JP2006064415A - 画像測定機、およびデータ作成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】画像測定機にステージ5上に載置された被検物6を撮像して撮像した画像を出力する撮像部4と、ステージ5上に載置された被検物6を撮像部4が撮像する撮像位置に対して相対移動させる移動装置と、制御ユニット2とを設け、制御ユニット2に、移動装置を制御して、予め設定された被検物の測定点の位置を撮像部4に相対移動させ、かつ撮像部4に撮像位置における被検物6の画像を撮像させて出力させる撮像制御部と、撮像部4が出力する画像内の複数の測定点の座標値を求める画像処理部と、被検物6の測定点の位置を撮像位置に移動させる際の複数の候補位置を求めて、複数の候補位置のうち、測定点が最も多く含まれる候補位置を次に移動する位置に決定する位置決定部とを設ける。
【選択図】図1
Description
Claims (3)
- 被検物の一部分を撮像して該撮像した画像を出力する撮像装置と、
前記被検物を前記撮像装置による撮像位置に対して相対移動させる移動装置と、
前記移動装置を制御して、予め設定された前記被検物の測定点の位置を前記撮像位置に相対移動させ、かつ前記撮像装置に前記撮像位置における被検物の画像を出力させる撮像制御部と、
前記撮像装置が出力する前記画像内の複数の測定点の座標値を求める画像処理部と、
前記撮像位置を、前記被検物に対して予め設定された複数の前記測定点の位置と、前記撮像装置の撮像範囲とに基づいて決定する位置決定部とを有し、
前記位置決定部は、前記被検物の前記測定点の位置を前記撮像位置に相対移動させる際の複数の候補位置を求めて、該複数の候補位置のうち、前記測定点が最も多く含まれる候補位置を次に相対移動させる位置に決定すること
を特徴とする画像測定機。 - 請求項1に記載の画像測定機であって、
前記画像処理部は、
前記画像内の測定点の座標値を測定点の隣接する順番に求め、該隣接する測定点を該画像内から測定できない場合、前記撮像制御部に前記被検物の測定点の位置を前記撮像位置に相対移動させ、
前記複数の候補位置は、前記撮像装置の前記撮像範囲の上下左右各辺の近傍に設定した複数個の位置のいずれかに前記測定できない隣接する測定点が入るように設定されたものであること
を特徴とする画像測定機。 - 撮像部が撮像した被検物の画像データを用いて被検物を測定する画像測定機を制御するデータを作成するデータ作成装置であって、
前記被検物の輪郭点を示す輪郭点情報を取得する輪郭点情報取得部と、
前記撮像部の撮像範囲が含まれる測定条件を取得する測定条件取得部と、
前記輪郭点情報および前記測定条件を用いて前記撮像装置に撮像させる前記被検物の位置を決定して、前記撮像部に該決定した被検物の位置を撮像させる制御データを作成する測定手順データ作成部と、を備え、
前記測定手順データ作成部は、
前記撮像装置に撮像させる前記被検物の位置を決定する際、複数の候補位置を求めて、該複数の候補位置のうち、前記輪郭点が最も多く含まれる候補位置を前記撮像装置に撮像させる前記被検物の位置に決定すること
を特徴とするデータ作成装置。
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