JP2008124354A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコンウェハ1のデバイス形成面(表面構造4)に紫外線硬化性樹脂膜31を被覆することで、シリコンウェハ1の裏面1aを研削した場合に、吸着ステージ32に吸着される表面構造4に接触キズや打痕が付くことを防止することができる。
【選択図】 図1
Description
図3において、同図(a)は研削前のシリコンウェハの要部断面図、同図(b)は同図(a)のB部詳細図であり、IGBTの1セルの表面構造4である。表面構造4は拡散部2と上部構造3で構成される。この拡散部2はシリコンウェハ1の表面層に形成されたウェル領域11とウェル領域11の表面層に形成されたエミッタ領域で構成される。また上部構造3はゲート絶縁膜13とゲート電極14と層間絶縁膜15とエミッタ電極16および表面保護膜のポリイミド膜17で構成される。
まず、図4で示したシリコンウェハ1の裏面1aを研削加工するために、予め表面構造4上に研削保護用のレジスト膜35をスピン塗布して、熱硬化させておく。レジスト膜35は一般的に半導体プロセスで使用する熱硬化性樹脂膜である(同図(a))。
つぎに、このレジスト膜35面に研削加工装置の吸着ステージ32をセットし真空吸着することでシリコンウェハ1を吸着ステージ32に吸着固定し、シリコンウェハ1の裏面1aを研削加工してシリコンウェハ1を薄膜化する(同図(b))。
つぎに、シリコンウェハ1を吸着ステージ32から離す。その後の工程はここでは省略する。
この接触キズ41や打痕42を防止するためにレジスト膜を厚くする方法がある。
図6は、レジスト膜の膜厚を厚くした場合の工程図であり、同図(a)〜同図(c)は工程順に示した要部工程断面図である。
図4と同様の工程であるが、異なるのは接触キズ41や打痕42を防止するためにレジスト膜35の厚さを10μm以上の厚いレジスト膜36にした点である。こうすることで接触キズ41や打痕42等を低減できるが、シリコンウェハ1を吸着ステージ32から離すと、図7のようにシリコンウェハ1が大きく反ってしまう。この反り量が増大する理由について以下に説明する。
このようにシリコンウェハ1の反り量が増大すると、各種半導体プロセス装置の搬送機構でシリコンウェハ1を搬送できないなどの不具合が発生する。
この発明の目的は、前記の課題を解決して、シリコンウェハを吸着ステージに吸着固定する場合に、シリコンウェハに接触キズや打痕が付かず、シリコンウェハの反りも小さくできる半導体装置の製造方法を提供することである。
また、シリコンウェハを研削して薄膜化する工程において、研削面と反対側のデバイス形成面に保護膜として紫外線硬化性樹脂膜を被覆し、該紫外線硬化性樹脂膜に紫外線を照射して硬化させた後、該紫外線硬化性樹脂膜を脱着支持治具に接触させて固定した後前記研削面を研削し前記シリコンウェハの厚さを100μm以下とする。
また、シリコンウェハを搬送する工程において、前記シリコンウェハのデバイス形成面に保護膜として紫外線硬化性樹脂膜を被覆し、該紫外線硬化性樹脂膜に紫外線を照射して硬化させた後、シリコンウェハを脱着支持治具に接触させて固定し搬送する製造方法とする。
また、前記紫外線の波長が200〜400nmであるとよい。
これによってウェハ表面に形成された多数の半導体素子を破壊させてしまう問題を改善できる。
また、シリコンウェハに紫外線硬化性樹脂膜を被覆することで、シリコンウェハの反り量を小さく抑制できて、シリコンウェハの搬送工程や研削工程以外の他の工程を良好に行うことができる。
まず、硬化前の状態が液体である紫外線硬化性樹脂を、スピンコーターを使用してシリコンウェハ1のデバイス形成面(表面構造4)に回転塗布(スピンコート)する。スピンコーターの回転数と回転時間を制御して30μmの厚さになるよう形成し、スピンコートした直後に紫外線(365nm)を照射させ硬化させ紫外線硬化性樹脂膜31を形成する(同図(a))。尚、紫外線の波長としては200nm〜400nmの範囲がよい。この範囲から外れると紫外線による硬化性が低下する。
具体的には、研削加工装置の吸着ステージ32にデバイス形成面(表面構造4)上に形成されている紫外線硬化性樹脂膜31を密着させて固定し、反対側の研削面(裏面1a)を回転する図示しない研削台に押し付けて100μm以下の厚さに研削加工する。この研削工程後のシリコンウェハ1の厚さの面内分布は87〜93μmの範囲内となり、良好な結果となった。
つぎに、シリコンウェハ1を吸着ステージ32から外す(同図(c))。
カットした後、シリコンウェハ1は半導体チップ(ここではIGBTチップ)となる(同図(e))。
図2は、図1(e)のA部詳細図であり、IGBTの1セルの要部断面図である。表面構造4は図3で説明したのでここでは説明を省略する。裏面構造18はシリコンウェハ1の裏面1bに形成したコレクタ領域19とコレクタ領域19上に形成したコレクタ電極20で構成される。
このように紫外線硬化性樹脂膜31を厚くできるのは、紫外線(波長200〜400nm)を照射して室温で硬化させるため、熱硬化性のレジスト膜に比べ揮発成分が少なく、応力の発生が少ないためである。
このように紫外線硬化性樹脂膜31は揮発成分が少なく、応力の発生が少ないため、シリコンウェハ1の反り量も極めて小さく、30μmの膜厚にしてもシリコンウェハ1の反り量は1μm以下である。つまり殆ど反らないということである。
また、レジスト膜35、36で必須の加熱硬化処理が紫外線硬化性樹脂膜31では必要ないため、プロセス時間の短縮が可能となり製造コストの低減を図ることができる。
今回、紫外線硬化性樹脂膜31をスピンコート法でシリコンウェハ1の表面に形成したが、これ以外の方法として印刷する方法もある。また、紫外線硬化樹脂膜31の主成分は、アクリル樹脂やエポキシ樹脂を用いている。
1a、1b 裏面
2 拡散部
3 上部構造
4 表面構造
10 シリコン基板
11 ウェル領域
12 エミッタ領域
13 ゲート絶縁膜
14 ゲート電極
15 層間絶縁膜
16 エミッタ電極
17 ポリイミド膜
18 裏面構造
19 コレクタ領域
20 コレクタ電極
31 紫外線硬化性樹脂膜
32 吸着ステージ
33 切断線
35 レジスト膜(薄い)
36 レジスト膜(厚い)
41 接触キズ
42 打痕
Claims (4)
- シリコンウェハのデバイス形成面を接触させて脱着支持治具に固定する工程において、前記デバイス形成面に保護膜として紫外線硬化性樹脂膜を被覆し、該紫外線硬化性樹脂膜に紫外線を照射して硬化させた後、前記紫外線硬化性樹脂膜を接触させて脱着支持治具に固定することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- シリコンウェハを研削して薄膜化する工程において、研削面と反対側のデバイス形成面に保護膜として紫外線硬化性樹脂膜を被覆し、該紫外線硬化性樹脂膜に紫外線を照射して硬化させた後、該紫外線硬化性樹脂膜を脱着支持治具に接触させて固定した後前記研削面を研削し前記シリコンウェハの厚さを100μm以下とすることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- シリコンウェハを搬送する工程において、前記シリコンウェハのデバイス形成面に保護膜として紫外線硬化性樹脂膜を被覆し、該紫外線硬化性樹脂膜に紫外線を照射して硬化させた後、シリコンウェハを脱着支持治具に接触させて固定し搬送することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 前記脱着支持治具が前記シリコンウェハを脱着できる吸着ステージであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
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JP2014017462A (ja) * | 2012-03-02 | 2014-01-30 | Fujifilm Corp | 半導体装置の製造方法 |
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