JP2007220891A - ポストcmp処理液、およびこれを用いた半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 配線層や絶縁膜表面の付着物質を効率よく除去することができるポストCMP処理液を提供する。
【解決手段】 水と、0.01wt%以上1wt%以下の濃度で配合され、表面にカルボキシル基およびスルホニル基を有し、一次粒子径が10nm以上60nm以下の樹脂粒子と、カルボキシル基を有する第一の界面活性剤と、スルホニル基を有する第二の界面活性剤と、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドとを含有するポストCMP処理液である。pHは4以上9以下であり、絶縁膜および導電膜の研磨速度は10nm/min以下であることを特徴とする。
【選択図】 なし
【解決手段】 水と、0.01wt%以上1wt%以下の濃度で配合され、表面にカルボキシル基およびスルホニル基を有し、一次粒子径が10nm以上60nm以下の樹脂粒子と、カルボキシル基を有する第一の界面活性剤と、スルホニル基を有する第二の界面活性剤と、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドとを含有するポストCMP処理液である。pHは4以上9以下であり、絶縁膜および導電膜の研磨速度は10nm/min以下であることを特徴とする。
【選択図】 なし
Description
本発明は、化学的機械的研磨(CMP)後処理に使用される処理液、およびこれを用いた半導体装置の製造方法に関する。
近年、LSIの高集積化に伴って配線の微細化が急速に進みつつある。これに加えて、配線RCの遅延を緩和するためには新材料の導入が必須とされ、現在、導電材料としては低抵抗のCu(ρ:1.8μΩcm)、絶縁材料としては低誘電率(k:<2.5)の絶縁膜が用いられようとしている。
Cu配線は、CMPを用いてダマシン配線として形成されるのが主流である。CMPを経た絶縁膜および配線の表面には、ダスト(研磨粒子や削れカス)、未反応スラリーといった物質が不可避的に残留する。こうした物質の洗浄液としては、以前よりキレート錯体化剤および界面活性剤を含有するものが用いられているが、次世代で要求される配線間隔は0.1μm以下と微細であるため、これまで大きな問題とならなかった少量の微小な残留物が、今後配線間隔が狭まるにしたがって、配線間ショートや絶縁膜の耐圧劣化といった配線不良を引き起こすおそれがある。
また、ほとんどの低誘電率絶縁膜には有機成分が含有されていることから、その表面は疎水性を示し、水に馴染みにくい。このため、CMP処理中および洗浄中には、絶縁膜表面にダストが吸着されやすい。しかも、吸着したダストは、除去されにくく、正常に電気的分離がなされた配線が形成できない要因にもなっている。低誘電率絶縁膜はまた、スクラッチが生じやすいという欠点も有している。
従来、基板表面に付着した微小粒子および金属不純物の除去に用いられる洗浄液として、脂肪族ポリカルボン酸および還元剤を含有する処理液が提案されている(例えば、特許文献1参照)。また、CMP後の処理を行なうための樹脂粒子を含有する処理液も提案されている(例えば、特許文献2参照)。然るに、CMP後において、導電材料が埋め込まれた絶縁膜、特に低誘電率絶縁膜の表面にはよりいっそうの清浄化が求められているものの、従来の処理液では、十分に対応しきれなくなりつつあるのが現状である。
特開2003−332290公報
特開2004−146582公報
本発明は、配線層や絶縁膜表面の付着物質を効率よく除去することができるポストCMP処理液、およびこれを用いた半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
本発明の一態様にかかるポストCMP処理液は、水と、
0.01wt%以上1wt%以下の濃度で配合され、表面にカルボキシル基およびスルホニル基を有し、一次粒子径が10nm以上60nm以下の樹脂粒子と、
カルボキシル基を有する第一の界面活性剤と、
スルホニル基を有する第二の界面活性剤と、
テトラメチルアンモニウムヒドロキシドとを含有し、
pHが4以上9以下であり、絶縁膜および導電膜の研磨速度が10nm/min以下であることを特徴とする。
0.01wt%以上1wt%以下の濃度で配合され、表面にカルボキシル基およびスルホニル基を有し、一次粒子径が10nm以上60nm以下の樹脂粒子と、
カルボキシル基を有する第一の界面活性剤と、
スルホニル基を有する第二の界面活性剤と、
テトラメチルアンモニウムヒドロキシドとを含有し、
pHが4以上9以下であり、絶縁膜および導電膜の研磨速度が10nm/min以下であることを特徴とする。
本発明の一態様にかかる半導体装置の製造方法は、半導体基板上に設けられ、凹部を有する絶縁膜上に導電材料を堆積して導電膜を形成する工程と、
前記導電膜に研磨処理を施して、前記絶縁膜の表面を露出しつつ前記導電材料を前記凹部内に埋め込み、埋め込み配線層を形成する工程と、
前記埋め込み配線層の表面および露出された絶縁膜の表面を、処理液を用いて実質的に研磨することなく処理する工程とを具備し、
前記処理液は、水と、0.01wt%以上1wt%以下の濃度で配合され、表面にカルボキシル基およびスルホニル基を有し、一次粒子径が10nm以上60nm以下の樹脂粒子と、カルボキシル基を有する第一の界面活性剤と、スルホニル基を有する第二の界面活性剤と、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドとを含有し、pHが4以上9以下であることを特徴とする。
前記導電膜に研磨処理を施して、前記絶縁膜の表面を露出しつつ前記導電材料を前記凹部内に埋め込み、埋め込み配線層を形成する工程と、
前記埋め込み配線層の表面および露出された絶縁膜の表面を、処理液を用いて実質的に研磨することなく処理する工程とを具備し、
前記処理液は、水と、0.01wt%以上1wt%以下の濃度で配合され、表面にカルボキシル基およびスルホニル基を有し、一次粒子径が10nm以上60nm以下の樹脂粒子と、カルボキシル基を有する第一の界面活性剤と、スルホニル基を有する第二の界面活性剤と、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドとを含有し、pHが4以上9以下であることを特徴とする。
本発明の一態様によれば、配線層や絶縁膜表面の付着物質を効率よく除去することができるポストCMP処理液、およびこれを用いた半導体装置の製造方法が提供される。
本発明者らは、CMP直後における配線層の表面に残留したダスト等の除去は、溶解、化学的作用、機械的作用、および界面活性といった4つの基本作用の組み合わせによって、従来達成されていたと考えた。例えば、化学的作用を付加するためのキレート錯体化剤と界面活性のための界面活性剤とが、溶解のための純水に含有されてなる処理液を用い、この処理液が供給された表面を研磨布で研磨することによって、機械的作用が与えられる。
絶縁材料として低誘電率絶縁膜(k:<2.5)が用いられる場合には、一般的な絶縁膜と比較して、空孔率が増加し、強度は低下する。したがって、これらを考慮して、使用する処理液や洗浄方法を選択することが求められる。しかも、低誘電率絶縁膜特有の欠陥も発生し、新たな対策も必要とされる。具体的には、ウェハの乾燥が不均一になることにより、不純物を含んだ液がWater Markとなり絶縁膜上に残ってしまう。これによって、配線間ショート等の歩留まり低下が引き起こされる。
このような点に鑑み、本発明の実施形態にかかるポストCMP処理液においては、特定の2種類の官能基を表面に有する樹脂粒子と、特定の2種類の界面活性剤と、特定の塩基性化合物とが含有される。しかも、樹脂粒子の一次粒子径および濃度、ならびに処理液のpHは所定の範囲内に規定される。こうした条件を備えた処理液は、絶縁膜の種類によらず、その表面の残留物を除去することが可能となる。すなわち、低誘電率絶縁膜を含む被処理面に対して洗浄効果を有するとともに、一般的な絶縁膜を含む被処理面に対しても高い洗浄能力を発揮することができる。
本発明の実施形態においては、配線層や絶縁膜の表面から残留物を除去することが目的であり、SiO2のような絶縁膜、およびCuやTaなどの導電膜の研磨は求められない。むしろ、絶縁膜や導電膜は、本発明の実施形態にかかる処理液を用いた処理によって研磨されてはならないため、本発明の実施形態にかかる処理液の絶縁膜や導電膜の研磨速度は、10nm/min以下に規定される。条件および絶縁膜や導電膜の種類によらず、10nm/min以下の研磨速度であれば、絶縁膜や導電膜は実質的に研磨されないとみることができ、専ら所望の洗浄効果を得ることができる。
樹脂粒子の材質としては、例えば、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、ポリスチレン(PS)、ポリエチレン(PE)、ポリエチレングリコール、ポリ酢酸ビニル、ポリブタジエン、ポリイソブチレン、ポリプロピレン、およびポリオキシメチレンなどが挙げられる。樹脂粒子は、単一材質のものを単独で用いてもよいし、互いに異なる材質からなる2種以上の樹脂粒子を組み合わせて用いてもよい。
こうした樹脂粒子の表面には、カルボキシル基およびスルホニル基といった2種類の官能基が結合して存在する。これらの官能基を有することにより、Cu等の金属とのキレート作用が生じて、金属を含んだ残留物を効率よく除去することができる。カルボキシル基およびスルホニル基は、極微量であっても樹脂粒子表面に存在していれば、その効果が得られる。こうしたカルボキシル基およびスルホニル基は、処理液中でアニオン(−COO-および−SO3 -)を生じる。アニオンはカチオンと比較して、安全性が高く、コストも安いといったメリットもある。
樹脂粒子の一次粒子径は、10nm以上60nm以下の範囲内に規定される。樹脂粒子の一次粒子径は、例えば、SEMまたはTEM写真から測定することができる。一次粒子径が10nm未満の樹脂粒子は、表面に存在する2種類の官能基の量が不十分となり、その効果が得られない。一方、粒子径が60nmを越えると、疎水面を有する絶縁膜上に発生するWater Markは完全に除去しきれない。さらに、この樹脂粒子自体が被処理面に残存して、欠陥の原因となるおそれがある。樹脂粒子の一次粒子径は、30nm以上50nm以下がより好ましい。
ポストCMP処理液中における樹脂粒子の濃度は、0.01wt%以上1wt%以下に規定される。濃度が1wt%を越えて過剰に含有されると、樹脂粒子自体が乾燥後も残ってしまい、新たな欠陥として悪影響を及ぼす。さらに、処理液自体のコストも高くなってしまう。一方、樹脂粒子の濃度が0.01wt%未満の場合には、その表面に存在する官能基の量が十分でないために、Water Markが完全に除去しきれなくなってしまう。樹脂粒子の濃度は、0.05wt%以上0.1wt%以下がより好ましい。
カルボキシル基を有する第一の界面活性剤として、例えば、多価カルボン酸系共重合体のポリアクリル酸、ポリアクリル酸塩、ポリメタアクリル酸、ポリメタアクリル酸塩、アクリル酸−メタクリル酸、およびアクリル酸−メタクリル酸塩などが挙げられる。こうした界面活性剤の重量平均分子量は、2000以上20000以下であることが好ましい。2000未満の場合には、十分な洗浄力を得ることが困難になる。一方、20000を越えると、樹脂粒子と凝集を起こしたり、処理液の粘度が高くなるおそれがある。
すでに説明したように、樹脂粒子の表面にはカルボキシル基およびスルホニル基という2種類の官能基が存在する。こうした官能基の一方であるカルボキシル基が、第一の界面活性剤に含まれることによって、上述したようなキレート作用がさらに高められることとなる。その結果、Water Markの除去が促進される。
第一の界面活性剤は、少なくとも処理液総量の0.01wt%以上の割合で含有されていれば、顕著にその効果を発揮する。しかしながら、過剰に含有されたところで、顕著な効果が得られるわけではない。しかも、樹脂粒子との凝集を起こすといった不都合が生じるおそれもある。これらを考慮すると、第一の界面活性剤の含有量の上限は、1wt%にとどめることが望まれる。
なお、直鎖で重量平均分子量が適切な範囲内であり、カルボキシル基が表面に多く配位していることから、ポリアクリル酸、ポリアクリル酸カリウム、およびポリアクリル酸アンモニウムが第一の界面活性剤として特に好ましい。
また、スルホニル基を有する第二の界面活性剤としては、アルキルベンゼンスルホン酸塩が挙げられる。例えば、ヘキシルベンゼンスルホン酸、オクチルベンゼンスルホン酸、ドデシルベンゼンスルホン酸、テトラデシルベンゼンスルホン酸、へキサンデシルベンゼンスルホン酸、およびオクタデシルベンゼンスルホン酸などの塩である。
樹脂粒子の表面に存在するカルボキシル基およびスルホニル基のうち、カルボニル基は第一の界面活性剤に含まれるので、上述したようにキレート作用がさらに高められる。第二の界面活性剤には、樹脂粒子の表面に存在する他方の官能基であるスルホニル基が含まれることから、同様にキレート作用が高められて、Water Markの除去がよりいっそう促進される。
第一の界面活性剤の場合と同様の理由から、この第二の界面活性剤は、処理液総量の0.01wt%以上1wt%以下の割合で含有されることが好ましい。
なお、重量平均分子量が適切な範囲内であり、直鎖とベンゼン環とを有し、スルホニル基を表面に配位していることから、ドデシルベンゼンスルホン酸カリウムおよびドデシルベンゼンスルホン酸アンモニウムが第二の界面活性剤として特に好ましい。
本発明の実施形態にかかるポストCMP処理液には、上述した成分に加えて、さらにテトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH)が含有される。このTMAHは、塩基性化合物の一種であることから、Cu等の金属からなる配線材料の錯体を溶解することができる。しかも、TMAHの添加量を調節することによって、ポストCMP処理液のpHを調整することができる。
なお、塩基性化合物の中には、エチレンジアミン、および水酸化トリメチルヒドロキシエチルアンモニウム(コリン)といった化合物も含まれる。こうした化合物を配合した場合も、ポストCMP処理液のpHを4乃至9に調整することは可能である。しかしながら、例えば、エチレンジアミンが含有された処理液では、Cu等の金属からなる配線材料の表面をエッチングするといった不都合が生じる。何等不都合を引き起こさずに、pHを調整することができ、しかもCu等の金属の錯体を溶解することが可能な塩基性化合物は、TMAHである。
TMAHの含有量は特に規定されず、4以上9以下のpHが確保できる範囲内で適宜選択すればよい。
pHが4未満の場合には、樹脂粒子の除去が困難となる。一方、pHが9を越えると、配線表面が荒れるといった不都合が生じる。これらを回避するため、本発明の実施形態にかかるポストCMP処理液のpHは4以上9以下に規定した。
上述したような成分を水に配合して、本発明の実施形態にかかるポストCMP処理液が得られる。水としては、イオン交換水、および純水等を用いることができ、特に限定されない。
本発明の実施形態にかかるポストCMP処理液には、還元剤がさらに含有されてもよい。還元剤としては、例えばヒドロキシルアミン等を用いることができる。処理液のpHが8から9程度と高い場合には、還元剤が含まれることによって、Cu等の金属の腐食を抑制する作用がよりいっそう高められる。還元剤の含有量は、特に限定されないが、処理液総量の0.01wt%以上程度であれば、その効果を得ることができる。しかしながら、還元剤が過剰に含有されると配線材料の析出といった不都合が生じるおそれがあるので、その上限は処理液総量の1wt%程度とすることが望まれる。
上述したような処理液をCMP後の表面に供給し、研磨布、ロール、またはペンシルといった部材により機械的作用をさらに与えることによって、配線層および絶縁膜の表面から残留物を除去して、電気特性の高い半導体装置を得ることができる。
本発明の一実施形態にかかる方法を用い、Cuダマシン配線を形成した例について説明する。
図1は本発明の一実施形態にかかる方法を表わす工程断面図である。
まず、図1(a)に示すように、素子(図示せず)が形成された半導体基板100上に、無機絶縁膜101、および積層絶縁膜103,104を介して、バリアメタル膜105および配線材料膜106を堆積する。
無機絶縁膜101には、W(タングステン)からなるプラグ102が埋め込まれている。積層絶縁膜は、比誘電率が2.5未満の第一の絶縁膜103と、この第一の絶縁膜上に形成され、比誘電率が第一の絶縁膜より大きい第二の絶縁膜104とから構成される。第一および第二の絶縁膜の厚さは、いずれも100nmとすることができる。
第一の絶縁膜103は、例えば、ポリシロキサン、ハイドロジェンシロセスキオキサン、ポリメチルシロキサン、メチルシロセスキオキサンなどのシロキサン骨格を有する膜、ポリアリーレンエーテル、ポリベンゾオキサゾール、ポリベンゾシクロブテンなどの有機樹脂を主成分とする膜、および多孔質シリカ膜などのポーラス膜からなる群から選択される少なくとも一種を用いて形成することができる。こうした材料からなる第一の絶縁膜は脆弱である。
この上に形成される第二の絶縁膜104はキャップ絶縁膜として作用し、例えば、SiC、SiCH,SiCN、SiOC,SiN,およびSiOCHからなる群から選択される少なくとも一種の比誘電率2.5以上の絶縁材料を用いて形成することができる。こうした材質から構成される第二の絶縁膜104の表面は、疎水性を有する。また、SiO,SiOP,SiOF、およびSiONなどの親水性を有する絶縁膜でも、CMP後に残留物が付着することがある。こうした絶縁膜に対しても、本発明の実施形態にかかる処理液は好適に用いることができる。
バリアメタル膜105および配線材料106は、上述したような積層絶縁膜に配線溝を設けた後、全面に堆積される。バリアメタル膜105は、Taにより膜厚10nmで形成することができ、配線材料膜106は、Cuにより膜厚400nmで形成することができる。
なお、図1(a)に示す例においては、バリアメタル膜105および配線材料膜106が設けられる絶縁膜は、第一の絶縁膜103と第二の絶縁膜104との積層構造であるが、単層の絶縁膜を用いてもよい。この場合の絶縁膜は、例えば、ブラックダイヤモンド(アプライドマテリアル社製)等により形成することができる。こうした材料からなる絶縁膜もまた、表面は疎水性を有する。
次いで、バリアメタル膜105および配線材料膜106の不要部分をCMPにより除去し、図1(b)に示すように第二の絶縁膜104の表面を露出した。CMPは、配線材料膜106の除去(1stポリッシュ)およびバリアメタル膜105の除去(2ndポリッシュ)の2工程で行い、その条件は以下のとおりとした。
(1stポリッシュ)
スラリー:CMS7401/7452(JSR社製)
流量:300cc/min
研磨パッド:IC1000(ニッタ・ハース社製)
荷重:300gf/cm2
キャリアおよびテーブルの回転数は、いずれも100rpmとして、1分間の研磨を行った。
スラリー:CMS7401/7452(JSR社製)
流量:300cc/min
研磨パッド:IC1000(ニッタ・ハース社製)
荷重:300gf/cm2
キャリアおよびテーブルの回転数は、いずれも100rpmとして、1分間の研磨を行った。
(2ndポリッシュ)
スラリー:CMS8401/8452(JSR社製)
流量:200cc/min
研磨パッド:IC1000(ニッタ・ハース社製)
荷重:300gf/cm2
キャリアおよびテーブルの回転数は、いずれも100rpmとして、30秒間の研磨を行なった。
スラリー:CMS8401/8452(JSR社製)
流量:200cc/min
研磨パッド:IC1000(ニッタ・ハース社製)
荷重:300gf/cm2
キャリアおよびテーブルの回転数は、いずれも100rpmとして、30秒間の研磨を行なった。
2ndポリッシュ直後には、図1(b)に示すように、研磨粒子107、研磨生成物108、Water Mark109などの物質が、第二の絶縁膜104、バリアメタル膜105、および配線材料膜106上に付着している。研磨粒子107、研磨生成物108、およびWater Mark109などの付着物質が、欠陥の原因となる。
こうした付着物質を、本発明の実施形態にかかる処理液により洗浄して除去することによって、図1(c)に示すような清浄な表面が得られる。
上述した付着物質のなかでも、特にWater Markの除去には、樹脂粒子の影響が大きいことが、本発明者らによって見出された。そこで、樹脂粒子の最適な一次粒子径および濃度の範囲を調べるために、以下の実験を行なった。
樹脂粒子としては、一次粒子径の異なるPMMA製粒子を用意した。この樹脂粒子の表面には、カルボキシル基およびスルホニル基が結合している。各樹脂粒子を、種々の濃度で純水に分散させて分散液(pH4)を調製し、それぞれを用いてWater Markの除去を試みた。
具体的には、各分散液を用い、図1(b)に示した状態の表面を以下の条件で洗浄した。洗浄は、研磨布(ロデール・ニッタ社製)上に処理液を供給し、被処理面に接触させて次のような条件で、30〜60秒程度擦りつけることにより行なった。
洗浄液流量:300cc/min
荷重:300gf/cm2
キャリアおよびテーブルの回転数:いずれも100rpm
被処理面が乾燥すると残留物を除去することが困難となるので、こうした洗浄は、被処理面が濡れている状態で行われるのが好ましい。すなわち、2ndポリッシュが終了した直後、同一の装置を用いて連続して行なわれることが望ましい。
荷重:300gf/cm2
キャリアおよびテーブルの回転数:いずれも100rpm
被処理面が乾燥すると残留物を除去することが困難となるので、こうした洗浄は、被処理面が濡れている状態で行われるのが好ましい。すなわち、2ndポリッシュが終了した直後、同一の装置を用いて連続して行なわれることが望ましい。
なお、研磨布による洗浄の代わりやその後に、ロール洗浄やペンシル洗浄を適用することもできる。
洗浄後には、絶縁膜上のWater Markと、被処理面全面における樹脂粒子残りとを明視野欠陥測定装置により調べ、その有無によって以下の基準で判断した。
上記表1に示されるように、絶縁膜上のWater Markを除去し、しかも被処理面に樹脂粒子の残留が生じないためには、樹脂粒子の一次粒子径は10nm以上60nm以下に規定され、その濃度は0.01wt%以上1wt%以下に規定される。
次に、第一の界面活性剤、第二の界面活性剤、およびTMAHを配合して本発明の実施形態にかかる処理液を調製し、CMP後の表面を洗浄した。
本発明の実施形態にかかる処理液は、以下のような手法により調製した。
(実施例1)
樹脂粒子として、表面にカルボキシル基とスルホニル基を有するPMMA粒子(一次粒子径:50nm)を用意し、これを0.1wt%の濃度で純水に分散させた。さらに、第一の界面活性剤としてのポリアクリル酸、および第二の界面活性剤としてのドデシルベンゼンスルホン酸カリウムを加えた。これらの濃度は、いずれも0.2wt%とした。また、TMAHを0.03wt%加えて、実施例1の処理液を調製した。得られた処理液のpHは4であった。
樹脂粒子として、表面にカルボキシル基とスルホニル基を有するPMMA粒子(一次粒子径:50nm)を用意し、これを0.1wt%の濃度で純水に分散させた。さらに、第一の界面活性剤としてのポリアクリル酸、および第二の界面活性剤としてのドデシルベンゼンスルホン酸カリウムを加えた。これらの濃度は、いずれも0.2wt%とした。また、TMAHを0.03wt%加えて、実施例1の処理液を調製した。得られた処理液のpHは4であった。
(実施例2)
樹脂粒子の一次粒子径を10nmに変更した以外は前述の実施例1と同様にして、実施例2の処理液を調製した。
樹脂粒子の一次粒子径を10nmに変更した以外は前述の実施例1と同様にして、実施例2の処理液を調製した。
(実施例3)
樹脂粒子の一次粒子径を60nmに変更した以外は前述の実施例1と同様にして、実施例3の処理液を調製した。
樹脂粒子の一次粒子径を60nmに変更した以外は前述の実施例1と同様にして、実施例3の処理液を調製した。
(実施例4)
樹脂粒子の濃度を0.01wt%に変更した以外は前述の実施例1と同様にして、実施例4の処理液を調製した。
樹脂粒子の濃度を0.01wt%に変更した以外は前述の実施例1と同様にして、実施例4の処理液を調製した。
(実施例5)
樹脂粒子の濃度を0.5wt%に変更した以外は前述の実施例1と同様にして、実施例5の処理液を調製した。
樹脂粒子の濃度を0.5wt%に変更した以外は前述の実施例1と同様にして、実施例5の処理液を調製した。
(実施例6〜9)
pHを6,7,8および9に変更した以外は前述の実施例1と同様にして、実施例6,7,8,および9の処理液を調製した。なお、pHは、TMAHの添加量を増減することによって調節した。
pHを6,7,8および9に変更した以外は前述の実施例1と同様にして、実施例6,7,8,および9の処理液を調製した。なお、pHは、TMAHの添加量を増減することによって調節した。
(実施例10)
樹脂粒子をポリスチレンに変更した以外は前述の実施例1と同様にして、実施例10の処理液を調製した。
樹脂粒子をポリスチレンに変更した以外は前述の実施例1と同様にして、実施例10の処理液を調製した。
(実施例11)
樹脂粒子をポリエチレンに変更した以外は前述の実施例1と同様にして、実施例11の処理液を調製した。
樹脂粒子をポリエチレンに変更した以外は前述の実施例1と同様にして、実施例11の処理液を調製した。
(実施例12)
第一の界面活性剤をポリアクリル酸カリウムに変更した以外は前述の実施例1と同様にして、実施例12の処理液を調製した。
第一の界面活性剤をポリアクリル酸カリウムに変更した以外は前述の実施例1と同様にして、実施例12の処理液を調製した。
(実施例13)
第一の界面活性剤をポリアクリル酸アンモニウムに変更した以外は前述の実施例1と同様にして、実施例13の処理液を調製した。
第一の界面活性剤をポリアクリル酸アンモニウムに変更した以外は前述の実施例1と同様にして、実施例13の処理液を調製した。
(実施例14)
第二の界面活性剤をドデシルベンゼンスルホン酸アンモニウムに変更した以外は前述の実施例1と同様にして、実施例14の処理液を調製した。
第二の界面活性剤をドデシルベンゼンスルホン酸アンモニウムに変更した以外は前述の実施例1と同様にして、実施例14の処理液を調製した。
得られた実施例1〜14の処理液を用いて、図1(b)の状態の表面を洗浄した。洗浄は、研磨布(ロデール・ニッタ社製)上に処理液を供給し、被処理面に接触させて次のような条件で、30〜60秒程度擦りつけることにより行なった。
洗浄液流量:300cc/min
荷重:300gf/cm2
キャリアおよびテーブルの回転数:いずれも100rpm
さらに、以下のような処理液を用いる以外は前述と同様にして、図1(b)に示した状態の表面を洗浄し、比較例1〜13とした。比較例で用いる処理液は、それぞれ以下の点を変更した以外は前述の実施例1と同様の処方で調製した。
荷重:300gf/cm2
キャリアおよびテーブルの回転数:いずれも100rpm
さらに、以下のような処理液を用いる以外は前述と同様にして、図1(b)に示した状態の表面を洗浄し、比較例1〜13とした。比較例で用いる処理液は、それぞれ以下の点を変更した以外は前述の実施例1と同様の処方で調製した。
比較例1:表面に官能基が存在しない樹脂粒子を用いた。
比較例2:表面にカルボキシル基のみを有する樹脂粒子を用いた。
比較例3:表面にスルホニル基のみを有する樹脂粒子を用いた。
比較例4:樹脂粒子の一次粒子径を8nmに変更した。
比較例5:樹脂粒子の一次粒子径を100nmに変更した。
比較例6:樹脂粒子の濃度を0.005wt%に変更した。
比較例7:樹脂粒子の濃度を2wt%に変更した。
比較例8:第一の界面活性剤を配合しない。
比較例9:第二の界面活性剤を配合しない。
比較例10:TMAHをエチレンジアミンに変更した。
比較例11:TMAHをKOHに変更した。
比較例12:pHを3に変更した。
比較例13:pHを10に変更した。
なお、比較例10および11においては、pHは4であった。また、比較例12および13においては、TMAHの含有量を調節してpHを所定の値に制御した。
処理後には、パターンウェハ上の領域(174.25cm2/Wafer)の明視野欠陥測定を行なうとともに、配線(ライン/スペース:80nm/80nm)について配線ショート歩留まりを測定した。ここで評価した欠陥の種類は、上述したような絶縁膜上のWater Markおよび被処理面全面の樹脂粒子残りに加えて、通常CMP後に観察されるダストやスクラッチ等も含めている。なお、ダストやスクラッチは、被処理面全面について調べた。得られた結果を、下記表2および表3にまとめる。
表2に示されるように、2種類の官能基を有し、一次粒子径および濃度が所定の範囲内にある樹脂粒子と、特定の第一および第二の界面活性剤と、TMAHとを含有し、しかもpHが4〜9の範囲内の処理液(実施例1〜14)で洗浄することによって、得られる半導体装置における欠陥数および電気的特性はいずれも向上した。具体的には、欠陥数は5個以下に低減され、配線ショート歩留まりは90%以上に増加した。欠陥数は、9個以下であれば合格であり、配線ショート歩留まりは90%以上であることが要求される。ここで許容される欠陥は、ダストやスクラッチである。
なお、いずれの場合も、配線材料膜106の研磨速度は1nm/min程度であり、第二の絶縁膜104の研磨速度は1nm/min程度であった。
このことから、実施例の処理液の構成では、疎水性で脆弱な低誘電率絶縁膜に過度に負担を加えることなく機械的作用を加えて、残留物を効率よく除去することができたものと考えられる。特に、絶縁膜表面に発生して電気特性の低下を引き起こすWater Markも、効率よく除去され、スクラッチが生じることもない。
これに対し、比較例の処理液では、いずれの組成でも欠陥を抑制しつつ配線ショート歩留まりを高めることができない。具体的には、樹脂粒子の表面にいずれの官能基も存在しない場合(比較例1)には、著しく多く欠陥が発生している。これは、Water Markの除去が行なわれなったことに起因するものと推測される。樹脂粒子の表面に存在する官能基が一種類の場合(比較例2,3)においても、欠陥を合格範囲内に低減することはできない。
樹脂粒子の一次粒子径が小さい場合(比較例4)では、洗浄効果が発揮されず、Water Markを除去することができない。一方、大きすぎる場合(比較例5)には、この樹脂粒子が残留して欠陥となる。樹脂粒子の濃度が少ない場合(比較例6)には、表面に存在する官能基の効果が小さいためにWater Markは除去されない。樹脂粒子の濃度が多すぎる場合(比較例7)には、この樹脂粒子自体が残留して欠陥となる。
第一および第二の界面活性剤のいずれか一方が含まれない場合(比較例8,9)には、合格範囲まで欠陥を低減することができず、配線ショート歩留まりも小さい。
TMAHを他の塩基性化合物に置き換えた場合(比較例10)には、配線表面を荒らしてしまい、配線ショート歩留まりを低下させてしまう。
TMAHを含有せず、pHのみを調整した場合(比較例11)には、欠陥を合格範囲内に低減することはできない。
所定の成分が全て含有されたところで、pHが4未満または9を越えると(比較例12,13)、欠陥が増大し、配線ショート歩留まりも小さい。
こうした結果から、2種類の特定の官能基を有し、一次粒子径および濃度が所定の範囲内にある樹脂粒子と、特定の第一および第二の界面活性剤と、TMAHとを含有し、しかもpHが4〜9の範囲内の処理液は、優れた効果を発揮することが確認された。すなわち、本発明の実施形態にかかる処理液は、低誘電率絶縁膜特有のWater Mark除去には絶大な効力を発揮し、なおかつ、研磨粒子の残り、ダスト、錯体等の削りカスも同時に除去することが可能となる。
以上、Cu−CMP後の処理を例に挙げて本発明の実施形態を説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。樹脂粒子を含有する処理液は、Al、Wおよびポリシリコンなどを用いた埋め込み電極、配線、プラグの形成にも同様に適用でき、同様の効果が得られる。また、配線層の上に設けられる絶縁膜としてのSiO2などのCMP後処理としても有効であり、効率よく洗浄して清浄な表面を得ることができる。
本発明によれば、例えば、次世代で要求されるデザインルール0.05μm以下の配線を有する高性能、高速な半導体装置を製造することが可能となり、その工業的価値は絶大である。
100…半導体基板; 101…絶縁膜; 102…プラグ; 103…第一の絶縁膜
104…第二の絶縁膜; 105…バリアメタル膜; 106…配線材料膜
107…研磨粒子; 108…研磨生成物; 109…Water Mark。
104…第二の絶縁膜; 105…バリアメタル膜; 106…配線材料膜
107…研磨粒子; 108…研磨生成物; 109…Water Mark。
Claims (5)
- 水と、
0.01wt%以上1wt%以下の濃度で配合され、表面にカルボキシル基およびスルホニル基を有し、一次粒子径が10nm以上60nm以下の樹脂粒子と、
カルボキシル基を有する第一の界面活性剤と、
スルホニル基を有する第二の界面活性剤と、
テトラメチルアンモニウムヒドロキシドとを含有し、
pHが4以上9以下であり、絶縁膜および導電膜の研磨速度が10nm/min以下であることを特徴とするポストCMP処理液。 - 前記樹脂粒子は、ポリメチルメタクリレート、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリエチレングリコール、ポリ酢酸ビニル、ポリブタジエン、ポリイソブチレン、ポリプロピレン、およびポリオキシメチレンからなる群から選択される少なくとも一種を含むことを特徴とする請求項1に記載のポストCMP処理液。
- 前記第一の界面活性剤は、ポリアクリル酸、ポリアクリル酸カリウム、およびポリアクリル酸アンモニウムからなる群から選択されることを特徴とする請求項1または2に記載のポストCMP処理液。
- 前記第二の界面活性剤は、ドデシルベンゼンスルホン酸カリウム、およびドデシルベンゼンスルホン酸アンモニウムからなる群から選択されることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載のポストCMP処理液。
- 半導体基板上に設けられ、凹部を有する絶縁膜上に導電材料を堆積して導電膜を形成する工程と、
前記導電膜に研磨処理を施して、前記絶縁膜の表面を露出しつつ前記導電材料を前記凹部内に埋め込み、埋め込み配線層を形成する工程と、
前記埋め込み配線層の表面および露出された絶縁膜の表面を、処理液を用いて実質的に研磨することなく処理する工程とを具備し、
前記処理液は、水と、0.01wt%以上1wt%以下の濃度で配合され、表面にカルボキシル基およびスルホニル基を有し、一次粒子径が10nm以上60nm以下の樹脂粒子と、カルボキシル基を有する第一の界面活性剤と、スルホニル基を有する第二の界面活性剤と、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドとを含有し、pHが4以上9以下であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
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