JP2006138782A - 画像測定機 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明に係る画像測定機は、被検物の一部分を撮像して画像を出力するCCDカメラ13と、被検物をCCDカメラ13による撮像位置に対して相対移動させるXYステージ駆動部10と、撮像位置における被検物の画像をCCDカメラ13に出力させる制御を行うリプレイ測定部53と、CCDカメラ13からの画像内における測定点の座標値を求める画像処理部21と、撮像位置を決定する測定指示データ作成部52とを有し、測定指示データ作成部52は、被検物に対する全ての測定点の位置を含む範囲を撮像範囲ごとに区切り、区切られた各撮像範囲のうち、測定点が存在する撮像範囲を撮像位置として決定する。
【選択図】 図1
Description
7 被検物(7a 輪郭形状)
10 XYステージ駆動部(移動装置)
13 CCDカメラ(撮像装置)
15 指標
21 画像処理部
52 測定指示データ作成部(位置決定部)
53 リプレイ測定部(撮像制御部)
S1 撮像範囲
Claims (2)
- 被検物の一部分を撮像して画像を出力する撮像装置と、
前記被検物を前記撮像装置による撮像位置に対して相対移動させる移動装置と、
前記移動装置により、予め設定された前記被検物の測定点の位置を前記撮像位置に相対移動させ、前記撮像位置における被検物の画像を前記撮像装置に出力させる制御を行う撮像制御部と、
前記撮像装置からの前記画像内における前記測定点の座標値を求める画像処理部と、
前記撮像位置を、予め設定された前記被検物に対する複数の測定点の位置と、前記撮像装置の撮像範囲とに基づいて決定する位置決定部とを有し、
前記位置決定部は、前記被検物に対する全ての測定点の位置を含む範囲を前記撮像範囲ごとに区切り、区切られた各撮像範囲のうち、前記測定点が存在する撮像範囲を前記撮像位置として決定することを特徴とする画像測定機。 - 被検物の一部分を撮像して画像を出力する撮像装置と、
前記被検物を前記撮像装置による撮像位置に対して相対移動させる移動装置と、
前記移動装置により、予め設定された前記被検物の測定点の位置を前記撮像位置に相対移動させ、前記撮像位置における被検物の画像を前記撮像装置に出力させる制御を行う撮像制御部と、
前記撮像装置からの前記画像内における前記測定点の座標値を求める画像処理部と、
前記撮像位置を、予め設定された前記被検物に対する複数の測定点の位置と、前記撮像装置の撮像範囲とに基づいて決定する位置決定部とを有し、
前記位置決定部は、前記被検物に対する全ての測定点の位置を含む範囲を前記撮像範囲で位置をずらしながら切り取り、切り取られた各撮像範囲のうち、前記測定点を多く含む撮像範囲を順に抽出し前記撮像位置として決定することを特徴とする画像測定機。
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