JPH07183365A - ウエハーマウンタ - Google Patents
ウエハーマウンタInfo
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- JPH07183365A JPH07183365A JP5325648A JP32564893A JPH07183365A JP H07183365 A JPH07183365 A JP H07183365A JP 5325648 A JP5325648 A JP 5325648A JP 32564893 A JP32564893 A JP 32564893A JP H07183365 A JPH07183365 A JP H07183365A
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- JP
- Japan
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- tape
- tape feeding
- feeding unit
- wafer mounter
- unit
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 未だ使用できるＵＶテープを途中で交換する
ことなく、ＵＶテープを最後まで使用することができる
とともに、装置を止めることなくＵＶテープを交換する
ことができ、インラインで一定時間無人化運転すること
ができる。 【構成】 平行に対向するように各々配置されたテープ
５を送る第１，第２のテープ送り部１，２と、該第１，
第２のテープ送り部１，２に各々接続された第１，第２
の電磁クラッチ９，１０と、該第１、第２の電磁クラッ
チ９，１０に挟まれるように該第１，第２の電磁クラッ
チ９，１０に接続されたプーリ１１と、該プーリ１１に
より該第１、第２の電磁クラッチ９，１０と接続され、
かつその動力を該第１、第２の電磁クラッチ９，１０の
切り換えにより該第１、第２のテープ送り部１，２に各
々伝えるテープ送り用モータ８とを有する。
ことなく、ＵＶテープを最後まで使用することができる
とともに、装置を止めることなくＵＶテープを交換する
ことができ、インラインで一定時間無人化運転すること
ができる。 【構成】 平行に対向するように各々配置されたテープ
５を送る第１，第２のテープ送り部１，２と、該第１，
第２のテープ送り部１，２に各々接続された第１，第２
の電磁クラッチ９，１０と、該第１、第２の電磁クラッ
チ９，１０に挟まれるように該第１，第２の電磁クラッ
チ９，１０に接続されたプーリ１１と、該プーリ１１に
より該第１、第２の電磁クラッチ９，１０と接続され、
かつその動力を該第１、第２の電磁クラッチ９，１０の
切り換えにより該第１、第２のテープ送り部１，２に各
々伝えるテープ送り用モータ８とを有する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ウエハーマウンタに係
り、インラインで一定時間無人化運転を行うことができ
るウエハーマウンタに適用することができ、特に、未だ
使用できるＵＶテープを途中で交換することなくＵＶテ
ープを最後まで使用することができるとともに、装置を
止めることなくＵＶテープを交換することができるウエ
ハーマウンタに関する。
り、インラインで一定時間無人化運転を行うことができ
るウエハーマウンタに適用することができ、特に、未だ
使用できるＵＶテープを途中で交換することなくＵＶテ
ープを最後まで使用することができるとともに、装置を
止めることなくＵＶテープを交換することができるウエ
ハーマウンタに関する。
【０００２】近年、チップ処理工程においては、生産効
率の向上及び省力化等からインライン化が進んでいる。
現在は、材料の供給等で作業員が不可欠であるが、イン
ライン化に伴い、発塵の原因である作業員の削減が要求
されるとともに、将来的には、人件費の削減等により無
人化運転が要求されている。この無人化運転を行うため
には、完全な無人化運転を行うことができなくても、一
定時間だけでも無人化運転を行うことができるウエハー
マウンタが要求されている。
率の向上及び省力化等からインライン化が進んでいる。
現在は、材料の供給等で作業員が不可欠であるが、イン
ライン化に伴い、発塵の原因である作業員の削減が要求
されるとともに、将来的には、人件費の削減等により無
人化運転が要求されている。この無人化運転を行うため
には、完全な無人化運転を行うことができなくても、一
定時間だけでも無人化運転を行うことができるウエハー
マウンタが要求されている。
【０００３】
【従来の技術】図１１は従来のウエハーマウンタの構成
を示す斜視図であり、図１２は図１１に示すウエハーマ
ウンタにおけるテープ送り部分の構成を示す平面図であ
る。図１１，１２において、１０１は搬送ベルト１０２
及びテープ送り部１０３が配置された支持台であり、１
０４はテープ送り部１０３に１本セットされたＵＶテー
プであり、１０５はＵＶテープ１０４を使い切ってテー
プ切れを検知するテープ終了検知センサであり、１０６
はＵＶテープ１０４をカットするカッター部であり、１
０７はカッター部１０６を上下させるカッター部シリン
ダであり、１０８はテープ送り部１０３を駆動させるテ
ープ送り用モータである。
を示す斜視図であり、図１２は図１１に示すウエハーマ
ウンタにおけるテープ送り部分の構成を示す平面図であ
る。図１１，１２において、１０１は搬送ベルト１０２
及びテープ送り部１０３が配置された支持台であり、１
０４はテープ送り部１０３に１本セットされたＵＶテー
プであり、１０５はＵＶテープ１０４を使い切ってテー
プ切れを検知するテープ終了検知センサであり、１０６
はＵＶテープ１０４をカットするカッター部であり、１
０７はカッター部１０６を上下させるカッター部シリン
ダであり、１０８はテープ送り部１０３を駆動させるテ
ープ送り用モータである。
【０００４】従来のウエハーマウンタにおいては、ＵＶ
テープ１０４が一本しかセットすることができないた
め、そのセットした１本のＵＶテープ１０４を使用して
しまうと、その使用済みのＵＶテープ１０４を取り出し
て再度新たにＵＶテープ１０４をセットして交換しなけ
ればならず、インラインでの無人化運転を行うのが困難
である。そこで、長く連続運転するには、短いＵＶテー
プを供給するよりも長いＵＶテープ１０４を供給すれば
良いと考えられる。しかしながら、単に長いＵＶテープ
１０４を供給するだけでは、ＵＶテープ１０４が何時終
了するかが判らない他、作業員の勤務時間は決まってお
り、夜間ＵＶテープ１０４が終了した場合に作業員が居
ないと、ＵＶテープ１０４の交換を行うことができず、
作業員がウエハーマウンタの所まで来るまで停止したま
まとなってしまう。
テープ１０４が一本しかセットすることができないた
め、そのセットした１本のＵＶテープ１０４を使用して
しまうと、その使用済みのＵＶテープ１０４を取り出し
て再度新たにＵＶテープ１０４をセットして交換しなけ
ればならず、インラインでの無人化運転を行うのが困難
である。そこで、長く連続運転するには、短いＵＶテー
プを供給するよりも長いＵＶテープ１０４を供給すれば
良いと考えられる。しかしながら、単に長いＵＶテープ
１０４を供給するだけでは、ＵＶテープ１０４が何時終
了するかが判らない他、作業員の勤務時間は決まってお
り、夜間ＵＶテープ１０４が終了した場合に作業員が居
ないと、ＵＶテープ１０４の交換を行うことができず、
作業員がウエハーマウンタの所まで来るまで停止したま
まとなってしまう。
【０００５】そこで、作業員が居なくなる前にＵＶテー
プ１０４の使用量を確認し、ＵＶテープ１０４が終了し
そうな場合に、前もって終了しそうなＵＶテープ１０４
を新品のＵＶテープ１０４と交換しておけば、新品のＵ
Ｖテープ１０４を使用することができるので、作業員が
居なくなってもできるだけ長時間ＵＶテープ１０４を使
用することができる。しかしながら、未だ使用できるＵ
Ｖテープ１０４を途中で交換することになってしまい、
ＵＶテープ１０４を最後まで使用することができなくな
ってしまう。
プ１０４の使用量を確認し、ＵＶテープ１０４が終了し
そうな場合に、前もって終了しそうなＵＶテープ１０４
を新品のＵＶテープ１０４と交換しておけば、新品のＵ
Ｖテープ１０４を使用することができるので、作業員が
居なくなってもできるだけ長時間ＵＶテープ１０４を使
用することができる。しかしながら、未だ使用できるＵ
Ｖテープ１０４を途中で交換することになってしまい、
ＵＶテープ１０４を最後まで使用することができなくな
ってしまう。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記したように、従来
のウエハーマウンタでは、インライン化した場合では、
ＵＶテープ１０４が何時終了するかが判らないため、Ｕ
Ｖテープ１０４が終了した時に何時も作業員が居ない
と、ＵＶテープ１０４の交換を行うことができず、作業
員がウエハーマウンタの所まで来るまでラインが停止し
たままとなってしまうという問題があった。
のウエハーマウンタでは、インライン化した場合では、
ＵＶテープ１０４が何時終了するかが判らないため、Ｕ
Ｖテープ１０４が終了した時に何時も作業員が居ない
と、ＵＶテープ１０４の交換を行うことができず、作業
員がウエハーマウンタの所まで来るまでラインが停止し
たままとなってしまうという問題があった。
【０００７】また、上記したように、作業員が居なくな
る前にＵＶテープ１０４の使用量を確認し、ＵＶテープ
１０４が終了しそうな時に前もって終了しそうなＵＶテ
ープ１０４を新品のＵＶテープ１０４と交換する場合で
は、未だ使用できるＵＶテープ１０４を途中で交換する
ことになってしまい、ＵＶテープ１０４を最後まで使用
することができないという問題が生じてしまう。
る前にＵＶテープ１０４の使用量を確認し、ＵＶテープ
１０４が終了しそうな時に前もって終了しそうなＵＶテ
ープ１０４を新品のＵＶテープ１０４と交換する場合で
は、未だ使用できるＵＶテープ１０４を途中で交換する
ことになってしまい、ＵＶテープ１０４を最後まで使用
することができないという問題が生じてしまう。
【０００８】そこで、本発明は、未だ使用できるＵＶテ
ープを途中で交換することなく、ＵＶテープを最後まで
使用することができるとともに、装置を止めることなく
ＵＶテープを交換することができ、インラインで一定時
間無人化運転することができるウエハーマウンタを提供
することを目的とする。
ープを途中で交換することなく、ＵＶテープを最後まで
使用することができるとともに、装置を止めることなく
ＵＶテープを交換することができ、インラインで一定時
間無人化運転することができるウエハーマウンタを提供
することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
平行に対向するように各々配置されたテープを送る第
１、第２のテープ送り部と、該第１、第２のテープ送り
部に各々接続された第１、第２の電磁クラッチと、該第
１、第２の電磁クラッチに挟まれるように該第１、第２
の電磁クラッチに接続されたプーリと、該プーリにより
該第１、第２の電磁クラッチと接続され、かつその動力
を該第１、第２の電磁クラッチの切り換えにより該第
１、第２のテープ送り部に各々伝えるテープ送り用モー
タとを有することを特徴とするものである。
平行に対向するように各々配置されたテープを送る第
１、第２のテープ送り部と、該第１、第２のテープ送り
部に各々接続された第１、第２の電磁クラッチと、該第
１、第２の電磁クラッチに挟まれるように該第１、第２
の電磁クラッチに接続されたプーリと、該プーリにより
該第１、第２の電磁クラッチと接続され、かつその動力
を該第１、第２の電磁クラッチの切り換えにより該第
１、第２のテープ送り部に各々伝えるテープ送り用モー
タとを有することを特徴とするものである。
【００１０】請求項２記載の発明は、上記請求項１記載
の発明において、前記第１、第２のテープ送り部にテー
プ切れを検知するテープ切れセンサを設けてなることを
特徴とするものである。請求項３記載の発明は、上記請
求項１、２記載の発明において、前記第１、第２のテー
プ送り部を合わせてスライドさせるスライドユニットを
設けてなることを特徴とするものである。
の発明において、前記第１、第２のテープ送り部にテー
プ切れを検知するテープ切れセンサを設けてなることを
特徴とするものである。請求項３記載の発明は、上記請
求項１、２記載の発明において、前記第１、第２のテー
プ送り部を合わせてスライドさせるスライドユニットを
設けてなることを特徴とするものである。
【００１１】請求項４記載の発明は、上記請求項１，２
記載の発明において、前記第１、第２のテープ送り部の
両方に、前記第１、第２のテープ送り部で処理したテー
プを搬送する搬送手段を設けてなることを特徴とするも
のである。請求項５記載の発明は、施回ステージを所定
の角度で施回させる施回手段と、該施回ステージ上に所
定の角度で各々配置された第１、第２のテープ送り部と
を有することを特徴とするものである。
記載の発明において、前記第１、第２のテープ送り部の
両方に、前記第１、第２のテープ送り部で処理したテー
プを搬送する搬送手段を設けてなることを特徴とするも
のである。請求項５記載の発明は、施回ステージを所定
の角度で施回させる施回手段と、該施回ステージ上に所
定の角度で各々配置された第１、第２のテープ送り部と
を有することを特徴とするものである。
【００１２】
【作用】請求項１記載の発明では、後述する実施例１の
図１〜４に示す如く、テープ送り用モータ８の動力を、
電磁クラッチ９，１０の切り換えによりテープ送り部
１，２に各々伝えることができるように構成するため、
テープ送り部１側のＵＶテープ５を使い切るまでテープ
送り部２側のＵＶテープ５を使用しないで済ませること
ができ、テープ送り部１側のＵＶテープ５を使い切った
後、電磁クラッチ９，１０を切り換えることにより、未
使用のテープ送り部２側のＵＶテープ５を使い切るまで
使用することができる。従って、未だ使用できるＵＶテ
ープ５を交換することなく、しかも装置を止めることな
く、かつ作業者が居なくても少なくとも２本のＵＶテー
プ５を連続して使用することができる。そして、このテ
ープ送り部２側のＵＶテープ５を使用する時に、予めテ
ープ送り部１側の使用済みのＵＶテープ５を新品のＵＶ
テープ５と交換し、テープ送り部２側のＵＶテープ５を
使い切った後、再度交換したテープ送り部１側のＵＶテ
ープ５を使用し、この時、予めテープ送り部２側の使用
済みのＵＶテープ５を新品のＵＶテープ５と交換し、こ
の一連のサイクルをテープ送り部１側とテープ送り部２
側で交互に繰り返すことで装置を止めることなく連続運
転することができる。
図１〜４に示す如く、テープ送り用モータ８の動力を、
電磁クラッチ９，１０の切り換えによりテープ送り部
１，２に各々伝えることができるように構成するため、
テープ送り部１側のＵＶテープ５を使い切るまでテープ
送り部２側のＵＶテープ５を使用しないで済ませること
ができ、テープ送り部１側のＵＶテープ５を使い切った
後、電磁クラッチ９，１０を切り換えることにより、未
使用のテープ送り部２側のＵＶテープ５を使い切るまで
使用することができる。従って、未だ使用できるＵＶテ
ープ５を交換することなく、しかも装置を止めることな
く、かつ作業者が居なくても少なくとも２本のＵＶテー
プ５を連続して使用することができる。そして、このテ
ープ送り部２側のＵＶテープ５を使用する時に、予めテ
ープ送り部１側の使用済みのＵＶテープ５を新品のＵＶ
テープ５と交換し、テープ送り部２側のＵＶテープ５を
使い切った後、再度交換したテープ送り部１側のＵＶテ
ープ５を使用し、この時、予めテープ送り部２側の使用
済みのＵＶテープ５を新品のＵＶテープ５と交換し、こ
の一連のサイクルをテープ送り部１側とテープ送り部２
側で交互に繰り返すことで装置を止めることなく連続運
転することができる。
【００１３】請求項２記載の発明では、後述する実施例
１の図１〜４に示す如く、テープ送り部１，２にＵＶテ
ープ５のテープ切れを検知するテープ終了検知センサ３
を有するように構成するため、テープ送り部１側とテー
プ送り部２側でのＵＶテープ５のテープ切れを検知する
ことができ、電磁クラッチ９，１０の切り換え時期を正
確に知らせることができる。
１の図１〜４に示す如く、テープ送り部１，２にＵＶテ
ープ５のテープ切れを検知するテープ終了検知センサ３
を有するように構成するため、テープ送り部１側とテー
プ送り部２側でのＵＶテープ５のテープ切れを検知する
ことができ、電磁クラッチ９，１０の切り換え時期を正
確に知らせることができる。
【００１４】請求項３記載の発明では、後述する実施例
１の図１〜４に示す如く、テープ送り部１，２をスライ
ドさせるスライドユニット１４を有するように構成する
ため、テープ送り部１側とテープ送り部２側を所定位
置、即ちカッター部４でカットした紙を搬送ベルト１３
で搬送させる作業位置及び使用済みのＵＶテープ５を新
品のＵＶテープ５に取り替える作業位置に各々搬送する
ことができる。
１の図１〜４に示す如く、テープ送り部１，２をスライ
ドさせるスライドユニット１４を有するように構成する
ため、テープ送り部１側とテープ送り部２側を所定位
置、即ちカッター部４でカットした紙を搬送ベルト１３
で搬送させる作業位置及び使用済みのＵＶテープ５を新
品のＵＶテープ５に取り替える作業位置に各々搬送する
ことができる。
【００１５】請求項４記載の発明では、後述する実施例
２の図５〜７に示す如く、テープ送り部１，２の両方に
カッター部４でカットしたＵＶテープ５を搬送する搬送
ベルト１３で構成される搬送手段を設けてなるように構
成するため、テープ送り部１とテープ送り部２をスライ
ドさせなくても各々同じ位置で運転することができ、ス
ライドさせる場合よりも部品数は多くなるが、装置スペ
ースを縮小することができる。
２の図５〜７に示す如く、テープ送り部１，２の両方に
カッター部４でカットしたＵＶテープ５を搬送する搬送
ベルト１３で構成される搬送手段を設けてなるように構
成するため、テープ送り部１とテープ送り部２をスライ
ドさせなくても各々同じ位置で運転することができ、ス
ライドさせる場合よりも部品数は多くなるが、装置スペ
ースを縮小することができる。
【００１６】請求項５記載の発明では、後述する実施例
３の図８〜１０に示す如く、テープ送り部２側のＵＶテ
ープ５を使用しないでテープ送り部１側のＵＶテープ５
を使い切るまで使用することができ、テープ送り部１側
のＵＶテープ５を使い切った後、施回ステージ２１上の
テープ送り部１，２を施回することにより、未使用のテ
ープ送り部２側のＵＶテープ５を、使い切ったテープ送
り部１側のＵＶテープ５の搬送ベルト１３上に配置し
て、テープ送り部２側のＵＶテープ５を使い切るまで使
用することができる。従って、未だ使用できるＵＶテー
プ５を交換することなく、しかも装置を止めることな
く、かつ作業者が居なくても少なくとも２本のＵＶテー
プ５を連続して使用することができる。そして、このテ
ープ送り部２側のＵＶテープ５を使用する時に、予めテ
ープ送り部１側の使用済みのＵＶテープ５を新品のＵＶ
テープ５と交換し、テープ送り部２側のＵＶテープ５を
使い切った後、再度交換したテープ送り部１側のＵＶテ
ープ５を使用し、この時、予めテープ送り部２側の使用
済みのＵＶテープ５を新品のＵＶテープ５と交換し、こ
の一連のサイクルをテープ送り部１側とテープ送り部２
側で交互に繰り返すことで装置を止めることなく連続運
転することができる。
３の図８〜１０に示す如く、テープ送り部２側のＵＶテ
ープ５を使用しないでテープ送り部１側のＵＶテープ５
を使い切るまで使用することができ、テープ送り部１側
のＵＶテープ５を使い切った後、施回ステージ２１上の
テープ送り部１，２を施回することにより、未使用のテ
ープ送り部２側のＵＶテープ５を、使い切ったテープ送
り部１側のＵＶテープ５の搬送ベルト１３上に配置し
て、テープ送り部２側のＵＶテープ５を使い切るまで使
用することができる。従って、未だ使用できるＵＶテー
プ５を交換することなく、しかも装置を止めることな
く、かつ作業者が居なくても少なくとも２本のＵＶテー
プ５を連続して使用することができる。そして、このテ
ープ送り部２側のＵＶテープ５を使用する時に、予めテ
ープ送り部１側の使用済みのＵＶテープ５を新品のＵＶ
テープ５と交換し、テープ送り部２側のＵＶテープ５を
使い切った後、再度交換したテープ送り部１側のＵＶテ
ープ５を使用し、この時、予めテープ送り部２側の使用
済みのＵＶテープ５を新品のＵＶテープ５と交換し、こ
の一連のサイクルをテープ送り部１側とテープ送り部２
側で交互に繰り返すことで装置を止めることなく連続運
転することができる。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。 （実施例１）図１は本発明に係る実施例１のウエハーマ
ウンタの構成を示す斜視図であり、図２〜４は図１に示
すウエハーマウンタにおけるテープ送り部から別のテー
プ送り部に交換して連続運転する様子を示す図である。
図１，２において、１，２は２箇所平行に対向するよう
に配置されたテープ送り部であり、３はテープ送り部
１，２の両方に装備されたＵＶテープ５のテープ切れを
検知するテープ切れセンサであり、４はＵＶテープ５を
フレームに張り付け円状に切り取るカッター部である。
そして、７はカッター部４を上下に移動させるカッター
部シリンダであり、８はプーリ１１により電磁クラッチ
９，１０と接続され、その動力を電磁クラッチ９，１０
の切り換えによりテープ送り部１，２に各々伝えるテー
プ送り用モータであり、１３はカッター部４で円状にカ
ットしてフレームに張り付けたＵＶテープ５を搬送する
搬送ベルトであり、１４はテープ送り部１，２をＵＶテ
ープ５をカットして搬送する搬送ベルト１３上の作業位
置と使用済みのＵＶテープ５を交換する作業位置にスラ
イドさせるスライドユニットである。
する。 （実施例１）図１は本発明に係る実施例１のウエハーマ
ウンタの構成を示す斜視図であり、図２〜４は図１に示
すウエハーマウンタにおけるテープ送り部から別のテー
プ送り部に交換して連続運転する様子を示す図である。
図１，２において、１，２は２箇所平行に対向するよう
に配置されたテープ送り部であり、３はテープ送り部
１，２の両方に装備されたＵＶテープ５のテープ切れを
検知するテープ切れセンサであり、４はＵＶテープ５を
フレームに張り付け円状に切り取るカッター部である。
そして、７はカッター部４を上下に移動させるカッター
部シリンダであり、８はプーリ１１により電磁クラッチ
９，１０と接続され、その動力を電磁クラッチ９，１０
の切り換えによりテープ送り部１，２に各々伝えるテー
プ送り用モータであり、１３はカッター部４で円状にカ
ットしてフレームに張り付けたＵＶテープ５を搬送する
搬送ベルトであり、１４はテープ送り部１，２をＵＶテ
ープ５をカットして搬送する搬送ベルト１３上の作業位
置と使用済みのＵＶテープ５を交換する作業位置にスラ
イドさせるスライドユニットである。
【００１８】本実施例では、図１，２に示すように、２
つの平行に並んだテープ送り部１，２の内、テープ送り
部１で運転を開始する。この場合、プーリ１１は、テー
プ送り部１側の電磁クラッチ９とロックされ、テープ送
り部２側の電磁クラッチ１０とはフリーになり、テープ
送り用モータ８の動力は、テープ送り部２には伝わらず
にテープ送り部１へと伝わる（図２）。次いで、テープ
切れセンサ３によりテープ送り部１側のＵＶテープ５の
テープ切れが判った場合（図３）、カッター部シリンダ
７でカッター部４を上げて、テープ送り部１，２をスラ
イドユニット１４により両方合わせて各々所定位置にス
ライドさせる。この時、未使用のＵＶテープ５を有する
テープ送り部２は、搬送ベルト１３上の作業位置にスラ
イドされ、使用済みのＵＶテープ５を有するテープ送り
部１は、ＵＶテープ５を交換する作業位置にスライドさ
れる。次いで、スライドユニット１４でテープ送り部
１，２をスライド終了させた後、プーリ１１は、テープ
送り部２側の電磁クラッチ１０とロックされ、テープ送
り部１側の電磁クラッチ９とはフリーになり、テープ送
り用モータ８の動力は、テープ送り部１には伝わらずに
テープ送り部２へと伝わる。
つの平行に並んだテープ送り部１，２の内、テープ送り
部１で運転を開始する。この場合、プーリ１１は、テー
プ送り部１側の電磁クラッチ９とロックされ、テープ送
り部２側の電磁クラッチ１０とはフリーになり、テープ
送り用モータ８の動力は、テープ送り部２には伝わらず
にテープ送り部１へと伝わる（図２）。次いで、テープ
切れセンサ３によりテープ送り部１側のＵＶテープ５の
テープ切れが判った場合（図３）、カッター部シリンダ
７でカッター部４を上げて、テープ送り部１，２をスラ
イドユニット１４により両方合わせて各々所定位置にス
ライドさせる。この時、未使用のＵＶテープ５を有する
テープ送り部２は、搬送ベルト１３上の作業位置にスラ
イドされ、使用済みのＵＶテープ５を有するテープ送り
部１は、ＵＶテープ５を交換する作業位置にスライドさ
れる。次いで、スライドユニット１４でテープ送り部
１，２をスライド終了させた後、プーリ１１は、テープ
送り部２側の電磁クラッチ１０とロックされ、テープ送
り部１側の電磁クラッチ９とはフリーになり、テープ送
り用モータ８の動力は、テープ送り部１には伝わらずに
テープ送り部２へと伝わる。
【００１９】このように、本実施例では、テープ送り用
モータ８の動力を電磁クラッチ９，１０の切り換えによ
りテープ送り部１，２に各々伝えることができるように
構成するため、テープ送り部１側のＵＶテープ５を使い
切るまでテープ送り部２側のＵＶテープ５を使用しない
でおくことができる。そして、テープ送り部１側のＵＶ
テープ５を使い切ってＵＶテープ５のテープ切れをテー
プ終了検知センサ３により検知した時、テープ送り部
１，２をスライドユニット１４により各々所定位置まで
スライドさせて、今度は未使用のテープ送り部２側のＵ
Ｖテープ５を使い切るまで使用することができる。この
ため、テープ送り用モータ８を１つで済ませることがで
きるうえ、未だ使用できるＵＶテープ５を交換すること
なく、かつ装置を止めることなくテープ送り部１及びテ
ープ送り部２側の２本のＵＶテープ５を連続して必ず使
い切ることができ、しかも、その間テープ送り部１の終
了間際で作業員が居なくなったとしてもこの間は無人化
運転を行うことができる。また、テープ送り部２もテー
プ送り部１と同様な機能を持っているため、ＵＶテープ
５の交換をテープ送り部１側とテープ送り部２側の両方
共終了する前に各々行えば、即ち、テープ送り部１側の
終了する前にテープ送り部２側を新品のＵＶテープ５と
交換し、テープ送り部２側の終了する前にテープ送り部
１側を新品のＵＶテープ５と交換することにより、テー
プ送り部２で運転を継続した場合もテープ送り部１と入
れ代えることで装置を止めることなく連続運転を行うこ
とができる。
モータ８の動力を電磁クラッチ９，１０の切り換えによ
りテープ送り部１，２に各々伝えることができるように
構成するため、テープ送り部１側のＵＶテープ５を使い
切るまでテープ送り部２側のＵＶテープ５を使用しない
でおくことができる。そして、テープ送り部１側のＵＶ
テープ５を使い切ってＵＶテープ５のテープ切れをテー
プ終了検知センサ３により検知した時、テープ送り部
１，２をスライドユニット１４により各々所定位置まで
スライドさせて、今度は未使用のテープ送り部２側のＵ
Ｖテープ５を使い切るまで使用することができる。この
ため、テープ送り用モータ８を１つで済ませることがで
きるうえ、未だ使用できるＵＶテープ５を交換すること
なく、かつ装置を止めることなくテープ送り部１及びテ
ープ送り部２側の２本のＵＶテープ５を連続して必ず使
い切ることができ、しかも、その間テープ送り部１の終
了間際で作業員が居なくなったとしてもこの間は無人化
運転を行うことができる。また、テープ送り部２もテー
プ送り部１と同様な機能を持っているため、ＵＶテープ
５の交換をテープ送り部１側とテープ送り部２側の両方
共終了する前に各々行えば、即ち、テープ送り部１側の
終了する前にテープ送り部２側を新品のＵＶテープ５と
交換し、テープ送り部２側の終了する前にテープ送り部
１側を新品のＵＶテープ５と交換することにより、テー
プ送り部２で運転を継続した場合もテープ送り部１と入
れ代えることで装置を止めることなく連続運転を行うこ
とができる。
【００２０】また、本実施例では、テープ送り部１，２
にＵＶテープ５のテープ切れを検知するテープ終了検知
センサ３を有するように構成するため、テープ送り部１
側とテープ送り部２側でのＵＶテープ５のテープ切れを
検知することができ、電磁クラッチ９，１０の切り換え
時期を正確に知らせることができる。また、本実施例で
は、テープ送り部１，２をスライドさせるスライドユニ
ット１４を有するように構成するため、テープ送り部１
側とテープ送り部２側を所定位置、即ちカッター部４で
カットした紙を搬送ベルト１３で搬送させる作業位置及
び使用済みのＵＶテープ５を新品のＵＶテープ５に取り
替える作業位置に各々搬送することができる。
にＵＶテープ５のテープ切れを検知するテープ終了検知
センサ３を有するように構成するため、テープ送り部１
側とテープ送り部２側でのＵＶテープ５のテープ切れを
検知することができ、電磁クラッチ９，１０の切り換え
時期を正確に知らせることができる。また、本実施例で
は、テープ送り部１，２をスライドさせるスライドユニ
ット１４を有するように構成するため、テープ送り部１
側とテープ送り部２側を所定位置、即ちカッター部４で
カットした紙を搬送ベルト１３で搬送させる作業位置及
び使用済みのＵＶテープ５を新品のＵＶテープ５に取り
替える作業位置に各々搬送することができる。
【００２１】（実施例２）図５〜７は本発明に係る実施
例２のウエハーマウンタにおけるテープ送り部の両方に
搬送系を設けて運転する様子を示す図である。図５〜７
において、図１〜４と同一符号は、同一又は相当部分を
示す。実施例１では、テープ送り部１，２の片側に搬送
ベルト１３を設けた場合について説明したが、本実施例
では、２つの平行に並んだテープ送り部１，２の両方に
カッター部４でカットしたＵＶテープ５をフレーム６に
張り付けて搬送する搬送ベルト１３を設け、このフレー
ム６に張り付けられたＵＶテープ５をアーム１２により
吸着して搬送する。まず、テープ送り部１で運転を開始
する場合、フレーム６をアーム１２により吸着してテー
プ送り部１側へ搬送し、テープ送り部１側のカッター部
４でカットしたＵＶテープ５をフレーム６に張り付ける
（図５）。そして、テープ送り部１側に設置したテープ
終了検知センサ３によりテープ送り部１側のＵＶテープ
５のテープ切れが判った場合（図６）、カッター部４を
モータ及びシリンダによりスライドさせ、フレーム６を
アーム１２により吸着してテープ送り部２側へ搬送し、
カッター部４でカットしたＵＶテープ５をフレーム６に
張り付ける（図７）。なお、テープ送り用モータ８及び
電磁クラッチ９，１０の動きは、実施例１と同様な働き
をするので、ここではその説明を省略する。
例２のウエハーマウンタにおけるテープ送り部の両方に
搬送系を設けて運転する様子を示す図である。図５〜７
において、図１〜４と同一符号は、同一又は相当部分を
示す。実施例１では、テープ送り部１，２の片側に搬送
ベルト１３を設けた場合について説明したが、本実施例
では、２つの平行に並んだテープ送り部１，２の両方に
カッター部４でカットしたＵＶテープ５をフレーム６に
張り付けて搬送する搬送ベルト１３を設け、このフレー
ム６に張り付けられたＵＶテープ５をアーム１２により
吸着して搬送する。まず、テープ送り部１で運転を開始
する場合、フレーム６をアーム１２により吸着してテー
プ送り部１側へ搬送し、テープ送り部１側のカッター部
４でカットしたＵＶテープ５をフレーム６に張り付ける
（図５）。そして、テープ送り部１側に設置したテープ
終了検知センサ３によりテープ送り部１側のＵＶテープ
５のテープ切れが判った場合（図６）、カッター部４を
モータ及びシリンダによりスライドさせ、フレーム６を
アーム１２により吸着してテープ送り部２側へ搬送し、
カッター部４でカットしたＵＶテープ５をフレーム６に
張り付ける（図７）。なお、テープ送り用モータ８及び
電磁クラッチ９，１０の動きは、実施例１と同様な働き
をするので、ここではその説明を省略する。
【００２２】このため、本実施例では、実施例１と同様
テープ送り用モータ８の動力を電磁クラッチ９，１０の
切り換えによりテープ送り部１，２に各々伝えることが
できるように構成したため、実施例１と同様の効果を得
ることができる他、テープ送り部１側とテープ送り部２
側に各々搬送ベルト１３によりカッター部４でカットし
たＵＶテープ５を搬送することができるように構成した
ため、テープ送り部１とテープ送り部２を実施例１のよ
うにスライドさせなくても各々同じ位置で実施例１と同
様に運転することができ、実施例１よりも部品数は多く
なるが、実施例１よりも装置スペースを縮小することが
できる。
テープ送り用モータ８の動力を電磁クラッチ９，１０の
切り換えによりテープ送り部１，２に各々伝えることが
できるように構成したため、実施例１と同様の効果を得
ることができる他、テープ送り部１側とテープ送り部２
側に各々搬送ベルト１３によりカッター部４でカットし
たＵＶテープ５を搬送することができるように構成した
ため、テープ送り部１とテープ送り部２を実施例１のよ
うにスライドさせなくても各々同じ位置で実施例１と同
様に運転することができ、実施例１よりも部品数は多く
なるが、実施例１よりも装置スペースを縮小することが
できる。
【００２３】（実施例３）図８〜１０は本発明に係る実
施例３のウエハーマウンタにおけるテープ送り部の動き
を示す図である。本実施例では、施回ステージ２１に
は、施回ステージ２１を９０度施回させるモータ及び回
転シリンダが設けられており、更に、この施回ステージ
２１上には、９０度ずれて各々テープ送り部１，２が配
置されて構成されている。そして、施回ステージ２１上
の２つの９０度ずれたテープ送り部１，２の内、まず、
テープ送り部１で運転を開始し（図８）、テープ終了検
知センサ３によりテープ送り部１側のＵＶテープ５のテ
ープ切れが判った場合（図９）、カッター部シリンダで
カッター部４を上げ、施回ステージ２１上に配置された
テープ送り部１，２をモータ及び回転シリンダで９０度
施回させる。この時、未使用のＵＶテープ５を有するテ
ープ送り部２は、搬送ベルト１３上の作業位置に配置さ
れ、使用済みのＵＶテープ５を有するテープ送り部１
は、ＵＶテープ５を交換する作業位置に配置される（図
１０）。
施例３のウエハーマウンタにおけるテープ送り部の動き
を示す図である。本実施例では、施回ステージ２１に
は、施回ステージ２１を９０度施回させるモータ及び回
転シリンダが設けられており、更に、この施回ステージ
２１上には、９０度ずれて各々テープ送り部１，２が配
置されて構成されている。そして、施回ステージ２１上
の２つの９０度ずれたテープ送り部１，２の内、まず、
テープ送り部１で運転を開始し（図８）、テープ終了検
知センサ３によりテープ送り部１側のＵＶテープ５のテ
ープ切れが判った場合（図９）、カッター部シリンダで
カッター部４を上げ、施回ステージ２１上に配置された
テープ送り部１，２をモータ及び回転シリンダで９０度
施回させる。この時、未使用のＵＶテープ５を有するテ
ープ送り部２は、搬送ベルト１３上の作業位置に配置さ
れ、使用済みのＵＶテープ５を有するテープ送り部１
は、ＵＶテープ５を交換する作業位置に配置される（図
１０）。
【００２４】このように、本実施例では、テープ送り部
２側のＵＶテープ５を使用しないで、テープ送り部１側
のＵＶテープ５を使い切るまで使用することができ、テ
ープ送り部１側のＵＶテープ５を使い切った後、施回ス
テージ２１上のテープ送り部１，２を施回して、未使用
のＵＶテープ５を有するテープ送り部２側を使い切った
ＵＶテープ５を有するテープ送り部１側の搬送ベルト１
３上の作業位置に配置して、テープ送り部２側のＵＶテ
ープ５を使い切るまで使用することができる。従って、
未だ使用できるＵＶテープ５を交換することなく、しか
も装置を止めることなく、かつ作業員が居なくても少な
くとも２本のＵＶテープ５を連続して使用することがで
きる。そして、このテープ送り部２側のＵＶテープ５を
使用する時に、予めテープ送り部１側の使用済みのＵＶ
テープ５を新品のＵＶテープ５と交換し、テープ送り部
２側のＵＶテープ５を使い切った後、再度交換したテー
プ送り部１側のＵＶテープ５を使用し、この時、予めテ
ープ送り部２側の使用済みのＵＶテープ５を新品のＵＶ
テープ５と交換し、この一連のサイクルをテープ送り部
１側とテープ送り部２側で交互に繰り返すことで装置を
止めることなく連続運転することができる。
２側のＵＶテープ５を使用しないで、テープ送り部１側
のＵＶテープ５を使い切るまで使用することができ、テ
ープ送り部１側のＵＶテープ５を使い切った後、施回ス
テージ２１上のテープ送り部１，２を施回して、未使用
のＵＶテープ５を有するテープ送り部２側を使い切った
ＵＶテープ５を有するテープ送り部１側の搬送ベルト１
３上の作業位置に配置して、テープ送り部２側のＵＶテ
ープ５を使い切るまで使用することができる。従って、
未だ使用できるＵＶテープ５を交換することなく、しか
も装置を止めることなく、かつ作業員が居なくても少な
くとも２本のＵＶテープ５を連続して使用することがで
きる。そして、このテープ送り部２側のＵＶテープ５を
使用する時に、予めテープ送り部１側の使用済みのＵＶ
テープ５を新品のＵＶテープ５と交換し、テープ送り部
２側のＵＶテープ５を使い切った後、再度交換したテー
プ送り部１側のＵＶテープ５を使用し、この時、予めテ
ープ送り部２側の使用済みのＵＶテープ５を新品のＵＶ
テープ５と交換し、この一連のサイクルをテープ送り部
１側とテープ送り部２側で交互に繰り返すことで装置を
止めることなく連続運転することができる。
【００２５】
【発明の効果】本発明によれば、未だ使用できるＵＶテ
ープを途中で交換することなく、ＵＶテープを最後まで
使用することができるとともに、装置を止めることなく
ＵＶテープを交換することができ、インラインで一定時
間無人化運転することができるという効果がある。
ープを途中で交換することなく、ＵＶテープを最後まで
使用することができるとともに、装置を止めることなく
ＵＶテープを交換することができ、インラインで一定時
間無人化運転することができるという効果がある。
【図１】本発明に係る実施例１のウエハーマウンタの構
成を示す斜視図である。
成を示す斜視図である。
【図２】図１に示すウエハーマウンタにおけるテープ送
り部から別のテープ送り部に交換して連続運転する様子
を示す平面図である。
り部から別のテープ送り部に交換して連続運転する様子
を示す平面図である。
【図３】図１に示すウエハーマウンタにおけるテープ送
り部から別のテープ送り部に交換して連続運転する様子
を示す平面図である。
り部から別のテープ送り部に交換して連続運転する様子
を示す平面図である。
【図４】図１に示すウエハーマウンタにおけるテープ送
り部から別のテープ送り部に交換して連続運転する様子
を示す平面図である。
り部から別のテープ送り部に交換して連続運転する様子
を示す平面図である。
【図５】本発明に係る実施例２のウエハーマウンタにお
けるテープ送り部の両方に搬送系を設けて運転する様子
を示す平面図である。
けるテープ送り部の両方に搬送系を設けて運転する様子
を示す平面図である。
【図６】本発明に係る実施例２のウエハーマウンタにお
けるテープ送り部の両方に搬送系を設けて運転する様子
を示す平面図である。
けるテープ送り部の両方に搬送系を設けて運転する様子
を示す平面図である。
【図７】本発明に係る実施例２のウエハーマウンタにお
けるテープ送り部の両方に搬送系を設けて運転する様子
を示す平面図である。
けるテープ送り部の両方に搬送系を設けて運転する様子
を示す平面図である。
【図８】本発明に係る実施例３のウエハーマウンタにお
ける施回ステージ上のテープ送り部の動きを示す平面図
である。
ける施回ステージ上のテープ送り部の動きを示す平面図
である。
【図９】本発明に係る実施例３のウエハーマウンタにお
ける施回ステージ上のテープ送り部の動きを示す平面図
である。
ける施回ステージ上のテープ送り部の動きを示す平面図
である。
【図１０】本発明に係る実施例３のウエハーマウンタに
おける施回ステージ上のテープ送り部の動きを示す平面
図である。
おける施回ステージ上のテープ送り部の動きを示す平面
図である。
【図１１】従来のウエハーマウンタの構成を示す斜視図
である。
である。
【図１２】図１１に示すウエハーマウンタにおけるテー
プ送り部分の構成を示す平面図である。
プ送り部分の構成を示す平面図である。
１，２ テープ送り部 ３ テープ終了検知センサ ４ カッター部 ５ ＵＶテープ ６ フレーム ７ カッター部シリンダ ８ テープ送り用モータ ９，１０ 電磁クラッチ １１ プーリ １２ 搬送アーム １３ 搬送ベルト １４ スライドユニット ２１ 施回ステージ
Claims (5)
- 【請求項１】平行に対向するように各々配置されたテー
プ（５）を送る第１、第２のテープ送り部（１，２）
と、該第１、第２のテープ送り部（１，２）に各々接続
された第１，第２の電磁クラッチ（９，１０）と、該第
１、第２の電磁クラッチ（９，１０）に挟まれるように
該第１，第２の電磁クラッチ（９，１０）に接続された
プーリ（１１）と、該プーリ（１１）により該第１、第
２の電磁クラッチ（９，１０）と接続され、かつその動
力を該第１、第２の電磁クラッチ（９，１０）の切り換
えにより該第１、第２のテープ送り部（１，２）に各々
伝えるテープ送り用モータ（８）とを有することを特徴
とするウエハーマウンタ。 - 【請求項２】前記第１、第２のテープ送り部（１，２）
にテープ切れを検知するテープ切れセンサ（３）を設け
てなることを特徴とする請求項１記載のウエハーマウン
タ。 - 【請求項３】前記第１、第２のテープ送り部（１，２）
を合わせてスライドさせるスライドユニット（１４）を
設けてなることを特徴とする請求項１，２記載のウエハ
ーマウンタ。 - 【請求項４】前記第１、第２のテープ送り部（１，２）
の両方に、前記第１、第２のテープ送り部（１，２）で
処理したテープを搬送する搬送手段（１３）を設けてな
ることを特徴とする請求項１，２記載のウエハーマウン
タ。 - 【請求項５】施回ステージ（２１）を所定の角度で施回
させる施回手段と、該施回ステージ（２１）上に所定の
角度で各々配置された第１、第２のテープ送り部（１，
２）とを有することを特徴とするウエハーマウンタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5325648A JPH07183365A (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | ウエハーマウンタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5325648A JPH07183365A (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | ウエハーマウンタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07183365A true JPH07183365A (ja) | 1995-07-21 |
Family
ID=18179175
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5325648A Withdrawn JPH07183365A (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | ウエハーマウンタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07183365A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6946311B2 (en) | 2003-06-02 | 2005-09-20 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Processing apparatus and wafer processing method |
| US7158910B2 (en) | 2003-07-15 | 2007-01-02 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Device for calculating the quantity of light and method thereof |
| US7503365B2 (en) | 2005-11-25 | 2009-03-17 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Dicing tape attaching apparatus and dicing tape attaching method |
| US7757741B2 (en) | 2005-11-29 | 2010-07-20 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Apparatus for attaching a peeling tape |
| JP2011142245A (ja) * | 2010-01-08 | 2011-07-21 | Lintec Corp | シート剥離装置及び剥離方法 |
| CN107592785A (zh) * | 2017-08-31 | 2018-01-16 | 阜阳扬宇充电设备有限公司 | 一种电源模块制造用插件机线路板传输装置 |
-
1993
- 1993-12-24 JP JP5325648A patent/JPH07183365A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6946311B2 (en) | 2003-06-02 | 2005-09-20 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Processing apparatus and wafer processing method |
| US7158910B2 (en) | 2003-07-15 | 2007-01-02 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Device for calculating the quantity of light and method thereof |
| US7503365B2 (en) | 2005-11-25 | 2009-03-17 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Dicing tape attaching apparatus and dicing tape attaching method |
| US7757741B2 (en) | 2005-11-29 | 2010-07-20 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Apparatus for attaching a peeling tape |
| JP2011142245A (ja) * | 2010-01-08 | 2011-07-21 | Lintec Corp | シート剥離装置及び剥離方法 |
| CN107592785A (zh) * | 2017-08-31 | 2018-01-16 | 阜阳扬宇充电设备有限公司 | 一种电源模块制造用插件机线路板传输装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010306 |