JP4734885B2 - 加熱ユニット - Google Patents
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Description
ヒータランプは、セラミックヒータに比べ、昇温速度が速く、温度制御が行い易いメリットがあり、近年、半導体ウエハを加熱するための熱源として定着している。
ヒータランプ1は、石英ガラス製のバルブ10の内部にフィラメント11が配置されており、両端に形成された封止部12から外部リード13が突出しており、この外部リード13には、給電線9が接続されている。
また、バルブ10内には、不活性ガスとハロゲン化物が封入されており、このヒータランプ1は定格600W、12.5Aで点灯されるものである。
この加熱ユニットは、図4に示すように、ヒータランプ1が被処理物を加熱するためのチャンバー内部側に向いており、基台1の背面側が大気雰囲気側になっている。
ヒータランプ1は、外径10mmの石英ガラス製のバルブ10の内部にフィラメント11が配置されており、両端に形成された封止部12からフィラメントに電気的に繋がる外部リード13が突出している。
バルブ10内には、不活性ガスとハロゲン化物が封入されており、このヒータランプ1は定格600W、12.5Aで点灯されるものである。
外管2は、その両端近傍の側面に同一方向、後述する基台3方向に向けて冷却ガス流入管22と冷却ガス流出管23が設けられており、この冷却ガス流入管22と冷却ガス流出管23は、外管2の内部に連通している。
そして、リング部材43の内部には、冷却ガス流入管22と冷却ガス流出管23の外周面に接触してリング部材43の内部で潰されるOリング44が配置されており、このOリング44によって、基台3の貫通孔31と冷却ガス流入管22と冷却ガス流出管23の外周面との隙間を埋め、ヒータランプ1が配置されたチャンバー内部側と冷却ガス流入管22と冷却ガス流出管23が伸びだす大気雰囲気側を完全に隔離するものである。
この固定部材45は、筒状の貫通孔45aを有しており、この貫通孔45aに冷却ガス流入管22と冷却ガス流出管23の端部が挿入されている。
この給電部材6は、硬性を有するものであり、ヒータランプ1は給電部材6によって外管2内に一定の間隙を保った状態で配置されている。
これは、フィラメント11から放射された光を効率よく加熱物に照射するものである。
図2に示す加熱ユニットは、ヒータランプの外部リード棒に繋がる給電部材の構造が、図1に示す加熱ユニットとは異なるものであり、この異なる構造を中心に説明をする。
そして、金属箔の他端側には給電部材6が接続されており、給電部材6は外管2の封止部21より突出し、給電線9に接続されている。
なお、図2中A−A断面図を図3に示し、バルブ10の反加熱物方向の外周に白色セラミック製の反射膜8が設けられている。
2 外管
22 冷却ガス流入管
23 冷却ガス流出管
3 基台
4 外管保持機構
5 ガス管
6 給電部材
7 給電機構
8 反射膜
9 給電線
Claims (1)
- チャンバー内にヒータランプを備えた加熱ユニットにおいて、
前記ヒータランプを内臓し、両端に封止部が形成された外管が前記チャンバー内に配置され、
当該外管には、冷却ガス流入管と冷却ガス流出管が設けられるとともに、これら冷却ガス流入管と冷却ガス流出管は前記チャンバー外に伸び出しており、
前記ヒータランプのフィラメントと電気的に繋がる外部リード棒が当該ヒータランプの両端の封止部から突出し、
前記外部リード棒には給電部材が接続されていて、当該給電部材がそれぞれ前記冷却ガス流入管と冷却ガス流出管に挿通されて、チャンバー外に伸び出していることを特徴とする加熱ユニット。
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