JP2006300925A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. テラヘルツ波を用いて検体を検査するための検査装置であって、
   前記検体を保持する構造を含む基板と、
   前記基板に設けられ、前記構造に保持された前記検体にテラヘルツ波を発信するための発信部と、
   前記基板に設けられ、前記検体からのテラヘルツ波を受信するための受信部と、を備えることを特徴とする検査装置。
2. 前記発信部あるいは前記受信部はアンテナ構造を有することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
3. 前記アンテナ構造は、複数の導体から成り、該複数の導体を間隙を有して対向配置したボウタイ型のアンテナであることを特徴とする請求項２に記載の検査装置。
4. 前記発信部と前記受信部とが、前記基板を挟んで対向して配置されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の検査装置。
5. 前記発信部は前記基板の上部に設けられ、前記受信部は前記基板の下部に設けられることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の検査装置。
6. 前記発信部あるいは前記受信部は、負性抵抗素子を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の検査装置。
7. 前記発信部と前記受信部とは、共通の構造であり、前記テラヘルツ波を発信する機能とテラヘルツ波を受信する機能を兼ね備えていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の検査装置。
8. 前記検体保持部に前記検体を挿入するための検体挿入手段を備えることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の検査装置。
9. 前記検体挿入手段は、前記検体を前記検体保持部に噴射して挿入するためのインクジェットであることを特徴とする請求項８に記載の検査装置。
10. 前記発信部から発信するテラヘルツ波を発生させるための発生手段と、
    前記受信部で受信したテラヘルツ波を検出するための検出手段と、
    前記検体保持部に保持された検体の物理的特性を予め保持しておくデータベースと、
    前記検出手段によって検出されたテラヘルツ波の情報と前記データベースが保持する情報とを比較する比較部と、を有することを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の検査装置。
11. 電磁波を用いて検体を検査するための検査装置であって、
    前記検体を保持する構造を含む基板と、
    前記基板の上部に設けられ、前記構造に保持された前記検体に電磁波を発信するためのアンテナ構造を有する発信部と、
    前記基板を介して前記発信部に対向して該基板の下部に設けられ、前記検体からの電磁波を受信するためのアンテナ構造を有する受信部と、を備えることを特徴とする検査装置。