JP2006286170A - 内部電源の生成装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】外部から印加される外部電源のレベルに関係なく安定して内部電圧を供給できる内部電源の生成装置を提供すること。
【解決手段】内部電源の生成装置は、外部電源を印加されて基準電圧と、上位基準電圧と、下位基準電圧とを生成するデッドゾーン調節手段と、前記基準電圧のレベルによって接地されるノードを基準に、感知された内部電圧のレベルと、前記上位基準電圧、または前記下位基準電圧のレベルの差を感知して前記内部電圧を供給するための電圧ドライブ手段とを備える。
【選択図】図4

Description

本発明は、半導体設計技術に関し、特に、安定して内部電源を供給するための内部電源の生成装置に関する。
半導体メモリ素子は、最近、低電圧、低消費電力化の傾向によって、DRAM製品内部に外部電源電圧を印加されて様々なレベルの内部電源電圧を生成するための内部電源の生成装置を採用している。
このように、内部電源の生成装置を通して生成された電源電圧VBLPは、DRAM内でビットラインのプリチャージ時に用いられるものであり、セルに格納される高電データと低電位データとの中間レベルを有する。すなわち、電源電圧VBLPのレベルは、セルに格納されるデータが有する電圧レベルの1/2VCCであり、均等化動作で消耗される電力を最小化できる。
また、電源電圧VCPは、セルの基板に用いられるものであり、DRAM内のセルキャパシタの基準端子に接続される。この時、電源電圧VCPは、電源電圧VBLPと同じレベルである1/2VCOREを有するが、これは、セルに格納されるデータの電圧レベルと関係なく、セルキャパシタの両端に1/2VCOREの電圧レベルを印加することによって、セルキャパシタの信頼性を確保するためのものである。
図1は、従来の技術に係る内部電源の生成装置の回路図である。
図1に示しているように、従来の技術に係る内部電源の生成装置は、電源電圧VSSをゲート電圧として印加され、電源電圧VCCの供給端とノードN1 との間にソースドレイン経路を有するPMOSトランジスタPM1と、ノードN1に自身のゲート端のドレイン端とが接続されたNMOSトランジスタNM1と、NMOSトランジスタNM1のソース端に自身のソース端の基板が接続され、ノードN2に自身のゲート端とドレイン端とが接続されたPMOSトランジスタPM2と、電源電圧VCCとをゲート電圧として印加され、ノードN2と電源電圧VSSの供給端との間にドレインソース経路を有するNMOSトランジスタNM2と、ノードN1に自身のゲート端が接続され、電源電圧VCCと出力ノードとの間にドレインソース経路を有するNMOSトランジスタNM3と、ノードN2に自身のゲート端が接続され、出力ノードと電源電圧VSSの供給端との間にソースドレイン経路を有するPMOSトランジスタPM3を備え、出力ノードにかかった電圧を電源電圧VBLPとして供給する。
図に示しているように、従来の技術に係る内部電源の生成装置は、電源電圧VCCと電源電圧VSSとの間に直列に接続されたPMOS抵抗PM1と、NMOSダイオードNM1、PMOSダイオードPM2と、NMOS抵抗NM2を通してノードN1及びN2にかかった電圧の間に一定の抵抗比が形成されるようにする。
したがって、ノードN1を印加されるNMOSトランジスタNM3を通し、電源電圧VBLPをプルアップ駆動し、ノードN2を印加されるPMOSトランジスタPM3を通して電源電圧VBLPをプルダウン駆動する。
参考に、電源電圧VBLPを供給するトランジスタNM3、PM3のソース端が、出力ノードに接続される形態をソースフォロア方式(Source Follower)という。
上述の従来の技術に係る内部電源の生成装置は、ソースフォロア方式で具現され、他の方式に比べて少ない駆動力を有する。それだけではなく、MOSトランジスタのしきい電圧の変化によってデッドゾーン(Dead Zone、駆動力がない状態を意味するもの、以下「デッドゾーン」とする。)もまた変わるため、内部電源の生成装置の駆動力が変動される問題点が生じる。
図2は、他の従来の技術に係る内部電源の生成装置の回路図である。
図2に示しているように、他の従来の技術に係る内部電源の生成装置は、電源電圧VCOREと電源電圧VSSとの間に直列に配置されたセルフバイアスダイオード抵抗とライン抵抗とを備え、電圧の分配によって基準電圧REFを生成するための基準電圧生成部10と、基準電圧REFを印加されて電源電圧VSSの供給端に流れる電流の量を調節するためのN−バイアス電圧N_BSを生成するための第1バイアス電圧生成部20と、基準電圧REFとN−バイアス電圧N_BSとを印加され、電源電圧VCOREから供給される電流の量を調節するためのP−バイアス電圧P_BSを生成するための第2バイアス電圧生成部30と、基準電圧REFとN及びP−バイアス電圧N_BS、P_BSを印加され、基準電圧REFよりしきい電圧Vt分だけ高いレベルの上位出力制御電圧N_GTと、基準電圧REFよりしきい電圧Vt分だけ低いレベルの下位出力制御電圧P_GTを生成するための制御電圧生成部40と、上位及び下位出力制御電圧N_GT、P_GTに応答して電源電圧VBLPを供給し、プルアップ駆動信号P_DRVと、プルダウン駆動信号N_DRVとを生成するための駆動信号生成部50と、プルダウン及びプルアップ駆動信号P_DRV、N_DRVに応答して電源電圧VBLPが一定のレベルに維持されて供給されるようにするための出力駆動器60とを備える。
簡略に動作を説明すると、電源電圧VBLPのレベルに変動がない場合には、プルアップ駆動信号P_DRV及びプルダウン駆動信号N_DRVの電圧レベルが一定に維持され、電源電圧VBLPが同じ電流量として供給する。
この時、電源電圧VBLPのレベルが基準電圧REFより上昇すると、プルアップ駆動信号P_DRV及びプルダウン駆動信号N_DRVのレベルがますます上昇し、出力駆動器60ないしNMOSトランジスタの駆動量を増加させるため、電源電圧VBLPのレベルが下降する。
また、電源電圧VBLPのレベルが基準電圧REFより下降すると、プルアップ駆動信号P_DRV及びプルダウン駆動信号N_DRVのレベルがますます下降して出力駆動器60内のPMOSトランジスタの駆動量を増加させるため、電源電圧VBLPのレベルが上昇する。
プルアップ駆動信号P_DRVは、電源電圧VCOREと1/2VCOREとをスウィングするが、電源電圧VBLPは、1/2VCOREを維持するため、電源電圧VCOREのレベルが下降すると、プルアップ駆動信号P_DRVと電源電圧VBLPとの間のレベルの差がしきい電圧以上を有することができず、出力駆動器内のトランジスタを十分にターンオンさせることができない。
一方、図3A及び図3Bは、図2のシミュレーションタイミングチャートであり、X軸は外部電源を、Y軸は外部電源によって供給される電流の量を示す。
図3A及び図3Bに示しているように、電源電圧VCOREのレベル下降によって、電源電圧VBLPのレベルが出力駆動器60ないしMOSトランジスタのしきい電圧より低くなる場合、出力駆動器60の駆動力が顕著に減少することが分かる。
このように、従来の技術に係る内部電源の生成装置は、駆動電源である電源電圧VCORE、または電源電圧VCCのレベルが下降する場合、駆動力が小さくなるため、電源電圧VBLP、または電源電圧VCPを供給されるブロック内で誤動作が発生する。
特に、現在のように外部から印加される外部電源のレベルが順次低くなる傾向において、上述のような問題点はさらに一層顕著に現れるであろう。
一方、上述の従来の技術では、電源電圧VCORE、または電源電圧VCPを駆動電源として印加されるが、これは外部から印加される電源を意味する。
特開平06−187780号公報
そこで、本発明は、上記従来の問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、外部から印加される外部電源のレベルに関係なく安定して内部電圧を供給できる内部電源の生成装置を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明の一側面に係る内部電圧生成装置は、外部電源を印加されて基準電圧と、上位基準電圧と、下位基準電圧とを生成するデッドゾーン調節手段と、前記基準電圧のレベルによって接地されるノードを基準に、感知された内部電圧のレベルと、前記上位基準電圧、または前記下位基準電圧のレベルの差を感知して前記内部電圧を供給するための電圧ドライブ手段とを備える。
好ましくは、前記上位基準電圧が、前記基準電圧より高いレベルを有する信号であって、前記内部電圧のレベル上昇に対する基準となり、前記下位基準電圧が、前記基準電圧より低いレベルを有する信号であって、前記内部電圧のレベル下降に対する基準となることを特徴とする。
好ましくは、前記電圧ドライブ手段が、前記基準電圧のレベルによって接地される第1ノードを基準に、感知された前記内部電圧のレベルが前記下位基準電圧より下降するか否かを感知するための下降感知部と、前記基準電圧のレベルによって接地される第2ノードを基準に、感知された前記内部電圧のレベルが前記上位基準電圧より上昇するか否かを感知するための上昇感知部と、該上昇感知部の上昇感知信号に応答して前記内部電圧の供給端をプルダウン駆動するためのプルダウン駆動器と、前記下降感知部の下降感知信号に応答して前記内部電圧の供給端をプルアップ駆動器とを備える。
また、本発明の一側面に係る内部電源生成装置は、前記下降感知部が、前記基準電圧をゲート入力とする電流源トランジスタと、該電流源トランジスタに接続され、前記下位基準電圧と前記内部電圧との電位を差動入力とする差動入力トランジスタ部と、該差動入力トランジスタ部に接続され、前記下降感知信号を出力する電流ミラーと、を備える。
また、本発明の一側面に係る内部電源生成装置は、前記上昇感知部が、前記基準電圧をゲート入力とする電流源トランジスタと、前記電流源トランジスタに接続され、前記上位基準電圧と前記内部電圧との電位を差動入力とする差動入力トランジスタ部と、該差動入力トランジスタ部に接続され、前記上昇感知信号を出力する電流ミラーと、を備える。
また、本発明の一側面に係る内部電源生成装置は、前記下降感知部内の前記電流源トランジスタと、前記上昇感知部内の前記電流源トランジスタとが共有され、前記第1及び第2ノードが同一ノードとなる。
また、本発明の一側面に係る内部電源生成装置は、前記下降感知部が、前記基準電圧をゲート入力とする前記第1ノードと第2電源電圧の供給端との間にドレインソース経路を有する第1NMOSトランジスタと、前記下位基準電圧をゲート入力として印加され、自身の出力ノードと前記第1ノードとの間にドレインソース経路を有する第2NMOSトランジスタと、前記外部電源の供給端の自身の出力ノード間にソースドレイン経路を有する第1PMOSトランジスタと、前記外部電源の供給端に自身のソース端が接続され、前記第1PMOSトランジスタのゲート端に自身のゲート端及びドレイン端が接続された第2PMOSトランジスタと、前記内部電圧をゲート入力として印加され、前記第2PMOSトランジスタのドレイン端と前記第1ノードとの間にドレインソース経路を有する第3NMOSトランジスタとを備え、前記出力ノードにかかった電圧を前記下降感知信号に出力する。
また、本発明の一側面に係る内部電源生成装置は、前記プルアップ駆動器が、前記下降感知信号をゲート入力として印加され、前記外部電源の供給端と前記内部電圧の供給端との間にソースドレイン経路を有するPMOSトランジスタで具現される。
また、本発明の一側面に係る内部電源生成装置は、前記プルダウン駆動器が、前記下降感知信号をゲート入力として印加され、前記外部電源の供給端と前記内部電圧の供給端との間にドレインソース経路を有するNMOSトランジスタで具現される。
また、本発明の一側面に係る内部電源生成装置は、前記デッドゾーン調節手段が、前記外部電源と第2電源電圧との間に直列に接続された第1ないし第4抵抗を備え、前記第1及び第2抵抗間の接続ノードにかかった電圧を前記上位基準電圧に、前記第2及び第3抵抗間の接続ノードにかかった電圧を前記基準電圧に、前記第3及び第4抵抗間の接続ノードにかかった電圧を前記下位基準電圧に出力する。
また、本発明の一側面に係る内部電源生成装置は、前記第1及び第4抵抗の抵抗値が、前記第2及び第3抵抗の抵抗値より大きい。
また、本発明の一側面に係る内部電源生成装置は、前記デッドゾーン調節手段が、前記外部電源及び前記第2電源電圧の供給端間にNMOSトランジスタで具現された複数のダイオードを直列に配置し、前記上位基準電圧、前記基準電圧、及び前記下位基準電圧を生成する。
また、本発明の一側面に係る内部電源生成装置は、前記デッドゾーン調節手段が、前記外部電源及び前記第2電源電圧の供給端間にPMOSトランジスタで具現された複数のダイオードを直列に配置し、前記上位基準電圧、前記基準電圧、及び前記下位基準電圧を生成する。
また、本発明の一側面に係る内部電源生成装置は、前記デッドゾーン調節手段が、前記外部電源及び前記第2電源電圧の供給端間にNMOSトランジスタで具現されたダイオードと線形抵抗とを直列に配置して電圧を分配し、前記上位基準電圧、前記基準電圧、及び前記下位基準電圧を生成する。
また、本発明の一側面に係る内部電源生成装置は、前記デッドゾーン調節手段が、前記外部電源及び前記第2電源電圧の供給端間にPMOSトランジスタで具現されたダイオードと線形抵抗とを直列に配置して電圧を分配し、前記上位基準電圧、前記基準電圧、及び前記下位基準電圧を生成する。
また、本発明の一側面に係る内部電源生成装置は、前記デッドゾーン調節手段が、前記外部電源及び前記第2電源電圧の供給端間にPMOSトランジスタで具現された複数のアクティブ抵抗を直列に配置して電圧を分配し、前記上位基準電圧、前記基準電圧、及び前記下位基準電圧を生成する。
また、本発明の一側面に係る内部電源生成装置は、前記デッドゾーン調節手段が、前記外部電源及び前記第2電源電圧の供給端間にNMOSトランジスタで具現された複数のアクティブ抵抗を直列に配置して電圧を分配し、前記上位基準電圧、前記基準電圧、及び前記下位基準電圧を生成する。
本発明によれば、外部電源のレベルがしきい電圧以上に維持される時には、1/2倍に該当する電源電圧を生成して安定して供給できる。また、基準電圧によって接地されるノードを基準に、電源電圧のレベルを感知するため、接地路の電流経路が持続して形成されて電流が消耗される現象を防止できるという効果が得られる。
以下、本発明のもっとも好ましい実施の形態を添付する図面を参照して説明する。
図4は、本発明の第1実施の形態に係る内部電源の生成装置の回路図である。
図4に示しているように、第1実施の形態に係る内部電源の生成装置は、基準電圧hFのレベルによって接地されるノードを基準に感知された電源電圧VBLPのレベルと、上位基準電圧hFU、または下位基準電圧hFDのレベルとの間の差を感知して電源電圧VBLPを供給するための電圧ドライブ部200と、外部電源VDDを印加されて電圧ドライブ部200の駆動を調節するための基準電圧hFと、上位基準電圧hFUと、下位基準電圧hFDを生成するデッドゾーン調節部100とを備える。
そして、デッドゾーン調節部100は、外部電源VDDと電源電圧VSSとの間に直列に接続された4つの抵抗R1、R2、R3、R4を備え、各抵抗と抵抗との間の接続ノードにかかった電圧を上位基準電圧hFUと、基準電圧hFと、下位基準電圧hFDとに出力する。
この時、デッドゾーン調節部100によって生成される上位基準電圧hFUは、外部電源VDDを印加されて生成された基準電圧hFより高いレベルを有する信号であり、電源電圧VBLPのレベル上昇に対する基準となり、下位基準電圧hFDは、基準電圧hFより低いレベルを有する信号であり、電源電圧VBLPのレベル下降に対する基準となる。
参考に、外部電源VDD、または電源電圧VSSの供給端に一側端が接続された抵抗R1及びR4は、接続されない抵抗R2及びR3に比べて大きい抵抗値を有する。
また、電圧ドライブ部200は、基準電圧hFのレベルによって接地されるノードを基準に感知された電源電圧VBLPのレベルが、下位感知電圧hFDより下降するか否かを感知するための下降感知部220と、基準電圧hFのレベルによって接地されるノードを基準に感知された電源電圧VBLPのレベルが上位基準電圧hFUより上昇するか否かを感知するための上昇感知部240と、上昇感知部240の上昇感知信号に応答して電源電圧VBLPの供給端をプルダウン駆動するためのプルダウン駆動器NM10と、下降感知部220の下降感知信号に応答して電源電圧VBLPの供給端をプルアップ駆動するためのプルアップ駆動器PM8とを備える。
下降感知部220及び上昇感知部240は、電流ミラー型の差動増幅器で具現されて同じ回路的具現態様を有するが、この時、下降感知部220は、下位基準電圧hFDを、上昇感知部240は、上位基準電圧hFUをそれぞれ印加される点だけ異なるため、下降感知部220だけを例として説明するようにする。
まず、下降感知部220は、基準電圧hFをゲート入力とする電流源トランジスタNM6と、電流源トランジスタNM6に接続され、下位基準電圧hFDと電源電圧VBLPの電位を差動入力とする差動入力トランジスタ部NM4、NM5と、差動入力トランジスタ部NM4、NM5に接続され下降感知信号を出力する電流ミラーPM4、PM5とを備える。
下降感知部220をトランジスタレベルで説明すると、下降感知部220は、基準電圧hFをゲート入力とするノードCMM_Pと電源電圧VSSの供給端との間にドレインソース経路を有するNMOSトランジスタNM6と、下位基準電圧hFDをゲート入力として印加され、自身の出力ノードAとノードCMM_Pとの間にドレインソース経路を有するNMOSトランジスタNM4と、外部電源VDDの供給端の自身の出力ノードAとの間にソースドレイン経路を有するPMOSトランジスタPM4と、外部電源VDDの供給端に自身のソース端が接続され、PMOSトランジスタPM4のゲート端に自身のゲート端及びドレイン端が接続されたPMOSトランジスタPM5と、電源電圧VBLPをゲート入力として印加され、PMOSトランジスタPM5のドレイン端のノードCMM_Pの間にドレインソース経路を有するNMOSトランジスタNM5を備え、出力ノードAにかかった電圧を下降感知信号に出力する。
また、プルアップ駆動器PM8は、下降感知信号をゲート入力として印加され、外部電源VDDの供給端の電源電圧VBLPの供給端間にソースドレイン経路を有するPMOSトランジスタで具現され、プルダウン駆動器NM10は、下降感知信号をゲート入力として印加され、外部電源VDDの供給端の電源電圧VBLPの供給端間にドレインソース経路を有するNMOSトランジスタで具現される。
本発明に係る内部電源の生成装置の動作を簡略に説明すると、電源電圧VBLPが下位基準電圧hFDより低くなると、下降感知部220の出力ノードAのレベルが低くなり、出力ノードAにかかった電圧を有する下降感知信号hFDが論理レベル「L」に遷移する。したがって、下降感知信号hFDを印加されるプルアップ駆動器PM8がターンオンされて駆動量を増加させるため、電源電圧VBLPのレベルが上昇する。
また、電源電圧VBLPが上位基準電圧hFUより上昇すると、上昇感知部240内の出力ノードCのレベルが上昇し、上昇感知信号hFUが論理レベル「H」に遷移する。上昇感知信号hFUを印加されるプルダウン駆動器NM10がターンオンされて電源電圧VBLPの供給端をプルダウン駆動するため、電源電圧VBLPのレベルが下降する。
したがって、本発明の内部電源の生成装置によって生成される電源電圧VBLPは、上位基準電圧hFUと下位基準電圧hFDとの間のレベルを有する。
参考に、デッドゾーン制御部100は、外部電源VDDを印加されて持続して、基準電圧hF、上位基準電圧hFU及び下位基準電圧hFDを生成して出力する。
一方、上述のような内部電源の生成装置は、基準電圧によって接地されるノードを基準に、電源電圧VBLPのレベルを感知して駆動されるため、外部電源のレベルがVt以上を有する場合には動作が可能である。したがって、従来 の外部電源のレベル下降によって基準電圧と電源電圧VBLPとの間のレベルの差がしきい電圧以上に確保されず、駆動量が減るといった問題が発生しない。
また、基準電圧によって接地されるか、または接地端からオープンされるノードを基準に用いるため、接地端から形成される電流経路が持続して生成されず、電流経路による電流消耗を減少させることができる。
図5Aないし図5Fは、図4のデッドゾーン調節部100の他の実施の形態を示す図面である。
図5Aに示しているように、デッドゾーン調節部100は、外部電源VDD及び電源電圧VSSの供給端間にNMOSトランジスタで具現された複数のダイオードを直列に配置して電圧を分配し、上位基準電圧hFU、基準電圧hF、及び下位基準電圧hFDを生成し、図5Bに示しているデッドゾーン調節部100は、ダイオードをPMOSトランジスタで具現した場合である。
図5Cに示しているように、デッドゾーン調節部100は、外部電源VDD及び電源電圧VSSの供給端間にNMOSトランジスタで具現されたダイオードと線形抵抗とを直列に配置して電圧を分配し、上位基準電圧hFU、基準電圧hF、及び下位基準電圧hFDを生成する場合であり、図5Dに示しているデッドゾーン調節部100は、図5CのダイオードをPMOSトランジスタで具現した場合である。
図5Eに示しているデッドゾーン調節部100は、外部電源VDDと電源電圧VSSの供給端との間にPMOSトランジスタで具現された複数のアクティブ抵抗を直列に配置して具現された場合であり、図5Fに示しているデッドゾーン調節部100は、図5Eのアクティブ抵抗をNMOSトランジスタで具現した場合である。
上述のように、図5Aないし図5Fに示しているデッドゾーン調節部100は、MOSトランジスタで具現されたダイオード、アクティブ抵抗、または線形抵抗を用いて、外部電源VDDのレベルを電圧を分配し、上位基準電圧hFU、基準電圧hF、下位基準電圧hFDを生成する同じ動作を有する。
図6は、図4の電圧ドライブ部200の他の実施の形態を示す図であり、他の実施の形態に係る電圧ドライブ部200は、基準電圧hFを印加されてバイアス電流を供給するための電流源トランジスタNM11を共有する。
図7は、図4のシミュレーションタイミングチャートであり、本発明に係る内部電源の生成装置は、外部電源のレベルが下降しても、安定して電源電圧VBLPのレベルを維持することが分かる。
したがって、本発明に係る内部電源の生成装置は、外部電源のレベルがしきい電圧以上に維持される時には、1/2倍に該当する電源電圧VBLPを生成して安定して供給できる。
一方、上述の本発明では、外部電源を印加されてビットラインをプリチャージさせるための電源電圧VBLPを生成する場合を例にしたが、これは1つの実施の形態であり、駆動電源の1/2に該当する電源電圧を生成する場合には適用可能である。
また、上述の本発明では、外部電源VDDとして表記したが、これは外部電源に対する1つの例であり、これによって本発明は制限されない。
尚、本発明は、上記した本実施の形態に限られるものではなく、本発明の技術的思想から逸脱しない範囲内で多様に変更が可能であり、それらも本発明の技術的範囲に属する。
従来の技術に係る内部電源の生成装置の回路図である。 他の従来の技術に係る内部電源の生成装置の回路図である。 図1及び図2のシミュレーションタイミングチャートである。 図1及び図2のシミュレーションタイミングチャートである。 本発明の第1実施の形態に係る内部電源の生成装置の回路図である。 図4のデッドゾーン調節部の他の実施の形態を示す図である。 図4のデッドゾーン調節部の他の実施の形態を示す図である。 図4のデッドゾーン調節部の他の実施の形態を示す図である。 図4のデッドゾーン調節部の他の実施の形態を示す図である。 図4のデッドゾーン調節部の他の実施の形態を示す図である。 図4のデッドゾーン調節部の他の実施の形態を示す図である。 図4の電圧ドライブ部の他の実施の形態を示す図である。 図4のシミュレーションタイミングチャートである。
符号の説明
100 デッドゾーン調節部
200 電圧ドライブ部
220 下降感知部
240 上昇感知部

Claims (17)

  1. 外部電源を印加されて基準電圧と、上位基準電圧と、下位基準電圧とを生成するデッドゾーン調節手段と、
    前記基準電圧のレベルによって接地されるノードを基準に、感知された内部電圧のレベルと、前記上位基準電圧、または前記下位基準電圧のレベルの差を感知して前記内部電圧を供給するための電圧ドライブ手段と、
    を備えることを特徴とする内部電源の生成装置。
  2. 前記上位基準電圧が、前記基準電圧より高いレベルを有する信号であって、前記内部電圧のレベル上昇に対する基準となり、
    前記下位基準電圧が、前記基準電圧より低いレベルを有する信号であって、前記内部電圧のレベル下降に対する基準となることを特徴とする請求項1に記載の内部電源の生成装置。
  3. 前記電圧ドライブ手段が、
    前記基準電圧のレベルによって接地される第1ノードを基準に、感知された前記内部電圧のレベルが前記下位基準電圧より下降するか否かを感知するための下降感知部と、
    前記基準電圧のレベルによって接地される第2ノードを基準に、感知された前記内部電圧のレベルが前記上位基準電圧より上昇するか否かを感知するための上昇感知部と、
    該上昇感知部の上昇感知信号に応答して前記内部電圧の供給端をプルダウン駆動するためのプルダウン駆動器と、
    前記下降感知部の下降感知信号に応答して前記内部電圧の供給端をプルアップ駆動するためのプルアップ駆動器と、
    を備えることを特徴とする請求項2に記載の内部電源の生成装置。
  4. 前記下降感知部が、
    前記基準電圧をゲート入力とする電流源トランジスタと、
    該電流源トランジスタに接続され、前記下位基準電圧と前記内部電圧との電位を差動入力とする差動入力トランジスタ部と、
    該差動入力トランジスタ部に接続され、前記下降感知信号を出力する電流ミラーと、
    を備えることを特徴とする請求項3に記載の内部電源の生成装置。
  5. 前記上昇感知部が、
    前記基準電圧をゲート入力とする電流源トランジスタと、
    前記電流源トランジスタに接続され、前記上位基準電圧と前記内部電圧との電位を差動入力とする差動入力トランジスタ部と、
    該差動入力トランジスタ部に接続され、前記上昇感知信号を出力する電流ミラーと、
    を備えることを特徴とする請求項4に記載の内部電源の生成装置。
  6. 前記下降感知部内の前記電流源トランジスタと、前記上昇感知部内の前記電流源トランジスタとが共有され、前記第1及び第2ノードが同一ノードとなることを特徴とする請求項5に記載の内部電源の生成装置。
  7. 前記下降感知部が、
    前記基準電圧をゲート入力とする前記第1ノードと第2電源電圧の供給端との間にドレインソース経路を有する第1NMOSトランジスタと、
    前記下位基準電圧をゲート入力として印加され、自身の出力ノードと前記第1ノードとの間にドレインソース経路を有する第2NMOSトランジスタと、
    前記外部電源の供給端の自身の出力ノード間にソースドレイン経路を有する第1PMOSトランジスタと、
    前記外部電源の供給端に自身のソース端が接続され、前記第1PMOSトランジスタのゲート端に自身のゲート端及びドレイン端が接続された第2PMOSトランジスタと、
    前記内部電圧をゲート入力として印加され、前記第2PMOSトランジスタのドレイン端と前記第1ノードとの間にドレインソース経路を有する第3NMOSトランジスタとを備え、
    前記出力ノードにかかった電圧を前記下降感知信号に出力することを特徴とする請求項5または6に記載の内部電源の生成装置。
  8. 前記プルアップ駆動器が、
    前記下降感知信号をゲート入力として印加され、前記外部電源の供給端と前記内部電圧の供給端との間にソースドレイン経路を有するPMOSトランジスタで具現されることを特徴とする請求項5または6に記載の内部電源の生成装置。
  9. 前記プルダウン駆動器が、
    前記下降感知信号をゲート入力として印加され、前記外部電源の供給端と前記内部電圧の供給端との間にドレインソース経路を有するNMOSトランジスタで具現されることを特徴とする請求項5または6に記載の内部電源の生成装置。
  10. 前記デッドゾーン調節手段が、
    前記外部電源と第2電源電圧との間に直列に接続された第1ないし第4抵抗を備え、前記第1及び第2抵抗間の接続ノードにかかった電圧を前記上位基準電圧に、前記第2及び第3抵抗間の接続ノードにかかった電圧を前記基準電圧に、前記第3及び第4抵抗間の接続ノードにかかった電圧を前記下位基準電圧に出力することを特徴とする請求項5または6に記載の内部電源の生成装置。
  11. 前記第1及び第4抵抗の抵抗値が、前記第2及び第3抵抗の抵抗値より大きいことを特徴とする請求項10に記載の内部電源の生成装置。
  12. 前記デッドゾーン調節手段が、
    前記外部電源及び前記第2電源電圧の供給端間にNMOSトランジスタで具現された複数のダイオードを直列に配置し、前記上位基準電圧、前記基準電圧、及び前記下位基準電圧を生成することを特徴とする請求項5または6に記載の内部電源の生成装置。
  13. 前記デッドゾーン調節手段が、
    前記外部電源及び前記第2電源電圧の供給端間にPMOSトランジスタで具現された複数のダイオードを直列に配置し、前記上位基準電圧、前記基準電圧、及び前記下位基準電圧を生成することを特徴とする請求項5または6に記載の内部電源の生成装置。
  14. 前記デッドゾーン調節手段が、
    前記外部電源及び前記第2電源電圧の供給端間にNMOSトランジスタで具現されたダイオードと線形抵抗とを直列に配置して電圧を分配し、前記上位基準電圧、前記基準電圧、及び前記下位基準電圧を生成することを特徴とする請求項5または6に記載の内部電源の生成装置。
  15. 前記デッドゾーン調節手段が、
    前記外部電源及び前記第2電源電圧の供給端間にPMOSトランジスタで具現されたダイオードと線形抵抗とを直列に配置して電圧を分配し、前記上位基準電圧、前記基準電圧、及び前記下位基準電圧を生成することを特徴とする請求項5または6に記載の内部電源の生成装置。
  16. 前記デッドゾーン調節手段が、
    前記外部電源及び前記第2電源電圧の供給端間にPMOSトランジスタで具現された複数のアクティブ抵抗を直列に配置して電圧を分配し、前記上位基準電圧、前記基準電圧、及び前記下位基準電圧を生成することを特徴とする請求項5または6に記載の内部電源の生成装置。
  17. 前記デッドゾーン調節手段が、
    前記外部電源及び前記第2電源電圧の供給端間にNMOSトランジスタで具現された複数のアクティブ抵抗を直列に配置して電圧を分配し、前記上位基準電圧、前記基準電圧、及び前記下位基準電圧を生成することを特徴とする請求項5または6に記載の内部電源の生成装置。
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