JP2007005436A - ダイシング用粘着シート - Google Patents
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Abstract
Description
(基材フィルムの物性評価)
前記で作製した基材フィルムを下記の方法により評価した。結果を表1に示す。
試験方法は JIS K 7162に準拠して行った。測定条件として、サンプルとしての基材フィルムを初期長さ120mm、幅10mmの短冊状にし、チャック間距離50mm、引張速度300mm/minでMD方向又はTD方向に引張試験を行い、各方向に於けるサンプルの伸びの変化量(mm)を測定した。その結果、得られたS−S曲線(図1参照)の初期の立ち上がりの部分に接線を引き、その接線が100%伸びに相当するときの引張強度を基材フィルムの断面積で割り、引張弾性率とした。結果を下記表1に示す。
前記(1)に示した方法と同様にして引張試験を行い、S−S曲線を得た。また、引張伸度が30%のときのMD方向又はTD方向に於ける引張強度、破断強度、及び破断伸度をそれぞれ求めた。耐切込度は下記式により求めた。また、S−S曲線が図5に示すように、拡張に従い引張強度が増加せず、一旦引張強度の低下が起こり再度上昇する降伏点が発現する場合には、その降伏点に於ける引張伸度を降伏点伸度として、これを求めた。
<基材フィルムの作製>
三菱化学(株)製の「商品名:ゼラス」を、プラコー社製のTダイ成形機(設定温度230℃)に供給して製膜し、厚み100μm、幅35cmの基材フィルムを作製した。三菱化学(株)製の「商品名:ゼラス」は、プロピレン成分及びエチレンプロピレンゴム成分を含むプロピレン系熱可塑性エラストマーである。
得られた基材フィルムについて、引張弾性率、降伏点伸度、破断伸度、耐切込度の各物性を評価した。
アクリル酸ブチル90重量部及びアクリル酸10重量部をトルエン溶液中で常法により共重合させ、重量平均分子量50万のアクリル系共重合体を得た。このアクリル系共重合体を含有する溶液に、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(商品名「カヤラッドDPHA」,日本化薬(株)製)80重量部、光重合開始剤(商品名「イルガキュア184」、チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社製)5重量部、ポリイソシアネート化合物(商品名「コロネートL」、日本ポリウレタン(株)製)5重量部を加えて、アクリル系紫外線硬化型粘着剤溶液を調製した。
<基材フィルムの作製>
(株)クラレ製の「商品名:パラペットSA−F」(メタアクリル酸エステル樹脂)をカレンダー成形にてフィルム化(設定温度170℃)し、厚み100μm、幅35cmの基材フィルムを作製した。
実施例1と同様にして、得られた基材フィルムの物性評価を行なった。結果を下記表1に示す。
実施例1で調製した粘着剤溶液を、前記で得られた基材フィルムのコロナ処理面上に塗布し、80℃で10分間加熱架橋して、厚さ10μmの紫外線硬化型粘着剤層を形成した。次いで、当該粘着剤層面にセパレータを貼り合せて紫外線硬化型ダイシング用粘着シートを作製した。
<基材フィルムの作製>
帝人化成(株)製の「商品名:ヌーベラン」(ポリエステルエラストマー樹脂)を、プラコー社製Tダイ成形機(設定温度230℃)に供給して製膜し、厚み100μm、幅35cmの基材フィルムを作製した。
実施例1と同様にして、得られた基材フィルムの物性評価を行なった。結果を蓑1に示す。
実施例1で調製した粘着剤溶液を、前記で得られた基材フィルムのコロナ処理面上に塗布し、80℃で10分間加熱架橋して、厚さ10μmの紫外線硬化型粘着剤層を形成した。次いで、当該粘着剤層面にセパレータを貼り合せて紫外線硬化型ダイシング用粘着シートを作製した。
本比較例に於いては、基材フィルムとして、低密度ポリエチレン(商品名:スミカセン、MFR=1.5、三井住友ポリオレフィン(株)製)を用いてTダイ押出し法によりフィルムを製膜し(厚さ100μm)、該フィルムの片面にコロナ処理を施したものを用いたこと以外は、実施例1と同様にして紫外線硬化型ダイシング用粘着シートを作製した。
本比較例に於いては、基材フィルムとして、エチレン−メタクリル酸共重合物(商品名:ニュクレル、MFR=2.0、三井デュポンポリケミカル(株)製)を用いてTダイ押出し法によりフィルムを製膜し(厚さ100μm)、該フィルムの片面にコロナ処理を施したものを用いたこと以外は、実施例1と同様にして紫外線硬化型ダイシング用粘着シートを作製した。
実施例及び比較例で得られた各ダイシング用粘着シートを下記の方法により評価した。それらの結果を下記表1に示す。
ダイシング用粘着シートに、厚さ350μmの8インチウエハをマウントし、以下の条件でダイシングした。
ブレード:DISCO社製、NBC−ZH2050 27HEDD(商品名)
ブレード回転数:45,000rpm
ダイシング速度:100mm/sec
ダイシング深さ:基材フィルムに対して40μm
ダイシングサイズ:8mm×8mm
表1から分かる様に、実施例に係るダイシング用粘着シートの場合、破断が生じず、エキスパンド性に優れていることが分かった。その一方、比較例に係るダイシング用粘着シートの場合、引落し量が5mmのときは破断が生じなかったが、10mm又は15mmの引き落とし量のときに破断が生じることが確認された。
2 粘着剤層
3 セパレータ
11 ダイシング用粘着シート
12 半導体チップ
13 ダイシングリング
14 外リング
15 内リング
16 ダイシングストリート
Claims (8)
- 前記基材の降伏点伸度が30%以上であることを特徴とする請求項1に記載のダイシング用粘着シート。
- 前記基材が、ポリプロピレン系熱可塑性エラストマー、アクリル樹脂及びポリエステル系熱可塑性エラストマーからなる群より選ばれる少なくとも1種以上を含有することを特徴とする請求項1又は2に記載のダイシング用粘着シート。
- 前記粘着剤層の厚みが1μm以上であり、かつ、前記基材の厚みの1/3以下であることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載のダイシング用粘着シート。
- 前記粘着剤層が放射線硬化型粘着剤を含み構成されていることを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載のダイシング用粘着シート。
- 請求項1〜5の何れか1項に記載のダイシング用粘着シートを被切断体に貼り付ける工程と、
前記被切断体を切断して被切断体小片を形成する工程であって、該切断を該被切断体側から前記ダイシング用粘着シートの基材まで行なう工程と、
前記ダイシング用粘着シートを拡張させて、該ダイシング用粘着シートに接着固定されている各被切断体小片の間隔を広げる工程と、
前記粘着剤層付きの被切断体小片を前記基材から剥離する工程とを有することを特徴とする被切断体の加工方法。 - 前記被切断体として半導体素子を使用することを特徴とする請求項6に記載の被切断体の加工方法。
- 請求項6又は7に記載の被切断体の加工方法により作製されたことを特徴とする被切断体小片。
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