JP2005019435A - ウェハ研磨方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ウェハの仕上げ厚が100μm以下というような超薄型であっても、ウェハエッジの欠けやクラックを生じることなくウェハを薄くできるウェハ研磨方法を提供すること。
【解決手段】ウェハ2上で半導体素子または回路が形成された内部領域16とその外側の外周部15との境界をウェハ表面3に対して垂直に切断して、ウェハ外周部15を除去する。ウェハ2の面寸法以上の面寸法をもつ支持部材10にウェハ表面3を貼り合わせる。支持部材10によってウェハ表面3を支持した状態でウェハ裏面30を研磨して、ウェハ2の厚みを所定の仕上げ厚まで薄くする。
【選択図】 図1
【解決手段】ウェハ2上で半導体素子または回路が形成された内部領域16とその外側の外周部15との境界をウェハ表面3に対して垂直に切断して、ウェハ外周部15を除去する。ウェハ2の面寸法以上の面寸法をもつ支持部材10にウェハ表面3を貼り合わせる。支持部材10によってウェハ表面3を支持した状態でウェハ裏面30を研磨して、ウェハ2の厚みを所定の仕上げ厚まで薄くする。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明はウェハ研磨方法に関し、より詳しくは、ウェハの裏面を研磨してウェハの厚みを薄くする方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、携帯電話に代表される機器の小型・軽量化に伴って、複数のチップを多段積層してパッケージに収容するスタックドCSP(チップサイズパッケージ)が開発されている。このスタックドCSPに適合させるためため、表面に半導体素子や回路が形成されたウェハをダイシングしてチップにする前に、ウェハの裏面を研磨してウェハの厚み(これを「仕上げ厚」と呼ぶ。チップの厚みに等しい。)を200μm以下、さらには100μm以下まで薄くする工程が行われている。
【0003】
例えば、まず図5(a)(i),図5(b)(i)に示すように研磨対象であるウェハ2の表面3に保護テープ1を貼り付け、図5(a)(ii),図5(b)(ii)に示すようにウェハ2の表面3を保護テープ1で覆った状態でウェハ2の裏面30を研磨した後、図5(a)(iii),図5(b)(iii)に示すようにウェハ2の表面3から保護テープ1を剥離し、その後、図5(a)(iv),図5(b)(iv)に示すように金属製キャリアフレーム4に張られたダイシングテープ5にウェハ2の裏面(研磨後の裏面を符号30′で示す。)を貼り付け、図5(a)(v),図5(b)(v)に示すようにダイシングを行っている。これにより、スタックドCSPに適合した厚みの薄いチップ20が得られる。なお、保護テープ1は、図8中に示すように、エチレン酢酸ビニル(EVA)、ポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート(PET)などの基材13の片面にアクリル系粘着材12を備えたものである。
【0004】
また、ウェハ2の仕上げ厚が200μm以下である場合は、ウェハ強度が低下するので、保護テープ剥離工程や工程間搬送時の衝撃でウェハ2が割れる危険性を回避する必要がある。このため、図6(a)(iii),図6(b)(iii)に示すように保護テープ1を貼り付けたままウェハ2の裏面30′を金属製キャリアフレーム4に張られたダイシングテープ5に貼り付けた後、図6(a)(iv),図6(b)(iv)に示すように保護テープ1を剥離する方法が行われている(例えば、特許文献1(特開平7−22358号公報)参照。)。なお、図6(a)(i),図6(b)(i)の保護テープ貼付工程は図5(a)(i),図5(b)(i)のものと、図6(a)(ii),図6(b)(ii)の裏面研磨工程は図5(a)(ii),図5(b)(ii)のものと、図6(a)(v),図6(b)(v)のダイシング工程は図5(a)(v),図5(b)(v)のものとそれぞれ同じである。
【0005】
【特許文献1】
特開平7−22358号公報(第1頁、要約)
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、図7(a)およびそのB−B線断面を部分的に拡大した図7(b)に示すように、ウェハ2の表面3には、内部領域16に半導体素子や回路9が形成され、それを覆うように厚み3μm〜10μm程度のポリイミドコート14が設けられている。この結果、ウェハ2の内部領域16の最上面とその外側の外周部15の表面との間には3μm〜10μm程度の段差Aが生じている。また、ウェハ2の最外周であるウェハエッジ8には面取り(丸くする加工)6が施されている。
【0007】
ここで、ウェハ2の仕上げ厚が100μm以下というような超薄型になると、図8に示すように、裏面研磨工程後に面取り6のせいでウェハエッジ8がナイフのような鋭利な形状になってしまい、ウェハ強度が極端に低下する。このウェハエッジ8は保護テープ1に非接着であり物理的に支持されていないため、内部領域と外周部との間の段差Aの影響もあって、裏面研磨中の切削水や砥石の衝撃でばたついて、ウェハエッジ8に微小な欠けやクラックが生じる。このため、その後の保護テープ剥離工程やダイシングテープ貼付工程、工程間搬送時の衝撃などで、ウェハエッジ8の欠けやクラックが進行して、ウェハ2が割れるという問題がある。
【0008】
そこで、この発明の課題は、ウェハの仕上げ厚が100μm以下というような超薄型であっても、ウェハエッジの欠けやクラックを生じることなくウェハを薄くできるウェハ研磨方法を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、この発明のウェハ研磨方法は、
ウェハ上で半導体素子または回路が形成された内部領域とその外側の外周部との境界を上記ウェハの表面に対して垂直に切断または研磨して、上記ウェハの外周部を除去する工程と、
上記ウェハの面寸法以上の面寸法をもつ支持部材に上記ウェハの表面を貼り合わせる工程と、
上記支持部材によって上記ウェハの表面を支持した状態で上記ウェハの裏面を研磨して、上記ウェハの厚みを所定の仕上げ厚まで薄くする工程とを有する。
【0010】
「垂直に切断または研磨」する手段としては、例えばダイシングまたはグラインディングが挙げられる。
【0011】
支持部材が「ウェハの面寸法以上の面寸法をもつ」とは、ウェハの面寸法と実質的に同じか又はそれを超える面寸法をもつことを意味する。
【0012】
この発明のウェハ研磨方法では、ウェハの内部領域とその外側の外周部との境界を上記ウェハの表面に対して垂直に切断または研磨して、上記ウェハの外周部を除去している。したがって、最初にウェハエッジに面取りが施されていたとしても、上記外周部除去後のウェハエッジは表面に対して垂直になっている。この後、上記ウェハの面寸法以上の面寸法をもつ支持部材に上記ウェハの表面を貼り合わせ、上記支持部材によって上記ウェハの表面を支持した状態で上記ウェハの裏面を研磨して、上記ウェハの厚みを所定の仕上げ厚まで薄くする。このようにすれば、この段階のウェハ表面の全域を支持した状態でウェハ裏面を研磨できるので、裏面研磨の精度が高まる。また、裏面研磨工程後に、ウェハエッジがナイフのような鋭利な形状になることは無く、ウェハエッジは表面に対して垂直になっている。したがって、ウェハの仕上げ厚が100μm以下というような超薄型であっても、ウェハエッジの欠けやクラックを生じることなくウェハを薄くできる。その後、例えば金属製キャリアフレームに張られたダイシングテープにウェハの裏面(研磨後の裏面)を貼り付け、支持部材を除去した後、ダイシングを行う。これにより、ウェハが割れるのを防止でき、ウェハ製造歩留りを向上させることができる。
【0013】
別の局面では、この発明のウェハ研磨方法は、
ウェハ上で半導体素子または回路が形成された内部領域とその外側の外周部との境界に、上記ウェハの表面から上記ウェハの仕上げ厚よりも深く、かつ上記ウェハの厚みの途中で止まる深さの切り込みを形成する工程と、
上記ウェハの面寸法以上の面寸法をもつ支持部材に上記ウェハの表面を貼り合わせる工程と、
上記支持部材によって上記ウェハの表面を支持した状態で上記ウェハの裏面を研磨して、上記ウェハの厚みを上記仕上げ厚まで薄くする工程とを有する。
【0014】
「切り込みを形成」する手段としては、例えばダイシングが挙げられる。
【0015】
この発明のウェハ研磨方法では、ウェハ上で内部領域とその外側の外周部との境界に、上記ウェハの表面から上記ウェハの仕上げ厚よりも深く、かつ上記ウェハの厚みの途中で止まる深さの切り込みを形成した後、上記ウェハの表面を支持部材に貼り合わせ、上記支持部材によって上記ウェハの表面を支持した状態で上記ウェハの裏面を研磨して、上記ウェハの厚みを上記仕上げ厚まで薄くしている。このようにすれば、裏面研磨工程後には、上記ウェハの内部領域に対して外周部が上記切り込みによって分離された状態になる。したがって、最初に面取りが施されていたウェハエッジに欠けやクラックが生じたとしても、それらがウェハの内部領域まで進行することはない。また、裏面研磨工程後、つまり外周部分離後に、新たなウェハエッジはウェハ表面に対して垂直になっている。したがって、ウェハの仕上げ厚が100μm以下というような超薄型であっても、ウェハエッジの欠けやクラックを生じることなくウェハを薄くできる。その後、例えば金属製キャリアフレームに張られたダイシングテープにウェハの裏面(研磨後の裏面)を貼り付け、支持部材を除去した後、ダイシングを行う。これにより、ウェハが割れるのを防止でき、ウェハ製造歩留りを向上させることができる。
【0016】
一実施形態のウェハ研磨方法では、上記支持部材は支持基板であることを特徴とする。
【0017】
この一実施形態のウェハ研磨方法では、上記支持部材は支持基板であるから、裏面研磨工程ダイシングテープ貼付工程、や工程間搬送時にウェハが支持基板によって強く補強される。ウェハ反りの影響を受けることも無い。したがって、ウェハが割れるのをさらに防止でき、ウェハ製造歩留りをさらに向上させることができる。
【0018】
一実施形態のウェハ研磨方法では、上記支持部材は粘着材を備えた保護テープであることを特徴とする。
【0019】
この一実施形態のウェハ研磨方法では、上記支持部材は保護テープであるから、裏面研磨工程やダイシングテープ貼付工程、工程間搬送時にウェハが保護テープによって補強される。ウェハ反りの影響を受けることも無い。したがって、ウェハが割れるのをさらに防止でき、ウェハ製造歩留りをさらに向上させることができる。また、上記支持部材は粘着材を備えた保護テープであるから、上記ウェハの表面にそのまま貼り合わせることができ、他の粘着部材を要しない。
【0020】
一実施形態のウェハ研磨方法では、上記仕上げ厚を100μm以下の値に設定することを特徴とする。
【0021】
この一実施形態のウェハ研磨方法では、スタックドCSP(チップサイズパッケージ)に適合した厚みの薄いチップが得られる。
【0022】
一実施形態のウェハ研磨方法では、上記ウェハの外周部は、上記ウェハ表面の最上面よりも高さが低い領域を含むことを特徴とする。
【0023】
ここで、ウェハ表面の「最上面」とは、ウェハをなす半導体基板から最も離れている面を指す。
【0024】
この一実施形態のウェハ研磨方法では、上記ウェハの外周部は、上記ウェハ表面の最上面よりも高さが低い領域を含む。したがって、上記ウェハ表面の最上面よりも高さが低い領域が、裏面研磨工程前に除去されるか、または裏面研磨工程によって分離される。したがって、ダイシングテープ貼付工程、工程間搬送時にこの段階のウェハ表面の全域が支持部材によって確実に支持される。この結果、ウェハが割れるのをさらに防止でき、ウェハ製造歩留りをさらに向上させることができる。
【0025】
なお、上記ウェハの外周部は、上記ウェハ表面の最上面よりも高さが低い領域の全部を含むのが望ましい。
【0026】
上記ウェハの外周部は、上記ウェハの表面を支持部材に貼り合わせたときに、支持部材に対して接着されない部分に相当する。
【0027】
上記ウェハ上で半導体素子または回路が形成された内部領域とその外側の外周部との境界は、段差部分に相当する。
【0028】
【発明の実施の形態】
以下、この発明のウェハ研磨方法を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【0029】
(第1実施形態)
図1(a)(i)〜(vii)は第1実施形態のウェハ研磨方法の工程フローを示し、図1(b)(i)〜(vii)は図1(a)(i)〜(vii)に対応した工程断面を示している。また、図9(a)〜図9(d)はウェハ外周部を部分的に拡大した工程断面を示している(図1(b)(i)〜(vii)とはウェハ2の向きが上下反対に描かれている。)。
【0030】
図9(a)に詳細に示すように、研磨対象であるウェハ2の表面3には、内部領域16に半導体素子や回路9が形成され、それを覆うように厚み3μm〜10μm程度のポリイミドコート14が設けられている。この結果、ウェハ2の内部領域16の最上面(ポリイミドコート14の表面。図9(a)では最も下の位置に描かれている。)とその外側の外周部15の表面との間には3μm〜10μm程度の段差Aが生じている。また、ウェハ2の最外周であるウェハエッジ8には面取り(丸くする加工)6が施されている。
【0031】
ウェハ2の目標の仕上げ厚は、スタックドCSP(チップサイズパッケージ)に適合した厚みの薄いチップが得られるように、100μm以下の値に設定されているものとする。
【0032】
この実施形態では、まず、図1(a)(i),図1(b)(i)および図9(b)に示すように、ウェハ2の内部領域16と外周部15との境界を表面3と裏面30に対して垂直に切断する。これにより、切断箇所17の外側に相当するウェハ外周部15を除去する。したがって、最初にウェハエッジ8に面取り6が施されていたとしても、外周部15除去後のウェハエッジは表面3と裏面30に対して垂直になっている。除去されたウェハ外周部15には、ウェハ表面3の最上面よりも高さが低い領域の全部が含まれている。実用的には、外周部15の幅は約5mm程度で良い。切断方法は、例えば、ダイシングを用いたり、ウェハ2の横からダイヤモンドホイールを高速回転させながら当てて行うグラインディングなどで良い。
【0033】
次に、図1(a)(ii),図1(b)(ii)に示すように、ウェハ2の表面3に両面テープ11を貼り付ける。この両面テープ11は、次工程でウェハ2の表面3を支持部材としての補強用支持基板10に貼り合わせるための接着手段となる。図9(c)中に示すように、両面テープ11は、例えば25μm〜200μm厚のPET(ポリエチレンテレフタレート)基材23の片面に5μm〜100μm厚のアクリル系粘着材24を備え、もう一方の面に5μm〜100μm厚の加熱剥離型粘着材またはUV(紫外線)剥離型粘着材22を備えたものとする。そして、ウェハ表面3の側に加熱剥離型粘着材またはUV剥離型粘着材22の面を配置する。
【0034】
次に、図1(a)(iii),図1(b)(iii)および図9(c)に示すように、ウェハ2の表面3を、両面テープ11を介してガラス又はシリコンウェハからなる補強用支持基板10に貼り合わせる。この補強用支持基板10の面寸法は、この段階のウェハ2の面寸法以上であるものとし、また、既存設備を活用できるよう6インチ、8インチ、12インチ径のような規定サイズであるものとする。
【0035】
次に、図1(a)(iv),図1(b)(iv)および図9(d)に示すように、補強用支持基板10によってウェハ表面3を支持した状態でウェハ裏面30を研磨して、ウェハ2の厚みを100μm以下の所定の仕上げ厚まで薄くする(研磨後の裏面を符号30′で示す。)。このようにすれば、この段階のウェハ表面3の全域を支持した状態でウェハ裏面30を研磨できるので、裏面研磨の精度が高まる。また、裏面研磨工程後に、ウェハエッジ19がナイフのような鋭利な形状になることは無く、ウェハエッジ19は表面3と裏面30′に対して垂直になっている。したがって、ウェハ2の仕上げ厚が100μm以下というような超薄型であっても、ウェハエッジ19の欠けやクラックを生じることなくウェハ2を薄くできる。
【0036】
その後、図1(a)(v),図1(b)(v)に示すように、補強用支持基板10をウェハ表面3に貼り合わせたままで、金属製キャリアフレーム4に張られたダイシングテープ5にウェハ2の裏面30′を貼り付ける。ダイシングテープ5は、例えば80μm〜200μm厚の塩化ビニル、ポリオレフィン、PETなどからなる基材に、5μm〜50μm厚のアクリル系粘着材、またはエポキシ系、ポリイミド系などの熱圧着可能な粘着材を塗工したものである。
【0037】
次に、図9(d)中に示した両面テープ11の加熱剥離型粘着材またはUV剥離型粘着材22に対して加熱またはUV照射を行って、粘着材中のガス発生材を気化させて、ウェハ表面3に対する密着力を極端に低下させる。これによって、図1(a)(vi),図1(b)(vi)に示すように、ウェハ表面3から両面テープ11とともに補強用支持基板10を剥離する。
【0038】
この後、図1(a)(vii),図1(b)(vii)に示すように、ダイシングを行う。これにより、スタックドCSP(チップサイズパッケージ)に適合した100μm以下の厚みのチップ20が得られる。
【0039】
この実施形態では、ウェハの最初に除去される外周部15は、ウェハ表面3の最上面よりも高さが低い領域の全部を含んでいる。したがって、ウェハ表面3の最上面よりも高さが低い領域が、裏面研磨工程前に除去されるか、または裏面研磨工程によって分離される。したがって、ダイシングテープ貼付工程、工程間搬送時にこの段階のウェハ表面3の全域が補強用支持基板10によって確実に支持される。この結果、ウェハ反りの影響を受けることなく、ウェハ2が割れるのをさらに防止でき、ウェハ製造歩留りをさらに向上させることができる。
【0040】
また、補強用支持基板10の面寸法はウェハ2の面寸法以上であるから、ハンドリングや工程間搬送中にウェハエッジ19の損傷も防止することが可能である。また、補強用支持基板10の面寸法を6インチ、8インチ、12インチ径のような規定サイズに設定しているので、貼り合わせ以降の工程で既存設備をそのまま活用できる。
【0041】
なお、本実施形態では、ウェハ2の表面3の側に加熱剥離型粘着材またはUV剥離型粘着材22の面を配置した例であったが、ウェハ2の表面3の側にアクリル系粘着材24を配置しても良い。その場合、図1(a)(vi),図1(b)(vi)に示す補強用支持基板10の剥離を行い、この後、両面テープ剥離を行い、この後、図1(a)(vii),図1(b)(vii)に示すようにダイシングを行う。ウェハ2の表面3を補強用支持基板10に貼り合わせるための接着手段として両面テープ11を用いたが、当然ながら両面テープに限定されるものではない。ウェハ2の表面3を補強用支持基板10に貼り合わせるための接着手段としては、液体樹脂をスピンコートしてUV照射やベークなどにより貼り合わせるような方法など、種々の変形が可能である。
【0042】
また、図1(a)(iv),図1(b)(iv)に示す裏面研磨を行い、この後、ウェハ裏面30′に熱圧着可能な接着フィルム貼付、塗工などを行う工程フローでも良い。
【0043】
(第2実施形態)
図2(a)(i)〜(vii)は第2実施形態のウェハ研磨方法の工程フローを示し、図2(b)(i)〜(vii)は図2(a)(i)〜(vii)に対応した工程断面を示している。また、図9(e)〜図9(g)はウェハ外周部を部分的に拡大した工程断面を示している(図2(b)(i)〜(vii)とはウェハ2の向きが上下反対に描かれている。)。
【0044】
研磨対象であるウェハ2は図9(a)に示したものと同じである。すなわち、ウェハ2の表面3には、内部領域16に半導体素子や回路9が形成され、それを覆うように厚み3μm〜10μm程度のポリイミドコート14が設けられている。この結果、ウェハ2の内部領域16の最上面(ポリイミドコート14の表面。図9(a)では最も下の位置に描かれている。)とその外側の外周部15の表面との間には3μm〜10μm程度の段差Aが生じている。また、ウェハ2の最外周であるウェハエッジ8には面取り(丸くする加工)6が施されている。
【0045】
ウェハ2の目標の仕上げ厚は、スタックドCSP(チップサイズパッケージ)に適合した厚みの薄いチップが得られるように、100μm以下の値に設定されているものとする。
【0046】
この実施形態では、まず、図2(a)(i),図2(b)(i)および図9(e)に示すように、ウェハ2の内部領域16と外周部15との境界に、ウェハ表面3からウェハ2の仕上げ厚よりも深く、かつウェハ2の厚みの途中で止まる深さの切り込み18を形成する。切り込み18はウェハ2の厚みの途中で止まっているので、この段階ではウェハ2の内部領域16と外周部15とは未だ一体につながっている。分離されるべきウェハ外周部15には、ウェハ表面3の最上面よりも高さが低い領域の全部が含まれている。実用的には、外周部15の幅は約5mm程度で良い。切り込み18を形成する方法は、例えば、ダイシングを用いれば良い。
【0047】
次に、図2(a)(ii),図2(b)(ii)に示すように、ウェハ2の表面3に両面テープ11を貼り付ける。第1実施形態におけるのと同様に、この両面テープ11は、次工程でウェハ2の表面3を支持部材としての補強用支持基板10に貼り合わせるための接着手段となる。図9(f)中に示すように、両面テープ11は、例えば25μm〜200μm厚のPET(ポリエチレンテレフタレート)基材23の片面に5μm〜100μm厚のアクリル系粘着材24を備え、もう一方の面に5μm〜100μm厚の加熱剥離型粘着材またはUV(紫外線)剥離型粘着材22を備えたものとする。そして、ウェハ表面3の側に加熱剥離型粘着材またはUV剥離型粘着材22の面を配置する。
【0048】
次に、図2(a)(iii),図2(b)(iii)および図9(f)に示すように、ウェハ2の表面3を、両面テープ11を介してガラス又はシリコンウェハからなる補強用支持基板10に貼り合わせる。この補強用支持基板10の面寸法は、ウェハ2の面寸法と実質的に同じであるものとし、また、既存設備を活用できるよう6インチ、8インチ、12インチ径のような規定サイズであるものとする。
【0049】
次に、図2(a)(iv),図2(b)(iv)および図9(g)に示すように、補強用支持基板10によってウェハ表面3を支持した状態でウェハ裏面30を研磨して、ウェハ2の厚みを100μm以下の所定の仕上げ厚まで薄くする(研磨後の裏面を符号30′で示す。)。このようにすれば、裏面研磨工程後には、ウェハ2の内部領域に対して外周部15が上記切り込み18によって分離された状態になる。したがって、最初に面取りが施されていたウェハエッジ8に欠けやクラックが生じたとしても、それらがウェハ2の内部領域まで進行することはない。また、裏面研磨工程後、つまり外周部15分離後に、新たなウェハエッジ29は表面3と裏面30′に対して垂直になっている。したがって、ウェハ2の仕上げ厚が100μm以下というような超薄型であっても、ウェハエッジ29の欠けやクラックを生じることなくウェハ2を薄くできる。
【0050】
その後、図2(a)(v),図2(b)(v)に示すように、補強用支持基板10をウェハ表面3に貼り合わせたままで、金属製キャリアフレーム4に張られたダイシングテープ5にウェハ2の裏面30′を貼り付ける。ダイシングテープ5は、例えば80μm〜200μm厚の塩化ビニル、ポリオレフィン、PETなどからなる基材に、5μm〜50μm厚のアクリル系粘着材、またはエポキシ系、ポリイミド系などの熱圧着可能な粘着材を塗工したものである。
【0051】
次に、図9(g)中に示した両面テープ11の加熱剥離型粘着材またはUV剥離型粘着材22に対して加熱またはUV照射を行って、粘着材中のガス発生材を気化させて、ウェハ表面3に対する密着力を極端に低下させる。これによって、図2(a)(vi),図2(b)(vi)に示すように、ウェハ表面3から両面テープ11とともに補強用支持基板10を剥離する。
【0052】
この後、図2(a)(vii),図2(b)(vii)に示すように、ダイシングを行う。これにより、スタックドCSP(チップサイズパッケージ)に適合した100μm以下の厚みのチップ20が得られる。
【0053】
この実施形態では特に、ウェハ2の面寸法が6インチ、8インチ、12インチ径のような規定サイズのまま工程を進めるので、既存設備、既存のウェハカセットをそのまま活用することができる。なお、デメリットは、分離されたウェハ外周部15(シリコン領域)が裏面研磨の切削抵抗などで飛んでしまい、そのシリコン屑が何らかの障害を及ぼす可能性がある点である。
【0054】
なお、先の実施形態で述べたのと同様に、ウェハ2の表面3の側に加熱剥離型粘着材またはUV剥離型粘着材22の面を配置した例であったが、ウェハ2の表面3の側にアクリル系粘着材24を配置しても良い。その場合、図2(a)(vi),図2(b)(vi)に示す補強用支持基板10の剥離を行い、この後、両面テープ剥離を行い、この後、図2(a)(vii),図2(b)(vii)に示すようにダイシングを行う。ウェハ2の表面3を補強用支持基板10に貼り合わせるための接着手段としては、液体樹脂をスピンコートしてUV照射やベークなどにより貼り合わせるような方法など、種々の変形が可能である。
【0055】
また、図2(a)(iv),図2(b)(iv)に示す裏面研磨を行い、この後、ウェハ裏面30′に熱圧着可能な接着フィルム貼付、塗工などを行う工程フローでも良い。
【0056】
(第3実施形態)
図3(a)(i)〜(vi)は第3実施形態のウェハ研磨方法の工程フローを示し、図3(b)(i)〜(vi)は図3(a)(i)〜(vi)に対応した工程断面を示している。また、図10(a)〜図10(d)はウェハ外周部を部分的に拡大した工程断面を示している(図3(b)(i)〜(vi)とはウェハ2の向きが上下反対に描かれている。)。
【0057】
図10(a)に詳細に示すように、研磨対象であるウェハ2の表面3には、内部領域16に半導体素子や回路9が形成され、それを覆うように厚み3μm〜10μm程度のポリイミドコート14が設けられている。この結果、ウェハ2の内部領域16の最上面(ポリイミドコート14の表面。図10(a)では最も下の位置に描かれている。)とその外側の外周部15の表面との間には3μm〜10μm程度の段差Aが生じている。また、ウェハ2の最外周であるウェハエッジ8には面取り(丸くする加工)6が施されている。
【0058】
ウェハ2の目標の仕上げ厚は、スタックドCSP(チップサイズパッケージ)に適合した厚みの薄いチップが得られるように、100μm以下の値に設定されているものとする。
【0059】
この実施形態では、まず、図3(a)(i),図3(b)(i)および図10(b)に示すように、ウェハ2の内部領域16と外周部15との境界を表面3と裏面30に対して垂直に切断する。これにより、切断箇所17の外側に相当するウェハ外周部15を除去する。したがって、最初にウェハエッジ8に面取り6が施されていたとしても、外周部15除去後のウェハエッジは表面3と裏面30に対して垂直になっている。除去されたウェハ外周部15には、ウェハ表面3の最上面よりも高さが低い領域の全部が含まれている。実用的には、外周部15の幅は約5mm程度で良い。切断方法は、例えば、ダイシングを用いたり、ウェハ2の横からダイヤモンドホイールを高速回転させながら当てて行うグラインディングなどで良い。
【0060】
次に、図3(a)(ii),図3(b)(ii)および図10(c)に示すように、ウェハ2の表面3に支持部材としての保護テープ1を貼り付ける。図10(c)中に示すように、保護テープ1は、例えば50μm〜200μm厚のPET(ポリエチレンテレフタレート)基材13の片面に10μm〜50μm厚のアクリル系またはUV(紫外線)硬化型の粘着材12を備えたものとする。そして、ウェハ表面3の側にアクリル系またはUV硬化型の粘着材12の面を配置する。この保護テープ1の面寸法は、この段階のウェハ2の面寸法と実質的に同じであるものとする。
【0061】
なお、保護テープ1に補強効果を持たせてウェハ2を確実に支持するために、PET基材13の厚みを10μm〜150μm程度に設定するのが望ましい。また、保護テープ1に、裏面研磨工程後のウェハ反りの応力を緩和させる機能を持たせるため、PET基材13とアクリル系粘着材12との間に、エラストマ材からなる応力緩和層を設けるのが望ましい。
【0062】
次に、図3(a)(iii),図3(b)(iii)および図10(d)に示すように、保護テープ1によってウェハ表面3を支持した状態でウェハ裏面30を研磨して、ウェハ2の厚みを100μm以下の所定の仕上げ厚まで薄くする(研磨後の裏面を符号30′で示す。)。このようにすれば、この段階のウェハ表面3の全域を支持した状態でウェハ裏面30を研磨できるので、裏面研磨の精度が高まる。また、裏面研磨工程後に、ウェハエッジ19がナイフのような鋭利な形状になることは無く、ウェハエッジ19は表面3と裏面30′に対して垂直になっている。したがって、ウェハ2の仕上げ厚が100μm以下というような超薄型であっても、ウェハエッジ19の欠けやクラックを生じることなくウェハ2を薄くできる。
【0063】
その後、図3(a)(iv),図3(b)(iv)に示すように、保護テープ1をウェハ表面3に貼り合わせたままで、金属製キャリアフレーム4に張られたダイシングテープ5にウェハ2の裏面30′を貼り付ける。ダイシングテープ5は、例えば80μm〜200μm厚の塩化ビニル、ポリオレフィン、PETなどからなる基材に、5μm〜50μm厚のアクリル系粘着材、またはエポキシ系、ポリイミド系などの熱圧着可能な粘着材を塗工したものである。
【0064】
次に、図3(a)(v),図3(b)(v)に示すように、ウェハ表面3から保護テープ1を剥離する。
【0065】
この後、図3(a)(vi),図3(b)(vi)に示すように、ダイシングを行う。これにより、スタックドCSP(チップサイズパッケージ)に適合した100μm以下の厚みのチップ20が得られる。
【0066】
この実施形態では特に、支持部材として保護テープ1を用いているので、裏面研磨工程やダイシングテープ貼付工程、工程間搬送時にウェハ2が保護テープ1によって補強される。ウェハ反りの影響を受けることも無い。したがって、ウェハが割れるのをさらに防止でき、ウェハ製造歩留りをさらに向上させることができる。また、保護テープ1は粘着材12を備えているので、ウェハ表面3にそのまま貼り合わせることができ、他の粘着部材を要しない。したがって、貼り合わせ工程や貼り合わせ材料を削減でき、製造コストを低減できる。
【0067】
また、図3(a)(iii),図3(b)(iii)に示す裏面研磨を行い、この後、ウェハ裏面30′に熱圧着可能な接着フィルム貼付、塗工などを行う工程フローでも良い。
【0068】
(第4実施形態)
図4(a)(i)〜(vi)は第4実施形態のウェハ研磨方法の工程フローを示し、図4(b)(i)〜(vi)は図4(a)(i)〜(vi)に対応した工程断面を示している。また、図10(e)〜図10(g)はウェハ外周部を部分的に拡大した工程断面を示している(図10(b)(i)〜(vi)とはウェハ2の向きが上下反対に描かれている。)。
【0069】
研磨対象であるウェハ2は図10(a)に示したものと同じである。すなわち、ウェハ2の表面3には、内部領域16に半導体素子や回路9が形成され、それを覆うように厚み3μm〜10μm程度のポリイミドコート14が設けられている。この結果、ウェハ2の内部領域16の最上面(ポリイミドコート14の表面。図10(a)では最も下の位置に描かれている。)とその外側の外周部15の表面との間には3μm〜10μm程度の段差Aが生じている。また、ウェハ2の最外周であるウェハエッジ8には面取り(丸くする加工)6が施されている。
【0070】
ウェハ2の目標の仕上げ厚は、スタックドCSP(チップサイズパッケージ)に適合した厚みの薄いチップが得られるように、100μm以下の値に設定されているものとする。
【0071】
この実施形態では、まず、図4(a)(i),図4(b)(i)および図10(e)に示すように、ウェハ2の内部領域16と外周部15との境界に、ウェハ表面3からウェハ2の仕上げ厚よりも深く、かつウェハ2の厚みの途中で止まる深さの切り込み18を形成する。切り込み18はウェハ2の厚みの途中で止まっているので、この段階ではウェハ2の内部領域16と外周部15とは未だ一体につながっている。分離されるべきウェハ外周部15には、ウェハ表面3の最上面よりも高さが低い領域の全部が含まれている。実用的には、外周部15の幅は約5mm程度で良い。切り込み18を形成する方法は、例えば、ダイシングを用いれば良い。
【0072】
次に、図4(a)(ii),図4(b)(ii)および図10(f)に示すように、ウェハ2の表面3に支持部材としての保護テープ1を貼り付ける。図10(f)中に示すように、保護テープ1は、例えば50μm〜200μm厚のPET(ポリエチレンテレフタレート)基材13の片面に10μm〜50μm厚のアクリル系またはUV(紫外線)硬化型の粘着材12を備えたものとする。そして、ウェハ表面3の側にアクリル系またはUV硬化型の粘着材12の面を配置する。この保護テープ1の面寸法は、ウェハ2の面寸法と実質的に同じであるものとする。
【0073】
なお、保護テープ1に補強効果を持たせてウェハ2を確実に支持するために、PET基材13の厚みを10μm〜150μm程度に設定するのが望ましい。また、保護テープ1に、裏面研磨工程後のウェハ反りの応力を緩和させる機能を持たせるため、PET基材13とアクリル系粘着材12との間に、エラストマ材からなる応力緩和層を設けるのが望ましい。
【0074】
次に、図4(a)(iii),図4(b)(iii)および図10(g)に示すように、保護テープ1によってウェハ表面3を支持した状態でウェハ裏面30を研磨して、ウェハ2の厚みを100μm以下の所定の仕上げ厚まで薄くする(研磨後の裏面を符号30′で示す。)。このようにすれば、裏面研磨工程後には、ウェハ2の内部領域に対して外周部15が上記切り込み18によって分離された状態になる。したがって、最初に面取りが施されていたウェハエッジ8に欠けやクラックが生じたとしても、それらがウェハ2の内部領域まで進行することはない。また、裏面研磨工程後、つまり外周部15分離後に、新たなウェハエッジ29は表面3と裏面30′に対して垂直になっている。したがって、ウェハ2の仕上げ厚が100μm以下というような超薄型であっても、ウェハエッジ29の欠けやクラックを生じることなくウェハ2を薄くできる。
【0075】
その後、図4(a)(iv),図4(b)(iv)に示すように、保護テープ1をウェハ表面3に貼り合わせたままで、金属製キャリアフレーム4に張られたダイシングテープ5にウェハ2の裏面30′を貼り付ける。ダイシングテープ5は、例えば80μm〜200μm厚の塩化ビニル、ポリオレフィン、PETなどからなる基材に、5μm〜50μm厚のアクリル系粘着材、またはエポキシ系、ポリイミド系などの熱圧着可能な粘着材を塗工したものである。
【0076】
次に、図4(a)(v),図4(b)(v)に示すように、ウェハ表面3から保護テープ1を剥離する。
【0077】
この後、図4(a)(vi),図4(b)(vi)に示すように、ダイシングを行う。これにより、スタックドCSP(チップサイズパッケージ)に適合した100μm以下の厚みのチップ20が得られる。
【0078】
この実施形態では、第2実施形態と同様に、ウェハ2の面寸法が6インチ、8インチ、12インチ径のような規定サイズのまま工程を進めるので、既存設備、既存のウェハカセットをそのまま活用することができる。なお、デメリットは、分離されたウェハ外周部15(シリコン領域)が裏面研磨の切削抵抗などで飛んでしまい、そのシリコン屑が何らかの障害を及ぼす可能性がある点である。
【0079】
また、この実施形態では、第3実施形態と同様に、支持部材として保護テープ1を用いているので、裏面研磨工程やダイシングテープ貼付工程、工程間搬送時にウェハ2が保護テープ1によって補強される。ウェハ反りの影響を受けることも無い。したがって、ウェハが割れるのをさらに防止でき、ウェハ製造歩留りをさらに向上させることができる。また、保護テープ1は粘着材12を備えているので、ウェハ表面3にそのまま貼り合わせることができ、他の粘着部材を要しない。したがって、貼り合わせ工程や貼り合わせ材料を削減でき、製造コストを低減できる。
【0080】
また、図4(a)(iii),図4(b)(iii)に示す裏面研磨を行い、この後、ウェハ裏面30′に熱圧着可能な接着フィルム貼付、塗工などを行う工程フローでも良い。
【0081】
【発明の効果】
以上より明らかなように、この発明のウェハ研磨方法によれば、ウェハの仕上げ厚が100μm以下というような超薄型であっても、ウェハエッジの欠けやクラックを生じることなくウェハを薄くできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1(a)はこの発明の第1実施形態のウェハ研磨方法の工程フローチャートであり、図1(b)は同図(a)に対応した工程断面図である。
【図2】図2(a)はこの発明の第2実施形態のウェハ研磨方法の工程フローチャートであり、図2(b)は同図(a)に対応した工程断面図である。
【図3】図3(a)はこの発明の第3実施形態のウェハ研磨方法の工程フローチャートであり、図3(b)は同図(a)に対応した工程断面図である。
【図4】図4(a)はこの発明の第4実施形態のウェハ研磨方法の工程フローチャートであり、図4(b)は同図(a)に対応した工程断面図である。
【図5】図5(a)は従来の一般的なウェハ研磨方法の工程フローチャートであり、図5(b)は同図(a)に対応した工程断面図である。
【図6】図6(a)は従来の別のウェハ研磨方法の工程フローチャートであり、図6(b)は同図(a)に対応した工程断面図である。
【図7】図7(a)は研磨対象であるウェハを表面に対して垂直方向からみたときの概略構成を示す図、図7(b)はウェハ外周部の同図(a)中のB−B線上における拡大断面図である。
【図8】従来のウェハ研磨方法における裏面研磨工程後のウェハ外周部の断面を示す図である。
【図9】この発明の第1実施形態および第2実施形態におけるウェハ外周部に注目した工程断面図である。
【図10】この発明の第3実施形態および第4実施形態におけるウェハ外周部に注目した工程断面図である。
【符号の説明】
1 保護テープ
2 ウェハ
3 表面
4 キャリアフレーム
5 ダイシングテープ
6 面取り
8,19,29 ウェハエッジ
10 補強用支持基板
11 両面テープ
15 ウェハ外周部
20 チップ
【発明の属する技術分野】
この発明はウェハ研磨方法に関し、より詳しくは、ウェハの裏面を研磨してウェハの厚みを薄くする方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、携帯電話に代表される機器の小型・軽量化に伴って、複数のチップを多段積層してパッケージに収容するスタックドCSP(チップサイズパッケージ)が開発されている。このスタックドCSPに適合させるためため、表面に半導体素子や回路が形成されたウェハをダイシングしてチップにする前に、ウェハの裏面を研磨してウェハの厚み(これを「仕上げ厚」と呼ぶ。チップの厚みに等しい。)を200μm以下、さらには100μm以下まで薄くする工程が行われている。
【0003】
例えば、まず図5(a)(i),図5(b)(i)に示すように研磨対象であるウェハ2の表面3に保護テープ1を貼り付け、図5(a)(ii),図5(b)(ii)に示すようにウェハ2の表面3を保護テープ1で覆った状態でウェハ2の裏面30を研磨した後、図5(a)(iii),図5(b)(iii)に示すようにウェハ2の表面3から保護テープ1を剥離し、その後、図5(a)(iv),図5(b)(iv)に示すように金属製キャリアフレーム4に張られたダイシングテープ5にウェハ2の裏面(研磨後の裏面を符号30′で示す。)を貼り付け、図5(a)(v),図5(b)(v)に示すようにダイシングを行っている。これにより、スタックドCSPに適合した厚みの薄いチップ20が得られる。なお、保護テープ1は、図8中に示すように、エチレン酢酸ビニル(EVA)、ポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート(PET)などの基材13の片面にアクリル系粘着材12を備えたものである。
【0004】
また、ウェハ2の仕上げ厚が200μm以下である場合は、ウェハ強度が低下するので、保護テープ剥離工程や工程間搬送時の衝撃でウェハ2が割れる危険性を回避する必要がある。このため、図6(a)(iii),図6(b)(iii)に示すように保護テープ1を貼り付けたままウェハ2の裏面30′を金属製キャリアフレーム4に張られたダイシングテープ5に貼り付けた後、図6(a)(iv),図6(b)(iv)に示すように保護テープ1を剥離する方法が行われている(例えば、特許文献1(特開平7−22358号公報)参照。)。なお、図6(a)(i),図6(b)(i)の保護テープ貼付工程は図5(a)(i),図5(b)(i)のものと、図6(a)(ii),図6(b)(ii)の裏面研磨工程は図5(a)(ii),図5(b)(ii)のものと、図6(a)(v),図6(b)(v)のダイシング工程は図5(a)(v),図5(b)(v)のものとそれぞれ同じである。
【0005】
【特許文献1】
特開平7−22358号公報(第1頁、要約)
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、図7(a)およびそのB−B線断面を部分的に拡大した図7(b)に示すように、ウェハ2の表面3には、内部領域16に半導体素子や回路9が形成され、それを覆うように厚み3μm〜10μm程度のポリイミドコート14が設けられている。この結果、ウェハ2の内部領域16の最上面とその外側の外周部15の表面との間には3μm〜10μm程度の段差Aが生じている。また、ウェハ2の最外周であるウェハエッジ8には面取り(丸くする加工)6が施されている。
【0007】
ここで、ウェハ2の仕上げ厚が100μm以下というような超薄型になると、図8に示すように、裏面研磨工程後に面取り6のせいでウェハエッジ8がナイフのような鋭利な形状になってしまい、ウェハ強度が極端に低下する。このウェハエッジ8は保護テープ1に非接着であり物理的に支持されていないため、内部領域と外周部との間の段差Aの影響もあって、裏面研磨中の切削水や砥石の衝撃でばたついて、ウェハエッジ8に微小な欠けやクラックが生じる。このため、その後の保護テープ剥離工程やダイシングテープ貼付工程、工程間搬送時の衝撃などで、ウェハエッジ8の欠けやクラックが進行して、ウェハ2が割れるという問題がある。
【0008】
そこで、この発明の課題は、ウェハの仕上げ厚が100μm以下というような超薄型であっても、ウェハエッジの欠けやクラックを生じることなくウェハを薄くできるウェハ研磨方法を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、この発明のウェハ研磨方法は、
ウェハ上で半導体素子または回路が形成された内部領域とその外側の外周部との境界を上記ウェハの表面に対して垂直に切断または研磨して、上記ウェハの外周部を除去する工程と、
上記ウェハの面寸法以上の面寸法をもつ支持部材に上記ウェハの表面を貼り合わせる工程と、
上記支持部材によって上記ウェハの表面を支持した状態で上記ウェハの裏面を研磨して、上記ウェハの厚みを所定の仕上げ厚まで薄くする工程とを有する。
【0010】
「垂直に切断または研磨」する手段としては、例えばダイシングまたはグラインディングが挙げられる。
【0011】
支持部材が「ウェハの面寸法以上の面寸法をもつ」とは、ウェハの面寸法と実質的に同じか又はそれを超える面寸法をもつことを意味する。
【0012】
この発明のウェハ研磨方法では、ウェハの内部領域とその外側の外周部との境界を上記ウェハの表面に対して垂直に切断または研磨して、上記ウェハの外周部を除去している。したがって、最初にウェハエッジに面取りが施されていたとしても、上記外周部除去後のウェハエッジは表面に対して垂直になっている。この後、上記ウェハの面寸法以上の面寸法をもつ支持部材に上記ウェハの表面を貼り合わせ、上記支持部材によって上記ウェハの表面を支持した状態で上記ウェハの裏面を研磨して、上記ウェハの厚みを所定の仕上げ厚まで薄くする。このようにすれば、この段階のウェハ表面の全域を支持した状態でウェハ裏面を研磨できるので、裏面研磨の精度が高まる。また、裏面研磨工程後に、ウェハエッジがナイフのような鋭利な形状になることは無く、ウェハエッジは表面に対して垂直になっている。したがって、ウェハの仕上げ厚が100μm以下というような超薄型であっても、ウェハエッジの欠けやクラックを生じることなくウェハを薄くできる。その後、例えば金属製キャリアフレームに張られたダイシングテープにウェハの裏面(研磨後の裏面)を貼り付け、支持部材を除去した後、ダイシングを行う。これにより、ウェハが割れるのを防止でき、ウェハ製造歩留りを向上させることができる。
【0013】
別の局面では、この発明のウェハ研磨方法は、
ウェハ上で半導体素子または回路が形成された内部領域とその外側の外周部との境界に、上記ウェハの表面から上記ウェハの仕上げ厚よりも深く、かつ上記ウェハの厚みの途中で止まる深さの切り込みを形成する工程と、
上記ウェハの面寸法以上の面寸法をもつ支持部材に上記ウェハの表面を貼り合わせる工程と、
上記支持部材によって上記ウェハの表面を支持した状態で上記ウェハの裏面を研磨して、上記ウェハの厚みを上記仕上げ厚まで薄くする工程とを有する。
【0014】
「切り込みを形成」する手段としては、例えばダイシングが挙げられる。
【0015】
この発明のウェハ研磨方法では、ウェハ上で内部領域とその外側の外周部との境界に、上記ウェハの表面から上記ウェハの仕上げ厚よりも深く、かつ上記ウェハの厚みの途中で止まる深さの切り込みを形成した後、上記ウェハの表面を支持部材に貼り合わせ、上記支持部材によって上記ウェハの表面を支持した状態で上記ウェハの裏面を研磨して、上記ウェハの厚みを上記仕上げ厚まで薄くしている。このようにすれば、裏面研磨工程後には、上記ウェハの内部領域に対して外周部が上記切り込みによって分離された状態になる。したがって、最初に面取りが施されていたウェハエッジに欠けやクラックが生じたとしても、それらがウェハの内部領域まで進行することはない。また、裏面研磨工程後、つまり外周部分離後に、新たなウェハエッジはウェハ表面に対して垂直になっている。したがって、ウェハの仕上げ厚が100μm以下というような超薄型であっても、ウェハエッジの欠けやクラックを生じることなくウェハを薄くできる。その後、例えば金属製キャリアフレームに張られたダイシングテープにウェハの裏面(研磨後の裏面)を貼り付け、支持部材を除去した後、ダイシングを行う。これにより、ウェハが割れるのを防止でき、ウェハ製造歩留りを向上させることができる。
【0016】
一実施形態のウェハ研磨方法では、上記支持部材は支持基板であることを特徴とする。
【0017】
この一実施形態のウェハ研磨方法では、上記支持部材は支持基板であるから、裏面研磨工程ダイシングテープ貼付工程、や工程間搬送時にウェハが支持基板によって強く補強される。ウェハ反りの影響を受けることも無い。したがって、ウェハが割れるのをさらに防止でき、ウェハ製造歩留りをさらに向上させることができる。
【0018】
一実施形態のウェハ研磨方法では、上記支持部材は粘着材を備えた保護テープであることを特徴とする。
【0019】
この一実施形態のウェハ研磨方法では、上記支持部材は保護テープであるから、裏面研磨工程やダイシングテープ貼付工程、工程間搬送時にウェハが保護テープによって補強される。ウェハ反りの影響を受けることも無い。したがって、ウェハが割れるのをさらに防止でき、ウェハ製造歩留りをさらに向上させることができる。また、上記支持部材は粘着材を備えた保護テープであるから、上記ウェハの表面にそのまま貼り合わせることができ、他の粘着部材を要しない。
【0020】
一実施形態のウェハ研磨方法では、上記仕上げ厚を100μm以下の値に設定することを特徴とする。
【0021】
この一実施形態のウェハ研磨方法では、スタックドCSP(チップサイズパッケージ)に適合した厚みの薄いチップが得られる。
【0022】
一実施形態のウェハ研磨方法では、上記ウェハの外周部は、上記ウェハ表面の最上面よりも高さが低い領域を含むことを特徴とする。
【0023】
ここで、ウェハ表面の「最上面」とは、ウェハをなす半導体基板から最も離れている面を指す。
【0024】
この一実施形態のウェハ研磨方法では、上記ウェハの外周部は、上記ウェハ表面の最上面よりも高さが低い領域を含む。したがって、上記ウェハ表面の最上面よりも高さが低い領域が、裏面研磨工程前に除去されるか、または裏面研磨工程によって分離される。したがって、ダイシングテープ貼付工程、工程間搬送時にこの段階のウェハ表面の全域が支持部材によって確実に支持される。この結果、ウェハが割れるのをさらに防止でき、ウェハ製造歩留りをさらに向上させることができる。
【0025】
なお、上記ウェハの外周部は、上記ウェハ表面の最上面よりも高さが低い領域の全部を含むのが望ましい。
【0026】
上記ウェハの外周部は、上記ウェハの表面を支持部材に貼り合わせたときに、支持部材に対して接着されない部分に相当する。
【0027】
上記ウェハ上で半導体素子または回路が形成された内部領域とその外側の外周部との境界は、段差部分に相当する。
【0028】
【発明の実施の形態】
以下、この発明のウェハ研磨方法を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【0029】
(第1実施形態)
図1(a)(i)〜(vii)は第1実施形態のウェハ研磨方法の工程フローを示し、図1(b)(i)〜(vii)は図1(a)(i)〜(vii)に対応した工程断面を示している。また、図9(a)〜図9(d)はウェハ外周部を部分的に拡大した工程断面を示している(図1(b)(i)〜(vii)とはウェハ2の向きが上下反対に描かれている。)。
【0030】
図9(a)に詳細に示すように、研磨対象であるウェハ2の表面3には、内部領域16に半導体素子や回路9が形成され、それを覆うように厚み3μm〜10μm程度のポリイミドコート14が設けられている。この結果、ウェハ2の内部領域16の最上面(ポリイミドコート14の表面。図9(a)では最も下の位置に描かれている。)とその外側の外周部15の表面との間には3μm〜10μm程度の段差Aが生じている。また、ウェハ2の最外周であるウェハエッジ8には面取り(丸くする加工)6が施されている。
【0031】
ウェハ2の目標の仕上げ厚は、スタックドCSP(チップサイズパッケージ)に適合した厚みの薄いチップが得られるように、100μm以下の値に設定されているものとする。
【0032】
この実施形態では、まず、図1(a)(i),図1(b)(i)および図9(b)に示すように、ウェハ2の内部領域16と外周部15との境界を表面3と裏面30に対して垂直に切断する。これにより、切断箇所17の外側に相当するウェハ外周部15を除去する。したがって、最初にウェハエッジ8に面取り6が施されていたとしても、外周部15除去後のウェハエッジは表面3と裏面30に対して垂直になっている。除去されたウェハ外周部15には、ウェハ表面3の最上面よりも高さが低い領域の全部が含まれている。実用的には、外周部15の幅は約5mm程度で良い。切断方法は、例えば、ダイシングを用いたり、ウェハ2の横からダイヤモンドホイールを高速回転させながら当てて行うグラインディングなどで良い。
【0033】
次に、図1(a)(ii),図1(b)(ii)に示すように、ウェハ2の表面3に両面テープ11を貼り付ける。この両面テープ11は、次工程でウェハ2の表面3を支持部材としての補強用支持基板10に貼り合わせるための接着手段となる。図9(c)中に示すように、両面テープ11は、例えば25μm〜200μm厚のPET(ポリエチレンテレフタレート)基材23の片面に5μm〜100μm厚のアクリル系粘着材24を備え、もう一方の面に5μm〜100μm厚の加熱剥離型粘着材またはUV(紫外線)剥離型粘着材22を備えたものとする。そして、ウェハ表面3の側に加熱剥離型粘着材またはUV剥離型粘着材22の面を配置する。
【0034】
次に、図1(a)(iii),図1(b)(iii)および図9(c)に示すように、ウェハ2の表面3を、両面テープ11を介してガラス又はシリコンウェハからなる補強用支持基板10に貼り合わせる。この補強用支持基板10の面寸法は、この段階のウェハ2の面寸法以上であるものとし、また、既存設備を活用できるよう6インチ、8インチ、12インチ径のような規定サイズであるものとする。
【0035】
次に、図1(a)(iv),図1(b)(iv)および図9(d)に示すように、補強用支持基板10によってウェハ表面3を支持した状態でウェハ裏面30を研磨して、ウェハ2の厚みを100μm以下の所定の仕上げ厚まで薄くする(研磨後の裏面を符号30′で示す。)。このようにすれば、この段階のウェハ表面3の全域を支持した状態でウェハ裏面30を研磨できるので、裏面研磨の精度が高まる。また、裏面研磨工程後に、ウェハエッジ19がナイフのような鋭利な形状になることは無く、ウェハエッジ19は表面3と裏面30′に対して垂直になっている。したがって、ウェハ2の仕上げ厚が100μm以下というような超薄型であっても、ウェハエッジ19の欠けやクラックを生じることなくウェハ2を薄くできる。
【0036】
その後、図1(a)(v),図1(b)(v)に示すように、補強用支持基板10をウェハ表面3に貼り合わせたままで、金属製キャリアフレーム4に張られたダイシングテープ5にウェハ2の裏面30′を貼り付ける。ダイシングテープ5は、例えば80μm〜200μm厚の塩化ビニル、ポリオレフィン、PETなどからなる基材に、5μm〜50μm厚のアクリル系粘着材、またはエポキシ系、ポリイミド系などの熱圧着可能な粘着材を塗工したものである。
【0037】
次に、図9(d)中に示した両面テープ11の加熱剥離型粘着材またはUV剥離型粘着材22に対して加熱またはUV照射を行って、粘着材中のガス発生材を気化させて、ウェハ表面3に対する密着力を極端に低下させる。これによって、図1(a)(vi),図1(b)(vi)に示すように、ウェハ表面3から両面テープ11とともに補強用支持基板10を剥離する。
【0038】
この後、図1(a)(vii),図1(b)(vii)に示すように、ダイシングを行う。これにより、スタックドCSP(チップサイズパッケージ)に適合した100μm以下の厚みのチップ20が得られる。
【0039】
この実施形態では、ウェハの最初に除去される外周部15は、ウェハ表面3の最上面よりも高さが低い領域の全部を含んでいる。したがって、ウェハ表面3の最上面よりも高さが低い領域が、裏面研磨工程前に除去されるか、または裏面研磨工程によって分離される。したがって、ダイシングテープ貼付工程、工程間搬送時にこの段階のウェハ表面3の全域が補強用支持基板10によって確実に支持される。この結果、ウェハ反りの影響を受けることなく、ウェハ2が割れるのをさらに防止でき、ウェハ製造歩留りをさらに向上させることができる。
【0040】
また、補強用支持基板10の面寸法はウェハ2の面寸法以上であるから、ハンドリングや工程間搬送中にウェハエッジ19の損傷も防止することが可能である。また、補強用支持基板10の面寸法を6インチ、8インチ、12インチ径のような規定サイズに設定しているので、貼り合わせ以降の工程で既存設備をそのまま活用できる。
【0041】
なお、本実施形態では、ウェハ2の表面3の側に加熱剥離型粘着材またはUV剥離型粘着材22の面を配置した例であったが、ウェハ2の表面3の側にアクリル系粘着材24を配置しても良い。その場合、図1(a)(vi),図1(b)(vi)に示す補強用支持基板10の剥離を行い、この後、両面テープ剥離を行い、この後、図1(a)(vii),図1(b)(vii)に示すようにダイシングを行う。ウェハ2の表面3を補強用支持基板10に貼り合わせるための接着手段として両面テープ11を用いたが、当然ながら両面テープに限定されるものではない。ウェハ2の表面3を補強用支持基板10に貼り合わせるための接着手段としては、液体樹脂をスピンコートしてUV照射やベークなどにより貼り合わせるような方法など、種々の変形が可能である。
【0042】
また、図1(a)(iv),図1(b)(iv)に示す裏面研磨を行い、この後、ウェハ裏面30′に熱圧着可能な接着フィルム貼付、塗工などを行う工程フローでも良い。
【0043】
(第2実施形態)
図2(a)(i)〜(vii)は第2実施形態のウェハ研磨方法の工程フローを示し、図2(b)(i)〜(vii)は図2(a)(i)〜(vii)に対応した工程断面を示している。また、図9(e)〜図9(g)はウェハ外周部を部分的に拡大した工程断面を示している(図2(b)(i)〜(vii)とはウェハ2の向きが上下反対に描かれている。)。
【0044】
研磨対象であるウェハ2は図9(a)に示したものと同じである。すなわち、ウェハ2の表面3には、内部領域16に半導体素子や回路9が形成され、それを覆うように厚み3μm〜10μm程度のポリイミドコート14が設けられている。この結果、ウェハ2の内部領域16の最上面(ポリイミドコート14の表面。図9(a)では最も下の位置に描かれている。)とその外側の外周部15の表面との間には3μm〜10μm程度の段差Aが生じている。また、ウェハ2の最外周であるウェハエッジ8には面取り(丸くする加工)6が施されている。
【0045】
ウェハ2の目標の仕上げ厚は、スタックドCSP(チップサイズパッケージ)に適合した厚みの薄いチップが得られるように、100μm以下の値に設定されているものとする。
【0046】
この実施形態では、まず、図2(a)(i),図2(b)(i)および図9(e)に示すように、ウェハ2の内部領域16と外周部15との境界に、ウェハ表面3からウェハ2の仕上げ厚よりも深く、かつウェハ2の厚みの途中で止まる深さの切り込み18を形成する。切り込み18はウェハ2の厚みの途中で止まっているので、この段階ではウェハ2の内部領域16と外周部15とは未だ一体につながっている。分離されるべきウェハ外周部15には、ウェハ表面3の最上面よりも高さが低い領域の全部が含まれている。実用的には、外周部15の幅は約5mm程度で良い。切り込み18を形成する方法は、例えば、ダイシングを用いれば良い。
【0047】
次に、図2(a)(ii),図2(b)(ii)に示すように、ウェハ2の表面3に両面テープ11を貼り付ける。第1実施形態におけるのと同様に、この両面テープ11は、次工程でウェハ2の表面3を支持部材としての補強用支持基板10に貼り合わせるための接着手段となる。図9(f)中に示すように、両面テープ11は、例えば25μm〜200μm厚のPET(ポリエチレンテレフタレート)基材23の片面に5μm〜100μm厚のアクリル系粘着材24を備え、もう一方の面に5μm〜100μm厚の加熱剥離型粘着材またはUV(紫外線)剥離型粘着材22を備えたものとする。そして、ウェハ表面3の側に加熱剥離型粘着材またはUV剥離型粘着材22の面を配置する。
【0048】
次に、図2(a)(iii),図2(b)(iii)および図9(f)に示すように、ウェハ2の表面3を、両面テープ11を介してガラス又はシリコンウェハからなる補強用支持基板10に貼り合わせる。この補強用支持基板10の面寸法は、ウェハ2の面寸法と実質的に同じであるものとし、また、既存設備を活用できるよう6インチ、8インチ、12インチ径のような規定サイズであるものとする。
【0049】
次に、図2(a)(iv),図2(b)(iv)および図9(g)に示すように、補強用支持基板10によってウェハ表面3を支持した状態でウェハ裏面30を研磨して、ウェハ2の厚みを100μm以下の所定の仕上げ厚まで薄くする(研磨後の裏面を符号30′で示す。)。このようにすれば、裏面研磨工程後には、ウェハ2の内部領域に対して外周部15が上記切り込み18によって分離された状態になる。したがって、最初に面取りが施されていたウェハエッジ8に欠けやクラックが生じたとしても、それらがウェハ2の内部領域まで進行することはない。また、裏面研磨工程後、つまり外周部15分離後に、新たなウェハエッジ29は表面3と裏面30′に対して垂直になっている。したがって、ウェハ2の仕上げ厚が100μm以下というような超薄型であっても、ウェハエッジ29の欠けやクラックを生じることなくウェハ2を薄くできる。
【0050】
その後、図2(a)(v),図2(b)(v)に示すように、補強用支持基板10をウェハ表面3に貼り合わせたままで、金属製キャリアフレーム4に張られたダイシングテープ5にウェハ2の裏面30′を貼り付ける。ダイシングテープ5は、例えば80μm〜200μm厚の塩化ビニル、ポリオレフィン、PETなどからなる基材に、5μm〜50μm厚のアクリル系粘着材、またはエポキシ系、ポリイミド系などの熱圧着可能な粘着材を塗工したものである。
【0051】
次に、図9(g)中に示した両面テープ11の加熱剥離型粘着材またはUV剥離型粘着材22に対して加熱またはUV照射を行って、粘着材中のガス発生材を気化させて、ウェハ表面3に対する密着力を極端に低下させる。これによって、図2(a)(vi),図2(b)(vi)に示すように、ウェハ表面3から両面テープ11とともに補強用支持基板10を剥離する。
【0052】
この後、図2(a)(vii),図2(b)(vii)に示すように、ダイシングを行う。これにより、スタックドCSP(チップサイズパッケージ)に適合した100μm以下の厚みのチップ20が得られる。
【0053】
この実施形態では特に、ウェハ2の面寸法が6インチ、8インチ、12インチ径のような規定サイズのまま工程を進めるので、既存設備、既存のウェハカセットをそのまま活用することができる。なお、デメリットは、分離されたウェハ外周部15(シリコン領域)が裏面研磨の切削抵抗などで飛んでしまい、そのシリコン屑が何らかの障害を及ぼす可能性がある点である。
【0054】
なお、先の実施形態で述べたのと同様に、ウェハ2の表面3の側に加熱剥離型粘着材またはUV剥離型粘着材22の面を配置した例であったが、ウェハ2の表面3の側にアクリル系粘着材24を配置しても良い。その場合、図2(a)(vi),図2(b)(vi)に示す補強用支持基板10の剥離を行い、この後、両面テープ剥離を行い、この後、図2(a)(vii),図2(b)(vii)に示すようにダイシングを行う。ウェハ2の表面3を補強用支持基板10に貼り合わせるための接着手段としては、液体樹脂をスピンコートしてUV照射やベークなどにより貼り合わせるような方法など、種々の変形が可能である。
【0055】
また、図2(a)(iv),図2(b)(iv)に示す裏面研磨を行い、この後、ウェハ裏面30′に熱圧着可能な接着フィルム貼付、塗工などを行う工程フローでも良い。
【0056】
(第3実施形態)
図3(a)(i)〜(vi)は第3実施形態のウェハ研磨方法の工程フローを示し、図3(b)(i)〜(vi)は図3(a)(i)〜(vi)に対応した工程断面を示している。また、図10(a)〜図10(d)はウェハ外周部を部分的に拡大した工程断面を示している(図3(b)(i)〜(vi)とはウェハ2の向きが上下反対に描かれている。)。
【0057】
図10(a)に詳細に示すように、研磨対象であるウェハ2の表面3には、内部領域16に半導体素子や回路9が形成され、それを覆うように厚み3μm〜10μm程度のポリイミドコート14が設けられている。この結果、ウェハ2の内部領域16の最上面(ポリイミドコート14の表面。図10(a)では最も下の位置に描かれている。)とその外側の外周部15の表面との間には3μm〜10μm程度の段差Aが生じている。また、ウェハ2の最外周であるウェハエッジ8には面取り(丸くする加工)6が施されている。
【0058】
ウェハ2の目標の仕上げ厚は、スタックドCSP(チップサイズパッケージ)に適合した厚みの薄いチップが得られるように、100μm以下の値に設定されているものとする。
【0059】
この実施形態では、まず、図3(a)(i),図3(b)(i)および図10(b)に示すように、ウェハ2の内部領域16と外周部15との境界を表面3と裏面30に対して垂直に切断する。これにより、切断箇所17の外側に相当するウェハ外周部15を除去する。したがって、最初にウェハエッジ8に面取り6が施されていたとしても、外周部15除去後のウェハエッジは表面3と裏面30に対して垂直になっている。除去されたウェハ外周部15には、ウェハ表面3の最上面よりも高さが低い領域の全部が含まれている。実用的には、外周部15の幅は約5mm程度で良い。切断方法は、例えば、ダイシングを用いたり、ウェハ2の横からダイヤモンドホイールを高速回転させながら当てて行うグラインディングなどで良い。
【0060】
次に、図3(a)(ii),図3(b)(ii)および図10(c)に示すように、ウェハ2の表面3に支持部材としての保護テープ1を貼り付ける。図10(c)中に示すように、保護テープ1は、例えば50μm〜200μm厚のPET(ポリエチレンテレフタレート)基材13の片面に10μm〜50μm厚のアクリル系またはUV(紫外線)硬化型の粘着材12を備えたものとする。そして、ウェハ表面3の側にアクリル系またはUV硬化型の粘着材12の面を配置する。この保護テープ1の面寸法は、この段階のウェハ2の面寸法と実質的に同じであるものとする。
【0061】
なお、保護テープ1に補強効果を持たせてウェハ2を確実に支持するために、PET基材13の厚みを10μm〜150μm程度に設定するのが望ましい。また、保護テープ1に、裏面研磨工程後のウェハ反りの応力を緩和させる機能を持たせるため、PET基材13とアクリル系粘着材12との間に、エラストマ材からなる応力緩和層を設けるのが望ましい。
【0062】
次に、図3(a)(iii),図3(b)(iii)および図10(d)に示すように、保護テープ1によってウェハ表面3を支持した状態でウェハ裏面30を研磨して、ウェハ2の厚みを100μm以下の所定の仕上げ厚まで薄くする(研磨後の裏面を符号30′で示す。)。このようにすれば、この段階のウェハ表面3の全域を支持した状態でウェハ裏面30を研磨できるので、裏面研磨の精度が高まる。また、裏面研磨工程後に、ウェハエッジ19がナイフのような鋭利な形状になることは無く、ウェハエッジ19は表面3と裏面30′に対して垂直になっている。したがって、ウェハ2の仕上げ厚が100μm以下というような超薄型であっても、ウェハエッジ19の欠けやクラックを生じることなくウェハ2を薄くできる。
【0063】
その後、図3(a)(iv),図3(b)(iv)に示すように、保護テープ1をウェハ表面3に貼り合わせたままで、金属製キャリアフレーム4に張られたダイシングテープ5にウェハ2の裏面30′を貼り付ける。ダイシングテープ5は、例えば80μm〜200μm厚の塩化ビニル、ポリオレフィン、PETなどからなる基材に、5μm〜50μm厚のアクリル系粘着材、またはエポキシ系、ポリイミド系などの熱圧着可能な粘着材を塗工したものである。
【0064】
次に、図3(a)(v),図3(b)(v)に示すように、ウェハ表面3から保護テープ1を剥離する。
【0065】
この後、図3(a)(vi),図3(b)(vi)に示すように、ダイシングを行う。これにより、スタックドCSP(チップサイズパッケージ)に適合した100μm以下の厚みのチップ20が得られる。
【0066】
この実施形態では特に、支持部材として保護テープ1を用いているので、裏面研磨工程やダイシングテープ貼付工程、工程間搬送時にウェハ2が保護テープ1によって補強される。ウェハ反りの影響を受けることも無い。したがって、ウェハが割れるのをさらに防止でき、ウェハ製造歩留りをさらに向上させることができる。また、保護テープ1は粘着材12を備えているので、ウェハ表面3にそのまま貼り合わせることができ、他の粘着部材を要しない。したがって、貼り合わせ工程や貼り合わせ材料を削減でき、製造コストを低減できる。
【0067】
また、図3(a)(iii),図3(b)(iii)に示す裏面研磨を行い、この後、ウェハ裏面30′に熱圧着可能な接着フィルム貼付、塗工などを行う工程フローでも良い。
【0068】
(第4実施形態)
図4(a)(i)〜(vi)は第4実施形態のウェハ研磨方法の工程フローを示し、図4(b)(i)〜(vi)は図4(a)(i)〜(vi)に対応した工程断面を示している。また、図10(e)〜図10(g)はウェハ外周部を部分的に拡大した工程断面を示している(図10(b)(i)〜(vi)とはウェハ2の向きが上下反対に描かれている。)。
【0069】
研磨対象であるウェハ2は図10(a)に示したものと同じである。すなわち、ウェハ2の表面3には、内部領域16に半導体素子や回路9が形成され、それを覆うように厚み3μm〜10μm程度のポリイミドコート14が設けられている。この結果、ウェハ2の内部領域16の最上面(ポリイミドコート14の表面。図10(a)では最も下の位置に描かれている。)とその外側の外周部15の表面との間には3μm〜10μm程度の段差Aが生じている。また、ウェハ2の最外周であるウェハエッジ8には面取り(丸くする加工)6が施されている。
【0070】
ウェハ2の目標の仕上げ厚は、スタックドCSP(チップサイズパッケージ)に適合した厚みの薄いチップが得られるように、100μm以下の値に設定されているものとする。
【0071】
この実施形態では、まず、図4(a)(i),図4(b)(i)および図10(e)に示すように、ウェハ2の内部領域16と外周部15との境界に、ウェハ表面3からウェハ2の仕上げ厚よりも深く、かつウェハ2の厚みの途中で止まる深さの切り込み18を形成する。切り込み18はウェハ2の厚みの途中で止まっているので、この段階ではウェハ2の内部領域16と外周部15とは未だ一体につながっている。分離されるべきウェハ外周部15には、ウェハ表面3の最上面よりも高さが低い領域の全部が含まれている。実用的には、外周部15の幅は約5mm程度で良い。切り込み18を形成する方法は、例えば、ダイシングを用いれば良い。
【0072】
次に、図4(a)(ii),図4(b)(ii)および図10(f)に示すように、ウェハ2の表面3に支持部材としての保護テープ1を貼り付ける。図10(f)中に示すように、保護テープ1は、例えば50μm〜200μm厚のPET(ポリエチレンテレフタレート)基材13の片面に10μm〜50μm厚のアクリル系またはUV(紫外線)硬化型の粘着材12を備えたものとする。そして、ウェハ表面3の側にアクリル系またはUV硬化型の粘着材12の面を配置する。この保護テープ1の面寸法は、ウェハ2の面寸法と実質的に同じであるものとする。
【0073】
なお、保護テープ1に補強効果を持たせてウェハ2を確実に支持するために、PET基材13の厚みを10μm〜150μm程度に設定するのが望ましい。また、保護テープ1に、裏面研磨工程後のウェハ反りの応力を緩和させる機能を持たせるため、PET基材13とアクリル系粘着材12との間に、エラストマ材からなる応力緩和層を設けるのが望ましい。
【0074】
次に、図4(a)(iii),図4(b)(iii)および図10(g)に示すように、保護テープ1によってウェハ表面3を支持した状態でウェハ裏面30を研磨して、ウェハ2の厚みを100μm以下の所定の仕上げ厚まで薄くする(研磨後の裏面を符号30′で示す。)。このようにすれば、裏面研磨工程後には、ウェハ2の内部領域に対して外周部15が上記切り込み18によって分離された状態になる。したがって、最初に面取りが施されていたウェハエッジ8に欠けやクラックが生じたとしても、それらがウェハ2の内部領域まで進行することはない。また、裏面研磨工程後、つまり外周部15分離後に、新たなウェハエッジ29は表面3と裏面30′に対して垂直になっている。したがって、ウェハ2の仕上げ厚が100μm以下というような超薄型であっても、ウェハエッジ29の欠けやクラックを生じることなくウェハ2を薄くできる。
【0075】
その後、図4(a)(iv),図4(b)(iv)に示すように、保護テープ1をウェハ表面3に貼り合わせたままで、金属製キャリアフレーム4に張られたダイシングテープ5にウェハ2の裏面30′を貼り付ける。ダイシングテープ5は、例えば80μm〜200μm厚の塩化ビニル、ポリオレフィン、PETなどからなる基材に、5μm〜50μm厚のアクリル系粘着材、またはエポキシ系、ポリイミド系などの熱圧着可能な粘着材を塗工したものである。
【0076】
次に、図4(a)(v),図4(b)(v)に示すように、ウェハ表面3から保護テープ1を剥離する。
【0077】
この後、図4(a)(vi),図4(b)(vi)に示すように、ダイシングを行う。これにより、スタックドCSP(チップサイズパッケージ)に適合した100μm以下の厚みのチップ20が得られる。
【0078】
この実施形態では、第2実施形態と同様に、ウェハ2の面寸法が6インチ、8インチ、12インチ径のような規定サイズのまま工程を進めるので、既存設備、既存のウェハカセットをそのまま活用することができる。なお、デメリットは、分離されたウェハ外周部15(シリコン領域)が裏面研磨の切削抵抗などで飛んでしまい、そのシリコン屑が何らかの障害を及ぼす可能性がある点である。
【0079】
また、この実施形態では、第3実施形態と同様に、支持部材として保護テープ1を用いているので、裏面研磨工程やダイシングテープ貼付工程、工程間搬送時にウェハ2が保護テープ1によって補強される。ウェハ反りの影響を受けることも無い。したがって、ウェハが割れるのをさらに防止でき、ウェハ製造歩留りをさらに向上させることができる。また、保護テープ1は粘着材12を備えているので、ウェハ表面3にそのまま貼り合わせることができ、他の粘着部材を要しない。したがって、貼り合わせ工程や貼り合わせ材料を削減でき、製造コストを低減できる。
【0080】
また、図4(a)(iii),図4(b)(iii)に示す裏面研磨を行い、この後、ウェハ裏面30′に熱圧着可能な接着フィルム貼付、塗工などを行う工程フローでも良い。
【0081】
【発明の効果】
以上より明らかなように、この発明のウェハ研磨方法によれば、ウェハの仕上げ厚が100μm以下というような超薄型であっても、ウェハエッジの欠けやクラックを生じることなくウェハを薄くできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1(a)はこの発明の第1実施形態のウェハ研磨方法の工程フローチャートであり、図1(b)は同図(a)に対応した工程断面図である。
【図2】図2(a)はこの発明の第2実施形態のウェハ研磨方法の工程フローチャートであり、図2(b)は同図(a)に対応した工程断面図である。
【図3】図3(a)はこの発明の第3実施形態のウェハ研磨方法の工程フローチャートであり、図3(b)は同図(a)に対応した工程断面図である。
【図4】図4(a)はこの発明の第4実施形態のウェハ研磨方法の工程フローチャートであり、図4(b)は同図(a)に対応した工程断面図である。
【図5】図5(a)は従来の一般的なウェハ研磨方法の工程フローチャートであり、図5(b)は同図(a)に対応した工程断面図である。
【図6】図6(a)は従来の別のウェハ研磨方法の工程フローチャートであり、図6(b)は同図(a)に対応した工程断面図である。
【図7】図7(a)は研磨対象であるウェハを表面に対して垂直方向からみたときの概略構成を示す図、図7(b)はウェハ外周部の同図(a)中のB−B線上における拡大断面図である。
【図8】従来のウェハ研磨方法における裏面研磨工程後のウェハ外周部の断面を示す図である。
【図9】この発明の第1実施形態および第2実施形態におけるウェハ外周部に注目した工程断面図である。
【図10】この発明の第3実施形態および第4実施形態におけるウェハ外周部に注目した工程断面図である。
【符号の説明】
1 保護テープ
2 ウェハ
3 表面
4 キャリアフレーム
5 ダイシングテープ
6 面取り
8,19,29 ウェハエッジ
10 補強用支持基板
11 両面テープ
15 ウェハ外周部
20 チップ
Claims (6)
- ウェハ上で半導体素子または回路が形成された内部領域とその外側の外周部との境界を上記ウェハの表面に対して垂直に切断または研磨して、上記ウェハの外周部を除去する工程と、
上記ウェハの面寸法以上の面寸法をもつ支持部材に上記ウェハの表面を貼り合わせる工程と、
上記支持部材によって上記ウェハの表面を支持した状態で上記ウェハの裏面を研磨して、上記ウェハの厚みを所定の仕上げ厚まで薄くする工程とを有するウェハ研磨方法。 - ウェハ上で半導体素子または回路が形成された内部領域とその外側の外周部との境界に、上記ウェハの表面から上記ウェハの仕上げ厚よりも深く、かつ上記ウェハの厚みの途中で止まる深さの切り込みを形成する工程と、
上記ウェハの面寸法以上の面寸法をもつ支持部材に上記ウェハの表面を貼り合わせる工程と、
上記支持部材によって上記ウェハの表面を支持した状態で上記ウェハの裏面を研磨して、上記ウェハの厚みを上記仕上げ厚まで薄くする工程とを有するウェハ研磨方法。 - 請求項1または2に記載のウェハ研磨方法において、
一実施形態のウェハ研磨方法では、上記支持部材は支持基板であることを特徴とするウェハ研磨方法。 - 請求項1または2に記載のウェハ研磨方法において、
一実施形態のウェハ研磨方法では、上記支持部材は粘着材を備えた保護テープであることを特徴とするウェハ研磨方法。 - 請求項1または2に記載のウェハ研磨方法において、
上記仕上げ厚を100μm以下の値に設定することを特徴とするウェハ研磨方法。 - 請求項1または2に記載のウェハ研磨方法において、
上記ウェハの外周部は、上記ウェハ表面の最上面よりも高さが低い領域を含むことを特徴とするウェハ研磨方法。
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