JP2008232696A - 角速度センサおよび電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る角速度センサは,圧電振動子と検出部を含み、圧電振動子は基体と基体に固定された固定端および基体に接しない自由端を有する振動部と振動部の屈曲振動を生成する駆動部を有し、振動部は第1支持部と第1支持部に支持された4本の片持梁状部と第1支持部を支持し固定端を備える第2支持部を有し、第1、第2片持梁状部は第1支持部の一方の中心線に関して対称を成し、第3、第4片持梁状部は第1支持部の一方の中心線に関して対称を成し、第1、第4片持梁状部は第1支持部の他方の中心線に関して対称を成し、第2、第3片持梁状部は第1支持部の他方の中心線に関して対称を成し,検出部は振動部の上方に形成され振動部に加わる回転の角速度を検出する。
【選択図】図1
Description
圧電振動子と、
検出部と、を含み、
前記圧電振動子は、
基体と、
前記基体に固定された固定端、および、該基体に接しない自由端を有する振動部と、
前記振動部の上方に形成され、該振動部の屈曲振動を生成する駆動部と、を有し、
前記振動部は、
第1支持部と、
前記第1支持部に支持された4本の片持梁状部と、
前記第1支持部を支持し、前記固定端を備える第2支持部と、を有し、
前記第1支持部は、直交する2本の中心線を有し、
第1の前記片持梁状部および第2の前記片持梁状部は、平面視において、前記第1支持部の一方の前記中心線に関して対称を成しており、
第3の前記片持梁状部および第4の前記片持梁状部は、平面視において、前記第1支持部の前記一方の中心線に関して対称を成しており、
前記第1の片持梁状部および前記第4の片持梁状部は、平面視において、前記第1支持部の他方の前記中心線に関して対称を成しており、
前記第2の片持梁状部および前記第3の片持梁状部は、平面視において、前記第1支持部の前記他方の中心線に関して対称を成しており、
前記駆動部は、
前記駆動部の下部電極と、
前記駆動部の下部電極の上方に形成された前記駆動部の圧電体層と、
前記駆動部の圧電体層の上方に形成された前記駆動部の上部電極と、を有し、
前記検出部は、前記振動部の上方に形成され、該振動部に加わる回転の角速度を検出し、
前記検出部の下部電極と、
前記検出部の下部電極の上方に形成された前記検出部の圧電体層と、
前記検出部の圧電体層の上方に形成された前記検出部の上部電極と、を有する。
前記第1支持部および前記4本の片持梁状部は、平面視において、ローマ字のH型を構成し、
前記第1支持部および前記第2支持部は、平面視において、ローマ字のT型を構成することができる。
前記第1の片持梁状部および前記第2の片持梁状部は、前記第1支持部の一方の端部に接続されており、
前記第3の片持梁状部および前記第4の片持梁状部は、前記第1支持部の他方の端部に接続されていることができる。
前記第2支持部は、平面視において、前記第1支持部の中心点から最短距離の端点に接続されていることができる。
前記第1支持部、前記片持梁状部、および前記第2支持部は、直方体形状を有することができる。
前記検出部は、各前記片持梁状部の上方に1対ずつ形成され、
前記駆動部は、各前記片持梁状部の上方であって、1対の前記検出部の間に1つずつ形成されることができる。
前記基体は、
基板と、
前記基板の上方に形成された絶縁部と、
前記絶縁部の上方に形成された半導体部と、を有し、
前記振動部は、前記半導体部を構成する半導体と同じ半導体からなることができる。
前記基体は、SOI(Silicon On Insulator)基板であることができる。
前記基体は、半導体基板であり、
前記振動部は、前記半導体基板を構成する半導体と同じ半導体からなることができる。
Claims (10)
- 圧電振動子と、
検出部と、を含み、
前記圧電振動子は、
基体と、
前記基体に固定された固定端、および、該基体に接しない自由端を有する振動部と、
前記振動部の上方に形成され、該振動部の屈曲振動を生成する駆動部と、を有し、
前記振動部は、
第1支持部と、
前記第1支持部に支持された4本の片持梁状部と、
前記第1支持部を支持し、前記固定端を備える第2支持部と、を有し、
前記第1支持部は、直交する2本の中心線を有し、
第1の前記片持梁状部および第2の前記片持梁状部は、平面視において、前記第1支持部の一方の前記中心線に関して対称を成しており、
第3の前記片持梁状部および第4の前記片持梁状部は、平面視において、前記第1支持部の前記一方の中心線に関して対称を成しており、
前記第1の片持梁状部および前記第4の片持梁状部は、平面視において、前記第1支持部の他方の前記中心線に関して対称を成しており、
前記第2の片持梁状部および前記第3の片持梁状部は、平面視において、前記第1支持部の前記他方の中心線に関して対称を成しており、
前記駆動部は、
前記駆動部の下部電極と、
前記駆動部の下部電極の上方に形成された前記駆動部の圧電体層と、
前記駆動部の圧電体層の上方に形成された前記駆動部の上部電極と、を有し、
前記検出部は、前記振動部の上方に形成され、該振動部に加わる回転の角速度を検出し、
前記検出部の下部電極と、
前記検出部の下部電極の上方に形成された前記検出部の圧電体層と、
前記検出部の圧電体層の上方に形成された前記検出部の上部電極と、を有する、角速度センサ。 - 請求項1において、
前記第1支持部および前記4本の片持梁状部は、平面視において、ローマ字のH型を構成し、
前記第1支持部および前記第2支持部は、平面視において、ローマ字のT型を構成する、角速度センサ。 - 請求項1または2において、
前記第1の片持梁状部および前記第2の片持梁状部は、前記第1支持部の一方の端部に接続されており、
前記第3の片持梁状部および前記第4の片持梁状部は、前記第1支持部の他方の端部に接続されている、角速度センサ。 - 請求項1乃至3のいずれかにおいて、
前記第2支持部は、平面視において、前記第1支持部の中心点から最短距離の端点に接続されている、角速度センサ。 - 請求項1乃至4のいずれかにおいて、
前記第1支持部、前記片持梁状部、および前記第2支持部は、直方体形状を有する、角速度センサ。 - 請求項1乃至5のいずれかにおいて、
前記検出部は、各前記片持梁状部の上方に1対ずつ形成され、
前記駆動部は、各前記片持梁状部の上方であって、1対の前記検出部の間に1つずつ形成される、角速度センサ。 - 請求項1乃至6のいずれかにおいて、
前記基体は、
基板と、
前記基板の上方に形成された絶縁部と、
前記絶縁部の上方に形成された半導体部と、を有し、
前記振動部は、前記半導体部を構成する半導体と同じ半導体からなる、角速度センサ。 - 請求項1乃至7のいずれかにおいて、
前記基体は、SOI(Silicon On Insulator)基板である、角速度センサ。 - 請求項1乃至6のいずれかにおいて、
前記基体は、半導体基板であり、
前記振動部は、前記半導体基板を構成する半導体と同じ半導体からなる、角速度センサ。 - 請求項1乃至9のいずれかに記載の角速度センサを有する、電子機器。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011196823A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Seiko Epson Corp | 振動型ジャイロ素子、振動型ジャイロセンサー、振動型ジャイロセンサーによる角速度の検出方法および電子機器 |
JP5503796B1 (ja) * | 2013-10-04 | 2014-05-28 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 角速度検出装置 |
WO2019240176A1 (ja) * | 2018-06-13 | 2019-12-19 | 京セラ株式会社 | センサ素子および角速度センサ |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007057042A1 (de) * | 2007-09-10 | 2009-03-12 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Mikromechanischer Drehratensensor mit Kopplungsbalken und Aufhängungs-Federelementen zur Unterdrückung der Quadratur |
WO2009034682A1 (ja) * | 2007-09-13 | 2009-03-19 | Panasonic Corporation | 角速度センサ |
JP5874995B2 (ja) * | 2011-09-06 | 2016-03-02 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | カンチレバーのバネ定数特定方法およびその方法を採用した走査型プローブ顕微鏡 |
CN106092387B (zh) * | 2015-04-30 | 2019-11-22 | 意法半导体股份有限公司 | 用于检测诸如冲击、加速度、旋转力等平面内的力的集成压电传感器 |
CN105466406B (zh) | 2015-12-28 | 2019-01-18 | 南京理工大学 | 工字型结构的硅微机械振动陀螺 |
EP3812703B1 (en) * | 2018-06-13 | 2022-10-05 | Kyocera Corporation | Sensor element and angular velocity sensor |
CN117929783A (zh) * | 2022-10-25 | 2024-04-26 | 华为技术有限公司 | 压电加速度计、压电传感器及智能设备 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3206986A (en) * | 1963-01-04 | 1965-09-21 | Western Electric Co | Apparatus for sensing selected movements of a body |
US5166571A (en) * | 1987-08-28 | 1992-11-24 | Nec Home Electronics, Ltd. | Vibration gyro having an H-shaped vibrator |
JPH07113645A (ja) * | 1993-10-15 | 1995-05-02 | Toyota Motor Corp | 振動ジャイロ |
JPH1019574A (ja) | 1996-06-27 | 1998-01-23 | Nikon Corp | 圧電振動角速度計の製造方法 |
JP3752737B2 (ja) * | 1996-08-12 | 2006-03-08 | トヨタ自動車株式会社 | 角速度検出装置 |
US6747393B2 (en) * | 1996-11-26 | 2004-06-08 | Ngk Insulators, Ltd. | Vibrator, vibratory gyroscope, and vibration adjusting method |
JPH10170274A (ja) | 1996-12-11 | 1998-06-26 | Toyota Motor Corp | 角速度センサの漏れ振動除去方法 |
JP2001194149A (ja) | 2000-01-07 | 2001-07-19 | Kinseki Ltd | 角速度センサ |
EP1314962A4 (en) * | 2000-08-30 | 2006-06-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ANGLE SPEED SENSOR |
JP2002137455A (ja) * | 2000-11-07 | 2002-05-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プリンタコントローラ |
JP2005070030A (ja) * | 2003-08-04 | 2005-03-17 | Seiko Epson Corp | ジャイロ振動子及び電子機器 |
JP4529444B2 (ja) * | 2004-01-13 | 2010-08-25 | パナソニック株式会社 | 角速度センサ |
JP3891182B2 (ja) | 2004-02-25 | 2007-03-14 | ソニー株式会社 | 振動型ジャイロセンサ素子の製造方法及び離調度調整方法 |
JP4356479B2 (ja) | 2004-03-01 | 2009-11-04 | パナソニック株式会社 | 角速度センサ |
JP4478495B2 (ja) | 2004-03-31 | 2010-06-09 | ソニー株式会社 | 振動型ジャイロセンサ素子及びその製造方法 |
JP2006023186A (ja) * | 2004-07-08 | 2006-01-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサおよびその製造方法 |
JP4515180B2 (ja) | 2004-07-20 | 2010-07-28 | Necトーキン株式会社 | 音叉型圧電振動ジャイロ装置 |
-
2007
- 2007-03-19 JP JP2007070022A patent/JP4415997B2/ja active Active
-
2008
- 2008-03-18 US US12/050,228 patent/US7913560B2/en active Active
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011196823A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Seiko Epson Corp | 振動型ジャイロ素子、振動型ジャイロセンサー、振動型ジャイロセンサーによる角速度の検出方法および電子機器 |
US8783104B2 (en) | 2010-03-19 | 2014-07-22 | Seiko Epson Corporation | Vibration gyro element, vibration gyro sensor, electronic device, and method of detecting physical quantity of vibration |
JP5503796B1 (ja) * | 2013-10-04 | 2014-05-28 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 角速度検出装置 |
JP5509399B1 (ja) * | 2013-10-04 | 2014-06-04 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 慣性センサ |
WO2019240176A1 (ja) * | 2018-06-13 | 2019-12-19 | 京セラ株式会社 | センサ素子および角速度センサ |
JPWO2019240176A1 (ja) * | 2018-06-13 | 2021-06-24 | 京セラ株式会社 | センサ素子および角速度センサ |
JP7089590B2 (ja) | 2018-06-13 | 2022-06-22 | 京セラ株式会社 | センサ素子および角速度センサ |
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