JP2007171232A - 現像液の供給装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】現像液の供給装置は、現像液原液を供給する機構および新たな現像液または希釈水を供給する機構が付設された調整槽(1)、使用済現像液を調整槽(1)に送液する回収流路(22)、再調製された現像液を現像プロセス(8)に送液する供給流路(21)とを備え、回収流路(22)には、現像プロセス(8)から送液される使用済現像液を装置外に排出する排出流路(23)が設けられる。そして、調整槽(1)に回収された使用済現像液の量が再調整に必要な使用量を超えた場合に排出流路(23)から使用済現像液を排出する様に構成される。
【選択図】図1
Description
11:液面計
12:濃度計
21:供給流路
22:回収流路
23:排出流路
24:排出流路
25:混合流路
31:新液供給流路(新たな現像液を供給する機構)
32:原液供給流路(現像液原液を供給する機構)
4 :切替弁
51:開閉弁
52:開閉弁
53:開閉弁
6 :回収貯槽
71:ポンプ
72:ポンプ
8 :現像プロセス
8b:他の現像プロセス
Claims (3)
- アルカリ水溶液から成る現像液を現像プロセスに供給する現像液の供給装置であって、現像液原液を供給する機構および新たな現像液または希釈水を供給する機構が付設された調整槽と、現像プロセスから回収された使用済現像液を前記調整槽に送液する回収流路と、前記調整槽で再調製された現像液を前記現像プロセスに送液する供給流路とを備え、前記調整槽には、アルカリ濃度および樹脂濃度を検出する濃度計ならびに液面計が設けられ、前記回収流路には、前記現像プロセスから送液される使用済現像液を装置外に排出する排出流路が設けられ、そして、前記調整槽の現像液のアルカリ濃度、樹脂濃度および液面を検出し、再調製される現像液の量が前記調整槽の収容範囲内の予め設定された上限量となる様に、使用済現像液の使用量を算出し、前記調整槽に回収された使用済現像液の量が前記使用量を超えた場合に前記排出流路から使用済現像液を排出する様に構成されていることを特徴とする現像液の供給装置。
- 他の現像プロセスから回収された使用済現像液を貯留する回収貯槽と、当該回収貯槽から調整槽に使用済現像液を送液する混合流路とを備え、前記回収貯槽の使用済現像液の樹脂濃度が前記調整槽の現像液の樹脂濃度よりも低い場合、前記調整槽にて樹脂濃度を低くする操作の際、前記回収貯槽の使用済現像液を前記混合流路から前記調整槽に供給する様に構成されている請求項1に記載の現像液の供給装置。
- 他の現像プロセスから回収された使用済現像液を貯留する回収貯槽と、当該回収貯槽から調整槽に使用済現像液を送液する混合流路とを備え、前記回収貯槽の使用済現像液の樹脂濃度が前記調整槽の現像液の樹脂濃度よりも高い場合、前記調整槽にて樹脂濃度を高くする操作の際、前記回収貯槽の使用済現像液を前記混合流路から前記調整槽に供給する様に構成されている請求項1に記載の現像液の供給装置。
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