JP2007043149A - プラズマエッチング装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板が載置される基板支持台と、前記エッチング対象となる基板面と隣り合うように配設された電極と、前記基板と隣り合う電極の表面上に形成された誘電膜、及び前記電極と基板支持台との間に電位差を生じさせるための電源手段を備えるプラズマエッチング装置を提供する。このように、基板が載置された基板支持台と基板の端部領域を取り囲む電極との間に電位差を与え、基板と電極との距離を3mm以下にし、且つ、基板と電極との間の領域において局部的にプラズマを生じさせて、基板の端部領域のパーチクル及び薄膜を除去することができ、しかも、基板の上部中心領域にカーテンの役割を果たすガスを吹き付けて基板と電極との間で生じたプラズマが基板の上部中心領域に流れ込む現象を防ぐことができる。さらには、大気圧近くで且つ常温の状態でプラズマを生じさせることができる。
【選択図】図2
Description
Plasma)を用いるプラズマエッチング装置に関する。
前記基板と対応する前記チャンバーの上壁に非反応性のガスを吹き付ける非反応ガスの噴射ノズルが設けられていることが好ましい。そして、前記電極に反応ガスを吹き付ける反応ガスの噴射ノズルが設けられていることが好適である。
上述した前記チャンバー内の圧力は、10〜1,000Torrまたは700〜800Torrに維持することが好ましい。
さらに、電極の側面と基板との間にバリア膜を形成して、プラズマが基板の上部中心領域に流れ込むことを物理的に防ぐことができ、しかも、基板の上部中心でのプラズマの生成を防ぐことができる。
この実施の形態によるプラズマエッチング装置においては、基板の端部領域を取り囲むために、電極が2つに分離されて接続される。すなわち、基板30の上面周縁部領域と、側面領域及び下面周縁部領域のパーチクル及び薄膜をプラズマを用いてエッチングするために、基板30の上面周縁部領域の上部に第1の電極42が配設され、基板30の下面周縁部領域の下部に第2の電極44が配設される。このように、第1及び第2の電極42、44と基板30が重なり合う領域においてプラズマが生じる。ここで、第1及び第2の電極42、44の表面には、誘電体膜52、54が形成されていることが好ましい。
20、120:基板支持台
30、130:基板
42、44、142、144:電極
60:導電性フレーム
70、170:排気口
80、190:電源手段
90:磁界形成手段
Claims (14)
- チャンバーと、
前記チャンバー内に設けられると共に、基板を位置付ける基板支持台と、
前記基板の端部に対応し、前記基板の端部との間隔が、前記チャンバーの上壁と前記基板との間隔よりも小さい電極と、
前記基板支持台に電源を印加する電源手段と、を備えるプラズマエッチング装置。 - 前記基板の端部は、0.5〜4mmである請求項1に記載のプラズマエッチング装置。
- 前記基板とチャンバーの上壁との間隔は、30〜50mmである請求項1に記載のプラズマエッチング装置。
- 前記電極は、
前記基板の上端部に位置する第1の電極と、
前記基板の下端部に位置する第2の電極と、を備える請求項1に記載のプラズマエッチング装置。 - 前記電極と前記基板との間隔は、0.1〜5mmであるか、あるいは、1〜1.5mmである請求項1に記載のプラズマエッチング装置。
- 前記電極の表面に誘電膜が形成されている請求項1に記載のプラズマエッチング装置。
- 前記誘電膜と前記基板との間隔は、0.1〜5mmである請求項5に記載のプラズマエッチング装置。
- 前記基板と対応する前記チャンバーの上壁に非反応性のガスを吹き付ける非反応ガスの噴射ノズルが設けられている請求項1に記載のプラズマエッチング装置。
- 前記電極に反応ガスを吹き付ける反応ガスの噴射ノズルが設けられている請求項1に記載のプラズマエッチング装置。
- 前記基板支持台が昇降可能であって前記基板が出納自在に、前記基板支持台の下部に前記基板支持台の駆動部が設けられている請求項1に記載のプラズマエッチング装置。
- 前記チャンバー内の圧力は、10〜1,000Torrまたは700〜800Torrに維持する請求項1に記載のプラズマエッチング装置。
- 前記電極の下部に磁界形成手段がさらに設けられている請求項1に記載のプラズマエッチング装置。
- 前記電極の側面にバリア膜が形成されている請求項1に記載のプラズマエッチング装置。
- 前記バリア膜は、前記電極の側面から前記基板に向かって延設され、前記バリア膜と前記基板との間隔が0.1〜5mmである請求項12に記載のプラズマエッチング装置。
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