成し、積層体26上に、第1半導体チップ20aおよび第2半導体チップ20bそれぞれよりも厚い半導体チップ30(補強チップ)を搭載する。さらに、インターポーザ16と各チップにより形成される間隙にアンダーフィル材を注入した後、積層体26を封止材34により封止する。
そして、シリコンウェハ18を裏面側から除去して絶縁樹脂層を露出させることにより、インターポーザ16を作成する(図2(b))。次いで、インターポーザ16、積層体26、半導体チップ30を100℃程度まで加熱し、インターポーザ16の積層体26が搭載された面と反対側の面の所定の位置に、200〜450℃に加熱された第3半導体チップ36をマイクロバンプ24を介して接合する。そして、常温まで冷却し、複数の半田ボール14を形成した後、ダイシングすることにより個片する。これにより、本実施形態における半導体装置が得られる(図3)。
以下に、第2実施形態の効果を説明する。
本実施形態においては、第1実施形態の効果が得られ、さらに15μm程度の極めて薄いインターポーザ基板(FTI基板)を用いた場合においても、接続信頼性を向上させることができる。
本実施形態においては、第1実施形態の効果が得られ、さらに15μm程度の極めて薄いインターポーザ基板(FTI基板)を用いた場合においても、接続信頼性を向上させることができる。
本実施形態の製造工程において、第1実施形態と同様に、半導体チップ20aと、シリコンウェハ18およびインターポーザ16からなる基板との間の温度差により、常温に戻す際に熱収縮量の差に起因する応力の集中によるバンプの破断は抑制される。つまり、第1実施形態と全く同様の効果を有する。
さらに、本実施形態ではもう一つの効果を有する。つまり、図2(a)(b)に示すように、本実施形態の半導体装置の製造方法においては、シリコンウェハ18を除去し、絶縁樹脂層を露出させる。シリコンウェハ18はパッケージ全体を支持すると同時に補強部材として機能しているため、シリコンウェハ18を除去すると、パッケージ全体の剛性が低下する。
そのため、シリコンウェハ18を除去した後の製造工程において応力が加わると、パッケージ全体の形状が変形し、インターポーザ16の裏面が平面でなくなることがあった。
SMAFTIパッケージ構造を有する半導体装置においては、インターポーザ16の裏面に、マイクロバンプ24を介して第3半導体チップ36を搭載する。そのため、インターポーザ16の裏面の平坦でないと所定の位置に第3半導体チップ36のマイクロバンプ24が接合されず歩留まりが低下することがあった。さらに、上記したように、マイクロバンプ24の接合面積は小さいことから、確実に接合されていない場合、接合部において破断し接続信頼性が低下することがあった。
本発明者らは、上記のような課題を見出し、本実施形態の半導体装置を完成させた。
つまり、本実施形態の半導体装置は、配線層からなる極めて薄いインターポーザ16と、インターポーザ16上に、貫通電極22を備える第1半導体チップ20aおよび第2半導体チップ20bを貫通電極22に接続されたマイクロバンプ24を介して積層されてなる積層体26と、第1半導体チップ20aまたは第2半導体チップ20bよりも厚い半導体チップ30を積層体26の上面に備える。
つまり、本実施形態の半導体装置は、配線層からなる極めて薄いインターポーザ16と、インターポーザ16上に、貫通電極22を備える第1半導体チップ20aおよび第2半導体チップ20bを貫通電極22に接続されたマイクロバンプ24を介して積層されてなる積層体26と、第1半導体チップ20aまたは第2半導体チップ20bよりも厚い半導体チップ30を積層体26の上面に備える。
これにより、パッケージ全体の剛性を向上させることができるので、インターポーザ16の裏面を平坦に保つことができる。そのため、SMAFTIパッケージ構造を有する半導体装置においてインターポーザ16の裏面に第3半導体チップ36を搭載する場合においても、製造工程における応力に起因する歩留まりの低下や、使用時の応力による接続信頼性の低下等を抑制することができる。
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
第1および第2本実施形態においては、基板と積層体26との間に半導体チップ30を設けることができる。
具体的には、図4に示すように、基板12の上面にマイクロバンプ24を介して半導体チップ30が搭載され、半導体チップ30の上面に順に2つの第1半導体チップ20aおよび第2半導体チップ20bが積層され積層体26を形成している。最上層の第2半導体チップ20bはボンディングワイヤ38により基板12と電気的に接続している。この場合において、半導体チップ30に変えてダミーチップを用いることができ、基板12と半導体チップ30との間、半導体チップ30と積層体26との間に他の半導体チップを備えていてもよい。
第1および第2本実施形態においては、積層体26と半導体チップ30との間、さらに半導体チップ30の上方に他の半導体チップを設けることができる。
第1および第2実施形態においては、第1半導体チップ20aおよび第2半導体チップ20bを積層した例によって示したが、特に限定されず、貫通電極を備えた半導体チップが3層以上積層されていてもよい。
第1および第2実施形態においては、半導体チップ30に変えてマイクロバンプ24を備えるダミーチップを用いることもできる。ダミーチップは、受動素子を備えていてもよい。
ダミーチップは、第1半導体チップ20aと熱膨張係数の略等しい材料から形成することが好ましい。具体的には熱膨張係数は、0.5〜5ppm/℃が好ましい。そのような材料としては、シリコン、ガラス、セラミックス等を挙げることができる。これにより、マイクロバンプ24の破断を抑制することができる。
シリコンを含むダミーチップの場合、マイクロバンプ24のみを形成したシリコン基板は、通常の製造工程により容易に製造することができるので、工程数の増加による製造コスト等を抑制することができる。
第1および第2実施形態においては、パッケージ毎または製品毎に半導体チップ30の厚さを変えることにより、積層体26と半導体チップ30との合計高さ(モジュール高さ)を等しくすることができる。
これにより、最終的なパッケージング工程において大幅な工程数の削減およびコストの削減等の効果を得ることができる。つまり、モジュールを最終パッケージ形態となるように封止材34で封止する際、モールド樹脂封止パッケージであれば金型を当て、モールド樹脂を封入する。このときモジュール高さが製品毎に異なると、一つ一つの製品に応じてそれぞれ違ったパッケージ高さの金型が必要となる。金型の取替えには多くの時間を要してしまう。
しかしながら、予め積層段階で厚さを揃えておけば金型を1種類準備するだけでよく、製造コストの低減および製造時間の短縮を図ることができる。また、例えばヒートスプレッダ(Cu板)を装着するタイプのパッケージであればモジュール高さに合わせヒートスプレッダを準備しなくてはならないが、モジュール高さが揃っていれば製造工程を全ての製品で共有でき、製造工程数および製造コストの低減を図ることができる。
第1および第2実施形態においては、パッケージ毎または製品毎に半導体チップ30の厚さを変えるとともに、半導体チップ30の厚みを、積層された第1半導体チップ20aの厚みの整数倍とすることができる。ここで、「積層された第1半導体チップ20aの厚み」とは、例えば基板12の表面から、基板12表面に積層された第1半導体チップ20aの上面までの高さを意味する。
これにより、パッケージ毎または製品毎にモジュール高さを揃えるのが容易となり、製造コストの低減および製造時間の短縮をより効率的に行うことができる。
さらに、半導体チップ30の表面上の封止材34の層厚を均一にかつ薄くにすることが可能となるため、封止材34の層厚のバラツキを抑制することができる。これにより、封止材34と半導体チップ30との熱膨張係数の違いによる反りの発生を抑制することができ、パッケージの信頼性が向上する。
第1および第2実施形態において、第1半導体チップ20aと第2半導体チップ20bの厚みは、半導体チップ30よりも薄ければ、異なっていてもよい。
また、第2実施形態の半導体装置は、第3半導体チップ36を備えていない構成とすることができる。
[実施例1]
以下の構造を有する半導体装置A、半導体装置Bにおいて、以下の条件で半導体チップの積層工程後の積層体の反り量を確認した。結果を表1に示す。
以下の構造を有する半導体装置A、半導体装置Bにおいて、以下の条件で半導体チップの積層工程後の積層体の反り量を確認した。結果を表1に示す。
(a)半導体装置A
・図1の構造を有する半導体装置10を用いた。
・厚さ:第1半導体チップ20a 50μm、第2半導体チップ20b 50μm、半導体チップ30 400μm
・基板12の上面から半導体チップ30の上面までの高さ(モジュール高さ):540μm
・積層時の温度条件:基板12 100℃、第1半導体チップ20aと第2半導体チップ20bと半導体チップ30 300℃
・冷却温度:25℃
・図1の構造を有する半導体装置10を用いた。
・厚さ:第1半導体チップ20a 50μm、第2半導体チップ20b 50μm、半導体チップ30 400μm
・基板12の上面から半導体チップ30の上面までの高さ(モジュール高さ):540μm
・積層時の温度条件:基板12 100℃、第1半導体チップ20aと第2半導体チップ20bと半導体チップ30 300℃
・冷却温度:25℃
(b)半導体装置B
・半導体チップ120を8つ積層した以外は、図6(b)の構造を有する半導体装置を用いた。
・厚さ:半導体チップ120 50μm
・基板112の上面から半導体チップ120の上面までの高さ(モジュール高さ):540μm
・積層時の温度条件:基板12 100℃、半導体チップ120 300℃
・冷却温度:25℃
・半導体チップ120を8つ積層した以外は、図6(b)の構造を有する半導体装置を用いた。
・厚さ:半導体チップ120 50μm
・基板112の上面から半導体チップ120の上面までの高さ(モジュール高さ):540μm
・積層時の温度条件:基板12 100℃、半導体チップ120 300℃
・冷却温度:25℃
モジュール高さが等しい半導体装置Aと半導体装置Bにおいて、半導体チップ30(補強チップ)を備えない半導体装置Bの反り量は、補強チップを備える半導体装置Aの反り量よりも103%も増加した。
このような結果から、貫通電極22を備える半導体チップを複数積層した半導体装置においても、補強チップを設けることにより、接続信頼性が向上するとともに製品の歩留まりが向上することが確認される。
[実施例2]
図1の構造を有する半導体装置において、半導体チップ30の厚みと、第1半導体チップ20aの反り量との関係について数値解析(シミュレーション)を行った。計算条件は以下の通りである。
図1の構造を有する半導体装置において、半導体チップ30の厚みと、第1半導体チップ20aの反り量との関係について数値解析(シミュレーション)を行った。計算条件は以下の通りである。
・厚さ:第1半導体チップ20a 50μm、第2半導体チップ20b 50μm
・チップ間の間隙:20μm
・積層時の温度条件:基板12 100℃、第1半導体チップ20aと第2半導体チ
ップ20bと半導体チップ30 350℃
・冷却温度:25℃
・各半導体チップの熱膨張係数およびヤング率:シリコンの値を使用
・チップ間の間隙:20μm
・積層時の温度条件:基板12 100℃、第1半導体チップ20aと第2半導体チ
ップ20bと半導体チップ30 350℃
・冷却温度:25℃
・各半導体チップの熱膨張係数およびヤング率:シリコンの値を使用
数値解析の結果を図9に示す。図9において、横軸は半導体チップ30(補強チップ)の厚みを示し、縦軸は第1半導体チップ20aの反り量(変形量)を示す。ここで、第1半導体チップ20aの反り量とは、図8に示したDに相当するチップの変形量を意味する。なお、本解析においては、熱収縮の差異による反り量の相違と、補強チップの効果を純粋に見積もるため、第1半導体チップ20aと基板12を接続するマイクロバンプはないと仮定している。
本解析結果から、半導体チップ30(補強チップ)の厚さが、第1または第2半導体チップと同じ50μmの時は、第1半導体チップの反り量が約46μmであるが、半導体チップ30(補強チップ)の厚さを、第1または第2半導体チップの2倍の100μmとすることにより、反り量は約28μmと約40%低下することがわかる。さらに、半導体チップ30(補強チップ)の厚さを、第1または第2半導体チップの3倍の150μmとすることにより、第1半導体チップ20aの反り量は約20μmとなり、半導体チップ30(補強チップ)の厚さが50μmの場合に対して半分以下に低下する。このように、本解析結果は、半導体チップ30(補強チップ)を厚くすることにより、第1半導体チップ20aの反り量は大幅に低減することを示している。
以上の解析は、第1半導体チップ20aと基板12を接続するマイクロバンプはないと仮定した場合のものである。実際の半導体装置の構造では、第1半導体チップ20aと基板12を接続するマイクロバンプの接合能力を考慮すると、半導体チップ30(補強チップ)の厚さは、第1または第2半導体チップの厚さの2倍以上、好ましくは3倍以上であれば、実用上充分な剛性が確保できる。
10 半導体装置
12 基板
14 半田ボール
16 インターポーザ
18 シリコンウェハ
20a 第1半導体チップ
20b 第2半導体チップ
22 貫通電極
24 バンプ
26 積層体
30 半導体チップ
34 封止材
36 第3半導体チップ
38 ボンディングワイヤ
12 基板
14 半田ボール
16 インターポーザ
18 シリコンウェハ
20a 第1半導体チップ
20b 第2半導体チップ
22 貫通電極
24 バンプ
26 積層体
30 半導体チップ
34 封止材
36 第3半導体チップ
38 ボンディングワイヤ
Claims (15)
- 基板と、
前記基板上に、貫通電極を備える複数の半導体チップを前記貫通電極に接続されたバンプを介して積層されてなる積層体と、
前記積層体の前記基板側の面と反対側の面または前記基板と前記積層体との間に設けられた補強チップと、
を備え、
前記補強チップの厚さが、前記複数の半導体チップのうち最も厚い半導体チップの厚さよりも厚いことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記補強チップの厚みが、前記複数の半導体チップのうち最も厚い半導体チップの厚さの2倍以上であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1または2に記載の半導体装置において、
前記補強チップの曲げ強度が、前記複数の半導体チップのうち最も厚い半導体チップの厚さの8倍以上であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体装置において、
前記補強チップが、前記積層体の前記基板側の面と反対側の面に設けられていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載の半導体装置において、
前記バンプがマイクロバンプであることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至5のいずれかに記載の半導体装置において、
前記基板がインターポーザであることを特徴とする半導体装置。 - 請求項6に記載の半導体装置において、
前記基板の前記積層体が設けられた面と反対側の面にさらに半導体チップを備えることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至7のいずれかに記載の半導体装置において、
前記補強チップが半導体チップであることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至7のいずれかに記載の半導体装置において、
前記補強チップは、前記複数の半導体チップと略等しい熱膨張係数を有する材料からなるダミーチップであることを特徴とする半導体装置。 - 請求項9の半導体装置において、
前記ダミーチップは受動素子を備えることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至10のいずれかに記載の半導体装置において、
前記複数の半導体チップの間隙、および前記積層体と補強チップの間隙に、アンダーフィル材が充填されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項11に記載の半導体装置において、
前記アンダーフィル材はエポキシ樹脂を含むことを特徴とする半導体装置。 - 基板を第1の温度に加熱する工程と、
前記基板上に、前記第1の温度よりも高い第2の温度に加熱された、貫通電極を備える複数の半導体チップを、バンプを介して順次積層することにより積層体を形成する工程と、
前記積層体上に、前記第2の温度に加熱された、前記複数の半導体チップのうち最も厚い半導体チップよりも厚い補強チップを積層する工程と、
前記基板、前記積層体、および前記補強チップを常温まで冷却する工程と、
を含む半導体装置の製造方法。 - 請求項13記載の半導体装置の製造方法において、
前記基板は、前記半導体チップを搭載する面上に絶縁層と、その上に配線層とを備え、
前記冷却する工程の後に、
前記基板を除去して絶縁層を露出させることによりインターポーザを形成する工程、をさらに含む半導体装置の製造方法。 - 請求項14記載の半導体装置の製造方法において、
前記インターポーザを形成する工程の後に、
前記インターポーザ、前記積層体、および前記補強チップを前記第1の温度に加熱する工程と、
前記インターポーザにおいて、前記積層体が搭載された面と反対側の面に、前記第2の温度に加熱された半導体チップをバンプを介してさらに接続する工程と、
前記インターポーザ、前記積層体、前記補強チップ、および前記インターポーザの前記積層体が搭載された面と反対側の面に設けられた前記半導体チップを、常温まで冷却する工程をさらに含む半導体装置の製造方法。
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