JP2008096057A - 液体加熱装置 - Google Patents
液体加熱装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008096057A JP2008096057A JP2006280251A JP2006280251A JP2008096057A JP 2008096057 A JP2008096057 A JP 2008096057A JP 2006280251 A JP2006280251 A JP 2006280251A JP 2006280251 A JP2006280251 A JP 2006280251A JP 2008096057 A JP2008096057 A JP 2008096057A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- infrared
- heating apparatus
- generation source
- pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Instantaneous Water Boilers, Portable Hot-Water Supply Apparatuses, And Control Of Portable Hot-Water Supply Apparatuses (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
【解決手段】加熱対象物である液体を収容する容器と、上記容器内の上記液体に対して赤外線を放射して、上記液体を加熱する赤外線発生源と、上記赤外線に対する透過性を有し、かつ上記液体に対する耐性を有する樹脂材料により形成されるとともに、上記容器内において、上記収容されている液体中に少なくともその一部が浸積されるように配置され、その管状形状の内側に上記液体との接触を防止しながら上記赤外線発生源が配置される赤外線発生源配置用空間を形成する管状部材とを備えるように液体加熱装置を構成する。
【選択図】図1
Description
上記容器内の上記液体に対して赤外線を放射して、上記液体を加熱する赤外線発生源と、
上記赤外線に対する透過性を有し、かつ上記液体に対する耐性を有する樹脂材料により形成されるとともに、上記容器内において、上記収容されている液体中に少なくともその一部が浸積されるように配置され、その管状形状の内側に上記液体との接触を防止しながら上記赤外線発生源が配置される赤外線発生源配置用空間を形成する管状部材とを備えることを特徴とする液体加熱装置を提供する。
上記それぞれの支持部は、上記赤外線発生源の上記略円柱形状の外周面と上記管状部材の内周面との間に略一定の間隙が存在するように、上記赤外線発生源の支持を行う第2態様に記載の液体加熱装置を提供する。
本発明の第1の実施形態にかかる液体加熱装置の一例である薬液加熱装置20の模式構成図を図1に示す。図1に示す本第1実施形態の薬液加熱装置20は、液体である薬液の循環経路中にインラインヒータとして用いられる例である。
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。例えば、本発明の第2の実施形態にかかる液体加熱装置の一例である薬液加熱装置50の模式構成図を図3に示す。
ここで、上述のようなそれぞれの実施形態に基づく、実施例について説明する。
2 パイプ
3 薬液
4 容器
5 栓
6 支持部材
7 支持部材
9 導入口
10 排出口
11 リード端子
12 フィラメント
21 ポンプ
22 フィルタ
23 処理槽
24 温度センサ
25 コントローラ
26 流量センサ
30 薬液
31 ハロゲンランプ
32 パイプ
33 オーバーフロー槽
34 処理槽
35 支持部材
36 支持部材
37 排出口
38 排出弁
39 導入口
40 すのこ
41 ポンプ
42 フィルタ
43 温度センサ
44 液面センサ
45 コントローラ
46 排出口
Claims (8)
- 加熱対象物である液体を収容する容器と、
上記容器内の上記液体に対して赤外線を放射して、上記液体を加熱する赤外線発生源と、
上記赤外線に対する透過性を有し、かつ上記液体に対する耐性を有する樹脂材料により形成されるとともに、上記容器内において、上記収容されている液体中に少なくともその一部が浸積されるように配置され、その管状形状の内側に上記液体との接触を防止しながら上記赤外線発生源が配置される赤外線発生源配置用空間を形成する管状部材とを備えることを特徴とする液体加熱装置。 - 上記赤外線発生源配置用空間に配置された上記赤外線発生源を、その両端において脱着可能に支持する支持部が、上記管状部材に備えられている請求項1に記載の液体加熱装置。
- 上記赤外線発生源は略円柱形状を有し、
上記それぞれの支持部は、上記赤外線発生源の上記略円柱形状の外周面と上記管状部材の内周面との間に略一定の間隙が存在するように、上記赤外線発生源の支持を行う請求項2に記載の液体加熱装置。 - 上記それぞれの支持部は、上記管状部材と同じ樹脂材料にて形成される請求項2又は3に記載の液体加熱装置。
- 上記管状部材は、その略全体が上記液体中に浸積されるように上記容器内に配置されている請求項1から4のいずれか1つに記載の液体加熱装置。
- 上記赤外線発生源は、ハロゲンランプである請求項1から5のいずれか1つに記載の液体加熱装置。
- 上記管状部材を形成する上記樹脂材料は、パーフルオロアルコキシアルカン(PFA)である請求項1から6のいずれか1つに記載の液体加熱装置。
- 上記管状部材の肉厚が、1mm以上、2mm以下である請求項7に記載の液体加熱装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006280251A JP2008096057A (ja) | 2006-10-13 | 2006-10-13 | 液体加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006280251A JP2008096057A (ja) | 2006-10-13 | 2006-10-13 | 液体加熱装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008096057A true JP2008096057A (ja) | 2008-04-24 |
Family
ID=39379082
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006280251A Pending JP2008096057A (ja) | 2006-10-13 | 2006-10-13 | 液体加熱装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008096057A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012057904A (ja) * | 2010-09-13 | 2012-03-22 | Tokyo Electron Ltd | 液体加熱ユニット、これを備える液処理装置、および液処理方法 |
JP2013220578A (ja) * | 2012-04-16 | 2013-10-28 | Hayakawa Rubber Co Ltd | 異方性導電フィルムの接着方法 |
CN108397900A (zh) * | 2018-05-07 | 2018-08-14 | 广东卓菲特新能源科技有限公司 | 一种光波电热水箱 |
WO2019167560A1 (ja) * | 2018-02-28 | 2019-09-06 | 株式会社Kelk | 液体加熱装置及び洗浄システム |
JP2020009628A (ja) * | 2018-07-09 | 2020-01-16 | 有限会社フィンテック | 光加熱式ヒータ |
WO2022244623A1 (ja) | 2021-05-18 | 2022-11-24 | 日本特殊陶業株式会社 | 液体加熱装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06234029A (ja) * | 1993-01-20 | 1994-08-23 | Sang-Jing Choe | 溶接継目のない液化ガス容器の製造方法及び溶接継目のない液化ガス容器 |
JPH1183172A (ja) * | 1997-08-29 | 1999-03-26 | Komatsu Electron Kk | 流体加熱装置 |
JP2000227253A (ja) * | 1999-02-04 | 2000-08-15 | Nichias Corp | 流体加熱装置 |
JP2003176951A (ja) * | 2001-12-09 | 2003-06-27 | Masao Uratani | 流体加熱装置 |
-
2006
- 2006-10-13 JP JP2006280251A patent/JP2008096057A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06234029A (ja) * | 1993-01-20 | 1994-08-23 | Sang-Jing Choe | 溶接継目のない液化ガス容器の製造方法及び溶接継目のない液化ガス容器 |
JPH1183172A (ja) * | 1997-08-29 | 1999-03-26 | Komatsu Electron Kk | 流体加熱装置 |
JP2000227253A (ja) * | 1999-02-04 | 2000-08-15 | Nichias Corp | 流体加熱装置 |
JP2003176951A (ja) * | 2001-12-09 | 2003-06-27 | Masao Uratani | 流体加熱装置 |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102401465A (zh) * | 2010-09-13 | 2012-04-04 | 东京毅力科创株式会社 | 液体加热单元、具有该单元的液处理装置和液处理方法 |
TWI422267B (zh) * | 2010-09-13 | 2014-01-01 | Tokyo Electron Ltd | And a liquid heating unit including the liquid processing device and the liquid treatment method |
US8670656B2 (en) | 2010-09-13 | 2014-03-11 | Tokyo Electron Limited | Liquid heating unit, liquid processing apparatus including the same, and liquid processing method |
CN102401465B (zh) * | 2010-09-13 | 2014-09-24 | 东京毅力科创株式会社 | 液体加热单元、具有该单元的液处理装置和液处理方法 |
JP2012057904A (ja) * | 2010-09-13 | 2012-03-22 | Tokyo Electron Ltd | 液体加熱ユニット、これを備える液処理装置、および液処理方法 |
JP2013220578A (ja) * | 2012-04-16 | 2013-10-28 | Hayakawa Rubber Co Ltd | 異方性導電フィルムの接着方法 |
JP7130388B2 (ja) | 2018-02-28 | 2022-09-05 | 株式会社Kelk | 液体加熱装置及び洗浄システム |
WO2019167560A1 (ja) * | 2018-02-28 | 2019-09-06 | 株式会社Kelk | 液体加熱装置及び洗浄システム |
JP2019153617A (ja) * | 2018-02-28 | 2019-09-12 | 株式会社Kelk | 液体加熱装置及び洗浄システム |
CN111615740B (zh) * | 2018-02-28 | 2024-05-17 | 株式会社Kelk | 液体加热装置以及清洗*** |
CN111615740A (zh) * | 2018-02-28 | 2020-09-01 | 株式会社Kelk | 液体加热装置以及清洗*** |
CN108397900A (zh) * | 2018-05-07 | 2018-08-14 | 广东卓菲特新能源科技有限公司 | 一种光波电热水箱 |
JP2020009628A (ja) * | 2018-07-09 | 2020-01-16 | 有限会社フィンテック | 光加熱式ヒータ |
WO2022244623A1 (ja) | 2021-05-18 | 2022-11-24 | 日本特殊陶業株式会社 | 液体加熱装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2583159B2 (ja) | 流体加熱器 | |
JP4743495B2 (ja) | 流体加熱装置 | |
JP2008096057A (ja) | 液体加熱装置 | |
KR101357056B1 (ko) | 유체 가열 장치 | |
JP2009002606A (ja) | 蒸気発生装置 | |
US6316877B1 (en) | Lamp device and a method of regulating the lamp intensity | |
JP2008202844A (ja) | 流体加熱装置 | |
JP2008082571A (ja) | 液体加熱装置 | |
JP2007101048A (ja) | 気体加熱器 | |
JP2020009628A (ja) | 光加熱式ヒータ | |
JP3917254B2 (ja) | 流体加熱装置 | |
JP4734885B2 (ja) | 加熱ユニット | |
JP3912840B2 (ja) | 流体加熱冷却装置 | |
JP2000161779A (ja) | 流体加熱装置 | |
JP2006071262A (ja) | 液体加熱装置、洗浄装置、および洗浄方法 | |
JP4919516B2 (ja) | ガス検出器の製造方法 | |
JP2005311270A (ja) | 加熱ステージ | |
JP2000035248A (ja) | 薬液加熱装置 | |
JP6716302B2 (ja) | 流体加熱装置 | |
JP7323674B1 (ja) | 薬液ヒーティング装置およびそれを備える基板処理システム | |
JP2000111156A (ja) | 流体加熱装置 | |
JP3043543U (ja) | 液体加熱装置 | |
JPH10284454A (ja) | 流体加熱装置の空炊き検出方法 | |
US20230338993A1 (en) | Apparatus for heating chemical liquid and system for treating substrate including the same | |
JP6417572B2 (ja) | 流体加熱装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090420 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111025 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111226 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120329 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120508 |