JP2007012855A - 半導体集積回路、標準セル、標準セルライブラリ、半導体集積回路の設計方法および半導体集積回路の設計装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】活性なトランジスタとそれに近接するゲートとの間隔を広げる。また、標準セル内の活性なトランジスタとこれに近接するゲートとの距離を離す、あるいは、標準セル内の活性なトランジスタとセル枠との距離を離す、あるいは、活性なトランジスタを含む標準セルに隣接して、活性なトランジスタを含まないスペーサー標準セルを配置するといった手段により間隔を広げる。
【選択図】図1
Description
図1を用いて第一の実施の形態を説明する。図1は、本発明の第一の実施の形態の半導体集積回路のレイアウトパターンの簡略図である。ゲート1a1と拡散領域1a2によって形成された活性トランジスタ1a、ゲート1b1と拡散領域1b2によって形成されたトランジスタ1b、ゲート1c1が、活性トランジスタ1aを中心に、その両側に配置されている。
図2を用いて、第二の実施の形態を説明する。図2は、本発明の第二の実施の形態の半導体集積回路のレイアウトパターンの簡略図である。図1に対して図2の異なる点は、ゲート2c1がダミーゲートとなっている点である。このようにゲート2c1がダミーゲートの場合でも、上記第一の実施の形態のようにゲート2a1とゲート2b1の間隔を広げる効果は、第一の実施の形態の場合と同様である。
図3を用いて第三の実施の形態を説明する。図3は、本発明の第三の実施の形態の半導体集積回路のレイアウトパターンの簡略図である。図1に対して図3の異なる点は、活性トランジスタ3aのゲート3a1とトランジスタ3bのゲート3b1間に、ダミーゲート3d1がゲート3a1と平行に配置されている点である。図3のように、活性トランジスタ3aのゲート3a1とトランジスタ3bのゲート3b1の間に別のゲート3d1を挟むことにより、トランジスタ3bのゲート3b1が活性トランジスタ3aのゲート3a1に与える光近接効果による仕上がり寸法ばらつきへの影響を、第一の実施の形態以上に抑えることが出来る。
図4を用いて、第四の実施の形態を説明する。図4は、本発明の第四の実施の形態の半導体集積回路のレイアウトパターンの簡略図である。ゲート4a1と拡散領域4a2によって形成された活性トランジスタ4a、ゲート4b1と拡散領域4b2によって形成されたトランジスタ4b、ゲート4c1が、活性トランジスタ4aを中心に、その両側に配置され、活性トランジスタ4aとトランジスタ4bの間に、ダミーゲート4d1,4e1がゲート4a1と平行に配置されている。ここで、ゲート4a1とゲート4b1との間隔を4S1、ゲート4a1とゲート4c1との間隔を4S2としたとき、4S1が4S2より大きくなるようにゲートを配置する。図3に対して図4の異なる点は、トランジスタ4aのゲート4a1とトランジスタ4bのゲート4b1の間にあるダミーゲートが複数本となっている点である。このようにトランジスタ間のゲート本数が増えるとトランジスタ4bのゲート4b1が活性トランジスタ4aのゲート4a1に与える光近接効果による仕上がり寸法ばらつきの影響を抑えることが出来る。
第五の実施の形態として、第四の実施の形態が最も効果的な一例を、図5を用いて説明する。図5は、本発明の第五の実施の形態の半導体集積回路のレイアウトパターンの簡略図である。図4に対して図5の異なる点は、トランジスタ5bのゲート5b1のゲート長が、トランジスタ5aのゲート5a1のゲート長よりも大きくなっている点である。こうしたゲート長の大きいトランジスタは、例えば、容量トランジスタでよく用いられる。これは、最小ゲート長のトランジスタで容量トランジスタを構成しようとするとゲート間の間隔領域の占める割合が増えてしまい単位面積当たりの容量値が増やしにくいというデメリットがあるためであり、ゲート長を大きくすることで単位面積当たりの容量値が大きな容量トランジスタを構成することができるからである。しかし、図5のゲート5b1のようにゲート長の大きなゲートは、近接するトランジスタのゲートに与える光近接効果による仕上がり寸法ばらつきへの影響が大きい。そこで、この影響を抑える方法として、本実施の形態のように、ゲート5a1とゲート5b1の間隔を広げることで、トランジスタ5bのゲート5b1が活性トランジスタ5aのゲート5a1に与える光近接効果による仕上がり寸法ばらつきの影響を抑えることが出来る。
図6を用いて、第六の実施の形態を説明する。図6は、本発明の第六の実施の形態の半導体集積回路のレイアウトパターンの簡略図である。ゲート6a1と拡散領域6a2によって形成された活性トランジスタ6a、ゲート6b1と拡散領域6b2によって形成されたトランジスタ6b、ゲート6c1が、活性トランジスタ6aを中心に、その両側に配置され、活性トランジスタ6aとトランジスタ6bの間に、ダミーゲート6d1がゲート6a1と平行に配置されている。更に、活性トランジスタ6aとトランジスタ6bの間に、ゲート6f1と拡散領域6a2によって形成された非活性トランジスタ6fが配置されている。このように配置することにより、第四の実施の形態で述べたような効果に加え、活性トランジスタ6aのゲート6a1に対するフィンガー長が大きくなるので、活性トランジスタ6aの特性変動を抑制することができる。以下にその理由を詳しく述べる。
図7を用いて第七の実施の形態を説明する。図7は、本発明の第七の実施の形態の半導体集積回路のレイアウトパターンの簡略図である。ゲート7a1と拡散領域7a2によって形成された活性トランジスタ7a、ゲート7b1と拡散領域7b2によって形成されたトランジスタ7b、ゲート7c1が、活性トランジスタ7aを中心に、その両側に配置され、活性トランジスタ7aとトランジスタ7bの間に、ダミーゲート7d1、7e1がゲート7a1と平行に配置されている。更に、ダミーゲート7d1とダミーゲート7e1の間に、ダミー拡散領域7g2が配置されている。このようにダミー拡散領域を配置することにより得られる効果に関して、以下で詳しく説明する。
図8を用いて、第八の実施の形態を説明する。図8は、本発明の第八の実施の形態の半導体集積回路のレイアウトパターンの簡略図である。ゲート8a1と拡散領域8a2によって形成された活性トランジスタ8a、ゲート8b1と拡散領域8b2によって形成されたトランジスタ8b、ゲート8c1と拡散領域8c2によって形成されたトランジスタ8cが、活性トランジスタ8aを中心に、その両側に配置されている。ここで、ゲート8a1とゲート8b1との間隔を8S1、ゲート8a1とゲート8c1との間隔を8S2とした場合、8S1が8S2より大きくなるように配置する。上記第一から第七の実施の形態に対して、第八の実施の形態の大きく異なる点は、ダミーゲート8d1が存在しない点である(図8にダミーゲート8d1は点線で記載しているが、これは理解を容易とするため記載したもので、ダミーゲート8d1は図8のレイアウトパターン上には存在しない)。
図9を用いて、第九の実施の形態を説明する。図9は、本発明の第九の実施の形態の半導体集積回路のレイアウトパターンの簡略図である。図8に対して図9が異なる点は、トランジスタ9bのゲート9b1のゲート長が、トランジスタ9aのゲート9a1及びトランジスタ9cのゲート9c1のゲート長よりも大きい点である。
図10を用いて、第十の実施の形態を説明する。図10は、本発明の第十の実施の形態の半導体集積回路のレイアウトパターンの簡略図である。ゲート10a1と拡散領域10a2によって形成された活性トランジスタ10a、ゲート10b1と拡散領域10b2によって形成されたトランジスタ10b、ゲート10c1と拡散領域10c2によって形成されたトランジスタ10cが、活性トランジスタ10aを中心に、その両側に配置され、活性トランジスタ10aとトランジスタ10bの間に、ゲート10d1と拡散領域10a2によって形成された活性トランジスタ10dが配置されている。
図11を用いて第十一の実施の形態を説明する。図11は、本発明の第十一の実施の形態の半導体集積回路のレイアウトパターンの簡略図である。ゲート11a1と拡散領域11a2によって形成された活性トランジスタ11a、ゲート11b1と拡散領域11b2によって形成されたトランジスタ11b、ゲート11c1と拡散領域11c2によって形成されたトランジスタ11cが、活性トランジスタ11aを中心に、その両側に配置され、活性トランジスタ11aとトランジスタ11bの間にダミー拡散領域11d2が配置されている。このようにダミー拡散領域を配置することにより、第七の実施の形態で述べたように、パターン密度の均一化を図ることができる。
一般的に、半導体集積回路のレイアウト設計は、標準セルを組み合わせて行われることが多い。標準セルとは、複数のトランジスタを組み合わせた基本的な機能を有するレイアウト設計等の基本単位となるものである。標準セル内にはトランジスタやダミーゲートなどが含まれている。標準セルの機能としてはインバータ、NAND、AND、NOR、OR、EXOR、ラッチ、フリップフロップなどがある。
図13を用いて、第十三の実施の形態を説明する。図13は、本発明の第十三の実施の形態の標準セルのレイアウトパターンの簡略図である。図12に対して図13が異なる点は、図13の活性トランジスタ13aと標準セル13hとの間及びセル枠上にダミーゲート13d1,13e1を配置した点である。ダミーゲート13e1は標準セル13hのセル枠上に配置されているとともに、標準セル13iのセル枠上にも設けられており、標準セル13h, 13iが隣接配置されたときに標準セル間でセル枠境界上で共有されている。
図14を用いて、第十四の実施の形態を説明する。図14は、本発明の第十四の実施の形態の標準セルのレイアウトパターンの簡略図である。図13に対して図14が異なる点は、図13のダミーゲート13d1が図14ではゲート14d1は拡散領域14a2上で非活性トランジスタを構成している点である。これにより、上記第六及び第十の実施の形態で述べた通り、光近接効果によるゲートの仕上がり寸法ばらつき抑制に加え、第六の実施の形態で述べた理由により、活性トランジスタ14aのゲート14a1に対するフィンガー長が大きくなることに起因するSTIストレス緩和により活性トランジスタ14aの特性変動を抑制する事ができる。また、非活性トランジスタ14dの仕上がり寸法のばらつきや特性変動が大きくなることが問題とならないことも第六の実施の形態で説明した通りである。
図15を用いて第十五の実施の形態を説明する。図15は、本発明の第十五の実施の形態の標準セルのレイアウトパターンの簡略図である。図13に対して図15が異なる点は、ダミーゲート15d1と15e1間の領域にかかるようにして自動配置配線時の端子アクセス領域となる端子領域15kが配置されていることである。
図16を用いて、第十六の実施の形態を説明する。図16は、本発明の第十六の実施の形態の標準セルのレイアウトパターンの簡略図である。図16には本発明に係る標準セル16hに対して標準セル16iが隣接配置されたレイアウトパターンの簡略図を記載している。標準セル16h, 16iはそれぞれのセル枠を接して配置されている。
図17を用いて、第十七の実施の形態を紹介する。図17は、本発明の第十七の実施の形態の標準セルのレイアウトパターンの簡略図である。図16に対して図17が異なる点は、活性トランジスタ17aと活性トランジスタ17aに最近接するセル枠との間に非活性トランジスタ17dを配置している点である。これにより、上記第六及び第十の実施の形態で述べた通り、光近接効果によるゲートの仕上がり寸法ばらつき抑制に加え、第六の実施の形態で述べた理由により、活性トランジスタ17aのゲート17a1に対するフィンガー長が大きくなるので、活性トランジスタ17aの特性変動を抑制することができる。また、非活性トランジスタ17dの仕上がり寸法のばらつきや特性変動が大きくなることが問題とならないことも第六の実施の形態で説明した通りである。
第十八の実施の形態について説明する。上記第十二から第十七の実施の形態のようなレイアウトを施した標準セルを有する標準セルライブラリを構成する。上記標準セルライブラリを用いて、半導体集積回路の設計を行うことにより、ゲート長の仕上がり寸法ばらつきを抑えた半導体集積回路を得ることができる。
第十九の実施の形態について説明する。上記第十二から第十七の実施の形態のようなレイアウトを施した標準セルを使用して半導体集積回路を構成する。これによって、ゲート長の仕上がり寸法ばらつきを抑えた半導体集積回路を得ることができる。
図18、図19を用いて、第二十の実施の形態を説明する。まず、図18を用いて、標準セルを配置し、標準セルの端子間の配線を行う自動配置配線ツールを用いた一般的な設計フローの概要を説明する。
図20、図21を用いて第二十一の実施の形態を説明する。図20はスペーサー標準セルを模式的に表した図である。スペーサー標準セルを配置する主な目的は、光近接効果の影響を緩和するべく、標準セル間の間隔を広げることにあるため、スペーサー標準セル内には特に素子を配置する必要性は無いが、光近接効果に悪影響を与えない範囲でスペーサー標準セル内の空き領域を有効利用することも可能である。図21にダミー拡散領域を有するようにしたスペーサー標準セルを示す。図21のようにすることで、本来スペーサー標準セルに期待していたゲート長のばらつきを抑制する効果に加えて、拡散領域のパターン密度を均一化する効果も得られる。なお、スペーサー標準セル内には、非活性トランジスタ、ダミーゲート、ダイオード、ダミーメタル配線を配置することも同様に可能である。これらを配置することにより得られる効果及び理由は、前述の実施の形態において既に説明しているためここでは省略する。
3d1,4d1,4e1,5d1,5e1,6c1,6d1,7d1,7e1,13d1,13e1,14e1,15d1,15e1 ダミーゲート
1a2,1b2,2a2,2b2,3a2,3b2,4a2,4b2,5a2,5b2,6a2,6b2,7a2,7b2,8a2,8b2,8c2,9a2,9b2,9c2,10a2,10b2,10c2,11a2,11b2,11c2,12a2,12b2,13a2,13b2,14a2,14b2,15a2,15b2,16a2,16b2, 16c2,17a2,17b2,17c2 拡散領域
1a,2a,3a,4a,5a,6a,7a,8a,9a,10a,11a,12a,13a,14a,15a,16a,17a 活性トランジスタ
1b,2b,3b,4b,5b,6b,7b,8b,8c,9b,9c,10b,10c,10d,11b,11c,12b,12c,13b,13c,14b,14c,15b,15c,16b,16c,17b,17c トランジスタ
6f,14d,17d 非活性トランジスタ
1S1,1S2,2S1,2S2,3S1,3S2,4S1,4S2,5S1,5S2,6S1,6S2,7S1,7S2,8S1,8S2,9S1,9S2,10S1,10S2,11S1,11S2,12S2,13S2,14S2,15S2,16S2,17S2,S ゲート間の距離
12S1,13S1,14S1,15S1,16S1,17S1 ゲートとセル枠の距離
7g2,11d2 ダミー拡散領域
12h,12i,13h,13i,14h,14i,15h,15i,16h,16i,17h,17i 標準セル
15k セル内端子領域
1801 物理ライブラリ
1802 論理ライブラリ
1803 ネットリスト
1804 フロアプランデータ
1805 タイミング制約
1806 概略配置工程
1807 詳細配置配線工程
1808 タイミング判定工程
1809 タイミング最適化工程
1810 レイアウトデータ
1901 標準セル配置工程
1902 スペーサー標準セル配置工程
2001,2101 スペーサー標準セル
2102 ダミー拡散領域
2401 ゲート
2402 N+拡散領域
2403 P+拡散領域
2404 コンタクト
2405 電源配線
2406 接地配線
2407 入力端子
2408 出力端子
2409 セル枠
Claims (87)
- 第一の方向に延在する第一のゲートと拡散領域によって形成された第一の活性トランジスタと、前記第一の方向に延在する第二のゲートと第二の拡散領域によって形成された前記第一の活性トランジスタに前記第一の方向と直交する第二の方向に隣接する第二のトランジスタと、前記第一の活性トランジスタに対して前記第二のトランジスタと逆側で前記第二の方向に隣接する前記第一の方向に延在する第三のゲートを備えた半導体集積回路において、前記第一のゲートと前記第二のゲートの間隔が前記第一のゲートと前記第三のゲートの間隔より大きいことを特徴とする半導体集積回路。
- 前記第一のゲートと前記第二のゲートの間隔が、前記第一のゲートと前記第三のゲートの間隔の2倍以上であることを特徴とする請求項1記載の半導体集積回路。
- 前記第一のゲートと前記第二のゲートの間隔が前記第一のゲートと前記第三のゲートの間隔の3倍以上であることを特徴とする請求項1記載の半導体集積回路。
- 前記第三のゲートは第三のトランジスタを構成することを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の半導体集積回路。
- 前記第三のゲートはダミーゲートであることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の半導体集積回路。
- 前記第一の活性トランジスタと前記第二のトランジスタ間に前記第一の方向に延在するダミーゲートが少なくとも一つ備えられたことを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の半導体集積回路。
- 前記第一ないし第三のゲートと前記ダミーゲートが前記第二の方向に等間隔に敷設されていることを特徴とする請求項6記載の半導体集積回路。
- 前記第一ないし第三のゲートと前記ダミーゲートのゲート長が全て等しいことを特徴とする請求項7記載の半導体集積回路。
- 前記第一の活性トランジスタと前記第二のトランジスタ間に前記第一の方向に延在する第四のゲートを備えた第四の非活性トランジスタが備えられたことを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の半導体集積回路。
- 前記非活性トランジスタはオフトランジスタであることを特徴とする請求項9記載の半導体集積回路。
- 前記非活性トランジスタは容量を構成することを特徴とする請求項9記載の半導体集積回路。
- 前記第一の活性トランジスタと前記第二のトランジスタ間に前記第一の方向に延在するダミーゲートが少なくとも一つ備えられたことを特徴とする請求項9記載の半導体集積回路。
- 前記第一ないし第四のゲートと前記ダミーゲートが前記第二の方向に等間隔に敷設されていることを特徴とする請求項12記載の半導体集積回路。
- 前記第一ないし第四のゲートと前記ダミーゲートのゲート長が全て等しいことを特徴とする請求項13記載の半導体集積回路。
- 前記第一の活性トランジスタと前記第二のトランジスタ間にダミー拡散領域を備えたことを特徴とする請求項1ないし14のいずれかに記載の半導体集積回路。
- 前記第一の活性トランジスタと前記第二のトランジスタ間に基板コンタクトを備えたことを特徴とする請求項1ないし14のいずれかに記載の半導体集積回路。
- 前記第一の活性トランジスタと前記第二のトランジスタ間にダミーメタル配線を備えたことを特徴とする請求項1ないし14のいずれかに記載の半導体集積回路。
- 前記第二のゲートのゲート長は前記第一のゲートのゲート長より大きいことを特徴とする請求項1ないし17のいずれかに記載の半導体集積回路。
- 前記第二のトランジスタは容量を構成することを特徴とする請求項18記載の半導体集積回路。
- 前記第一の活性トランジスタはクロック信号を伝播する回路に使用されていることを特徴とする請求項1ないし19のいずれかに記載の半導体集積回路。
- 前記クロック信号を伝播する回路はインバータ回路もしくはバッファ回路であることを特徴とする請求項20記載の半導体集積回路。
- 第一の方向に延在する第一のゲートと第一の拡散領域によって形成された第一の活性トランジスタと、前記第一の方向に延在する第二のゲートと第二の拡散領域によって形成された前記第一の活性トランジスタに前記第一の方向と直交する第二の方向に隣接する第二のトランジスタと、前記第一の活性トランジスタに対して前記第二のトランジスタと逆側で前記第二の方向に隣接する前記第一の方向に延在する第三のゲートと前記第一の拡散領域とは離間した第二の拡散領域によって形成された第三のトランジスタを備えた半導体集積回路において、前記第一のゲートと前記第二のゲートの間隔が前記第一のゲートと前記第三のゲートの間隔より大きいことを特徴とする半導体集積回路。
- 前記第一のゲートと前記第二のゲートの間隔が、前記第一のゲートと前記第三のゲートの間隔の1.5倍以上であることを特徴とする請求項22記載の半導体集積回路。
- 前記第一ないし第三のゲートのゲート長が全て等しいことを特徴とする請求項22又は23のいずれかに記載の半導体集積回路。
- 前記第一の活性トランジスタと前記第二のトランジスタ間に前記第一の方向に延在する第四のゲートを備えた第四の非活性トランジスタが備えられたことを特徴とする請求項22ないし24のいずれかに記載の半導体集積回路。
- 前記非活性トランジスタはオフトランジスタであることを特徴とする請求項25記載の半導体集積回路。
- 前記非活性トランジスタは容量を構成することを特徴とする請求項25記載の半導体集積回路。
- 前記第一の活性トランジスタと前記第二のトランジスタ間にダミー拡散領域を備えたことを特徴とする請求項22ないし27のいずれかに記載の半導体集積回路。
- 前記第一の活性トランジスタと前記第二のトランジスタ間に基板コンタクトを備えたことを特徴とする請求項22ないし27のいずれかに記載の半導体集積回路。
- 前記第一の活性トランジスタと前記第二のトランジスタ間にダミーメタル配線を備えたことを特徴とする請求項22ないし27のいずれかに記載の半導体集積回路。
- 前記第二のゲートのゲート長は前記第一のゲートのゲート長より大きいことを特徴とする請求項22ないし30のいずれかに記載の半導体集積回路。
- 前記第二のトランジスタは容量を構成することを特徴とする請求項31記載の半導体集積回路。
- 前記第一の活性トランジスタはクロック信号を伝播する回路に使用されていることを特徴とする請求項22ないし32のいずれかに記載の半導体集積回路。
- 前記クロック信号を伝播する回路はインバータ回路もしくはバッファ回路であることを特徴とする請求項33記載の半導体集積回路。
- 第一の方向に延在する第一のゲートと拡散領域によって形成された第一の活性トランジスタ、前記第一の活性トランジスタに対して前記第一の方向と直交する第二の方向に隣接する前記第一の方向に延在する第二のゲートを備えた標準セルにおいて、前記第一の活性トランジスタは前記標準セルのセル枠のうち前記第一の方向に延在する第一のセル枠部分から前記第二の方向に最近傍に配置される活性トランジスタであり、前記第一のゲートと前記第一のセル枠部分の間隔が前記第一のゲートと前記第二のゲートの間隔より大きいことを特徴とする標準セル。
- 前記第一のゲートと前記第一のセル枠部分の間隔が前記第一のゲートと前記第二のゲートの間隔の2倍以上であることを特徴とする請求項35記載の標準セル。
- 前記第二のゲートは第二のトランジスタを構成することを特徴とする請求項35又は36のいずれかに記載の標準セル。
- 前記第二のゲートはダミーゲートであることを特徴とする請求項35又は36のいずれかに記載の標準セル。
- 前記第一の活性トランジスタと前記第一のセル枠部分の間および前記第一のセル枠部分上に前記第一の方向に延在するダミーゲートが少なくとも一つ備えられたことを特徴とする請求項35ないし38のいずれかに記載の標準セル。
- 前記第一ないし第二のゲートと前記ダミーゲートが前記第二の方向に等間隔に敷設されていることを特徴とする請求項39記載の標準セル。
- 前記第一ないし第二のゲートと前記ダミーゲートのゲート長が全て等しいことを特徴とする請求項40記載の標準セル。
- 前記第一の活性トランジスタと前記第一のセル枠部分の間に前記第一の方向に延在する第三のゲートを備えた第三の非活性トランジスタが備えられたことを特徴とする請求項35ないし38のいずれかに記載の標準セル。
- 前記非活性トランジスタはオフトランジスタであることを特徴とする請求項42記載の標準セル。
- 前記非活性トランジスタは容量を構成することを特徴とする請求項42記載の標準セル。
- 前記第一の活性トランジスタと前記第一のセル枠部分の間および前記第一のセル枠部分上に前記第一の方向に延在するダミーゲートが少なくとも一つ備えられたことを特徴とする請求項42記載の標準セル。
- 前記第一ないし第三のゲートと前記ダミーゲートが前記第二の方向に等間隔に敷設されていることを特徴とする請求項45記載の標準セル。
- 前記第一ないし第三のゲートと前記ダミーゲートのゲート長が全て等しいことを特徴とする請求項46記載の標準セル。
- 前記第一の活性トランジスタと前記第一のセル枠部分の間にダミー拡散領域を備えたことを特徴とする請求項35ないし47のいずれかに記載の標準セル。
- 前記第一の活性トランジスタと前記第一のセル枠部分の間に基板コンタクトを備えたことを特徴とする請求項35ないし47のいずれかに記載の標準セル。
- 前記第一の活性トランジスタと前記第一のセル枠部分の間にダミーメタル配線を備えたことを特徴とする請求項35ないし47のいずれかに記載の標準セル。
- 前記第一の活性トランジスタと前記第一のセル枠部分の間に入出力端子を少なくとも一つ備えたことを特徴とする請求項35ないし47のいずれかに記載の標準セル。
- 前記第一の活性トランジスタはクロック信号を伝播する回路に使用されていることを特徴とする請求項35ないし51のいずれかに記載の標準セル。
- 前記クロック信号を伝播する回路はインバータ回路もしくはバッファ回路であることを特徴とする請求項52記載の標準セル。
- 請求項35記載の標準セルにおいて、前記第一の方向に延在する第四のゲートと拡散領域によって形成された第四の活性トランジスタと、前記第四の活性トランジスタに対して前記第二の方向に隣接する前記第一の方向に延在する第五のゲートをさらに備え、前記第四の活性トランジスタは前記標準セルのセル枠のうち前記第一のセル枠部分と対向する第二のセル枠部分から前記第二の方向に最近傍に配置される活性トランジスタであり、前記第四のゲートと前記第二のセル枠部分の間隔が前記第四のゲートと前記第五のゲートの間隔より大きいことを特徴とする標準セル。
- 前記第一のゲートと前記第一のセル枠部分の間隔が前記第一のゲートと前記第二のゲートの間隔の2倍以上であり、前記第四のゲートと前記第二のセル枠部分の間隔が前記第四のゲートと前記第五のゲートの間隔の2倍以上であることを特徴とする請求項54記載の標準セル。
- 前記第一の活性トランジスタと前記第一のセル枠部分の間および前記第一のセル枠部分上および前記第四の活性トランジスタと前記第二のセル枠部分の間および前記第二のセル枠部分上に前記第一の方向に延在するダミーゲートが少なくとも一つ備えられたことを特徴とする請求項54又は55のいずれかに記載の標準セル。
- 前記標準セルはクロック信号を伝播する回路に使用されていることを特徴とする請求項54ないし56のいずれかに記載の標準セル。
- 前記クロック信号を伝播する回路はインバータ回路もしくはバッファ回路であることを特徴とする請求項57記載の標準セル。
- 第一の方向に延在する第一のゲートと第一の拡散領域によって形成された第一の活性トランジスタ、前記第一の活性トランジスタに対して前記第一の方向と直交する第二の方向に隣接する前記第一の方向に延在する第二のゲートと前記第一の拡散領域とは離間した第二の拡散領域によって形成された第二のトランジスタを備えた標準セルにおいて、前記第一の活性トランジスタは前記標準セルのセル枠のうち前記第一の方向に延在する第一のセル枠部分から前記第二の方向に最近傍に配置される活性トランジスタであり、前記第一のゲートと前記第一のセル枠部分の間隔が前記第一のゲートと前記第二のゲートの間隔の半分より大きいことを特徴とする標準セル。
- 前記第一のゲートと前記第一のセル枠部分の間隔が前記第一のゲートと前記第二のゲートの間隔より大きいことを特徴とする請求項59記載の標準セル。
- 前記第一ないし第二のゲートのゲート長が等しいことを特徴とする請求項59又は60のいずれかに記載の標準セル。
- 前記第一の活性トランジスタと前記第一のセル枠部分の間に前記第一の方向に延在する第三のゲートを備えた第三の非活性トランジスタが備えられたことを特徴とする請求項59ないし61のいずれかに記載の標準セル。
- 前記非活性トランジスタはオフトランジスタであることを特徴とする請求項62記載の標準セル。
- 前記非活性トランジスタは容量を構成することを特徴とする請求項62記載の標準セル。
- 前記第一の活性トランジスタと前記第一のセル枠部分の間にダミー拡散領域を備えたことを特徴とする請求項59ないし64のいずれかに記載の標準セル。
- 前記第一の活性トランジスタと前記第一のセル枠部分の間に基板コンタクトを備えたことを特徴とする請求項59ないし64のいずれかに記載の標準セル。
- 前記第一の活性トランジスタと前記第一のセル枠部分の間にダミーメタル配線を備えたことを特徴とする請求項59ないし64のいずれかに記載の標準セル。
- 前記第一の活性トランジスタと前記第一のセル枠部分の間に入出力端子を少なくとも一つ備えたことを特徴とする請求項59ないし64のいずれかに記載の標準セル。
- 前記第一の活性トランジスタはクロック信号を伝播する回路に使用されていることを特徴とする請求項59ないし64のいずれかに記載の標準セル。
- 前記クロック信号を伝播する回路はインバータ回路もしくはバッファ回路であることを特徴とする請求項69記載の標準セル。
- 請求項59記載の標準セルにおいて、前記第一の方向に延在する第四のゲートと第四の拡散領域によって形成された第四の活性トランジスタと、前記第四の活性トランジスタに対して前記第二の方向に隣接する前記第一の方向に延在する第五のゲートと前記第四の拡散領域とは離間した第五の拡散領域によって形成された第五のトランジスタをさらに備え、前記第四の活性トランジスタは前記標準セルのセル枠のうち前記第一のセル枠部分と対向する第二のセル枠部分から前記第二の方向に最近傍に配置される活性トランジスタであり、前記第四のゲートと前記第二のセル枠部分の間隔が前記第四のゲートと前記第五のゲートの間隔の半分より大きいことを特徴とする標準セル。
- 前記第一のゲートと前記第一のセル枠部分の間隔が前記第一のゲートと前記第二のゲートの間隔より大きく、前記第四のゲートと前記第二のセル枠部分の間隔が前記第四のゲートと前記第五のゲートの間隔より大きいことを特徴とする請求項71記載の標準セル。
- 前記標準セルはクロック信号を伝播する回路に使用されていることを特徴とする請求項71又は72のいずれかに記載の標準セル。
- 前記クロック信号を伝播する回路はインバータ回路もしくはバッファ回路であることを特徴とする請求項73記載の標準セル。
- 請求項35ないし74のいずれかに記載の標準セルを有する標準セルライブラリ。
- 請求項35ないし74のいずれかに記載の標準セルを有する半導体集積回路。
- 活性なトランジスタを含む標準セルを配置する配置工程と前記標準セルのうち指定される標準セルの両隣に隣接して活性なトランジスタを含まないスペーサー標準セルを配置するスペーサー配置工程を有することを特徴とする半導体集積回路の設計方法。
- 前記指定される標準セルはゲート長が他より大きなトランジスタを含むことを特徴とする請求項77記載の半導体集積回路の設計方法。
- 前記指定される標準セルはクロック信号を伝播する働きをすることを特徴とする請求項77記載の半導体集積回路の設計方法。
- 前記指定される標準セルは標準セル列の両端に位置することを特徴とする請求項77記載の半導体集積回路の設計方法。
- 前記スペーサー標準セルはダミーゲートを有することを特徴とする請求項77ないし80のいずれかに記載の半導体集積回路の設計方法。
- 前記スペーサー標準セルは非活性トランジスタを有することを特徴とする請求項77ないし80のいずれかに記載の半導体集積回路の設計方法。
- 前記スペーサー標準セルはダミー拡散領域を有することを特徴とする請求項77ないし80のいずれかに記載の半導体集積回路の設計方法。
- 前記スペーサー標準セルはダイオードを有することを特徴とする請求項77ないし80のいずれかに記載の半導体集積回路の設計方法。
- 前記スペーサー標準セルはダミーメタル配線を有することを特徴とする請求項77ないし80のいずれかに記載の半導体集積回路の設計方法。
- 活性なトランジスタを含む標準セルを配置する配置手段と前記標準セルのうち指定される標準セルの両隣に隣接して活性なトランジスタを含まないスペーサー標準セルを配置するスペーサー配置手段を有することを特徴とする半導体集積回路の設計装置。
- 前記指定される標準セルはクロック信号を伝播する働きをすることを特徴とする請求項86記載の半導体集積回路の設計装置。
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