JP2007180503A - 剥離テープ貼付方法および剥離テープ貼付装置 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 48
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 56
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 114
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 8
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 7
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
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- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67132—Apparatus for placing on an insulating substrate, e.g. tape
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- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/06—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising selenium or tellurium in uncombined form other than as impurities in semiconductor bodies of other materials
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- Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
- Y10T156/11—Methods of delaminating, per se; i.e., separating at bonding face
- Y10T156/1105—Delaminating process responsive to feed or shape at delamination
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- Y10T156/11—Methods of delaminating, per se; i.e., separating at bonding face
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- Y10T156/11—Methods of delaminating, per se; i.e., separating at bonding face
- Y10T156/1168—Gripping and pulling work apart during delaminating
- Y10T156/1179—Gripping and pulling work apart during delaminating with poking during delaminating [e.g., jabbing, etc.]
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Abstract
【解決手段】ウェーハ(20)の表面に貼付けられた表面保護フィルム(11)に剥離テープ(4)を貼付ける剥離テープ貼付方法において、表面保護フィルムを上方に向けてウェーハを可動テーブル(31)上に支持し、ウェーハの表面保護フィルム上に剥離テープを繰出す。次いで、ウェーハの一端(28)が剥離テープ貼付手段(46)の下方に位置するように可動テーブルを移動させ、剥離テープを介して剥離テープ貼付手段をウェーハの表面保護フィルムに押付けて押付力を掛ける。その後、可動テーブルをウェーハの他端(29)に向かって移動させ、可動テーブルが剥離テープ貼付手段から所定距離だけ移動すると押付力を解除する。さらにこのような方法を実施する剥離テープ貼付装置が提供される。
【選択図】図2
Description
すなわち2番目の発明においては、剥離テープ貼付手段が剥離テープを介して表面保護フィルムに及ぼす力を完全に零にできるので、ウェーハに割れ、クラックまたは内部歪みが生ずるのをさらに防止できる。
すなわち3番目の発明においては、ウェーハが裏面研削されていて研削面が表面側の面取部まで到達している場合であっても、ウェーハに割れ、クラックまたは内部歪みを生じさせることを防止できる。裏面研削されているウェーハの厚さは例えば100マイクロメートル以下でありうる。
すなわち4番目の発明においては、比較的厚みの大きい半導体素子が前記ウェーハの表面に形成されている場合であっても、可動テーブルを円滑に移動させられる。
すなわち5番目の発明においては、剥離テープの幅部分から逸脱する箇所から生じうる異物がウェーハ上に付着するのを可能な限り抑制することができる。
すなわち6番目の発明においては、ウェーハの裏面研削の程度および使用される表面保護フィルムの厚さならびに/または剥離テープの高さに応じて押付手段の高さを正確に調節できる。
すなわち7番目の発明においては、ウェーハ支持時には対応するダイシングテープの一部分が溝内に落込むので、剥離テープとダイシングテープとが接着するのをさらに防止できる。
すなわち8番目の発明においては、剥離テープ貼付手段をストロークエンドの手前で保持できるので剥離テープ貼付手段を円滑に移動させられる。
すなわち10番目の発明においては、剥離テープ貼付手段が剥離テープを介して表面保護フィルムに及ぼす力を完全に零にできるので、ウェーハに割れ、クラックまたは内部歪みが生ずるのをさらに防止できる。
すなわち11番目の発明においては、ウェーハの裏面研削の程度および使用される表面保護フィルムの厚さならびに/または剥離テープの高さに応じて押付手段の高さを正確に調節できる。
図1は本発明に基づく剥離テープ貼付ユニットを備えた表面保護フィルム剥離装置の概略断面図である。表面保護フィルム剥離装置10に供給されるウェーハ20は、図10を参照して説明したように、バックグラインドによりその裏面が表面側の面取部26まで研削されており、ウェーハ20の厚さは例えば100マイクロメートル以下であるものとする。また、公知であるように、ウェーハ20の表面には、半導体素子を保護する表面保護フィルム11が既に貼付けられているものとする。さらに、ウェーハ20の研削面22にはダイシングテープ3が貼付けられており、ウェーハ20はダイシングテープ3によってマウントフレーム36と一体化されているものとする。
これら図面に示される剥離部材46’はブロック46aと、このブロック46aの下面に設けられた湾曲部46bとを含んでいる。図示されるように、湾曲部46bはウェーハ20の外形の一部分に対応した形状であり、また湾曲部46bの断面は矩形になっている。なお、図9(a)および図9(b)には示さないものの、剥離部材46’は、剥離ロール46と同様に回動アーム68に取付けられているものとする。
湾曲部46bの下面がウェーハ20の外形に概ね対応するように剥離部材46’を配置する。このとき、湾曲部46bの外側縁部46cが縁部11a付近に位置するようになる。次いで、前述したのと同様な手法で剥離テープ4をウェーハ20の表面保護フィルム11に貼付ける。このような実施形態においては、湾曲部46bがウェーハ20の外形の一部分に対応しているので、剥離テープ4は必要最小限な箇所においてのみ押圧される。従って、剥離テープ4の貼付時に剥離テープ4がダイシングテープ3に付着するのがさらに防止される。なお、ブロック46aの外側縁部46dと湾曲部46bの外側縁部46cとが同一平面になっている構成でもよい。
4 剥離テープ
10 表面保護フィルム剥離装置
11 表面保護フィルム
11a、11b 縁部
20 ウェーハ
21 表面
22 裏面(研削面)
28 一端
29 他端
31 可動テーブル
36 マウントフレーム
42 供給部
43 巻取部
46 剥離ロール(剥離テープ貼付手段)
60 剥離テープ貼付ユニット(剥離テープ貼付装置)
61 ボールネジ
62 シャフト
63 カバーガイド部
64、65 固定ブロック
66 固定アーム
67 回動軸部
68 回動アーム
69 プレート
71 高さセンサ
72 位置センサ
76 ピーリングバー
77 加熱部
80 エアシリンダ(押付手段)
81 ケーシング
82 孔
83 ロッド
85 フランジ(ストッパ)
86 ローラ
90 制御部
91 吸着通路
92 環状溝
95 駆動部
96 入力部
99 留具
F 押付力
Claims (11)
- ウェーハの表面に貼付けられた表面保護フィルムに剥離テープを貼付ける剥離テープ貼付装置において、
前記表面保護フィルムを上方に向けて前記ウェーハを支持すると共に水平方向に移動可能な可動テーブルと、
該可動テーブルに支持された前記ウェーハの前記表面保護フィルム上に前記剥離テープを繰出す繰出手段と、
該繰出手段により繰出された前記剥離テープを前記ウェーハの前記表面保護フィルム上に貼付ける剥離テープ貼付手段と、
前記剥離テープを介して前記剥離テープ貼付手段を前記ウェーハの前記表面保護フィルムに押付けて押付力を掛ける押付手段と、を具備し、
前記押付手段は、前記可動テーブルにより前記ウェーハの一端が前記剥離テープ貼付手段の下方に位置しているときに前記剥離テープを介して前記剥離テープ貼付手段を前記表面保護フィルムに押付けて押付力を掛け、前記可動テーブルが前記ウェーハの他端に向かって前記前記剥離テープ貼付手段から所定距離だけ移動すると前記押付力を解除するようにした剥離テープ貼付装置。 - 前記押付力が解除されるときには前記剥離テープ貼付手段と前記表面保護フィルムとの間に隙間が形成されるようにした請求項1に記載の剥離テープ貼付装置。
- 前記表面保護フィルムが貼付けられた前記ウェーハの表面とは反対側に位置する前記ウェーハの裏面が予め研削されている請求項1または2に記載の剥離テープ貼付装置。
- 前記剥離テープ貼付手段は、前記押付手段に設けられた回動軸回りに回動可能な回動手段の先端に取付けられている請求項1から3のいずれか一項に記載の剥離テープ貼付装置。
- 前記可動テーブルの移動方向に対して垂直な回動手段の幅は前記剥離テープの幅よりも小さいかまたは前記剥離テープの幅に概ね等しいようにした請求項4に記載の剥離テープ貼付装置。
- さらに、前記剥離テープ貼付手段の高さを調節する高さ調節手段と、
前記ウェーハの厚さおよび前記表面保護フィルムの厚さを入力する入力手段と前記繰出手段により繰出された前記剥離テープの高さを検出する高さ検出手段とのうちの少なくとも一方を具備し、
前記高さ調節手段は、前記入力手段により入力された前記ウェーハの厚さおよび前記表面保護フィルムの厚さならびに/または前記高さ検出手段により検出された前記剥離テープの高さに基づいて、前記剥離テープ貼付手段の高さを調節する請求項1から5のいずれか一項に記載の剥離テープ貼付装置。 - ダイシングテープが前記ウェーハの裏面とマウントフレームの下面とに貼付けられていて前記ウェーハと前記マウントフレームとが一体化されており、
前記可動テーブルの頂面には、前記マウントフレームと前記ウェーハとの間の前記ダイシングテープの一部分に対応する溝が形成されている請求項1から6のいずれか一項に記載の剥離テープ貼付装置。 - 前記押付手段がエアシリンダであり、該エアシリンダのロッドをそのストロークエンドの手前で停止させるストッパを含む請求項1から7のいずれか一項に記載の剥離テープ貼付装置。
- ウェーハの表面に貼付けられた表面保護フィルムに剥離テープを貼付ける剥離テープ貼付方法において、
前記表面保護フィルムを上方に向けて前記ウェーハを可動テーブル上に支持し、
前記ウェーハの前記表面保護フィルム上に前記剥離テープを繰出し、
前記ウェーハの一端が剥離テープ貼付手段の下方に位置するように前記可動テーブルを移動させ、
前記剥離テープを介して前記剥離テープ貼付手段を前記ウェーハの前記表面保護フィルムに押付けて押付力を掛け、
前記可動テーブルを前記ウェーハの他端に向かって移動させ、
前記可動テーブルが前記剥離テープ貼付手段から所定距離だけ移動すると前記押付力を解除する剥離テープ貼付方法。 - 前記押付力が解除されるときには前記剥離テープ貼付手段と前記表面保護フィルムとの間に隙間が形成されるようにした請求項9に記載の剥離テープ貼付方法。
- さらに、前記ウェーハの厚さおよび前記表面保護フィルムの厚さの入力ならびに/または前記剥離テープの高さを検出し、
前記入力された前記ウェーハの厚さおよび前記表面保護フィルムの厚さならびに/または前記検出された前記剥離テープの高さに基づいて、前記剥離テープ貼付手段の高さを調節することを含む請求項9または10に記載の剥離テープ貼付方法。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006293779A JP4953764B2 (ja) | 2005-11-29 | 2006-10-30 | 剥離テープ貼付方法および剥離テープ貼付装置 |
SG200607948-7A SG132624A1 (en) | 2005-11-29 | 2006-11-13 | Method and apparatus for attaching a peeling tape |
US11/601,047 US7757741B2 (en) | 2005-11-29 | 2006-11-17 | Apparatus for attaching a peeling tape |
EP06124390A EP1791163A3 (en) | 2005-11-29 | 2006-11-20 | Method and apparatus for attaching a peeling tape |
MYPI20064541A MY138782A (en) | 2005-11-29 | 2006-11-21 | Method and apparatus for attaching a peeling tape |
TW095143270A TWI326107B (en) | 2005-11-29 | 2006-11-22 | Method and apparatus for attaching a peeling tape |
KR1020060118642A KR100853307B1 (ko) | 2005-11-29 | 2006-11-28 | 박리 테이프를 부착시키기 위한 방법 및 장치 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005343744 | 2005-11-29 | ||
JP2005343744 | 2005-11-29 | ||
JP2006293779A JP4953764B2 (ja) | 2005-11-29 | 2006-10-30 | 剥離テープ貼付方法および剥離テープ貼付装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007180503A true JP2007180503A (ja) | 2007-07-12 |
JP4953764B2 JP4953764B2 (ja) | 2012-06-13 |
Family
ID=37622225
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006293779A Active JP4953764B2 (ja) | 2005-11-29 | 2006-10-30 | 剥離テープ貼付方法および剥離テープ貼付装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7757741B2 (ja) |
EP (1) | EP1791163A3 (ja) |
JP (1) | JP4953764B2 (ja) |
KR (1) | KR100853307B1 (ja) |
MY (1) | MY138782A (ja) |
SG (1) | SG132624A1 (ja) |
TW (1) | TWI326107B (ja) |
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MY138782A (en) | 2009-07-31 |
EP1791163A2 (en) | 2007-05-30 |
EP1791163A3 (en) | 2008-12-17 |
US7757741B2 (en) | 2010-07-20 |
JP4953764B2 (ja) | 2012-06-13 |
SG132624A1 (en) | 2007-06-28 |
KR100853307B1 (ko) | 2008-08-21 |
TW200726711A (en) | 2007-07-16 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101216 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
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|
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|
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|
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|
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|
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