JP2007067110A - 研磨パッド、パッドドレッシング評価方法、及び研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ワークを研磨する研磨装置10の研磨パッド20の表面を着色し、あるいは表面又は表層部が予め内部と異なる色に着色された研磨パッド20を用い、所定時間パッドドレッシングを行い、パッドドレッシングによって削られた前記研磨パッド20表面の色むらを基に、前記パッドドレッシングのドレッシング状態を評価するようにした。
【選択図】 図1
Description
はいろいろある。例えば、大塚化学社製の商品名パイロキープTS、日進化成社製の商品名アーバンセラ、日本特殊塗料社製の商品名シルビアSPヨゴレガード、大同塗料社製の商品名レジガードFAリニューや商品名ハイクリーン、日本油脂社製の商品名ベルクリーン、アトミクス社製の商品名アミックスコーン、住友精化社製の商品名アクアトップF−2、寺西化学工業社製の商品名マジックインキ等がある。
の回転数を80rpmとし、研磨パッド20の表面に純水を供給しながらパッドドレッシングを行った。
に劣ることが分かる。
の回転数を80rpmとし、パッドドレッサーをパッドの半径方向に揺動させながら、研磨パッド20の表面に純水を供給しパッドドレッシングを行った。ドレッシング圧力は4Kgfとし、ドレッシング時間はCase 1の場合を15分、Case 2の場合を21分とした。
Claims (7)
- ワークを研磨する研磨装置の研磨パッドにおいて、
表面又は表層部が内部と異なる色に着色されていることを特徴とする研磨パッド。 - 研磨装置の研磨パッド表面をドレッシングするパッドドレッシングのドレッシング状態を評価するパッドドレッシング評価方法において、
前記研磨パッドの表面を着色し、あるいは表面又は表層部が予め内部と異なる色に着色された研磨パッドを用い、
所定時間パッドドレッシングを行い、
パッドドレッシングによって削られた前記研磨パッド表面の色むらを基に、前記パッド
ドレッシングのドレッシング状態を評価することを特徴とするパッドドレッシング評価方法。 - パッドドレッシングによって削られた前記研磨パッド表面の色を複数個所で測定して定量化することによって、前記研磨パッド表面の色むらを求めることを特徴とする請求項2に記載のパッドドレッシング評価方法。
- 前記ドレッシング状態の評価は、前記研磨パッドの面内におけるドレッシングの均一性の評価であることを特徴とする請求項2又は請求項3に記載のパッドドレッシング評価方法。
- ワークを研磨する研磨装置において、
表面又は表層部が内部と異なる色に着色された研磨パッドと、
該研磨パッドをドレッシングするパッドドレッサーと、
前記研磨パッドの表面を観察する観察手段と、が設けられたことを特徴とする研磨装置。 - ワークを研磨する研磨装置において、
表面又は表層部が内部と異なる色に着色された研磨パッドと、
該研磨パッドをドレッシングするパッドドレッサーと、
前記研磨パッドの表面の色を測定して定量化する測定手段と、が設けられたことを特徴とする研磨装置。 - 前記定量化された値が予め設定した範囲内か否かを判別して、ワークの研磨を実施するか否かを判断する判断手段を有することを特徴とする請求項6に記載の研磨装置。
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