JP2005320579A - 塊状粒状物、線状粒状物及び粒状物の製造方法 - Google Patents

塊状粒状物、線状粒状物及び粒状物の製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】粒状物自体の分散性が改善されたカーボンナノチューブから成る粒状物を提案する。
【解決手段】 表面の少なくとも一部にめっき金属層が形成された多数本のカーボンナノチューブによって形成された塊状粒状物であって、該塊状粒状物を形成するカーボンナノチューブの各々は、その端部が前記塊状粒状物の外方に露出状態で突出することなく、前記めっき金属層によって相互に固着されていることを特徴とする
【選択図】 図1

Description

本発明は塊状粒状物、線状粒状物及び粒状物の製造方法に関し、更に詳細にはカーボンナノチューブから成る塊状粒状物、線状粒状物及び粒状物の製造方法に関する。
カーボンナノチューブ(以下、単にCNTと称することがある)は、その剛性、電気伝導性及び伝熱性に優れている。このため、一般的に剛性、電気伝導性及び伝熱性に劣る樹脂等の材料に均一に分散配合できれば、樹脂等の材料の剛性、電気伝導性及び伝熱性を格段に改善できる。
しかし、CNTは凝集し易いため、単に樹脂等の材料に投入して混練したのみでは分散配合することは至難のことである。
一方、下記非特許文献1には、図9に示すCNTと金属とから成り、CNTの端部がウニ状に突出した粒状物を、CNTを特殊な分散剤により分散した金属イオンを含有するめっき液に電流を流すことによって得ることができ、かかる粒状物を熱圧着して部品材料を形成することが提案されている。
平成15年9月2日発行の信濃毎日新聞
図9に示す粒状物を熱圧着して形成した部品材料をモータ軸や軸受に用いることによって、耐摩擦性及び放熱性を著しく向上でき、部品寿命の延長が期待できる。
しかし、図9に示す粒状物は、CNTの端部が金属層に覆われることなく露出状態でウニ状に突出しているものであり、粒状物自体の分散性が劣る。更に、ウニ状に突出したCNTが露出状態であるため、樹脂との濡れ性が劣るものと考えられる。
このため、図9に示す粒状物を樹脂に均一分散しようとすると、粒状物の分散性が劣るものと考えられる。
そこで、本発明の課題は、粒状物自体の分散性が改善されたカーボンナノチューブから成る粒状物及びその製造方法を提案することにある。
本発明者等は、前記課題を解決すべく、先ず、無電解めっきによってCNTにめっき金属を形成せんと試みたところ、周面全面が薄層のめっき金属層で覆われた薄層CNTを得ることができた。
しかしながら、CNTの全周面を薄層のめっき金属層で覆うための時間は長時間かかり、形成された薄層のめっき金属層は均一層であって、その表面は平滑面であるため、樹脂に配合した薄層CNTは樹脂から剥離し易い。
次に、本発明者は、電解めっきによってCNTにめっき金属を形成せんと試みたところ、CNTの端部が露出状態でウニ状に突出することなく粒状物を形成できること、電解めっき条件を変更することによって粒状物の形状を変更できることを見出し、本発明に到達した。
すなわち、本発明は、表面の少なくとも一部にめっき金属層が形成された多数本のカーボンナノチューブによって形成された塊状粒状物であって、該塊状粒状物を形成するカーボンナノチューブの各々は、その端部が前記塊状粒状物の外方に露出状態で突出することなく、前記めっき金属層によって相互に固着されていることを特徴とする塊状粒状物にある。
更に、本発明は、一本及び/又は複数本のカーボンナノチューブによって形成された線状粒状物であって、前記カーボンナノチューブの各表面にめっき金属層が形成されていることを特徴とする線状粒状物にある。
かかる本発明において、カーボンナノチューブの長手方向に、球状のめっき金属層を間欠的に形成することによって、カーボンナノチューブ同士がめっき金属を介することなく直接接触することができ、めっき金属を介して接触する場合に比較して、電気伝導性や伝熱性を向上できる。
しかも、このカーボンナノチューブ間に隙間が形成されるため、粒状物を樹脂に含浸する際に、かかる隙間に樹脂が入り込みアンカー効果を奏することも期待できる。
一方、カーボンナノチューブの実質的全面を、凹凸状表面のめっき金属層によって覆い、カーボンナノチューブの端部の少なくとも一方を覆うめっき金属層を、前記カーボンナノチューブの側面を覆うめっき金属層よりも厚く形成することによって、粒状物と樹脂との親和性を向上でき、樹脂に対する耐剥離性を向上できる。
また、めっき金属層を、電解めっきによって形成することによって、カーボンナノチューブの表面に金属層を厚く形成でき、形成された粒状物を配合した樹脂に優れた電磁波の遮断性を付与できる。
また、本発明は、 カーボンナノチューブを分散した電解めっき液を用いた電解めっきによって、前記カーボンナノチューブとめっき金属とから成る粒状物を製造する際に、該カーボンナノチューブを分散する分散剤として、アルキンジオール分子中にオキシエチレン側鎖を有するアルキンジオール化合物であって、前記アルキンジオール化合物の分子量の少なくとも20重量%をオキシエチレン側鎖が占める分散剤を用いることを特徴とする粒状物の製造方法にある。
かかる本発明において、カーボンナノチューブを分散する分散剤として、カチオン活性剤から成る分散剤を用いることによって、カーボンナノチューブの全周面をめっき金属層で容易に覆うことができる。
また、電解めっきの電流密度を3A/dm2以上とすることによって、所望形状の粒状物を短時間で大量に得ることができる。
更に、電解めっき中に、電解めっき液に挿入した陰極表面に形成された粒状物を削ぎ落とすことによっても、所望形状の粒状物を短時間で大量に得ることができる。
得られた粒状物は、粒状物を陽極及び陰極を挿入した電解めっき液を貯留するめっき槽の底面に沈殿させることによって容易に回収できる。
特に、粒状物を形成するめっき金属として、磁性を有する金属を用いた場合には、前記粒状物を磁石によって容易に回収できる。
本発明に係る粒状物は、特定の分散剤を用いてCNTを分散した電解めっき液を用いた電解めっきによって容易に得ることができ、電解めっき条件を調整することによって、塊状粒状物或いは線状粒状物を得ることができる。
得られた塊状粒状物はCNTの各端部が粒状物の外方に露出状態でウニ状に突出することなく形成され、線状粒状物は一本及び/又は複数本のCNTの各表面にめっき金属層が形成されているため、その分散性はいずれも良好である。
このため、得られた粒状物を樹脂に添加して攪拌や混練によって、樹脂中に容易に分散可能である。
本発明において用いるカーボンナノチューブは、公知のカーボンナノチューブを用いることができ、具体的にはシングルウォールカーボンナノチューブ又はマルチウォールカーボンナノチューブを用いることができる。
かかるカーボンナノチューブ(CNT)から成る本発明に係る粒状物の一例を図1に示す。図1は、多数本のCNTから成る塊状粒状物の電子顕微鏡写真である。図1において、線状物がCNTであって、CNTの所々に形成された白い球状物がめっき金属層としてのニッケル層である。
図1から明らかな様に、図1に示す塊状粒状物は、金属層で覆われていないCNTの端部が粒状物の外方にウニ状に突出することなく形成されており、CNTの各表面に間欠的に形成された球状のニッケル層によってCNT同士が相互に固着されていると共に、CNT間には隙間が形成されている。
これに対し、図2に示すCNTから成る塊状粒状物も、金属層で覆われていないCNTの端部が粒状物の外方にウニ状に突出することなく形成されているが、塊状粒状物の外周面は、めっき金属層としてのニッケル層によって覆われている。
更に、かかる図2に示す塊状粒状物の外周面を観察すると、外周面近傍のCNTは、その実質的全面が凹凸状表面のニッケル層によって覆われており、このCNTの端部の少なくとも一方を覆うニッケル層がCNTの側面を覆うニッケル層よりも厚く形成されている。
この様に、図1及び図2に示す塊状粒状物は、CNTの端部が粒状物の外方に露出状態でウニ状に突出することなく形成されているため、塊状粒状物自体の分散性は良好である。
また、かかる塊状粒状物を樹脂に含浸させることによって、剛性に優れたCNTを樹脂中に分散して配設できるため、樹脂の剛性や電気特性を改善できる。
ところで、図1に示す塊状粒状物は、CNT同士がニッケル層を介することなく直接接触する部分が存在する。このため、図1に示す塊状粒状物は、電気伝導性及び伝熱性がニッケルよりも優れたにCNT同士が直接接触するため、ニッケル層を介してCNT同士が接触する図2に示す塊状粒状物に比較して、その電気伝導性及び伝熱性が良好である。
更に、図1に示す塊状粒状物は、CNT間に隙間が形成されているため、樹脂に含浸する際に、かかる隙間に樹脂が入り込みアンカー効果を奏することも期待できる。
一方、図2に示す塊状粒状物は、その全面がニッケル層によって覆われているため、樹脂との濡れ性が、部分的にニッケル層が形成されている図1に示す塊状粒状物に比較して良好であり、樹脂への分散性を向上できる。
尚、図1及び図2に示す塊状粒状物の大きさは、10〜30μmである。
かかる図1及び図2に示す粒状物は、多数本のCNTが塊状に固まって形成されているものであるが、図3及び図4に示す粒状物の様に、一本及び/又は複数本のCNTによって形成された線状粒状物であってもよい。この線状粒状物を形成するCNTの各表面には、めっき金属層としてのニッケル層が形成されている
かかる線状粒状物の一例を、図3(a)(b)に示す、図3(b)は、図3(a)に示す線状粒状物の拡大顕微鏡写真である。図3(a)(b)に示す線状粒状物は、図3(b)から明らかな様に、複数本のCNTが線状に繋がって形成されており、CNTの長手方向に球状のめっき金属層としてのニッケル層が間欠的に形成されているものである。
図3(a)(b)に示す線状粒状物は、CNT同士がニッケル層を介することなく直接接触する部分が存在するため、電気伝導性及び伝熱性がニッケルよりも優れたにCNT同士が直接接触し、その電気伝導性及び伝熱性が良好である。
また、この線状粒状物の他の例を、図4及び図5に示す。図5は、図4の線状粒状物の拡大断面図である。かかる図4に示す線状粒状物は、図5(a)(b)に示す様に、CNT10の全面がめっき金属層としてのニッケル層12によって覆われている。このニッケル層12のうち、CNT10の側面を覆う部分は、多数の凹凸が形成されて凹凸状表面に形成されている。
他方、CNT10の端部を覆う部分は、図5(a)に示す様に、CNT10の端部の一方が、CNT10の側面を覆うニッケル層12よりも厚く形成されているものと、図5(b)に示す様に、CNT10の両端部が、共にCNT10の側面を覆うニッケル層12よりも厚く形成されているものとが存在する。
この様に、CNT10の実質的全面がニッケル層12によって覆われている図4及び図5(a)(b)に示す線状粒状物は、樹脂との濡れ性が、部分的にニッケル層が形成されている図3(a)(b)に示す線状粒状物に比較して良好であり、樹脂への分散性を向上できる。
更に、CNT10を覆うニッケル層12は、その表面が凹凸状面に形成されているため、ニッケル層12の凹凸状表面による樹脂とのアンカー効果も期待できる。
尚、CNTの表面にめっき金属層が形成された図1〜図5に示す粒状物を樹脂に配合することによって、樹脂に優れた電磁波の遮断性を付与できる。
図1〜図5に示す粒状物は、図6に示す電解装置によって得ることができる。図6に示す電解装置は、電解めっき槽14に貯留されて攪拌機24によって攪拌されている電解めっき液16に、直流電源18に接続された陽極20と陰極22とが浸漬されている。陽極20は、CNT10の表面に析出させたい金属から成る金属部材を用いる。
かかる電解めっき液16にCNT10が分散されており、めっき金属が析出したCNT10から成る粒状物は、陰極22の表面に析出すると共に、電解めっき液16中に浮遊し、電解めっき槽14の底面にも沈殿する。
かかる電解めっき液16には、CNT10を電解めっき液16に充分に分散することが肝要である。このためには、分散剤として、アルキンジオール分子中にオキシエチレン側鎖を有するアルキンジオール化合物であって、このアルキンジオール化合物の分子量の少なくとも20重量%をオキシエチレン側鎖が占める分散剤を用いることによって、CNTを電解めっき液16に充分に分散できる。
或いは、分散として、カチオン活性剤から成る分散剤、特に炭化水素系のカチオン活性剤とフッ素化水素系のカチオン活性剤とから成る分散剤も用いることができる。
この様な分散剤を用いることのできる電解めっき液であれば、CNTの表面に所望の金属を析出し得る公知の電解めっき液を用いることができ、例えばニッケルをCNTの表面に析出し得る電解めっき液としては、ワット浴を用いることができる。
尚、界面活性剤としても、公知の界面活性剤を用いることができる。
かかる電解めっき液16を用いた電解めっきの際に、電解めっきの電流密度を、3A/dm2以上とすることが好ましく、図2及び図4に示す様に、CNTの全面にめっき金属を形成する場合には、電流密度を10A/dm2以上とすることが好ましい。
この電解めっきによって生成した粒状物は、陰極22の表面に析出すると共に、電解めっき液16中に浮遊し、電解めっき槽14の底面にも沈殿するため、電解めっき液16を電解めっき槽14の底面に沈殿した粒状物と共にスポイト等によって吸引し、粒状物を沈殿させることによって得ることができる。粒状物は、CNTの表面にめっき金属が形成されており、その比重は電解めっき液16よりも大きく容易に沈殿するからである。
この様に、粒状物の比重が電解めっき液16よりも大きいため、電解めっきを所定時間継続して終了した後、攪拌機24による攪拌を停止することによって、電解めっき液16に浮遊している粒状物は電解めっき槽14の底面に容易に沈殿し、生成した粒状物を容易に回収できる。
また、陰極22に析出する粒状物は、陰極22の表面をフッ素樹脂製のヘラ等によって削ぎ落として回収できる。かかる削ぎ落としを、電解めっき中に定期的に行なうことによって、陰極表面に付着した粒状物が形成されることを防止できる。
尚、めっき金属として、ニッケル等の磁性を有する金属を用いた場合には、電解めっき槽14の底面に沈殿した粒状物を磁石によって容易に回収できる。
この様に、電解めっきによってCNTにめっき金属層を形成できるメカニズムは、図7に示すように考えることができる。
すなわち、陽極20と陰極22との間に存在するCNT10が分極化され、分極化されたCNT10の一端部が、図7(a)に示す様に、陰極22の陰極面に引き寄せられて付着する。陰極22に一端部が付着したCNT10は、その他端部の電流密度が他の部分よりも高くなるため、めっき金属が集中的に析出し、図7(b)に示す様に、CNT10の先端部に厚いめっき金属層12が形成される。
形成されためっき金属層12の先端部には、図7(c)に示す様に、分極化されたCNT10が付着する。この様に、新たなCNT10が付着すると、新たに付着したCNT10の先端部が最も電流密度が高くなるため、図7(d)に示す様に、新たに付着したCNT10にめっき金属が集中的に析出する。
ここで、陰極22の陰極面にCNT10が高密度に付着する場合には、めっき金属12が付着する際に、隣接するCNT10のめっき金属12と接合され易くなり、塊状粒状物が形成され易い。
他方、陰極22の陰極面に付着するCNT10の密度が比較的低い場合には、隣接するCNT10のめっき金属12と接合され難くなり、線状粒状物が形成され易い。
また、電流密度が高く、陰極面に付着したCNT10にめっき金属12が析出し易い場合には、陰極面に付着したCNT10の全面がめっき金属層12によって覆われた後、新たなCNT10が付着するため、全面がめっき金属層12で覆われたCNT10から成る粒状物が形成され易くなる。
他方、電流密度が低い場合には、陰極面に付着したCNT10の全面がめっき金属層12によって覆われる前に、CNT10の先端部を覆うめっき金属層12に新たなCNT10が付着し、新たなCNT10の先端部にめっき金属が析出する。このため、CNT10に間欠的にめっき金属層12が形成された粒状物が形成され易くなる。
ところで、図7では、陰極22の陰極面に付着するCNT10の一端部が付着した場合について説明したが、この場合、全面がめっき金属層12によって覆われたCNT10は、図5(a)に示す様に、その端部の一方が側面を覆うニッケル層12よりも厚く形成され易くなる。
他方、図8に示す様に、陰極22の陰極面に湾曲したCNT10の側面が付着した場合、全面がめっき金属層12によって覆われたCNT10は、図5(b)に示す様に、その両端部が側面を覆うニッケル層12よりも厚く形成され易くなる。
各攪拌機が設けられ、下記表1の組成の電解めっき液が貯留されている電解めっき槽に、陽極としてのニッケル板と陰極としての銅板とを挿入し、この電解めっき液にCNTとしてマルチウォールカーボンナノチューブ(MWCNT)1g/リットルを添加した。
次いで、電解めっき液を攪拌機で攪拌しつつ、電解めっきを施した。この際の電流密度は5A/dm2であった。
電解めっきを終了した後、攪拌機による攪拌を停止して、電解めっき槽の底面に沈殿した粒状物を回収した。
回収した粒状物を電子顕微鏡で観察したところ、図1に示す様に、塊状粒状物であって、ニッケル層で覆われていないMWCNTの端部が粒状物の外方にウニ状に突出することなく形成されており、MWCNTの各表面に間欠的に形成された球状のニッケル層によってCNT同士が相互に固着されていると共に、MWCNT間には隙間が形成されているものであった。
実施例1において、分散剤として、分子量の80wt%をオキシエチレン側鎖が占めるアルキンジオール化合物を用い、その添加量を2g/リットルに変更し、且つ電流密度が10A/dm2の電解めっきを15分間実施した他は、実施例1と同様にしてMWCNTに電解めっきを施し、電解めっき槽の底面に沈殿した粒状物を回収した。
回収した粒状物を電子顕微鏡で観察したところ、図2に示す様に、塊状粒状物であって、ニッケル層で覆われていないMWCNTの端部が粒状物の外方にウニ状に突出することなく形成されおり、塊状粒状物の外周面は、ニッケル層によって覆われている。
更に、外周面近傍のMWCNTは、その全面が凹凸状表面のニッケル層によって覆われており、このCNTの端部を覆うニッケル層がMWCNTの他の部分を覆うニッケル層よりも厚く形成されている。
実施例1において、電流密度を3A/dm2の電解めっきを30分間実施した他は、実施例1と同様にしてMWCNTに電解めっきを施し、電解めっき槽の底面に沈殿した粒状物を回収した。
回収した粒状物を電子顕微鏡で観察したところ、図3(a)(b)に示す様に、複数本のMWCNTが線状に繋がって形成されており、MWCNTの長手方向に球状のニッケル層が間欠的に形成されていた。
実施例1において、電解めっき液を下記表2に示す組成の電解めっき液に、MWCNTを0.1g/リットル添加した後、電流密度を10A/dm2の電解めっきを5分間実施した他は、実施例1と同様にしてMWCNTに電解めっきを施し、電解めっき槽の底面に沈殿した粒状物を回収した。
回収した粒状物を電子顕微鏡で観察したところ、図4及び図5に示す様に、MWCNT10の各々の全面がニッケル層12によって覆われているものであった。かかるMWCNT10の各側面を覆うニッケル層12の部分は、多数の凹凸が形成されて凹凸状表面に形成されていた。
また、MWCNT10の端部の一方を覆うニッケル層12の部分が、MWCNT10の側面を覆うニッケル層12よりも厚く形成されているものと、MWCNT10の両端部を覆うニッケル層12の部分が、MWCNT10の側面を覆うニッケル層12よりも厚く形成されているものとが混在されていた。
実施例1において、陰極22の陰極面を5分ごとにフッ素樹脂製のヘラで擦り、陰極面に形成された粒状物を削ぎ落とした他は、実施例1と同様にしてMWCNTに電解めっきを施し、電解めっき槽の底面に沈殿した粒状物を回収した。回収した粒状物は、図1に示す塊状粒状物であった。
実施例1において、電解めっき終了後に、電解めっき槽14の底面に沈殿する粒状物を、磁石によって回収した他は、実施例1と同様にしてMWCNTに電解めっきを施した。回収した粒状物は、図1に示す塊状粒状物であった。
比較例1
実施例2において、電流密度を3A/dm2の電解めっきを45分間実施した他は、実施例2と同様にしてMWCNTに電解めっきを施した。
しかし、電解めっきを終了しても、粒状物は形成されず、陰極22の陰極面にMWCNTとニッケル層との複合めっき皮膜層が形成されていた。
本発明に係る粒状物は、そのCNTの表面にめっき金属層が形成されているため、CNTの樹脂との濡れ性を改善できる。このため、本発明に係る粒状物を樹脂に添加して攪拌や混練によって、容易に樹脂中に分散することができる。
したがって、剛性、電磁波の遮断性及び伝熱性に劣る樹脂に対し、優れた剛性、電磁波の遮断性及び伝熱性を付与でき、従来の樹脂では用いることができなかった用途、例えば電子機器用の筐体に適用できる。
本発明に係る塊状粒状物の一例を説明するための電子顕微鏡写真である。 本発明に係る塊状粒状物の他の例を説明するための電子顕微鏡写真である。 本発明に係る線状粒状物の一例を説明するための電子顕微鏡写真である。 本発明に係る線状粒状物の他の例を説明するための電子顕微鏡写真である。 図4に示す線状粒状物の拡大断面図である。 電解めっき装置の一例を説明する概略図である。 CNTに電解めっきを施すことのできるメカニズムを説明するための概念図である。 陰極の陰極面に付着する他の態様を説明する概念図である 従来の粒状物を説明するための電子顕微鏡写真である。
符号の説明
10 カーボンナノチューブ(CNT)
12 ニッケル層(めっき金属層)
14 電解めっき槽
16 電解めっき液
18 直流電源
20 陽極
22 陰極
24 攪拌機

Claims (16)

  1. 表面の少なくとも一部にめっき金属層が形成された多数本のカーボンナノチューブによって形成された塊状粒状物であって、
    該塊状粒状物を形成するカーボンナノチューブの各々は、その端部が前記塊状粒状物の外方に露出状態で突出することなく、前記めっき金属層によって相互に固着されていることを特徴とする塊状粒状物。
  2. カーボンナノチューブの長手方向に、球状のめっき金属層が間欠的に形成され、前記カーボンナノチューブ間に隙間が形成されている請求項1記載の塊状粒状物。
  3. カーボンナノチューブの実質的全面が、凹凸状表面のめっき金属層によって覆われており、塊状粒状物の外周面に位置するカーボンナノチューブの端部の少なくとも一方を覆うめっき金属層が、前記カーボンナノチューブの側面を覆うめっき金属層よりも厚く形成されている請求項1記載の塊状粒状物。
  4. めっき金属が、磁性を有する金属である請求項1〜3のいずれか一項記載の塊状粒状物。
  5. めっき金属層が、電解めっきによって形成された請求項1〜4のいずれか一項記載の塊状粒状物。
  6. 一本及び/又は複数本のカーボンナノチューブによって形成された線状粒状物であって、前記カーボンナノチューブの各表面にめっき金属層が形成されていることを特徴とする線状粒状物。
  7. カーボンナノチューブの長手方向に、球状のめっき金属層が間欠的に形成されている請求項6記載の線状粒状物。
  8. カーボンナノチューブの実質的全面が、凹凸状表面のめっき金属層によって覆われており、前記カーボンナノチューブの端部の少なくとも一方を覆うめっき金属層が、前記カーボンナノチューブの側面を覆うめっき金属層よりも厚く形成されている請求項6記載の線状粒状物。
  9. めっき金属が、磁性を有する金属である請求項6〜8のいずれか一項記載の線状粒状物。
  10. めっき金属層が、電解めっきによって形成された請求項6〜9のいずれか一項記載の線状粒状物。
  11. カーボンナノチューブを分散した電解めっき液を用いた電解めっきによって、前記カーボンナノチューブとめっき金属とから成る粒状物を製造する際に、
    該カーボンナノチューブを分散する分散剤として、アルキンジオール分子中にオキシエチレン側鎖を有するアルキンジオール化合物であって、前記アルキンジオール化合物の分子量の少なくとも20重量%をオキシエチレン側鎖が占める分散剤を用いることを特徴とする粒状物の製造方法。
  12. カーボンナノチューブを分散する分散剤として、カチオン活性剤から成る分散剤を用いる請求項11記載の粒状物の製造方法。
  13. 電解めっきの電流密度を、3A/dm2以上とする請求項11又は請求項12記載の粒状物の製造方法。
  14. 電解めっき中に、電解めっき液に挿入した陰極表面に形成された粒状物を削ぎ落とす請求項11〜13のいずれか一項記載の粒状物の製造方法。
  15. 粒状物を陽極及び陰極を挿入した電解めっき液を貯留するめっき槽の底面に沈殿させて回収する請求項11〜14のいずれか一項記載の粒状物の製造方法。
  16. 粒状物を形成するめっき金属として、磁性を有する金属を用い、前記粒状物を磁石によって回収する請求項11〜14のいずれか一項記載の粒状物の製造方法。
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