WO2015075899A1

WO2015075899A1 - 角速度センサ素子および角速度センサ

Info

Publication number: WO2015075899A1
Application number: PCT/JP2014/005656
Authority: WO
Inventors: 小林　康展
Original assignee: パナソニックＩｐマネジメント株式会社
Priority date: 2013-11-22
Filing date: 2014-11-11
Publication date: 2015-05-28
Also published as: JPWO2015075899A1; US20160273917A1

Abstract

角速度センサ素子は、固定部（２１、２８）と、固定部（２１、２８）に接続された一端を有し、第一の軸の方向に延びる延出部（２５）と、延出部（２５）と接続され、第一の軸と直交する第二の軸の方向に延びる第一の駆動振動体（３１）と、第一の駆動振動体（３１）に接続され、第一の軸の方向に延びる第一の検出振動体（３８）と、第一の検出振動体（３８）に接続され、第二の軸の方向に延びる第二の検出振動体（４０）と、を備えている。角速度センサ素子（１０）は、第一の軸と第二の軸とに直交する第三の軸の方向に第一の振動駆動体（３１）を撓み振動駆動させ、第一の検出振動体（３８）で第一の軸の周りの角速度を検出し、第二の検出振動体（４０）で第二の軸の周りの角速度を検出する。

Description

角速度センサ素子および角速度センサ

　本発明は、角速度センサ素子および角速度センサに関するものである。

　図１０は従来の角速度センサ素子の斜視図である。

　角速度センサ素子は、固定部１と、四つの延出部２と、四つの振動体３と、を備えている。固定部１の形状は、内部が空洞の、四角い枠形状である。それぞれの延出部２は、固定部１の枠形状の四つの頂点から固定部１の略中央に向って延びている。それぞれの延出部２は、固定部１の中央で交わる。四つの振動体３は、それぞれ、延出部２の交点から外方へ向って設けられている。振動体３には、圧電膜が配置されている。

　次に、従来の角速度センサ素子の動作を説明する。

　駆動回路から角速度センサ素子へ駆動信号を与えられると、図１０に示すように、四つの振動体３が捩じり振動駆動する。このとき、Ｚ軸に直交するＸ軸またはＹ軸の周りに角速度が加わると、それぞれの軸に垂直な平面内で、駆動振動方向に対して垂直方向にコリオリ力が働く。例えば、Ｘ軸の周りに角速度が加わった際には、図１１に示すように、図中のＹ軸の方向にコリオリ力が働く。一方、Ｙ軸の周りに角速度が加わった際には、図１２に示すように、図中のＸ軸の方向にコリオリ力が働く。そして、振動体３にこのコリオリ力が働くと、圧電効果により振動体３に電荷が発生する。この電荷を電気信号として検出回路で検出すれば、角速度信号を得られる。

　この従来技術に近似する先行文献情報として、特許文献１が知られている。

特開２００９－７４９９６号公報

　角速度センサ素子は、固定部と、固定部に接続された一端を有し、第一の軸の方向に延びる延出部と、延出部と接続され、第一の軸と直交する第二の軸の方向に延びる第一の駆動振動体と、第一の駆動振動体に接続され、第一の軸の方向に延びる第一の検出振動体と、第一の検出振動体に接続され、第二の軸の方向に延びる第二の検出振動体と、を備えている。第一の軸と第二の軸とに直交する第三の軸の方向に第一の振動駆動体を撓み振動駆動させ、第一の検出振動体で第一の軸の周りの角速度を検出し、第二の検出振動体で第二の軸の周りの角速度を検出する。

　角速度センサは、角速度センサ素子と、駆動回路と、処理回路と、を備えている。角速度センサ素子は、固定部と、固定部に接続された一端を有し、第一の軸の方向に延びる延出部と、延出部と接続され、第一の軸に直交する第二の軸の方向に延びる第一の駆動振動体と、第一の駆動振動体に接続され、第一の軸の方向に延びる第一の検出振動体と、第一の検出振動体に接続され、第二の軸の方向に延びる第二の検出振動体と、を有する。角速度センサ素子は、第一の軸と第二の軸とに直交する第三の軸の方向に撓み振動駆動させ、第一の検出振動体で第一の軸の周りの角速度を検出し、第二の検出振動体で第二の軸の周りの角速度を検出する。駆動回路は、角速度センサ素子を駆動させる駆動信号を出力する。処理回路は、角速度センサ素子からの出力信号を処理する。

　本発明の角速度センサ素子および角速度センサは、駆動の調整が容易である。

図１は、本発明の一実施形態における角速度センサのブロック図である。図２は、本発明の一実施形態における角速度センサの分解斜視図である。図３は、本発明の一実施形態における角速度センサ素子の上面図である。図４は、図３に示す角速度センサ素子の線ＩＶ－ＩＶにおける断面図である。図５は、図３に示す角速度センサ素子の線Ｖ－Ｖにおける断面図である。図６Ａは、本発明の一実施形態における角速度センサ素子の製造工程図である。図６Ｂは、本発明の一実施形態における角速度センサ素子の製造工程図である。図６Ｃは、本発明の一実施形態における角速度センサ素子の製造工程図である。図６Ｄは、本発明の一実施形態における角速度センサ素子の製造工程図である。図６Ｅは、本発明の一実施形態における角速度センサ素子の製造工程図である。図７は、本発明の一実施形態における角速度センサ素子が動作する状態を示す図である。図８は、同角速度センサ素子が動作する状態を示す図である。図９は、同角速度センサ素子が動作する状態を示す図である。図１０は、従来の角速度センサ素子が捩じり方向に捩じり振動駆動する状態を示す斜視図である。図１１は、従来の角速度センサ素子がＸ軸の周りの角速度を検知する状態を示す斜視図である。図１２は、従来の角速度センサ素子がＹ軸の周りの角速度を検知する状態を示す斜視図である。

　以下に本発明の実施形態について、適宜図面を用いて説明する。なお、以下に示す実施形態は、本発明の一例であり、本発明の範囲を限定するものではない。

　（１．実施形態）
　（１－１．角速度センサの構成）
　本実施形態の角速度センサは、車両制御やカーナビゲーション、デジタルスチルカメラ、携帯情報端末等の各種電子機器に用いられる。

　図１は、本実施形態の角速度センサ２００の簡易なブロック図である。図１に示すように、角速度センサ２００は、少なくとも、角速度センサ素子１０と、駆動回路９１と、処理回路９２と、を備えている。駆動回路９１は、角速度センサ素子１０を駆動させる駆動信号を出力する。処理回路９２は、角速度センサ素子１０からの出力信号を処理する。駆動回路９１と、処理回路９２と、は、集積回路（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ　Ｃｉｒｃｕｉｔ：ＩＣ９０）に集積されていてもよい。角速度センサ素子１０と、駆動回路９１と、処理回路９２とは、ケース７０に収容されていてもよい。

　図２は、本実施形態の角速度センサ２００の構成を具体的に示す分解斜視図である。角速度センサ２００は、角速度センサ素子１０と、ＩＣ９０と、ケース７０と、に加えて、さらに載置部材８０と、加速度センサ素子１００と、を備えている。

　以下、それぞれの部材について、説明する。

　ケース７０は、収容部７１と、上蓋７８と、を有する。収容部７１は、内部に空洞を有し、一面が開口部となっている。上蓋７８は、収容部７１の開口部を封じる。収容部７１の内底面と、内側面と、外底面と、は、セラミックと配線用導体の層構造からなる。収容部７１の底面は、多層回路基板７２である。多層回路基板７２は、配線パターンを有する。また、収容部７１の側壁７３の内側面には、段差部７４を有する。段差部７４上には、端子電極７５が形成されている。収容部７１の外底面には、電源電極７６、グランド電極（以下、ＧＮＤ電極７７という）および出力電極が形成されている。電源電極７６、ＧＮＤ電極７７および出力電極は、それぞれ配線パターンにより端子電極７５と電気的に接続されている。なお、電源電極７６、ＧＮＤ電極７７および出力電極は、必ずしもケース７０の外底面に設ける必要はなく、収容部７１のその他の外表面や上蓋７８の外表面に設けられていてもよい。収容部７１における側壁７３の上面には、金属枠７９が設けられている。収容部７１の材料は、セラミックである。金属枠７９の材料は、コバールである。端子電極７５の材料は、金である。電源電極７６と、ＧＮＤ電極７７と、出力電極と、の材料は、銀である。上蓋７８の材料は、コバールである。これらの材料は一例であり、適宜変更可能である。またケース７０を密封する必要が無ければ、上蓋７８は無くてもよい。

　載置部材８０は、角速度センサ素子１０を収容する部材である。載置部材８０は、後述する角速度センサ素子１０の第一の固定部２１および第二の固定部２８を支持する。また載置部材８０は、八つの端子８１を有する。これらの端子８１は、載置部材８０を周囲から支持する。またこれらの端子８１は、角速度センサ素子１０の電極パッドと、ワイヤー線を介して電気的に接続されている。そしてこれらの端子８１は、ケース７０の端子電極７５と電気的に接続されている。載置部材８０の材料は、樹脂である。ワイヤー線の材料は、導電性材料であり、例えばアルミニウムである。

　加速度センサ素子１００は、ケース７０の収容部７１の内底面に配置されている。加速度センサ素子１００は、ケース７０の端子電極７５とワイヤー線により電気的に接続されている。ワイヤー線の材料は、導電性材料であり、例えばアルミニウムである。

　ＩＣ９０は、ケース７０の収容部７１の内底面に、加速度センサ素子１００と並設されている。ＩＣ９０に集積された処理回路９２は、角速度センサ素子１０からの出力信号以外にも、加速度センサ素子１００からの出力信号も処理する。

　（１－２．角速度センサ素子の構成）
　以下、本実施形態の角速度センサ素子１０の構成について説明する。

　図３は角速度センサ素子１０の上面図である。図３の紙面上において、上下方向をＸ軸の方向とし、左右方向をＹ軸の方向とする。また図３の紙面に対し垂直な方向、すなわち角速度センサ素子１０の厚み方向をＺ軸の方向とする。Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、互いに直交して垂直な関係にある。この角速度センサ素子１０は、Ｘ軸の周りと、Ｙ軸の周りの角速度を検出する。

　角速度センサ素子１０は、第一の固定部２１と、第二の固定部２８と、延出部２５と、第一の駆動振動体３１と、第二の駆動振動体３４と、第一の検出振動体３８と、第二の検出振動体４０と、第三の検出振動体４３と、第四の検出振動体４５と、第五の検出振動体５３と、第六の検出振動体５５と、第七の検出振動体４８と、第八の検出振動体５０と、を備えている。

　また角速度センサ素子１０は、第一の重り部４２と、第二の重り部４７と、第三の重り部５７と、第四の重り部５２と、を備えている。

　第一の固定部２１は、角速度センサ素子１０のＸ軸の方向の端部に配置されている。第一の固定部２１は、延出部２５のＸ軸の方向の一端を固定する。第一の固定部２１の表面には、１つの第一の検出電極パッド２２ａと、第二の検出電極パッド２３ａと、モニター電極パッド２４と、が設けられている。

　第二の固定部２８は、角速度センサ素子１０のＸ軸の方向の端部であって、第一の固定部２１が配置された端部と反対側の端部に配置されている。第二の固定部２８は、延出部２５のＸ軸の方向の一端であって、第一の固定部２１に固定された一端と反対側の端部を固定する。第二の固定部２８の表面には、一つの第一の駆動電極パッド２９ａと、第二の駆動電極パッド２９ｂと、第三の検出電極パッド２２ｂと、第四の検出電極パッド２３ｂと、が設けられている。

　延出部２５の形状は、Ｘ軸の方向を長手方向とし、Ｘ軸の方向に延びる板状である。延出部２５は、中央部分よりも第一の固定部２１側および第二の固定部２８側に、一対の幅狭部２６を有する。幅狭部２６は、第一の固定部２１および第二の固定部２８と接続される延出部２５の端部よりも、Ｙ軸の方向の幅が狭い。図４は、図３に示す角速度センサ素子１０の線ＩＶ－ＩＶにおける断面図であり、延出部２５の中央部分を示す。図４に示すように、延出部２５の中央部分には、Ｚ軸の方向に貫通する孔２７が設けられている。

　第一の駆動振動体３１の形状は、Ｙ軸の方向を長手方向とする板状である。第一の駆動振動体３１のＹ軸の方向の一端は、延出部２５の中央部分に接続されている。第一の駆動振動体３１は、Ｙ軸の方向に延びている。第一の駆動振動体３１の表面には、第一の駆動電極３２と、モニター電極３３と、が一つずつ設けられている。第一の駆動電極３２とモニター電極３３におけるＹ軸の方向の幅は、Ｘ軸の方向とＺ軸の方向とにおけるそれぞれの幅よりも広い。

　第二の駆動振動体３４の形状は、Ｙ軸の方向を長手方向とする板状である。第二の駆動振動体３４は、Ｙ軸の方向の一端が延出部２５の中央部分に接続されている。第二の駆動振動体３４は、延出部２５から、Ｙ軸の方向であって第一の駆動振動体３１と逆方向へ延びている。第二の駆動振動体３４は、延出部２５に対して、第一の駆動振動体３１と対称な位置に設けられている。すなわち第一の駆動振動体３１と第二の駆動振動体３４とは、角速度センサ素子１０の中心を通りＸ軸に平行な直線に対し、線対称の関係にある。第二の駆動振動体３４の表面には、第二の駆動電極３５が一つ設けられている。第二の駆動電極３５のＹ軸の方向における幅は、Ｘ軸の方向とＺ軸の方向とにおけるそれぞれの幅よりも広い。第二の駆動振動体３４の材料は、シリコンである。

　第一の検出振動体３８の形状は、Ｘ軸の方向を長手方向とする板状である。第一の検出振動体３８のＸ軸の方向の一端は、第一の駆動振動体３１のＹ軸の方向の一端であって延出部２５に接続された一端と反対側の端部に接続されている。第一の検出振動体３８は、第一の駆動振動体３１から、第一の固定部２１側に向かってＸ軸の方向に延びている。第一の検出振動体３８の表面には、一対の第一の検出電極３９ａ、３９ｂが設けられている。一対の第一の検出電極３９ａ、３９ｂは、Ｙ軸の方向に配列されている。一方の第一の検出電極３９ａは外側に配置され、他方の第一の検出電極３９ｂは第一の検出電極３９ａよりも内側に配置されている。

　第二の検出振動体４０の形状は、Ｙ軸の方向を長手方向とする板状である。第二の検出振動体４０のＹ軸の方向の一端は、第一の検出振動体３８のＸ軸の方向の一端であって第一の駆動振動体３１と接続された一端と反対側の端部に接続されている。第二の検出振動体４０は、第一の検出振動体３８から、延出部２５側に向かってＹ軸の方向に延びている。第二の検出振動体４０の表面には、一対の第二の検出電極４１ａ、４１ｂが設けられている。一対の第二の検出電極４１ａ、４１ｂは、Ｘ軸の方向に配列されている。一方の第二の検出電極４１ａは外側に配置され、他方の第二の検出電極４１ｂは第二の検出電極４１ａよりも内側に配置されている。

　第三の検出振動体４３の形状は、Ｘ軸の方向を長手方向とする板状である。第三の検出振動体４３のＸ軸の方向の一端は、第二の駆動振動体３４のＹ軸の方向の一端であって延出部２５に接続された一端と反対側の端部に接続されている。第三の検出振動体４３は、第二の駆動振動体３４から第一の固定部２１側に向かって、Ｘ軸の方向に延びている。第三の検出振動体４３は、延出部２５に対して第一の検出振動体３８と対称な位置に設けられている。すなわち第三の検出振動体４３は、角速度センサ素子１０の中心を通りＸ軸に平行な直線に対し、第一の検出振動体３８と線対称の関係にある。第三の検出振動体４３の表面には、一対の第三の検出電極４４ａ、４４ｂが設けられている。一対の第三の検出電極４４ａ、４４ｂは、Ｙ軸の方向に配列されている。一方の第三の検出電極４４ａは外側に配置され、他方の第三の検出電極４４ｂは第三の検出電極４４ａよりも内側に配置されている。

　第四の検出振動体４５の形状は、Ｙ軸の方向に延びる板状である。第四の検出振動体４５のＹ軸の方向の一端は、第三の検出振動体４３のＸ軸の方向の一端であって第二の駆動振動体３４と接続された一端と反対側の端部に接続されている。第四の検出振動体４５は、第三の検出振動体４３から延出部２５側に向かって、Ｙ軸の方向に延びている。第四の検出振動体４５は、延出部２５に対して、第二の検出振動体４０と対称な位置に設けられている。すなわち第四の検出振動体４５は、角速度センサ素子１０の中心を通りＸ軸に平行な直線に対し、第二の検出振動体４０と線対称の関係にある。第四の検出振動体４５の面には、一対の第四の検出電極４６ａ、４６ｂが設けられている。一対の第四の検出電極４６ａ、４６ｂは、Ｘ軸の方向に配列されている。一方の第四の検出電極４６ａは外側に配置され、他方の第四の検出電極４６ｂは第四の検出電極４６ａよりも内側に配置されている。

　第五の検出振動体５３の形状は、Ｘ軸の方向を長手方向とする板状である。第五の検出振動体５３のＸ軸の方向の一端は、第一の駆動振動体３１のＹ軸の方向の一端であって延出部２５に接続された一端と反対側の端部に接続されている。第五の検出振動体５３は、第一の駆動振動体３１から、Ｘ軸の方向であって第一の検出振動体３８と反対方向に延びている。第五の検出振動体５３は、第一の駆動振動体３１に対して、第一の検出振動体３８と対称な位置に設けられている。すなわち第五の検出振動体５３は、角速度センサ素子１０の中心を通りＹ軸に平行な直線に対し、第一の検出振動体３８と線対称の関係にある。第五の検出振動体５３の表面には、一対の第五の検出電極５４ａ、５４ｂが設けられている。一対の第五の検出電極５４ａ、５４ｂは、Ｙ軸の方向に配列されている。一方の第五の検出電極５４ａは外側に配置され、他方の第五の検出電極５４ｂは第五の検出電極５４ａよりも内側に配置されている。

　第六の検出振動体５５の形状は、Ｙ軸の方向を長手方向とする板状である。第六の検出振動体５５のＹ軸の方向の一端は、第五の検出振動体５３のＸ軸の方向の一端であって第一の駆動振動体３１と接続された一端と反対側の端部に接続されている。第六の検出振動体５５は、第五の検出振動体５３から延出部２５側に向かって、Ｙ軸の方向に延びている。第六の検出振動体５５は、第一の駆動振動体３１に対して、第二の検出振動体４０と対称な位置に配置されている。すなわち第六の検出振動体５５は、角速度センサ素子１０の中心を通りＹ軸に平行な直線に対し、第二の検出振動体４０と線対称の関係にある。第六の検出振動体５５の表面には、一対の第六の検出電極５６ａ、５６ｂが設けられている。一対の第六の検出電極５６ａ、５６ｂは、Ｘ軸の方向に配列されている。一方の第六の検出電極５６ａは外側に配置され、他方の第六の検出電極５６ｂは第六の検出電極５６ａよりも内側に配置されている。

　第七の検出振動体４８の形状は、Ｘ軸の方向を長手方向とする板状である。第七の検出振動体４８のＸ軸の方向の一端は、第二の駆動振動体３４のＹ軸の方向の一端であって延出部２５に接続された一端と反対側の端部に接続されている。第七の検出振動体４８は、第二の駆動振動体３４から、Ｘ軸の方向であって、第三の検出振動体４３と反対方向に延びている。第七の検出振動体４８は、第二の駆動振動体３４に対して第三の検出振動体４３と対称な位置に設けられている。すなわち第七の検出振動体４８は、角速度センサ素子１０の中心を通りＹ軸に平行な直線に対し、第三の検出振動体４３と線対称の関係にある。また第七の検出振動体４８は、延出部２５に対して、第五の検出振動体５３と対称な位置に設けられている。すなわち第七の検出振動体４８は、角速度センサ素子１０の中心を通りＸ軸に平行な直線に対し、第五の検出振動体５３と線対称の関係にある。第七の検出振動体４８の表面には、一対の第七の検出電極４９ａ、４９ｂが設けられている。一対の第七の検出電極４９ａ、４９ｂは、Ｙ軸の方向に配列されている。一方の第七の検出電極４９ａは外側に配置され、他方の第七の検出電極４９ｂは第七の検出電極４９ａよりも内側に配置されている。

　第八の検出振動体５０の形状は、Ｙ軸の方向を長手方向とする板状である。第八の検出振動体５０のＹ軸の方向の一端は、第七の検出振動体４８のＸ軸の方向の一端であって第二の駆動振動体３４と接続された一端と反対側の端部に接続されている。第八の検出振動体５０は、第七の検出振動体４８から延出部２５側に向かって、Ｙ軸の方向に延びている。第八の検出振動体５０は、第二の駆動振動体３４に対して、第四の検出振動体４５と対称な位置に設けられている。すなわち第八の検出振動体５０は、角速度センサ素子１０の中心を通りＹ軸に平行な直線に対し、第四の検出振動体４５と線対称の関係にある。また第八の検出振動体５０は、延出部２５に対し、第六の検出振動体５５と対称な位置に設けられている。すなわち第八の検出振動体５０は、角速度センサ素子１０の中心を通りＸ軸に平行な直線に対し、第六の検出振動体５５と線対称の関係にある。第八の検出振動体５０の表面には、一対の第八の検出電極５１ａ、５１ｂが設けられている。一対の第八の検出電極５１ａ、５１ｂは、Ｘ軸の方向に配列されている。一方の第八の検出電極５１ａは外側に配置され、他方の第八の検出電極５１ｂは第八の検出電極５１ａよりも内側に配置されている。

　第一の重り部４２、第二の重り部４７、第三の重り部５７、第四の重り部５２、の形状は、それぞれ矩形状である。

　第一の重り部４２の角部は、第二の検出振動体４０の一端であって第一の検出振動体３８と接続された一端と反対側の端部に接続されている。第一の重り部４２は、第一の駆動振動体３１と、第一の検出振動体３８と、第二の検出振動体４０と、で全四方のうちの三方を囲われた空間内に配置されている。

　第二の重り部４７の角部は、第四の検出振動体４５の一端であって第三の検出振動体４３と接続された一端と反対側の端部に接続されている。第二の重り部４７は、第二の駆動振動体３４と、第三の検出振動体４３と、第四の検出振動体４５と、で全四方のうちの三方を囲われた空間内に配置されている。

　第三の重り部５７の角部は、第六の検出振動体５５の一端であって第五の検出振動体５３と接続された一端と反対側の端部に接続されている。第三の重り部５７は、第一の駆動振動体３１と、第五の検出振動体５３と、第六の検出振動体５５と、で全四方のうちの三方を囲われた空間内に配置されている。

　第四の重り部５２の角部は、第八の検出振動体５０の一端であって第七の検出振動体４８と接続された一端と反対側の端部に接続されている。第四の重り部５２は、第二の駆動振動体３４と、第七の検出振動体４８と、第八の検出振動体５０と、で全四方のうちの三方を囲われた空間内に配置されている。

　第一、第二の固定部２８と、延出部２５と、第一、第二の駆動振動体３１、３４と、第一～第八の検出振動体３８、４０、４３、４５、５３、５５、４８、５０と、第一～第四の重り部４２、４７、５７、５２と、の材料は、シリコンである。

　以下、角速度センサ素子１０の各電極の構成について説明する。

　図５に、図３に示す第二の駆動振動体３４をＶ－Ｖ方向から見た断面を示す。図５に示すように、第二の駆動電極３５と第二の駆動振動体３４の間には、共通グランド電極３６と、圧電体層３７と、が設けられている。共通グランド電極３６は、第二の駆動振動体３４上に配置されている。共通グランド電極３６の材料は、白金とチタンの合金である。また圧電体層３７は、共通グランド電極３６上に配置されている。圧電体層３７の材料は、チタン酸ジルコン酸鉛である。

　第一の駆動電極３２と、モニター電極３３と、第一の検出電極３９ａ、３９ｂと、第二の検出電極４１ａ、４１ｂと、第三の検出電極４４ａ、４４ｂと、第四の検出電極４６ａ、４７ｂと、第五の検出電極５４ａ、５４ｂと、第六の検出電極５６ａ、５６ｂと、第七の検出電極４９ａ、４９ｂと、第八の検出電極５１ａ、５１ｂと、の下方にも、第二の駆動電極３５と同様に、共通グランド電極３６と、圧電体層３７と、が配置されている。

　以下、第一の固定部２１に設けられた電極パッド（第一の検出電極パッド２２ａ、第二の検出電極パッド２３ａ、モニター電極パッド２４）と各電極との電気的な接続関係について説明する。

　第一の検出電極パッド２２ａは、第一の駆動振動体３１を通る配線パターンを介して、第一の検出電極３９ａおよび第五の検出電極５４ａに電気的に接続されている。また、第一の検出電極パッド２２ａは、第二の駆動振動体３４を通る配線パターンを介して、第三の検出電極４４ａおよび第七の検出電極４９ａに電気的に接続されている。

　第二の検出電極パッド２３ａは、第一の駆動振動体３１を通る配線パターンを介して、第二の検出電極４１ａおよび第六の検出電極５６ｂに電気的に接続されている。また第二の検出電極パッド２３ａは、第二の駆動振動体３４を通る配線パターンを介して、第四の検出電極４６ｂおよび第八の検出電極５１ａに電気的に接続されている。

　モニター電極パッド２４は、配線パターンを介してモニター電極３３に電気的に接続されている。

　次に、第二の固定部２８に配置された電極パッド（第一の駆動電極パッド２９ａ、第二の駆動電極パッド２９ｂ、第三の検出電極パッド２２ｂ、第四の検出電極パッド２３ｂ）と各電極との電気的な接続関係について説明する。

　第一の駆動電極パッド２９ａは、配線パターンを介して第一の駆動電極３２に電気的に接続されている。

　第二の駆動電極パッド２９ｂは、配線パターンを介して第二の駆動電極３５に電気的に接続されている。

　第三の検出電極パッド２２ｂは、第一の駆動振動体３１を通る配線パターンを介して、第一の検出電極３９ｂおよび第五の検出電極５４ｂに電気的に接続されている。また、第三の検出電極パッド２２ｂは、第二の駆動振動体３４を通る配線パターンを介して、第三の検出電極４４ｂおよび第七の検出電極４９ｂに電気的に接続されている。

　第四の検出電極パッド２３ｂは、第一の駆動振動体３１を通る配線パターンを介して、第二の検出電極４１ｂおよび第六の検出電極５６ａに電気的に接続されている。また第四の検出電極パッド２３ｂは、第二の駆動振動体３４を通る配線パターンを介して、第四の検出電極４６ａおよび第八の検出電極５１ｂに電気的に接続されている。

　（１－３．角速度センサ素子および角速度センサの製造方法）
　以下、本実施形態の角速度センサ素子１０と角速度センサ２００の製造方法を説明する。

　はじめに、角速度センサ素子１０の製造方法について、説明する。図６Ａから図６Ｆは、角速度センサ素子１０の製造工程図である。

　まず、図６Ａに示すように、シリコンからなるウェハ６９を準備する。ウェハ６９の表面には、予め、共通グランド電極３６と、圧電体層３７と、第一の駆動電極パッド２９ａと、第二の駆動電極パッド２９ｂと、第一の検出電極パッド２２ａと、第二の検出電極パッド２３ａと、第三の検出電極パッド２２ｂと、第四の検出電極パッド２３ｂと、モニター電極パッド２４と、第一の駆動電極３２と、第二の駆動電極３５と、第一の検出電極３９ａ、３９ｂと、第二の検出電極４１ａ、４１ｂと、第三の検出電極４４ａ、４４ｂと、第四の検出電極４６ａ、４６ｂと、第五の検出電極５４ａ、５４ｂと、第六の検出電極５６ａ、５６ｂと、第七の検出電極４９ａ、４９ｂと、第八の検出電極５１ａ、５１ｂと、モニター電極３３と、配線パターンと、を形成しておく。

　次に、ウェハ６９の表面に、スピンコート法を用いて、レジスト膜６４を形成する。レジスト膜６４の材料は、例えば、アルミニウム、チタン、酸化シリコン、窒化シリコン等である。そしてその後、図６Ｂに示すように、フォトリソグラフィーにより、レジスト膜６４を所定形状にパターンニングする。

　次に、ウェハ６９をドライエッチング装置にセットする。そして六フッ化硫黄（ＳＦ_６）あるいは四フッ化炭素（ＣＦ_４）等のフッ素系ガスを導入する。すると、図６Ｃに示すように、ウェハ６９のレジスト膜６４を設けた部分以外がエッチングされ、溝６５が形成される。

　次に、図６Ｄに示すように、レジスト膜６４の表面に、粘着剤層を設けたフィルム６６を貼る。フィルム６６の厚みは、５０～２００ミクロンである。フィルム６６は、後述する図６Ｅのバックグラインド工程の時に、ウェハ６９の表面を保護する機能を有する。

　その後、図６Ｅに示すように、ウェハ６９の上下を逆さまにして、ウェハ６９に設けたフィルム６６をチャックテーブルに固定する。そしてバックグラインドホイール６７を回転させて、ウェハ６９の裏面を研削する。

　最後に、ＵＶを照射してフィルム６６の粘着力を低減させ、レジスト膜６４の表面からフィルム６６を剥離する。そしてレジスト膜６４を除去し、ウェハ６９から個片の角速度センサ素子１０を取り出す。

　以上で、角速度センサ素子１０を製造できる。

　次に、図２の角速度センサ２００の製造方法について、説明する。

　まず、多層回路基板７２を準備する。

　次に、多層回路基板７２の上面の外周に、側壁７３および段差部７４を形成する。また段差部７４の上面に、端子電極７５を形成する。さらに側壁７３の上面に、金属枠７９を固着する。

　そして、多層回路基板７２の下面に、電源電極７６、ＧＮＤ電極７７および出力電極を形成する。

　次に、多層回路基板７２の上面に、ＩＣ９０を実装する。そしてこのＩＣ９０と多層回路基板７２とを電気的に接続する。

　そして、多層回路基板７２の上面に、ＩＣ９０と並設するように、加速度センサ素子１００を実装する。そして加速度センサ素子１００と、ケース７０における端子電極７５と、を、ワイヤー線を介してワイヤーボンディングにより電気的に接続する。

　一方、載置部材８０に、八つの端子８１をインサート成形する。そして載置部材８０に角速度センサ素子１０の第一の固定部２１および第二の固定部２８の下面を固着する。その後、載置部材８０の端子８１と、第一の固定部２１および第二の固定部２８における第一、第二の駆動電極パッド２９ａ、２９ｂと、第一の検出電極パッド２２ａと、第二の検出電極パッド２３ａと、第三の検出電極パッド２２ｂと、第四の検出電極パッド２３ｂと、モニター電極パッド２４と、を、それぞれワイヤー線を介してワイヤーボンディングにより電気的に接続する。

　次に、八つの端子８１を、ケース７０における端子電極７５に半田付する。そして端子８１をケース７０に埋設する。

　最後に、ケース７０の収容部７１の開口部に、シーム溶接により窒素雰囲気中で上蓋７８を固着する。

　以上で、角速度センサ２００が組み立てられる。

　（１－４．角速度センサ素子および角速度センサの動作）
　以下、本実施形態の角速度センサ素子１０および角速度センサ２００の動作について説明する。

　ケース７０における電源電極７６へ電源電圧を入力する。電源電極７６から電源電圧を入力されたＩＣ９０は、駆動回路９１から、交流電圧である駆動信号を出力する。この駆動信号は、端子電極７５と、端子８１と、を介して第一の駆動電極パッド２９ａおよび第二の駆動電極パッド２９ｂに印加される。印加される交流電圧の方向が第一の駆動電極３２および第二の駆動電極３５の分極の方向と同じ方向の場合には、第一の駆動電極３２および第二の駆動電極３５に引張応力が発生する。そして流れる電流の方向が第一の駆動電極３２および第二の駆動電極３５の分極の方向と反対方向の場合には、第一の駆動電極３２および第二の駆動電極３５に圧縮応力が発生する。

　ここで、実施形態１では、第一の駆動電極パッド２９ａおよび第二の駆動電極パッド２９ｂに逆位相の交流電圧を印加している。これにより第一の駆動電極３２および第二の駆動電極３５の一方に圧縮応力が発生し、他方に引っ張り応力が発生する。そうすると、交流電圧の位相に応じて、第一の駆動振動体３１および第二の駆動振動体３４が、互いにＺ軸の方向の逆方向に速度Ｖで撓み駆動振動する。

　そして第一の駆動振動体３１の撓み駆動振動は、第一の検出振動体３８、第二の検出振動体４０を介して第一の重り部４２に伝わるとともに、第五の検出振動体５３および第六の検出振動体５５を介して第三の重り部５７へ伝わる。また第二の駆動振動体３４の撓み振動は、第三の検出振動体４３、第四の検出振動体４５を介して第二の重り部４７に伝わるとともに、第七の検出振動体４８、第八の検出振動体５０を介して、第四の重り部５２へ伝わる。すると、第一～第四の重り部４２、４７、５７、５２は、図７に示すように、Ｚ軸の方向に速度Ｖで駆動振動する。

　ここで、まず、角速度センサ素子１０にＸ軸の周りの角速度が発生する場合を考える。

　この場合、第一～第四の重り部４２、４７、５７、５２がコリオリ力により、Ｙ軸の方向に振動する。すると、ある局面では、それぞれ外側に配置された第一の検出電極３９ａと、第三の検出電極４４ａと、第五の検出電極５４ａと、第七の検出電極４９ａと、に圧縮応力が働く。そしてそれぞれ内側に配置された第一の検出電極３９ｂと、第三の検出電極４４ｂと、第五の検出電極５４ｂと、第七の検出電極４９ｂと、に引張応力が働く。すると、角速度センサ素子１０は、図８に示すように、左右が内側へ突出するように反る。そして次の局面では、第一の検出電極３９ａと、第三の検出電極４４ａと、第五の検出電極５４ａと、第七の検出電極４９ａと、に引張応力が働く。そして第一の検出電極３９ｂと、第三の検出電極４４ｂと、第五の検出電極５４ｂと、第七の検出電極４９ｂと、に圧縮応力が働く。すると、角速度センサ素子１０は、左右が外側へ突出するように反る。このような引張応力および圧縮応力により第一の検出振動体３８と、第三の検出振動体４３と、第五の検出振動体５３と、第七の検出振動体４８と、がＹ軸の方向に振動すると、振動により発生する電荷が、第一の検出電極パッド２２ａおよび第三の検出電極パッド２２ｂに加算されて入力される。第一の検出電極パッド２２ａおよび第三の検出電極パッド２２ｂに発生する電荷は、出力信号として、端子電極７５へ出力される。そして処理回路９２で処理されて、ケース７０に設けられた出力電極から外部へ出力される。この外部へ出力された信号を検出することで、Ｘ軸の周りの角速度を検出できる。

　次に、角速度センサ素子１０にＹ軸の周りの角速度が発生する場合を考える。

　この場合、第一～第四の重り部４２、４７、５７、５２がコリオリ力により、Ｘ軸の方向に振動する。すると、ある局面では、第二の検出電極４１ａと、第四の検出電極４６ｂと、第六の検出電極５６ｂと、第八の検出電極５１ａと、に圧縮応力が働く。そして第二の検出電極４１ｂと、第四の検出電極４６ａと、第六の検出電極５６ａと、第八の検出電極５１ｂと、に引張応力が働く。すると、角速度センサ素子１０は、図９に示すように、第四の検出振動体４５および第八の検出振動体５０が紙面上の上方向へ振動し、第二の検出振動体４０および第六の検出振動体５５が下方向へ振動する。そして、次の局面では、第二の検出電極４１ａと、第四の検出電極４６ｂと、第六の検出電極５６ｂと、第八の検出電極５１ａと、に引張応力が働く。そして第二の検出電極４１ｂと、第四の検出電極４６ａと、第六の検出電極５６ａと、第八の検出電極５１ｂと、に圧縮応力が働く。すると第四の検出振動体４５および第八の検出振動体５０が下方へ振動し、第二の検出振動体４０および第六の検出振動体５５が上方向へ振動する。このように、第二の検出振動体４０と、第四の検出振動体４５と、第六の検出振動体５５と、第八の検出振動体５０と、が、Ｘ軸の方向に振動すると、振動により発生する電荷が、第二の検出電極パッド２３ａおよび第四の検出電極パッド２３ｂに加算されて入力される。第二の検出電極パッド２３ａおよび第四の検出電極パッド２３ｂに発生する電荷は、出力信号として、端子電極７５へ出力される。そして処理回路９２で処理されて、ケース７０に設けられた出力電極から外部へ出力される。この外部へ出力された信号を検出することで、Ｙ軸の周りの角速度を検出できる。

　（１－５．効果等）
　以下、本実施形態の角速度センサ素子１０および角速度センサ２００の効果と変形例等について説明する。

　角速度センサ素子１０は、第一の駆動振動体３１を、Ｚ軸の方向、すなわち角速度センサ素子１０の厚み方向に撓み振動駆動させている。したがって、第一の駆動振動体３１を捻じり振動させる場合と比べて振動が安定する。すなわち延出部２５の断面は四角い為、図１０の従来例のように延出部２５を捻じり振動させようとすると、円柱状の物体を捻じり振動させる場合と比べて振動が安定しにくくなる。これに対し本実施形態では、延出部２５を厚み方向に振動させればよいため、振動が安定しやすい。また第一の駆動振動体３１を捩じれ振動させる場合と比べて、厚み方向に振動させる場合は、振動速度の調整も容易である。そしてその結果、駆動の調整が容易となる。

　また第二の駆動振動体３４も、第一の駆動振動体３１と同様に、Ｚ軸の方向に撓み振動駆動させている。したがって、第二の駆動振動体３４を捻じり振動させる場合と比べて振動が安定する。また振動速度の調整も容易である。そしてその結果、駆動の調整が容易となる。

　また本実施形態では、延出部２５に幅狭部２６を設けているため、延出部２５の断面二次極モーメントが小さくなる。したがって、延出部２５は捩れ易くなり、第一の駆動振動体３１および第二の駆動振動体３４の変位を大きく出来る。その結果、角速度センサ２００の検出感度を向上できる。なお、検出感度が十分な場合は、幅狭部２６を設けなくてもよい。また幅狭部２６の数は、二つに限らず、一つでも二つ以上であってもよい。また幅狭部２６の位置は、延出部２５の中央部分に限らず、捩じれ易くしたい位置を適宜選択すればよい。

　また本実施形態の延出部２５は、両端を第一の固定部２１および第二の固定部２８にそれぞれ固定された両持ち梁構造である。したがって、延出部２５は、安定に捩れ振動する。また、幅狭部２６を設けることで変位が大きくなった場合も、安定して捩じれ振動させることができる。その結果、第一の駆動振動体３１および第二の駆動振動体３４への印加電圧を増大でき、第一の駆動振動体３１および第二の駆動振動体３４の変位量をさらに増大できる。そしてその結果、出力信号の検出感度を向上できる。なお、第二の固定部２８が無い場合、延出部２５は片持ち梁構造となるが、角速度センサ素子１０は動作可能である。

　さらに本実施形態では、延出部２５に孔２７を設けているため、延出部２５は複数の梁に分割された構造となる。そしてこれらの梁のそれぞれの断面二次極モーメントを小さくでき、延出部２５は捩れやすくなる。また梁の断面は小さくなるが、梁は複数本あるため、延出部２５全体の機械的強度を向上できる。したがって、第一の駆動振動体３１および第二の駆動振動体３４の変位を大きく出来、角速度センサ２００の検出感度を向上できる。なお、検出感度が十分な場合は、孔２７は必須の構成ではない。

　また本実施形態では、延出部２５に対して、第一の検出振動体３８と対称な位置に第三の検出振動体４３を設けているとともに、延出部２５に対して、第二の検出振動体４０と対称な位置に第四の検出振動体４５を設けている。このような構造では、第一の検出振動体３８から、第一の駆動振動体３１と、延出部２５と、を介して第一の固定部２１および第二の固定部２８へ伝播する振動が、第三の検出振動体４３から、第二の駆動振動体３４と、延出部２５と、を介して第一の固定部２１および第二の固定部２８へ伝播する振動と逆方向となり、互いに打ち消し合う。同様に、第二の検出振動体４０から、第一の駆動振動体３１と、延出部２５と、を介して第一の固定部２１および第二の固定部２８へ伝播する振動は、第四の検出振動体４５からの振動と逆方向であり、互いに打ち消し合う。したがって、第一の固定部２１及び第二の固定部２８が取り付けられる載置部材８０の共振を抑制できる。そしてその結果、角速度センサ素子１０の出力信号の精度が向上する。なお、第三の検出振動体４３および第四の検出振動体４５が無い場合も、角速度センサ素子１０は動作可能である。

　同様に、本実施形態では、延出部２５に対して、第五の検出振動体５３と対称な位置に第七の検出振動体４８を設けているとともに、延出部２５に対して、第六の検出振動体５５と対称な位置に第八の検出振動体５０を設けている。これにより、第五の検出振動体５３から第一の固定部２１および第二の固定部２８へ伝播する振動は、第七の検出振動体４８から第一の固定部２１および第二の固定部２８へ伝播する振動と逆方向となり、互いに打ち消し合う。そして、第六の検出振動体５５から第一の固定部２１および第二の固定部２８へ伝播する振動は、第八の検出振動体５０からの振動と逆方向となり、互いに打ち消し合う。したがって、第一の固定部２１及び第二の固定部２８が取り付けられる載置部材８０の共振を抑制できる。そしてその結果、角速度センサ素子１０の出力信号の精度が向上する。

　また本実施形態では、第一の駆動振動体３１に対して第一の検出振動体３８と対称な位置に第五の検出振動体５３を設けるとともに、第一の駆動振動体３１に対して第二の検出振動体４０と対称な位置に第六の検出振動体５５を設けている。これにより本実施形態では、第一の駆動振動体３１に対して、重量バランスが均等となるため、第一の駆動振動体３１の駆動振動が安定する。なお、第五の検出振動体５３および第六の検出振動体５５が無い場合も、角速度センサ素子１０は動作可能である。

　さらに、第二の駆動振動体３４に対して第三の検出振動体４３と対称な位置に第七の検出振動体４８を設けるとともに、第二の駆動振動体３４に対して第四の検出振動体４５と対称な位置に第八の検出振動体５０を設けている。これにより本実施形態では、第二の駆動振動体３４に対して、重量バランスが均等となるため、第二の駆動振動体３４の駆動振動が安定する。なお、第七の検出振動体４８および第八の検出振動体５０が無い場合も、角速度センサ素子１０は動作可能である。

　また本実施形態では、第一～第四の重り部４２、４７、５７、５２を設けることで、効率よくコリオリ力を発生できる。なお、第一～第四の重り部４２、４７、５７、５２は必須の構成ではなく、コリオリ力が小さくてもよい場合は、これらの第一～第四の重り部４２、４７、５７、５２を設けなくてもよい。

　さらに本実施形態では、第一の重り部４２を、第一の駆動振動体３１と第一の検出振動体３８と、第二の検出振動体４０と、で三方を囲われた空間内に配置している。これによりスペースを有効活用し、角速度センサ素子１０を小型化できる。また、第二～第四の重り部４７、５７、５２も同様に、本実施形態のような配置位置とすることで、スペースを有効活用し、角速度センサ素子１０を小型化できる。

　また第一～第四の重り部４２、４７、５７、５２の形状を矩形状とすることで、空いているスペースに合った形状となり、スペースを有効活用できる。ただし、第一～第四の重り部４２、４７、５７、５２の形状は矩形状に制限されない。

　また第一の重り部４２を、第二の検出振動体４０の端部に接続することで、効率よくコリオリ力を発生できる。ただし、コリオリ力が小さくてもよい場合は、この位置に配置されていなくともよい。例えば第二の検出振動体４０の中央部分や、第一の検出振動体３８に接続されていてもよい。第二～第四の重り部４７、５７、５２も同様に、本実施形態に示す位置に配置することで、効率よくコリオリ力を発生できるが、この配置位置に限定されるものではない。

　なお、本実施形態の角速度センサ素子１０は、Ｘ軸とＹ軸の二つの軸の周りの角速度を検出するものであるが、Ｚ軸の周りの角速度を検出する構造と組み合わせ、三つの軸の周りの角速度を検出するものであってもよい。

　さらに本実施形態の角速度センサ素子１０は、逆圧電効果を用いて第一、第二の駆動振動体３１、３４を駆動したが、駆動する方式は圧電方式以外でもよい。例えば静電気力を用いてもよい。この場合は、第一の駆動電極３２および第二の駆動電極３５のそれぞれと対向する対向電極を設け、第一の駆動電極３２と対向電極、ならびに第二の駆動電極３５と対向電極との静電気力によって、第一の駆動振動体３１および第二の駆動振動体３４を駆動振動させればよい。

　また本実施形態の角速度センサ素子１０は、圧電効果を用いて振動を検出したが、検出する方式は、圧電方式以外でもよい。

　なお、上記実施形態において、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸とは便宜上の名称であり、互いに垂直な関係であれば名称は互換性を有する。またＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸とは、単なる名称であり、それぞれ第一の軸、第二の軸、第三の軸のいずれかと名称を置き換えることとできる。

　また、上記実施形態において、「垂直」とは実質的に垂直な関係を含み、「平行」とは実質的に平行な関係を含むものとする。

　また、上記実施形態において、「上面」、「下面」、「側面」とは、相対的な方向から見た便宜上の名称であり、角速度センサ素子や角速度センサの配置位置によって名称が置き換わってもよい。

　本発明に係る角速度センサ素子は、駆動の調整が容易であり、例えば各種電子機器に用いられる角速度センサに使用される角速度センサ素子として有用である。

　１０　角速度センサ素子
　２１　第一の固定部
　２２ａ　第一の検出電極パッド
　２２ｂ　第三の検出電極パッド
　２３ａ　第二の検出電極パッド
　２３ｂ　第四の検出電極パッド
　２４　モニター電極パッド
　２５　延出部
　２６　幅狭部
　２７　孔
　２８　第二の固定部
　２９ａ　第一の駆動電極パッド
　２９ｂ　第二の駆動電極パッド
　３１　第一の駆動振動体
　３２　第一の駆動電極
　３３　モニター電極
　３４　第二の駆動振動体
　３５　第二の駆動電極
　３６　共通グランド電極
　３７　圧電体層
　３８　第一の検出振動体
　３９ａ，３９ｂ　第一の検出電極
　４０　第二の検出振動体
　４１ａ，４１ｂ　第二の検出電極
　４２　第一の重り部
　４３　第三の検出振動体
　４４ａ，４４ｂ　第三の検出電極
　４５　第四の検出振動体
　４６ａ，４６ｂ　第四の検出電極
　４７　第二の重り部
　４８　第七の検出振動体
　４９ａ，４９ｂ　第七の検出電極
　５０　第八の検出振動体
　５１ａ，５１ｂ　第八の検出電極
　５２　第四の重り部
　５３　第五の検出振動体
　５４ａ，５４ｂ　第五の検出電極
　５５　第六の検出振動体
　５６ａ，５６ｂ　第六の検出電極
　５７　第三の重り部
　７０　ケース
　７１　収容部
　７２　多層回路基板
　７３　側壁
　７４　段差部
　７５　端子電極
　７６　電源電極
　７７　ＧＮＤ電極
　７８　上蓋
　７９　金属枠
　８０　載置部材
　８１　端子
　９０　ＩＣ
　９１　駆動回路
　９２　処理回路
　１００　加速度センサ素子
　２００　角速度センサ

Claims

固定部と、
前記固定部に接続された一端を有し、第一の軸の方向に延びる延出部と、
前記延出部と接続され、前記第一の軸と直交する第二の軸の方向に延びる第一の駆動振動体と、
前記第一の駆動振動体に接続され、前記第一の軸の方向に延びる第一の検出振動体と、
前記第一の検出振動体に接続され、前記第二の軸の方向に延びる第二の検出振動体と、を備え、
前記第一の軸と前記第二の軸とに直交する第三の軸の方向に前記第一の駆動振動体を撓み振動駆動させ、前記第一の検出振動体で前記第一の軸の周りの角速度を検出し、前記第二の検出振動体で前記第二の軸の周りの角速度を検出する角速度センサ素子。
前記延出部は、局部的に、前記第二の軸の方向に幅の狭い幅狭部を有する、請求項１に記載の角速度センサ素子。
前記延出部は、前記第三の軸の方向に貫通する孔を有する、請求項１に記載の角速度センサ素子。
前記延出部に対して前記第一の駆動振動体と対称な位置に設けられた第二の駆動振動体と、
前記第二の駆動振動体に接続され、前記延出部に対して前記第一の検出振動体と対称な位置に設けられた第三の検出振動体と、
前記第三の検出振動体に接続され、前記延出部に対して前記第二の検出振動体と対称な位置に設けられた第四の検出振動体と、をさらに備えた、請求項１に記載の角速度センサ素子。
前記第一の駆動振動体に対して前記第一の検出振動体と対称な位置に設けられた第五の検出振動体と、前記第一の駆動振動体に対して前記第二の検出振動体と対称な位置に設けられた第六の検出振動体と、をさらに備えた、請求項１に記載の角速度センサ素子。
固定部と、
前記固定部に接続された一端を有し、第一の軸の方向に延びる延出部と、
前記延出部と接続され、前記第一の軸と直交する前記第二の軸の方向に延びる第一の駆動振動体と、
前記第一の駆動振動体に接続され、前記第一の軸の方向に延びる第一の検出振動体と、
前記第一の検出振動体に接続され、前記第二の軸の方向に延びる第二の検出振動体と、を有し、
前記第一の軸と前記第二の軸とに直交する第三の軸の方向に前記第一の振動駆動体を撓み振動駆動させ、前記第一の検出振動体で前記第一の軸の周りの角速度を検出し、前記第二の検出振動体で前記第二の軸の周りの角速度を検出する角速度センサ素子と、
前記角速度センサ素子を駆動させる駆動信号を出力する駆動回路と、
前記角速度センサ素子からの出力信号を処理する処理回路と、
を備えた、角速度センサ。
前記駆動回路と、前記処理回路と、は集積回路に集積されている、請求項６に記載の角速度センサ。
前記角速度センサ素子と、前記駆動回路と、前記処理回路と、を収用するケースと、
前記ケースの外表面に設けられて、前記駆動回路および前記処理回路と電気的に接続された電極と、をさらに備えた、請求項６に記載の角速度センサ。