JP2007152495A - 産業用ロボット - Google Patents
産業用ロボット Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007152495A JP2007152495A JP2005351324A JP2005351324A JP2007152495A JP 2007152495 A JP2007152495 A JP 2007152495A JP 2005351324 A JP2005351324 A JP 2005351324A JP 2005351324 A JP2005351324 A JP 2005351324A JP 2007152495 A JP2007152495 A JP 2007152495A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- rotation shaft
- pulley
- solid
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims abstract description 77
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 52
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims abstract description 20
- 230000009467 reduction Effects 0.000 claims description 22
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 16
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 15
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 13
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 11
- 230000008859 change Effects 0.000 description 7
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 4
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 3
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000459 Nitrile rubber Polymers 0.000 description 1
- 229920006311 Urethane elastomer Polymers 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- YACLQRRMGMJLJV-UHFFFAOYSA-N chloroprene Chemical compound ClC(=C)C=C YACLQRRMGMJLJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J18/00—Arms
- B25J18/02—Arms extensible
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
- B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
- B25J9/041—Cylindrical coordinate type
- B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J18/00—Arms
- B25J18/02—Arms extensible
- B25J18/04—Arms extensible rotatable
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/06—Programme-controlled manipulators characterised by multi-articulated arms
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/20—Control lever and linkage systems
- Y10T74/20207—Multiple controlling elements for single controlled element
- Y10T74/20305—Robotic arm
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】本体部側から第1アーム20、第2アーム30及びハンドアーム40の順で連結され、そのハンドアーム40が一定方向に伸縮するように回動駆動するアーム部10と、そのアーム部10の伸縮動作を行う中空回動軸3及びこの中空回動軸3内にあって前記第1アーム10に連結して前記ハンドアーム40の伸縮方向を変化させる中実回動軸2を備えた本体部100とを有し、本体部100は、中実回動軸2の原点位置を検出する第1センサ4を有する第1センサ機構と、その中実回動軸2に設けられて中実回動軸2と中空回動軸3との相対的な原点位置を検出する第2センサ5を有する第2センサ機構とを有しており、中実回動軸2には、ロータリージョイント6が電気接続され、第2センサ5がこのロータリージョイント6に接続されている。
【選択図】図1
Description
先ず、アーム部10について説明する。アーム部10は、図2及び図3に示すように、本体部側から第1アーム20、第2アーム30及びハンドアーム40の順で連結され、そのハンドアーム40が一定方向に伸縮するように回動駆動する。ハンドアーム40は、ウエハ等のワークを搭載して搬送するためのアーム部であり、図1等に示すように、両端それぞれに搭載部を有するものであってもよいし、片端に搭載部を有するものであってもよい。
次に、本体部100について説明する。本体部100は、図4〜図6に示すように、アーム部10の伸縮動作を行う中空回動軸3及びこの中空回動軸3内にあって第1アーム20に連結してハンドアーム40の伸縮方向を変化させる中実回動軸2を備えている。そして、本発明では、この本体部100が、中実回動軸2の原点位置を検出する第1センサ4を有する第1センサ機構と、その中実回動軸2に設けられて中実回動軸2と中空回動軸3との相対的な原点位置を検出する第2センサ5を有する第2センサ機構とを有しており、且つ、中実回動軸2にはロータリージョイント6が連結され、第2センサ5がこのロータリージョイント6に電気接続されていることに特徴がある。
次に、センサ機構について説明する。図7は、第1センサ機構の一例を示す概略構成図であり、図8は、第2センサ機構の一例を示す概略構成図である。第1センサ機構は、図7に示すように、中実回動軸2の原点位置を検出する第1センサ4と、その第1センサ4に180°毎ON/OFF信号を与えることができる回転部材7とで構成される。回転部材7は、図7に示すように、所定の厚さで形成され、2分割した180°領域の外周部7aの外径と、残りの180°領域の外周部7bの外径とが異なるように形成されたものを例示できる。そして、この回転部材7の外周部から所定の間隔を隔てて第1センサ4を配置することにより、その外径差に基づく信号を検知し、ON/OFF信号として制御機構(図示しない)に出力する。このとき用いられる第1センサ4としては、光電センサ等が好ましく用いられる。なお、符号4aは第1センサ4のリード線であり、符号8cは必要に応じて設けられる中心穴である。
次に、アーム部10の動作を以下に説明する。図9は、アーム部の伸縮動作の説明図である。アーム部10は、第1アーム20と第2アーム30とが同じ長さとなっており、そのため、図9(A)に示すように、初期状態では第1アーム20と第2アーム30とが重なり合った状態になる。ここで、「同じ長さ」とは、アームの両端に位置するプーリの中心間の長さが同じという意味である。なお、初期状態では、ハンドアーム40は第2アーム30に直交するように設けられており、重なり合った第1アーム20及び第2アーム30の長手方向の仮想線Yと、ハンドアーム40の長手方向の仮想線Xとは直交している。
本発明においては、上記の第1センサ機構と第2センサ機構とにより、中実回動軸2の位置と、中空回動軸3の中実回動軸2に対する相対的な位置とを検出することができる。すなわち、図7及び図8のところで説明したように、第1センサ機構の回転部材7及び第2センサ機構の回転部材8は、180°で2分割されている。
図11は、本発明の産業用ロボットが半導体の製造プロセスに用いられる例を示す概略平面図であり、図12は、図11の概略側面図である。図11に示す装置は、半導体の製造プロセスにおける処理集合装置150である。装置中央には、減圧可能なロードロック室209があり、本発明のロボット1が配置されている。
2 中実回動軸
3 中空回動軸
4 第1センサ
4a リード線
5 第2センサ
5a リード線
6 ロータリージョイント
6a リード線
7,8 回転部材
7a,7b 外周部
7c,8c 中心穴
8a 台部
8b 平面部
20 第1アーム
21 第1プーリ
22 第2プーリ
23 第1ベルト
24 連結軸
25 リブ
26 アイドラプーリ
29 抜き穴
30 第2アーム
31 第3プーリ
32 第4プーリ
33 第2ベルト
34 連結軸
35 リブ
36 歯付きベルト
37 平ベルト
39 抜き穴
40 ハンドアーム
42 ネジ
43 連結部
50 第1モータ
51 減速機
52,54 プーリ
53 タイミングベルト
55 磁気シール
56 ボールベアリング
60 第2モータ
61 減速機
62,64 プーリ
63 タイミングベルト
65 磁気シール
66,76 ボールベアリング
72 中空固定軸
80 第3モータ
81 モータ軸
82 ジョイント構造体
84 支持部材
85 ボールネジ
86 ナット
87 摺動部材
88,89 固定部材
100 本体部
150 処理集合装置
200 搬送ロボット室
201 搬送ロボット
202,204,205 ゲートベン
203 収容室
209 ロードロック室
210,220,230,240 真空処理室
300,301,302,303 ウエハ搭載ラック
304 ウエハ
Claims (6)
- 本体部側から第1アーム、第2アーム及びハンドアームの順で連結され、当該ハンドアームが一定方向に伸縮するように回動駆動するアーム部と、前記アーム部の伸縮動作を行う中空回動軸及び当該中空回動軸内にあって前記第1アームに連結して前記ハンドアームの伸縮方向を変化させる中実回動軸を備えた本体部と、を有する産業用ロボットであって、
前記本体部は、前記中実回動軸の原点位置を検出する第1センサを有する第1センサ機構と、前記中実回動軸に設けられて当該中実回動軸と前記中空回動軸との相対的な原点位置を検出する第2センサを有する第2センサ機構とを有し、前記中実回動軸にはロータリージョイントが連結され、前記第2センサが当該ロータリージョイントに電気接続されていることを特徴とする産業用ロボット。 - 前記中実回動軸はサーボモータで駆動し、当該サーボモータは減速機構を有すると共にロータリーエンコーダを備えていることを特徴とする請求項1に記載の産業用ロボット。
- 前記減速機構の減速比を1/128とし、前記ロータリーエンコーダの出力信号が2nであることを特徴とする請求項2に記載の産業用ロボット。
- 前記第1アームは、前記本体部側にあって前記中実回動軸に連結する第1プーリと、前記第2アーム側にあって当該第2アームに連結する第2プーリと、当該第1プーリ及び第2プーリ間に掛かる第1ベルトとを有し、
前記第2アームは、前記第2プーリの同心位置にある第3プーリと、前記ハンドアーム側にあって当該ハンドアームに連結する第4プーリと、当該第3プーリ及び第4プーリ間に掛かる第2ベルトとを有することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の産業用ロボット。 - 前記中実回動軸と前記中空回動軸との間、及び、前記中空回動軸と当該中空回動軸の外周に位置する中空固定軸との間が、磁気シールされていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の産業用ロボット。
- 前記中空回動軸及び前記中実回動軸を高さ方向に変位させる駆動源を有することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の産業用ロボット。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005351324A JP4605560B2 (ja) | 2005-12-05 | 2005-12-05 | 産業用ロボット |
TW095141356A TW200732111A (en) | 2005-12-05 | 2006-11-08 | Industrial robot |
CN2006101684047A CN1978154B (zh) | 2005-12-05 | 2006-12-01 | 工业用机器人 |
US11/633,214 US7566198B2 (en) | 2005-12-05 | 2006-12-04 | Industrial robot |
KR1020060121556A KR101367454B1 (ko) | 2005-12-05 | 2006-12-04 | 산업용 로보트 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005351324A JP4605560B2 (ja) | 2005-12-05 | 2005-12-05 | 産業用ロボット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007152495A true JP2007152495A (ja) | 2007-06-21 |
JP4605560B2 JP4605560B2 (ja) | 2011-01-05 |
Family
ID=38129540
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005351324A Active JP4605560B2 (ja) | 2005-12-05 | 2005-12-05 | 産業用ロボット |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7566198B2 (ja) |
JP (1) | JP4605560B2 (ja) |
KR (1) | KR101367454B1 (ja) |
CN (1) | CN1978154B (ja) |
TW (1) | TW200732111A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019141919A (ja) * | 2018-02-16 | 2019-08-29 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボットの補正値算出方法 |
CN111086835A (zh) * | 2018-10-23 | 2020-05-01 | 豪夫迈·罗氏有限公司 | 带驱动*** |
Families Citing this family (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101689525B (zh) * | 2008-01-31 | 2012-08-22 | 佳能安内华股份有限公司 | 真空输送装置、真空处理装置及显示装置的制造方法 |
WO2011020105A2 (en) | 2009-08-14 | 2011-02-17 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive articles including abrasive particles bonded to an elongated body |
JP5480562B2 (ja) * | 2009-08-26 | 2014-04-23 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
JP5568328B2 (ja) * | 2010-02-08 | 2014-08-06 | 川崎重工業株式会社 | 搬送装置 |
KR101452650B1 (ko) * | 2010-07-14 | 2014-10-22 | 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤 | 산업용 로보트, 산업용 로보트의 제어방법 및 산업용 로보트의 교시방법 |
TWI466990B (zh) | 2010-12-30 | 2015-01-01 | Saint Gobain Abrasives Inc | 磨料物品及形成方法 |
JP5995404B2 (ja) * | 2011-01-26 | 2016-09-21 | ナブテスコ株式会社 | ウエハ搬送ロボット |
JP5818345B2 (ja) * | 2011-04-27 | 2015-11-18 | 日本電産サンキョー株式会社 | 回転機構、産業用ロボットおよび回転体の原点位置復帰方法 |
WO2013040423A2 (en) | 2011-09-16 | 2013-03-21 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive article and method of forming |
US9211634B2 (en) | 2011-09-29 | 2015-12-15 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive articles including abrasive particles bonded to an elongated substrate body having a barrier layer, and methods of forming thereof |
KR20130083857A (ko) * | 2012-01-13 | 2013-07-23 | 노벨러스 시스템즈, 인코포레이티드 | 듀얼 암 진공 로봇 |
TW201402274A (zh) | 2012-06-29 | 2014-01-16 | Saint Gobain Abrasives Inc | 研磨物品及形成方法 |
TW201404527A (zh) | 2012-06-29 | 2014-02-01 | Saint Gobain Abrasives Inc | 研磨物品及形成方法 |
TWI474889B (zh) | 2012-06-29 | 2015-03-01 | Saint Gobain Abrasives Inc | 研磨物品及形成方法 |
CN104271321B (zh) * | 2013-01-07 | 2016-04-20 | 日本电产三协株式会社 | 工业用机器人 |
TW201441355A (zh) | 2013-04-19 | 2014-11-01 | Saint Gobain Abrasives Inc | 研磨製品及其形成方法 |
KR102285254B1 (ko) * | 2013-08-26 | 2021-08-03 | 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 | 기판 이송 장치 |
TWI709185B (zh) * | 2013-08-26 | 2020-11-01 | 美商布魯克斯自動機械公司 | 基板搬運裝置 |
JP6499826B2 (ja) * | 2014-01-29 | 2019-04-10 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
TWI564130B (zh) * | 2014-03-28 | 2017-01-01 | 鴻海精密工業股份有限公司 | 機械手臂 |
TW201536496A (zh) * | 2014-03-28 | 2015-10-01 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 機械手臂 |
WO2016074708A1 (en) | 2014-11-12 | 2016-05-19 | Abb Technology Ltd | Determining a calibration position of a robot joint |
TWI621505B (zh) | 2015-06-29 | 2018-04-21 | 聖高拜磨料有限公司 | 研磨物品及形成方法 |
JP6817841B2 (ja) * | 2017-02-17 | 2021-01-20 | 日本電産シンポ株式会社 | 電動機付き減速機 |
CN109421589B (zh) | 2017-08-28 | 2021-12-10 | 鸿富锦精密电子(天津)有限公司 | 三角架自走车及其移动距离的计算方法 |
TWI639748B (zh) * | 2017-08-28 | 2018-11-01 | 鴻佰科技股份有限公司 | 三角架自走車及其移動距離的計算方法 |
CN108356804A (zh) * | 2018-02-08 | 2018-08-03 | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 | 一种晶圆搬运机械手 |
CN115123942A (zh) * | 2022-06-28 | 2022-09-30 | 安徽江河智能装备集团有限公司 | 一种多功能悬臂起重机 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5973298A (ja) * | 1982-10-20 | 1984-04-25 | ファナック株式会社 | 工業用ロボツトの手首機構 |
JPS6134404U (ja) * | 1984-08-01 | 1986-03-03 | 神鋼電機株式会社 | 回転軸の回転位置検出機構 |
JPH0297593U (ja) * | 1989-01-20 | 1990-08-03 | ||
JPH09150388A (ja) * | 1995-07-10 | 1997-06-10 | Smart Machines Inc | ダイレクト駆動ロボット |
JPH09216182A (ja) * | 1996-02-14 | 1997-08-19 | Hitachi Tokyo Electron Co Ltd | 多関節ロボットおよびその駆動方法ならびにロボットアームの位置検出装置 |
JP2005158826A (ja) * | 2003-11-20 | 2005-06-16 | Anelva Corp | マルチアーム型基板搬送ロボット及び基板搬送方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3247978A (en) * | 1962-12-12 | 1966-04-26 | Programmed & Remote Syst Corp | Manipulator hand |
JPS6263078A (ja) * | 1985-09-11 | 1987-03-19 | フアナツク株式会社 | 工業用ロボツトにおけるモジユ−ル方式 |
US4897015A (en) * | 1987-05-15 | 1990-01-30 | Ade Corporation | Rotary to linear motion robot arm |
JPH07142551A (ja) | 1993-11-20 | 1995-06-02 | Tokyo Electron Ltd | 搬送アーム装置及びこれを用いた処理室集合装置 |
KR0160689B1 (ko) * | 1995-04-24 | 1998-12-15 | 김광호 | 로보트의 원점복귀 장치 |
JPH11138472A (ja) * | 1997-11-07 | 1999-05-25 | Yaskawa Electric Corp | 水平多関節ロボット |
JPH11226883A (ja) | 1998-02-10 | 1999-08-24 | Yasuhito Itagaki | センサー機構およびそれを用いた搬送ロボット |
JP2000024981A (ja) | 1998-07-02 | 2000-01-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 産業用ロボット |
US6485250B2 (en) * | 1998-12-30 | 2002-11-26 | Brooks Automation Inc. | Substrate transport apparatus with multiple arms on a common axis of rotation |
JP2001096480A (ja) | 1999-09-28 | 2001-04-10 | Tatsumo Kk | 水平多関節型産業用ロボット |
CN1417004A (zh) * | 2002-11-26 | 2003-05-14 | 北京航空航天大学 | 五坐标空间定位机器人机构 |
-
2005
- 2005-12-05 JP JP2005351324A patent/JP4605560B2/ja active Active
-
2006
- 2006-11-08 TW TW095141356A patent/TW200732111A/zh unknown
- 2006-12-01 CN CN2006101684047A patent/CN1978154B/zh active Active
- 2006-12-04 US US11/633,214 patent/US7566198B2/en active Active
- 2006-12-04 KR KR1020060121556A patent/KR101367454B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5973298A (ja) * | 1982-10-20 | 1984-04-25 | ファナック株式会社 | 工業用ロボツトの手首機構 |
JPS6134404U (ja) * | 1984-08-01 | 1986-03-03 | 神鋼電機株式会社 | 回転軸の回転位置検出機構 |
JPH0297593U (ja) * | 1989-01-20 | 1990-08-03 | ||
JPH09150388A (ja) * | 1995-07-10 | 1997-06-10 | Smart Machines Inc | ダイレクト駆動ロボット |
JPH09216182A (ja) * | 1996-02-14 | 1997-08-19 | Hitachi Tokyo Electron Co Ltd | 多関節ロボットおよびその駆動方法ならびにロボットアームの位置検出装置 |
JP2005158826A (ja) * | 2003-11-20 | 2005-06-16 | Anelva Corp | マルチアーム型基板搬送ロボット及び基板搬送方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019141919A (ja) * | 2018-02-16 | 2019-08-29 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボットの補正値算出方法 |
JP7074494B2 (ja) | 2018-02-16 | 2022-05-24 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボットの補正値算出方法 |
CN111086835A (zh) * | 2018-10-23 | 2020-05-01 | 豪夫迈·罗氏有限公司 | 带驱动*** |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200732111A (en) | 2007-09-01 |
US7566198B2 (en) | 2009-07-28 |
CN1978154A (zh) | 2007-06-13 |
JP4605560B2 (ja) | 2011-01-05 |
CN1978154B (zh) | 2012-01-25 |
KR20070058980A (ko) | 2007-06-11 |
KR101367454B1 (ko) | 2014-02-25 |
TWI359064B (ja) | 2012-03-01 |
US20070151388A1 (en) | 2007-07-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4605560B2 (ja) | 産業用ロボット | |
JP4970128B2 (ja) | 産業用ロボット及び集合処理装置 | |
JP6051021B2 (ja) | 産業用ロボットおよび産業用ロボットの制御方法 | |
US5746565A (en) | Robotic wafer handler | |
JP5102564B2 (ja) | 産業用ロボット | |
KR102114499B1 (ko) | 듀얼 아암 진공 로봇 | |
JP6499826B2 (ja) | 産業用ロボット | |
JP4719010B2 (ja) | 産業用ロボット | |
JP2008135630A (ja) | 基板搬送装置 | |
JP5578973B2 (ja) | 産業用ロボット | |
JP2006289555A (ja) | 多関節型ロボット | |
JP4648161B2 (ja) | ダブルアーム列式基板搬送用ロボット | |
JP5021397B2 (ja) | 搬送装置 | |
JP4515133B2 (ja) | 搬送装置及びその制御方法並びに真空処理装置 | |
JPWO2006022231A1 (ja) | 多関節ロボット | |
JP2011045978A (ja) | ロボットの防塵構造およびそれを備えたロボット | |
JP5665417B2 (ja) | 産業用ロボット | |
CN114126807A (zh) | 非对称双末端执行器机器人臂 | |
KR102468104B1 (ko) | 로봇 시스템, 로봇의 제어 방법, 반도체 제조 시스템 | |
KR20230048603A (ko) | 산업용 로봇 및 제조 시스템 | |
WO2023149072A1 (ja) | 基板搬送ロボット | |
JP2705688B2 (ja) | 円筒座標型ロボットのスライドアームのスライド機構 | |
JPH10291177A (ja) | 多関節ロボット | |
KR20230048598A (ko) | 산업용 로봇 | |
JPH1034585A (ja) | ロボットアーム駆動機構 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080229 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090924 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090929 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091130 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100601 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100802 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100824 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100908 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100928 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4605560 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131015 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131015 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131015 Year of fee payment: 3 |