KR20230048598A

KR20230048598A - 산업용 로봇

Info

Publication number: KR20230048598A
Application number: KR1020220118505A
Authority: KR
Inventors: 다카유키 야자와; 요시키 시무라; 가즈키 이토
Original assignee: 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
Priority date: 2021-10-04
Filing date: 2022-09-20
Publication date: 2023-04-11
Also published as: JP2023054397A; CN115924539A

Abstract

반송 대상물이 탑재되는 핸드와, 핸드가 연결되는 암과, 암이 선단측에 회동 가능하게 연결되는 스윙 암과, 스윙 암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하는 산업용 로봇에 있어서, 산업용 로봇을 비상 정지시켰을 때, 스윙 암에 대해 직선적으로 이동하는 핸드가 예기치 못한 방향으로 이동하는 것을 억제하는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공한다.
산업용 로봇(1)에서는, 스윙 암(11)에 대해 핸드(8, 9)가 직선적으로 이동하는 수용부(5)로의 반송 대상물(2)의 반입 시, 및 수용부(5)로부터의 반송 대상물(2)의 반출 시에, 본체부(12)에 대한 스윙 암(11)의 회동을 정지시키기 위한 브레이크 기구가 작동하여 스윙 암(11)의 회동 정지 상태를 유지하고 있다.

Description

산업용 로봇{INDUSTRIAL ROBOT}

본 발명은 반송 대상물을 반송하기 위한 산업용 로봇에 관한 것이다.

종래, 유기 EL(유기 일렉트로루미네센스) 디스플레이용 유리 기판을 반송하는 산업용 로봇이 알려져 있다(예를 들어 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은 유기 EL 디스플레이의 제조 시스템에 편입되어 사용된다. 유기 EL 디스플레이의 제조 시스템은, 내부에 산업용 로봇의 일부가 배치되는 트랜스퍼 챔버와, 트랜스퍼 챔버를 둘러싸도록 배치되는 복수의 프로세스 챔버를 구비하고 있다.

특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 유리 기판이 탑재되는 2개의 핸드와, 2개의 핸드의 각각이 선단측에 회동 가능하게 연결되는 2개의 암과, 2개의 암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 암 지지부와, 암 지지부가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 스윙 암과, 스윙 암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하고 있다.

또한 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 암 지지부에 대해 2개의 암의 각각을 신축시키는 암 구동 기구와, 스윙 암에 대해 암 지지부를 회동시키는 회동 기구와, 본체부에 대해 스윙 암을 회동시키는 회동 기구를 구비하고 있다. 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇에서는, 프로세스 챔버에 유리 기판을 반입할 때, 및 프로세스 챔버로부터 유리 기판을 반출할 때는, 암 지지부 및 스윙 암은 정지해 있으며, 암은, 핸드가 일정 방향을 향한 상태에서 암 지지부 및 스윙 암에 대해 직선적으로 이동하도록 신축한다.

일본 특허 공개 제2016-207938호 공보

특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇에서는, 프로세스 챔버에 유리 기판을 반입할 때나 프로세스 챔버로부터 유리 기판을 반출할 때 무언가 문제가 발생하면 산업용 로봇을 비상 정지시키는 경우가 있다. 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇에서는, 스윙 암이 본체부에 회동 가능하게 연결되어 있기 때문에, 유리 기판의 반입 시나 유리 기판의 반출 시에 산업용 로봇을 비상 정지시킨 경우에 핸드나 암의 관성력 등의 영향으로 본체부에 대해 스윙 암이 회동할 우려가 있다. 유리 기판의 반입 시나 유리 기판의 반출 시에 산업용 로봇을 비상 정지시킨 경우에 본체부에 대해 스윙 암이 회동하면, 스윙 암에 대해 직선적으로 이동하는 핸드가 예기치 못한 방향으로 이동할 우려가 있는데, 예기치 못한 방향으로 핸드가 이동하면 위험하다.

그래서 본 발명의 과제는, 반송 대상물이 탑재되는 핸드와, 핸드가 연결되는 암과, 암이 선단측에 회동 가능하게 연결되는 스윙 암과, 스윙 암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하는 산업용 로봇에 있어서, 산업용 로봇을 비상 정지시켰을 때, 스윙 암에 대해 직선적으로 이동하는 핸드가 예기치 못한 방향으로 이동하는 것을 억제하는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공하는 것에 있다.

상기 과제를 해결하기 위해 본 발명의 산업용 로봇은, 반송 대상물이 탑재되는 핸드와, 핸드가 연결되는 암과, 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 암이 선단측에 회동 가능하게 연결되는 스윙 암과, 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 스윙 암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 본체부와, 스윙 암에 대해 핸드를 수평 방향으로 직선적으로 이동시킴과 함께 스윙 암에 대해 암을 회동시키는 암 구동 기구와, 본체부에 대해 스윙 암을 회동시키는 스윙 암 구동 기구와, 본체부에 대한 스윙 암의 회동을 정지시키기 위한 브레이크 기구를 구비하고, 반송 대상물이 수용되는 수용부에 반송 대상물을 반입하는 반입 시, 및 수용부로부터 반송 대상물을 반출하는 반출 시에는, 본체부에 대해 스윙 암이 정지해 있는 상태에서 핸드가 스윙 암에 대해 직선적으로 이동하고, 브레이크 기구는 반입 시 및 반출 시에 작동하여 스윙 암의 회동 정지 상태를 유지하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 있어서, 브레이크 기구는, 예를 들어 무여자 작동형 전자 브레이크이다.

본 발명의 산업용 로봇에서는, 스윙 암에 대해 핸드가 직선적으로 이동하는 수용부로의 반송 대상물의 반입 시 및 수용부로부터의 반송 대상물의 반출 시에, 본체부에 대한 스윙 암의 회동을 정지시키기 위한 브레이크 기구가 작동하여 스윙 암의 회동 정지 상태를 유지하고 있다. 그 때문에 본 발명에서는, 스윙 암에 대해 핸드가 직선적으로 이동하는 반송 대상물의 반입 시나 반출 시에, 산업용 로봇을 비상 정지시켜도 브레이크 기구에 의해 스윙 암의 회동 정지 상태를 유지하는 것이 가능해진다. 따라서 본 발명에서는, 산업용 로봇을 비상 정지시켰을 때, 스윙 암에 대해 직선적으로 이동하는 핸드가 예기치 못한 방향으로 이동하는 것을 억제하는 것이 가능해진다.

본 발명에 있어서, 예를 들어 핸드는 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 암의 선단측에 회동 가능하게 연결되고, 암의 기단부측은 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 스윙 암의 선단측에 회동 가능하게 연결되고, 암 구동 기구는 암을 신축시킴으로써 스윙 암에 대해 핸드를 수평 방향으로 직선적으로 이동시킨다.

본 발명에 있어서, 예를 들어 산업용 로봇은 2개의 핸드를 구비하고, 암은, 2개의 핸드의 각각이 선단측에 회동 가능하게 연결되는 2개의 선단측 암부와, 2개의 선단측 암부의 기단부측이 회동 가능하게 연결됨과 함께 스윙 암의 선단측에 회동 가능하게 연결되는 공통 암부를 구비하고, 2개의 핸드 중 한쪽 핸드를 제1 핸드라 하고, 다른 쪽의 핸드를 제2 핸드라 하고, 제1 핸드가 연결되는 선단측 암부를 제1 선단측 암부라 하고, 제2 핸드가 연결되는 선단측 암부를 제2 선단측 암부라 하면, 암 구동 기구는, 공통 암부에 대해 제1 선단측 암부를 회동시킴과 함께 제1 선단측 암부에 대해 제1 핸드를 회동시키는 제1 구동 기구와, 공통 암부에 대해 제2 선단측 암부를 회동시킴과 함께 제2 선단측 암부에 대해 제2 핸드를 회동시키는 제2 구동 기구와, 스윙 암에 대해 공통 암부를 회동시키는 제3 구동 기구를 구비하고 있다.

이상과 같이 본 발명에서는, 반송 대상물이 탑재되는 핸드와, 핸드가 연결되는 암과, 암이 선단측에 회동 가능하게 연결되는 스윙 암과, 스윙 암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하는 산업용 로봇에 있어서, 산업용 로봇을 비상 정지시켰을 때, 스윙 암에 대해 직선적으로 이동하는 핸드가 예기치 못한 방향으로 이동하는 것을 억제하는 것이 가능해진다.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇이 제조 시스템에 편입된 상태를 도시하는 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시하는 암 및 스윙 암의 내부의 구성을 설명하기 위한 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시하는 본체부의 내부의 구성을 설명하기 위한 단면도이다.
도 4는 도 1에 도시하는 산업용 로봇의, 스윙 암의 회동 동작 시의 상태를 설명하기 위한 평면도이다.
도 5는 도 1에 도시하는 산업용 로봇의, 스윙 암의 회동 동작 시의 상태를 설명하기 위한 평면도이다.

이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시 형태를 설명한다.

(산업용 로봇 및 제조 시스템의 구성)

도 1은, 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇(1)이 제조 시스템(3)에 편입된 상태를 도시하는 평면도이다. 도 2는, 도 1에 도시하는 암(10) 및 스윙 암(11)의 내부의 구성을 설명하기 위한 단면도이다. 도 3은, 도 1에 도시하는 본체부(12)의 내부의 구성을 설명하기 위한 단면도이다.

본 형태의 산업용 로봇(1)(이하, 「로봇(1)」이라 함)은, 예를 들어 반송 대상물인 유기 EL 디스플레이용 유리 기판(2)이나 액정 디스플레이용 유리 기판(2)(이하, 「기판(2)」이라 함)을 반송하기 위한 로봇이다. 로봇(1)은, 디스플레이의 제조 시스템(3)에 편입되어 사용되는 수평 다관절 로봇이다. 로봇(1)은 진공 중에서 기판(2)을 반송한다.

제조 시스템(3)은, 트랜스퍼 챔버(4)(이하, 「챔버(4)」라 함)와, 챔버(4)의 주위에 배치되는 복수의 프로세스 챔버(5, 6)(이하, 「챔버(5, 6)」라 함)를 구비하고 있다. 제조 시스템(3)은, 예를 들어 2개의 챔버(5)와 2개의 챔버(6)를 구비하고 있다. 챔버(4 내지 6)는 진공 챔버이며, 챔버(4 내지 6)의 내부는 진공으로 되어 있다. 챔버(4)의 내부에는 로봇(1)의 일부가 배치되어 있다. 로봇(1)의 일부를 구성하는 후술하는 포크부(19)가 챔버(5, 6) 중으로 인입됨으로써, 로봇(1)은 챔버(5, 6) 사이에서 기판(2)을 반송한다. 챔버(5, 6)에는 각종 장치 등이 배치되어 있으며, 로봇(1)에 의해 반송된 기판(2)이 수용된다. 또한 챔버(5, 6)에서는 기판(2)에 대해 각종 처리가 행해진다. 본 형태의 챔버(5, 6)는, 반송 대상물인 기판(2)이 수용되는 수용부이다.

챔버(4)는, 예를 들어 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 정사각 형상이 되는 대략 직육면체 상자형으로 형성되어 있다. 이하의 설명에서는, 상하 방향으로부터 보았을 때 정사각 형상을 이루는 챔버(4)의 외주면에 평행인 2개의 방향 중 한쪽 방향(도 1의 X 방향)을 「전후 방향」으로 하고, 상하 방향과 전후 방향에 직교하는 다른 쪽 방향(도 1의 Y 방향)을 「좌우 방향」으로 한다. 또한 전후 방향의 일방측(도 1의 X1 방향측)을 「전방」측으로 하고, 전방측의 반대측(도 1의 X2 방향측)을 「후방측」으로 하고, 좌우 방향의 일방측(도 1의 Y1 방향측)을 「우」측으로 하고, 우측의 반대측(도 1의 Y2 방향측)을 「좌」측으로 한다.

2개의 챔버(5)는 챔버(4)의 후방측에 배치되어 있다. 2개의 챔버(5)는 좌우 방향에서 인접하도록 배치되어 있다. 2개의 챔버(6)는 챔버(4)의 전방측에 배치되어 있다. 2개의 챔버(6)는 좌우 방향에서 인접하도록 배치되어 있다. 챔버(4)와 챔버(5)의 접속 부분 및 챔버(4)와 챔버(6)의 접속 부분에는 게이트가 설치되어 있다.

로봇(1)은, 기판(2)이 탑재되는 핸드(8, 9)와, 핸드(8, 9)가 연결되는 암(10)과, 암(10)이 연결되는 스윙 암(11)과, 스윙 암(11)이 연결되는 본체부(12)를 구비하고 있다. 본 형태의 로봇(1)은 2개의 핸드(8, 9)를 구비하고 있다. 핸드(8, 9)는 암(10)에 회동 가능하게 연결되어 있다. 구체적으로는, 핸드(8, 9)는 암(10)의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 암(10)은 스윙 암(11)의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 구체적으로는, 암(10)의 기단부측이 스윙 암(11)의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 본체부(12)에는 스윙 암(11)의 기단부측이 회동 가능하게 연결되어 있다.

암(10)은, 2개의 핸드(8, 9)의 각각이 선단측에 회동 가능하게 연결되는 2개의 선단측 암부(13, 14)와, 2개의 선단측 암부(13, 14)의 기단부측이 회동 가능하게 연결됨과 함께 스윙 암(11)의 선단측에 회동 가능하게 연결되는 공통 암부(15)를 구비하고 있다. 본 형태의 암(10)은 2개의 선단측 암부(13, 14)와 1개의 공통 암부(15)에 의해 구성되어 있다.

핸드(8)는 선단측 암부(13)의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 핸드(9)는 선단측 암부(14)의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 본 형태의 핸드(8)는 제1 핸드이고, 핸드(9)는 제2 핸드이다. 또한 본 형태의 선단측 암부(13)는 제1 선단측 암부이고, 선단측 암부(14)는 제2 선단측 암부이다.

핸드(8)는 선단측 암부(13)에 대해 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 회동 가능하게 되어 있다. 핸드(9)는 선단측 암부(14)에 대해 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 회동 가능하게 되어 있다. 선단측 암부(13, 14)는 공통 암부(15)에 대해 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 회동 가능하게 되어 있다. 공통 암부(15)는 스윙 암(11)에 대해 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 회동 가능하게 되어 있다. 즉, 암(10)은 스윙 암(11)에 대해 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 회동 가능하게 되어 있다. 스윙 암(11)은 본체부(12)에 대해 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 회동 가능하게 되어 있다.

핸드(8)는 핸드(9)보다도 상측에 배치되어 있다. 선단측 암부(13)는 핸드(8)보다도 상측에 배치되어 있다. 선단측 암부(14)는 핸드(9)보다도 하측에 배치되어 있다. 공통 암부(15)는 선단측 암부(14)보다도 하측에 배치되어 있다. 즉, 선단측 암부(13, 14)는 공통 암부(15)보다도 상측에 배치되어 있다. 공통 암부(15)는 스윙 암(11)보다도 상측에 배치되어 있다. 즉, 암(10)은 스윙 암(11)보다도 상측에 배치되어 있다. 스윙 암(11)은 본체부(12)보다도 상측에 배치되어 있다.

본체부(12)는, 바닥이 있는 원통형으로 형성되는 케이스체(16)(도 3 참조)와, 케이스체(16)의 상단부의 개구를 덮는 덮개체(17)로 구성되어 있다. 덮개체(17)의 외경은 케이스체(16)의 외경보다도 크게 되어 있다. 덮개체(17)의 외주측 부분은, 케이스체(16)의 직경 방향의 외측으로 넓어지는 플랜지부(17a)로 되어 있다. 본체부(12)에 대한 스윙 암(11)의 회동 중심을 암 회동 중심 C라 하면, 상하 방향으로부터 보았을 때 챔버(4)의 중심과 암 회동 중심 C가 일치해 있다. 즉, 챔버(4)의 중심과 암 회동 중심 C가 일치하도록 본체부(12)가 설치되어 있다.

본 형태에서는, 로봇(1)의, 플랜지부(17a)의 하면보다도 상측의 부분은 챔버(4) 안에 배치되어 있고, 핸드(8, 9), 암(10) 및 스윙 암(11)은 챔버(4) 안에 배치되어 있다. 즉, 로봇(1)의, 플랜지부(17a)의 하면보다도 상측의 부분은 진공 영역 VR 내(진공 중)에 배치되어 있다(도 3 참조). 한편, 로봇(1)의, 플랜지부(17a)의 하면보다도 하측의 부분은 대기 영역 AR 내(대기 중)에 배치되어 있다.

핸드(8, 9)는, 암(10)에 연결되는 기부(18)와, 기판(2)이 탑재되는 포크부(19)를 구비하고 있다. 핸드(8)의 기부(18)는 선단측 암부(13)의 선단측에 회동 가능하게 연결되고, 핸드(9)의 기부(18)는 선단측 암부(14)의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 포크부(19)는 기부(18)로부터 수평 방향으로 돌출하도록 기부(18)에 고정되어 있다. 기판(2)은 포크부(19)의 선단측 부분에 탑재된다. 본 형태에서는, 챔버(5, 6)의 깊이가 깊게 되어 있고 포크부(19)의 길이는 길게 되어 있다. 즉, 핸드(8, 9)의 길이는 길게 되어 있다.

선단측 암부(13, 14)는, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이, 가늘고 긴 타원 형상이 됨과 함께 상하 방향의 두께가 비교적 얇은 블록형으로 형성되어 있다. 공통 암부(15)는 대략 V 형상의 블록형으로 형성되어 있다. 대략 V 형상으로 형성되는 공통 암부(15)의 중심 부분(정점 부분)은 스윙 암(11)의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 또한 대략 V 형상으로 형성되는 공통 암부(15)의 한쪽 선단측에 선단측 암부(13)의 기단부측이 회동 가능하게 연결되고, 공통 암부(15)의 다른 쪽 선단측에 선단측 암부(14)의 기단부측이 회동 가능하게 연결되어 있다. 스윙 암(11)은, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이, 가늘고 긴 직사각 형상이 됨과 함께 상하 방향의 두께가 비교적 얇은 블록형으로 형성되어 있다.

선단측 암부(13, 14) 및 공통 암부(15)는 중공형으로 형성되어 있다. 즉, 암(10)은 중공형으로 형성되어 있다. 또한 스윙 암(11)은 중공형으로 형성되어 있다. 중공형으로 형성되는 선단측 암부(13, 14)의 내부는 진공으로 되어 있다. 한편, 중공형으로 형성되는 공통 암부(15) 및 스윙 암(11)의 내부는 대기압으로 되어 있다.

수평 방향에 있어서, 스윙 암(11)에 대한 공통 암부(15)의 회동 중심과 공통 암부(15)에 대한 선단측 암부(13)의 회동 중심의 거리와, 공통 암부(15)에 대한 선단측 암부(13)의 회동 중심과 선단측 암부(13)에 대한 핸드(8)의 회동 중심의 거리가 동등하게 되어 있고, 스윙 암(11)에 대한 공통 암부(15)의 회동 중심과 공통 암부(15)에 대한 선단측 암부(14)의 회동 중심의 거리와, 공통 암부(15)에 대한 선단측 암부(14)의 회동 중심과 선단측 암부(14)에 대한 핸드(9)의 회동 중심의 거리가 동등하게 되어 있다. 또한 수평 방향에 있어서, 스윙 암(11)에 대한 공통 암부(15)의 회동 중심과 공통 암부(15)에 대한 선단측 암부(13)의 회동 중심의 거리와, 스윙 암(11)에 대한 공통 암부(15)의 회동 중심과 공통 암부(15)에 대한 선단측 암부(14)의 회동 중심의 거리가 동등하게 되어 있다.

암(10)은, 스윙 암(11)과 공통 암부(15)의 연결부인 관절부(20)로부터 핸드(8, 9)의 선단(구체적으로는 포크부(19)의 선단)이 이격되도록 신장하는 위치와, 핸드(8, 9)의 선단이 관절부(20)에 접근하도록 수축하는 위치 사이에서 스윙 암(11)에 대해 신축 가능하게 되어 있다. 본 형태에서는, 관절부(20)로부터 핸드(8)의 선단이 이격되도록 암(10)의, 선단측 암부(13)측의 부분이 신장할 때는, 암(10)의, 선단측 암부(14)측의 부분은 수축해 있고, 관절부(20)로부터 핸드(9)의 선단이 이격되도록 암(10)의, 선단측 암부(14)측의 부분이 신장할 때는, 암(10)의, 선단측 암부(13)측의 부분은 수축해 있다. 스윙 암(11)에 대해 암(10)이 신축할 때는, 핸드(8, 9)는 스윙 암(11)에 대해 일정 방향을 향한 상태에서 수평 방향으로 직선적으로 이동한다.

(암 구동 기구, 스윙 암 구동 기구 및 브레이크 기구 등의 구성)

도 2, 도 3에 도시한 바와 같이 로봇(1)은, 스윙 암(11)에 대해 핸드(8, 9)를 수평 방향으로 직선적으로 이동시킴과 함께 스윙 암(11)에 대해 암(10)을 회동시키는 암 구동 기구(24)와, 본체부(12)에 대해 스윙 암(11)을 회동시키는 스윙 암 구동 기구(25)와, 본체부(12)에 대한 스윙 암(11)의 회동을 정지시키기 위한 브레이크 기구(26)와, 본체부(12)에 대해 스윙 암(11)을 승강시키는 스윙 암 승강 기구(27)를 구비하고 있다.

암 구동 기구(24)는 스윙 암(11)에 대해 암(10)을 신축시켜 핸드(8, 9)를 수평 방향으로 직선적으로 이동시킴(즉, 암(10)을 신축시킴으로써 스윙 암(11)에 대해 핸드(8, 9)를 수평 방향으로 직선적으로 이동시킴)과 함께 스윙 암(11)에 대해 공통 암부(15)를 회동시킨다. 암 구동 기구(24)는, 공통 암부(15)에 대해 선단측 암부(13)를 회동시킴과 함께 선단측 암부(13)에 대해 핸드(8)를 회동시키는 제1 구동 기구(31)와, 공통 암부(15)에 대해 선단측 암부(14)를 회동시킴과 함께 선단측 암부(14)에 대해 핸드(9)를 회동시키는 제2 구동 기구(32)와, 스윙 암(11)에 대해 공통 암부(15)를 회동시키는 제3 구동 기구(33)를 구비하고 있다.

제1 구동 기구(31)는, 모터(34)와, 모터(34)에 연결되는 감속기(35)를 구비하고 있다. 감속기(35)는 중공 파동 기어 장치이며, 공통 암부(15)와 선단측 암부(13)의 연결부에 배치되어 있다. 또한 제1 구동 기구(31)는, 감속기(35)의 입력축에 고정되는 풀리(36)와, 선단측 암부(13)의 기단부측의 내부에 배치되는 풀리(37)와, 선단측 암부(13)의 선단측의 내부에 배치되는 풀리(38)를 구비하고 있다. 풀리(37)의 피치원 직경과 풀리(38)의 피치원 직경의 비는 1:2로 설정되어 있다.

모터(34)는 서보 모터이며, 모터(34)의 회전 위치를 검지하기 위한 인코더를 구비하고 있다. 모터(34)는 공통 암부(15)의 내부에 배치되어 있다. 모터(34)의 출력축에는 풀리가 고정되어 있다. 이 풀리와 풀리(36)에는 벨트(40)가 걸려 있다. 감속기(35)의 출력축에는, 원통형으로 형성되는 회동축(41)의 하단부가 고정되어 있다. 회동축(41)의 상단부는 선단측 암부(13)의 기단부측의 하면에 고정되어 있다. 감속기(35)의 출력축의 외주측에는 자성 유체 시일이 배치되어 있다.

선단측 암부(13)의 기단부측의 내부에는, 풀리(37)를 회동 가능하게 지지하는 지지축이 설치되어 있다. 풀리(37)는 고정 부재(42)에 의해 공통 암부(15)의 한쪽 선단측에 고정되어 있다. 고정 부재(42)는 선단측 암부(13) 및 공통 암부(15)의 외부에 배치되어 있다. 선단측 암부(13)의 선단측의 내부에는, 풀리(38)를 회동 가능하게 지지하는 지지축이 설치되어 있다. 풀리(38)의 하단부에는 핸드(8)의 기부(18)가 고정되어 있다. 풀리(37)와 풀리(38)에는 벨트(43)가 걸려 있다.

제2 구동 기구(32)는 제1 구동 기구(31)와 거의 마찬가지로 구성되어 있으며, 모터(44)와, 모터(44)에 연결되는 감속기(45)를 구비하고 있다. 감속기(45)는 중공 파동 기어 장치이며, 공통 암부(15)와 선단측 암부(14)의 연결부에 배치되어 있다. 또한 제2 구동 기구(32)는, 감속기(45)의 입력축에 고정되는 풀리(46)와, 선단측 암부(14)의 기단부측의 내부에 배치되는 풀리(47)와, 선단측 암부(13)의 선단측의 내부에 배치되는 풀리(48)를 구비하고 있다. 풀리(47)의 피치원 직경과 풀리(48)의 피치원 직경의 비는 1:2로 설정되어 있다.

모터(44)는 서보 모터이며, 모터(44)의 회전 위치를 검지하기 위한 인코더를 구비하고 있다. 모터(44)는 공통 암부(15)의 내부에 배치되어 있다. 모터(44)의 출력축에는 풀리가 고정되어 있다. 이 풀리와 풀리(46)에는 벨트(50)가 걸려 있다. 감속기(45)의 출력축은 선단측 암부(14)의 기단부측의 하면에 고정되어 있다. 감속기(45)의 출력축의 외주측에는 자성 유체 시일이 배치되어 있다.

선단측 암부(14)의 기단부측의 내부에는, 풀리(47)를 회동 가능하게 지지하는 지지축이 설치되어 있다. 풀리(47)는 고정 부재(52)에 의해 공통 암부(15)의 다른 쪽 선단측에 고정되어 있다. 고정 부재(52)는 선단측 암부(14) 및 공통 암부(15)의 외부에 배치되어 있다. 선단측 암부(14)의 선단측의 내부에는, 풀리(48)를 회동 가능하게 지지하는 지지축이 설치되어 있다. 풀리(48)의 상단부에는 핸드(9)의 기부(18)가 고정되어 있다. 풀리(47)와 풀리(48)에는 벨트(53)가 걸려 있다.

제3 구동 기구(33)는, 모터(54)와, 모터(54)에 연결되는 감속기(55)와, 감속기(55)의 입력축에 고정되는 풀리(56)를 구비하고 있다. 감속기(55)는 중공 파동 기어 장치이며, 관절부(20)에 배치되어 있다. 모터(54)는 서보 모터이며, 모터(54)의 회전 위치를 검지하기 위한 인코더를 구비하고 있다. 모터(54)는 스윙 암(11)의 내부에 배치되어 있다. 모터(54)의 출력축에는 풀리가 고정되어 있다. 이 풀리와 풀리(56)에는 벨트(58)가 걸려 있다. 감속기(55)의 출력축은, 공통 암부(15)의 기단부(중심부)의 하면에 고정되어 있다. 감속기(55)의 출력축의 외주측에는 자성 유체 시일이 배치되어 있다.

스윙 암 구동 기구(25)는, 모터(62)와, 모터(62)에 연결되는 감속기(63)와, 감속기(63)의 입력축에 고정되는 풀리(64)를 구비하고 있다. 감속기(63)는 중공 파동 기어 장치이다. 모터(62)는 서보 모터이며, 모터(62)의 회전 위치를 검지하기 위한 인코더를 구비하고 있다. 모터(62) 및 감속기(63)는 케이스체(16)의 내부에 배치되어 있다. 모터(62)의 출력축에는 풀리(65)가 고정되어 있다. 풀리(64)와 풀리(65)에는 벨트(66)가 걸려 있다. 감속기(63)의 출력축에는, 원통형으로 형성되는 회동축(68)의 하단부가 고정되어 있다. 회동축(68)의 상단부는 스윙 암(11)의 기단부측의 하면에 고정되어 있다. 덮개체(17)의 중심에는, 회동축(68)이 배치되는 관통 구멍이 형성되어 있다. 회동축(68)의 외주측에는 자성 유체 시일 및 벨로즈가 배치되어 있다.

브레이크 기구(26)는 무여자 작동형 전자 브레이크이다. 브레이크 기구(26)는, 모터(62)의 회전축에 고정되는 회전판과, 회전판을 사이에 두고 배치되는 제동판 및 아마추어와, 아마추어를 회전판을 향해 가압하는 압축 코일 스프링 등의 스프링 부재와, 코일이 권회되는 요크를 구비하고 있다. 브레이크 기구(26)에서는, 코일이 무여자 상태일 때 제동력이 작용하고, 코일이 여자 상태일 때 제동력이 작용하지 않는다.

스윙 암 승강 기구(27)는 스윙 암 구동 기구(25)와 함께 스윙 암(11)을 승강시킨다. 스윙 암 승강 기구(27)는 케이스체(16)의 내부에 배치되어 있다. 스윙 암 승강 기구(27)는, 모터(70)와, 모터(70)의 동력으로 회전하는 볼 나사(71)와, 볼 나사(71)의 나사축에 고정되는 풀리(72)를 구비하고 있다. 모터(70)는 서보 모터이며, 모터(70)의 회전 위치를 검지하기 위한 인코더를 구비하고 있다. 볼 나사(71)의 나사축은 케이스체(16)에 회전 가능하게 보유 지지되어 있다. 볼 나사(71)의 너트 부재는, 스윙 암 구동 기구(25)를 보유 지지하는 가동 프레임(73)에 고정되어 있다. 모터(70)의 출력축에는 풀리(74)가 고정되어 있다. 풀리(72)와 풀리(74)에는 벨트(75)가 걸려 있다.

(로봇의 동작)

도 4, 도 5는, 도 1에 도시하는 로봇(1)의, 스윙 암(11)의 회동 동작 시의 상태를 설명하기 위한 평면도이다.

챔버(5)에 기판(2)을 반입하는 기판(2)의 반입 시, 및 챔버(5)로부터 기판(2)을 반출하는 기판(2)의 반출 시에는, 핸드(8, 9)의 선단이 후방측에 배치됨과 함께 핸드(8, 9)의 기단이 전방측에 배치된 상태에서 암(10)이 신축한다. 구체적으로는, 챔버(5)로의 기판(2)의 반입 시, 및 챔버(5)로부터의 기판(2)의 반출 시에는, 핸드(8)의 선단이 후방측에 배치됨과 함께 핸드(8)의 기단이 전방측에 배치된 상태에서 암(10)의, 선단측 암부(13)측의 부분이 신축하여, 핸드(8)가 일정 방향을 향한 상태에서 전후 방향으로 직선적으로 이동하거나, 또는 핸드(9)의 선단이 후방측에 배치됨과 함께 핸드(9)의 기단이 전방측에 배치된 상태에서 암(10)의, 선단측 암부(14)측의 부분이 신축하여, 핸드(9)가 일정 방향을 향한 상태에서 전후 방향으로 직선적으로 이동한다.

마찬가지로 챔버(6)로의 기판(2)의 반입 시, 및 챔버(6)로부터의 기판(2)의 반출 시에는, 핸드(8)의 선단이 전방측에 배치됨과 함께 핸드(8)의 기단이 후방측에 배치된 상태에서 암(10)의, 선단측 암부(13)측의 부분이 신축하여, 핸드(8)가 일정 방향을 향한 상태에서 전후 방향으로 직선적으로 이동하거나, 또는 핸드(9)의 선단이 전방측에 배치됨과 함께 핸드(9)의 기단이 후방측에 배치된 상태에서 암(10)의, 선단측 암부(14)측의 부분이 신축하여, 핸드(9)가 일정 방향을 향한 상태에서 전후 방향으로 직선적으로 이동한다. 즉, 핸드(8, 9)의 기단으로부터 핸드(8, 9)의 선단을 향하는 핸드(8, 9)의 긴 변 방향을 핸드 긴 변 방향으로 하면, 챔버(5, 6)로의 기판(2)의 반입 시, 및 챔버(5, 6)로부터의 기판(2)의 반출 시에는, 핸드 긴 변 방향과 전후 방향이 일치한 상태에서 핸드(8, 9)가 전후 방향으로 직선적으로 이동하도록 암(10)이 신축한다.

챔버(5, 6)로의 기판(2)의 반입 시, 및 챔버(5, 6)로부터의 기판(2)의 반출 시에는 본체부(12)에 대해 스윙 암(11)이 정지해 있다. 즉, 챔버(5, 6)로의 기판(2)의 반입 시, 및 챔버(5, 6)로부터의 기판(2)의 반출 시에는, 본체부(12)에 대해 스윙 암(11)이 정지해 있는 상태에서 핸드(8, 9)가 스윙 암(11)에 대해 전후 방향으로 직선적으로 이동한다. 챔버(5, 6)로의 기판(2)의 반입 시, 및 챔버(5, 6)로부터의 기판(2)의 반출 시에는, 브레이크 기구(26)의 코일은 무여자 상태로 되어 있다. 즉, 브레이크 기구(26)는, 챔버(5, 6)로의 기판(2)의 반입 시, 및 챔버(5, 6)로부터의 기판(2)의 반출 시에 작동하여 본체부(12)에 대한 스윙 암(11)의 회동 정지 상태를 유지하고 있다.

본체부(12)에 대해 스윙 암(11)이 회동할 때는, 제1 구동 기구(31) 및 제2 구동 기구(32)는 정지해 있다. 즉, 본체부(12)에 대해 스윙 암(11)이 회동할 때는 모터(34, 44)가 정지해 있어 스윙 암(11)에 대해 암(10)은 신축하지 않는다. 또한 본체부(12)에 대해 스윙 암(11)이 회동할 때는, 암(10)은 수축해 있어 핸드(8)와 핸드(9)가 상하 방향에서 겹쳐져 있다. 이때는 핸드(8)의 포크부(19) 바로 아래에 핸드(9)의 포크부(19)가 배치되어 있다.

예를 들어 스윙 암(11)의 선단측이 암 회동 중심 C보다도 후방측에 배치되어 있는 상태에서 스윙 암(11)이 회동할 때는, 도 4의 (A) 내지 (C)에 도시한 바와 같이 핸드 긴 변 방향은 전후 방향에 대해 경사져 있다. 구체적으로는, 스윙 암(11)의 선단측이 암 회동 중심 C보다도 후방측에 배치되어 있는 상태에서 스윙 암(11)이 회동할 때 핸드 긴 변 방향은 전후 방향에 대해 90° 경사져 있으며, 핸드 긴 변 방향은 좌우 방향과 일치해 있다.

또한 스윙 암(11)의 선단측이 암 회동 중심 C보다도 후방측에 배치되어 있는 상태에서 스윙 암(11)이 회동할 때는, 제3 구동 기구(33)는 핸드(8, 9)의 방향이 일정해지도록 스윙 암(11)에 대해 공통 암부(15)를 회동시킨다. 예를 들어 스윙 암(11)의 선단측이 암 회동 중심 C보다도 후방측에 배치되어 있는 상태에서 스윙 암(11)이 회동할 때 제3 구동 기구(33)는, 핸드(8, 9)의 선단이 좌측을 향한 상태를 유지하도록 스윙 암(11)에 대해 공통 암부(15)를 회동시킨다.

또한, 예를 들어 스윙 암(11)의 선단측이 암 회동 중심 C보다도 전방측에 배치되어 있는 상태에서 스윙 암(11)이 회동할 때는, 도 5의 (A) 내지 (C)에 도시한 바와 같이 핸드 긴 변 방향은 전후 방향에 대해 경사져 있다. 구체적으로는, 스윙 암(11)의 선단측이 암 회동 중심 C보다도 전방측에 배치되어 있는 상태에서 스윙 암(11)이 회동할 때 핸드 긴 변 방향은 전후 방향에 대해 90° 경사져 있으며, 핸드 긴 변 방향은 좌우 방향과 일치해 있다.

또한 스윙 암(11)의 선단측이 암 회동 중심 C보다도 전방측에 배치되어 있는 상태에서 스윙 암(11)이 회동할 때는, 제3 구동 기구(33)는 핸드(8, 9)의 방향이 일정해지도록 스윙 암(11)에 대해 공통 암부(15)를 회동시킨다. 예를 들어 스윙 암(11)의 선단측이 암 회동 중심 C보다도 전방측에 배치되어 있는 상태에서 스윙 암(11)이 회동할 때 제3 구동 기구(33)는, 핸드(8, 9)의 선단이 우측을 향한 상태를 유지하도록 스윙 암(11)에 대해 공통 암부(15)를 회동시킨다.

또한 스윙 암(11)의 선단측이 암 회동 중심 C보다도 우측에 배치되어 있는 상태에서 스윙 암(11)이 회동할 때는, 도 4의 (D) 내지 (F)에 도시한 바와 같이 핸드 긴 변 방향은 좌우 방향에 대해 경사져 있다. 구체적으로는, 스윙 암(11)의 선단측이 암 회동 중심 C보다도 우측에 배치되어 있는 상태에서 스윙 암(11)이 회동할 때 핸드 긴 변 방향은 좌우 방향에 대해 90° 경사져 있으며, 핸드 긴 변 방향은 전후 방향과 일치해 있다.

또한 스윙 암(11)의 선단측이 암 회동 중심 C보다도 우측에 배치되어 있는 상태에서 스윙 암(11)이 회동할 때는, 제3 구동 기구(33)는 핸드(8, 9)의 방향이 일정해지도록 스윙 암(11)에 대해 공통 암부(15)를 회동시킨다. 예를 들어 스윙 암(11)의 선단측이 암 회동 중심 C보다도 우측에 배치되어 있는 상태에서 스윙 암(11)이 회동할 때 제3 구동 기구(33)는, 핸드(8, 9)의 선단이 후방측을 향한 상태를 유지하도록 스윙 암(11)에 대해 공통 암부(15)를 회동시킨다.

또한 스윙 암(11)의 선단측이 암 회동 중심 C보다도 좌측에 배치되어 있는 상태에서 스윙 암(11)이 회동할 때는, 도 5의 (D) 내지 (F)에 도시한 바와 같이 핸드 긴 변 방향은 좌우 방향에 대해 경사져 있다. 구체적으로는, 스윙 암(11)의 선단측이 암 회동 중심 C보다도 좌측에 배치되어 있는 상태에서 스윙 암(11)이 회동할 때 핸드 긴 변 방향은 좌우 방향에 대해 90° 경사져 있으며, 핸드 긴 변 방향은 전후 방향과 일치해 있다.

또한 스윙 암(11)의 선단측이 암 회동 중심 C보다도 좌측에 배치되어 있는 상태에서 스윙 암(11)이 회동할 때는, 제3 구동 기구(33)는 핸드(8, 9)의 방향이 일정해지도록 스윙 암(11)에 대해 공통 암부(15)를 회동시킨다. 예를 들어 스윙 암(11)의 선단측이 암 회동 중심 C보다도 좌측에 배치되어 있는 상태에서 스윙 암(11)이 회동할 때 제3 구동 기구(33)는, 핸드(8, 9)의 선단이 전방측을 향한 상태를 유지하도록 스윙 암(11)에 대해 공통 암부(15)를 회동시킨다.

(본 형태의 주된 효과)

이상 설명한 바와 같이 본 형태에서는, 스윙 암(11)에 대해 핸드(8, 9)가 직선적으로 이동하는 챔버(5, 6)로의 기판(2)의 반입 시, 및 챔버(5, 6)로부터의 기판(2)의 반출 시에, 무여자 작동형 전자 브레이크인 브레이크 기구(26)가 작동하여 스윙 암(11)의 회동 정지 상태를 유지하고 있다. 그 때문에 본 형태에서는, 스윙 암(11)에 대해 핸드(8, 9)가 직선적으로 이동하는 기판(2)의 반입 시나 반출 시에 로봇(1)을 비상 정지시켜도 브레이크 기구(26)에 의해 스윙 암(11)의 회동 정지 상태를 유지하는 것이 가능해진다. 따라서 본 형태에서는, 로봇(1)을 비상 정지시켰을 때, 스윙 암(11)에 대해 직선적으로 이동하는 핸드(8, 9)가 예기치 못한 방향으로 이동하는 것을 억제하는 것이 가능해진다.

(로봇의 변경예 1)

상술한 형태에 있어서, 상술한 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇과 같이, 로봇(1)은 암(10) 대신, 제1 암 및 제2 암과, 제1 암 및 제2 암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 암 지지부로 구성되는 암을 구비하고 있어도 된다. 즉, 로봇(1)은 이른바 더블 암형 로봇이어도 된다. 이 경우에는, 제1 암 및 제2 암은, 선단측에 핸드(8, 9)가 회동 가능하게 연결되는 선단측 암부와, 선단측 암부의 기단부측이 선단측에 회동 가능하게 연결됨과 함께 기단부측이 암 지지부에 회동 가능하게 연결되는 기단부측 암부로 구성되어 있다. 또한 암 지지부는 스윙 암(11)의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다.

이 변경예에서는, 스윙 암(11)에 대해 핸드(8, 9)를 수평 방향으로 직선적으로 이동시킴과 함께 스윙 암(11)에 대해 암을 회동시키는 암 구동 기구는, 암 지지부에 대해 제1 암을 신축시키는 구동 기구(구체적으로는, 암 지지부에 대해 기단부측 암부를 회동시키고, 기단부측 암부에 대해 선단측 암부를 회동시킴과 함께, 선단측 암부에 대해 핸드(8)를 회동시키는 구동 기구)와, 암 지지부에 대해 제2 암을 신축시키는 구동 기구(구체적으로는, 암 지지부에 대해 기단부측 암부를 회동시키고, 기단부측 암부에 대해 선단측 암부를 회동시킴과 함께, 선단측 암부에 대해 핸드(9)를 회동시키는 구동 기구)와, 스윙 암(11)에 대해 암 지지부를 회동시키는 구동 기구를 구비하고 있다. 이 암 구동 기구는 암을 신축시킴으로써 스윙 암(11)에 대해 핸드(8, 9)를 수평 방향으로 직선적으로 이동시킨다.

(로봇의 변경예 2)

상술한 형태에 있어서, 로봇(1)은 1개의 핸드(8)만을 구비하고 있어도 된다. 이 경우에는, 로봇(1)은 암(10) 대신, 선단측에 핸드(8)가 회동 가능하게 연결되는 선단측 암부와, 선단측 암부의 기단부측이 선단측에 회동 가능하게 연결됨과 함께 기단부측이 스윙 암(11)의 선단측에 회동 가능하게 연결되는 기단부측 암부로 구성되는 암을 구비하고 있다. 즉, 로봇(1)은 이른바 싱글 암형 로봇이어도 된다.

이 변경예에서는, 스윙 암(11)에 대해 핸드(8)를 수평 방향으로 직선적으로 이동시킴과 함께 스윙 암(11)에 대해 암을 회동시키는 암 구동 기구는, 기단부측 암부에 대해 선단측 암부를 회동시킴과 함께 선단측 암부에 대해 핸드(8)를 회동시키는 구동 기구와, 스윙 암(11)에 대해 기단부측 암부를 회동시키는 구동 기구를 구비하고 있다. 이 암 구동 기구는 암을 신축시킴으로써 스윙 암(11)에 대해 핸드(8, 9)를 수평 방향으로 직선적으로 이동시킨다.

(로봇의 변경예 3)

상술한 형태에 있어서, 로봇(1)은 암(10) 대신, 예를 들어 일본 특허 공개 제2019-25585호 공보에 개시된 산업용 로봇의 암과 같이, 핸드(8, 9)의 수평 방향으로의 직선적인 왕복 이동이 가능해지도록 핸드(8, 9)를 보유 지지하는 가늘고 긴 대략 직육면체형 암을 구비하고 있어도 된다. 즉, 로봇(1)은, 수평 방향으로의 슬라이드가 가능해지도록 핸드(8, 9)가 암에 연결된, 이른바 리니어 타입의 로봇이어도 된다.

이 변경예에서는, 예를 들어 가늘고 긴 대략 직육면체형으로 형성되는 암의 중심부가 스윙 암(11)의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 또한 이 변경예에서는, 스윙 암(11)에 대해 핸드(8, 9)를 수평 방향으로 직선적으로 이동시킴과 함께 스윙 암(11)에 대해 암을 회동시키는 암 구동 기구는, 암에 대해 핸드(8)를 직선적으로 왕복 이동시키는 구동 기구와, 암에 대해 핸드(9)를 직선적으로 왕복 이동시키는 구동 기구와, 스윙 암(11)에 대해 암을 회동시키는 구동 기구를 구비하고 있다.

또한 이 변경예에 있어서, 로봇(1)은 1개의 핸드(8)만을 구비하고 있어도 된다. 이 경우에는, 스윙 암(11)에 대해 핸드(8)를 수평 방향으로 직선적으로 이동시킴과 함께 스윙 암(11)에 대해 암을 회동시키는 암 구동 기구는, 암에 대해 핸드(8)를 직선적으로 왕복 이동시키는 구동 기구와, 스윙 암(11)에 대해 암을 회동시키는 구동 기구를 구비하고 있다.

(다른 실시 형태)

상술한 형태 및 변경예는, 본 발명의 적합한 형태의 일례이기는 하지만 이에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에 있어서 다양한 변형 실시가 가능하다.

상술한 형태에 있어서, 브레이크 기구(26)의 회전판은 모터(62)의 회전축 이외의 개소에 고정되어 있어도 된다. 예를 들어 브레이크 기구(26)의 회전판은 감속기(63)의 입력축에 고정되어 있어도 된다. 또한 브레이크 기구(26)의 회전판은 감속기(63)의 출력축에 고정되어 있어도 되고, 회동축(68)에 고정되어 있어도 된다. 또한 상술한 형태에 있어서, 챔버(4)는, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 직사각 형상이 되는 대략 직육면체 상자형으로 형성되어 있어도 된다.

상술한 형태에 있어서, 스윙 암(11)에 대한 공통 암부(15)의 회동 중심과 공통 암부(15)에 대한 선단측 암부(13)의 회동 중심의 수평 방향의 거리와, 스윙 암(11)에 대한 공통 암부(15)의 회동 중심과 공통 암부(15)에 대한 선단측 암부(14)의 회동 중심의 수평 방향의 거리가 달라도 된다. 또한 상술한 형태에 있어서, 선단측 암부(13)의 길이와 선단측 암부(14)의 길이가 달라도 된다. 예를 들어 선단측 암부(13)가 선단측 암부(14)보다 길게 되어 있어도 된다.

상술한 형태에서는, 공통 암부(15)는 대략 V 형상의 블록형으로 형성되어 있지만, 공통 암부(15)는, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이, 가늘고 긴 타원 형상 또는 직사각 형상이 됨과 함께 상하 방향의 두께가 비교적 얇은 블록형으로 형성되어 있어도 된다. 또한 상술한 형태에 있어서, 로봇(1)에 의해 반송되는 반송 대상물은 유리 기판 이외의 것이어도 된다. 예를 들어 로봇(1)에 의해 반송되는 반송 대상물은 반도체 웨이퍼 등이어도 된다. 또한 상술한 형태에 있어서, 로봇(1)은 대기 중에서 반송 대상물을 반송해도 된다.

1: 로봇(산업용 로봇)
2: 기판(유리 기판, 반송 대상물)
5: 챔버(프로세스 챔버, 수용부)
8: 핸드(제1 핸드)
9: 핸드(제2 핸드)
10: 암
11: 스윙 암
12: 본체부
13: 선단측 암부(제1 선단측 암부)
14: 선단측 암부(제2 선단측 암부)
15: 공통 암부
24: 암 구동 기구
25: 스윙 암 구동 기구
26: 브레이크 기구
31: 제1 구동 기구
32: 제2 구동 기구
33: 제3 구동 기구

Claims

반송 대상물이 탑재되는 핸드와, 상기 핸드가 연결되는 암과, 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 상기 암이 선단측에 회동 가능하게 연결되는 스윙 암과, 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 상기 스윙 암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 본체부와, 상기 스윙 암에 대해 상기 핸드를 수평 방향으로 직선적으로 이동시킴과 함께 상기 스윙 암에 대해 상기 암을 회동시키는 암 구동 기구와, 상기 본체부에 대해 상기 스윙 암을 회동시키는 스윙 암 구동 기구와, 상기 본체부에 대한 상기 스윙 암의 회동을 정지시키기 위한 브레이크 기구를 구비하고,
상기 반송 대상물이 수용되는 수용부에 상기 반송 대상물을 반입하는 반입 시, 및 상기 수용부로부터 상기 반송 대상물을 반출하는 반출 시에는, 상기 본체부에 대해 상기 스윙 암이 정지해 있는 상태에서 상기 핸드가 상기 스윙 암에 대해 직선적으로 이동하고,
상기 브레이크 기구는 상기 반입 시 및 상기 반출 시에 작동하여 상기 스윙 암의 회동 정지 상태를 유지하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
제1항에 있어서,
상기 브레이크 기구는 무여자 작동형 전자 브레이크인 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
제1항 또는 제2항에 있어서
상기 핸드는 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 상기 암의 선단측에 회동 가능하게 연결되고,
상기 암의 기단부측은 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 상기 스윙 암의 선단측에 회동 가능하게 연결되고,
상기 암 구동 기구는 상기 암을 신축시킴으로써 상기 스윙 암에 대해 상기 핸드를 수평 방향으로 직선적으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
제3항에 있어서,
2개의 상기 핸드를 구비하고,
상기 암은, 2개의 상기 핸드의 각각이 선단측에 회동 가능하게 연결되는 2개의 선단측 암부와, 2개의 상기 선단측 암부의 기단부측이 회동 가능하게 연결됨과 함께 상기 스윙 암의 선단측에 회동 가능하게 연결되는 공통 암부를 구비하고,
2개의 상기 핸드 중 한쪽 상기 핸드를 제1 핸드라 하고, 다른 쪽 상기 핸드를 제2 핸드라 하고, 상기 제1 핸드가 연결되는 상기 선단측 암부를 제1 선단측 암부라 하고, 상기 제2 핸드가 연결되는 상기 선단측 암부를 제2 선단측 암부라 하면,
상기 암 구동 기구는, 상기 공통 암부에 대해 상기 제1 선단측 암부를 회동시킴과 함께 상기 제1 선단측 암부에 대해 상기 제1 핸드를 회동시키는 제1 구동 기구와, 상기 공통 암부에 대해 상기 제2 선단측 암부를 회동시킴과 함께 상기 제2 선단측 암부에 대해 상기 제2 핸드를 회동시키는 제2 구동 기구와, 상기 스윙 암에 대해 상기 공통 암부를 회동시키는 제3 구동 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.