JP4513062B2 - 画像測定機 - Google Patents
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Description
7 被検物(7a 輪郭形状)
10 XYステージ駆動部(移動装置)
13 CCDカメラ(撮像装置)
15 指標
21 画像処理部
52 測定指示データ作成部(位置決定部)
53 リプレイ測定部(撮像制御部)
S1 撮像範囲
Claims (2)
- 被検物の一部分を撮像して画像を出力する撮像装置と、
前記被検物を前記撮像装置による撮像位置に対して相対移動させる移動装置と、
前記移動装置により、予め設定された前記被検物の測定点の位置を前記撮像位置に相対移動させ、前記撮像位置における被検物の画像を前記撮像装置に出力させる制御を行う撮像制御部と、
前記撮像装置からの前記画像内における前記測定点の座標値を測定する画像処理部と、
前記撮像位置を、予め設定された前記被検物に対する複数の測定点の位置と、前記撮像装置の撮像範囲とに基づいて決定する位置決定部とを有し、
前記位置決定部は、前記予め設定された前記被検物に対する複数の測定点に基づいて、前記測定前に、前記被検物に対する全ての測定点の位置を含む範囲について、前記撮像範囲でそれぞれ前記撮像範囲の一部が互いに重複するように位置をずらしながら切り取り、切り取られた各撮像範囲のうち前記測定点を最も多く含む撮像範囲を、前記測定を行う測定撮像範囲として決定し該測定撮像範囲に含まれる測定点を削除するとともに、該測定撮像範囲に含まれない前記測定点を最も多く含む撮像範囲を次の前記測定撮像範囲として決定し、前記測定点がなくなるまで前記測定撮像範囲の決定を繰り返し、前記決定された前記測定撮像範囲に対応する撮像位置をそれぞれ前記撮像位置とすることを特徴とする画像測定機。 - 前記撮像装置に撮像された前記被検物の画像から前記被検物の輪郭に沿って前記被検物に対する測定点を設定するプレ測定部をさらに有し、
前記被検物に対する複数の測定点の位置が前記プレ測定部により前記予め設定されることを特徴とする請求項1に記載の画像測定機。
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