JP4324434B2 - 放熱部材及びその製造方法 - Google Patents
放熱部材及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4324434B2 JP4324434B2 JP2003325859A JP2003325859A JP4324434B2 JP 4324434 B2 JP4324434 B2 JP 4324434B2 JP 2003325859 A JP2003325859 A JP 2003325859A JP 2003325859 A JP2003325859 A JP 2003325859A JP 4324434 B2 JP4324434 B2 JP 4324434B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plating film
- plating
- film layer
- metal
- composite
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 title claims description 20
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 9
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 144
- 239000002134 carbon nanofiber Substances 0.000 claims description 96
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 96
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 72
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 72
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims description 50
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical class C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 43
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 8
- 125000006353 oxyethylene group Chemical group 0.000 claims description 8
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 claims description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 70
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 52
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 33
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 33
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 33
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 26
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 20
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- -1 alkyne diol Chemical class 0.000 description 11
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 9
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 238000000635 electron micrograph Methods 0.000 description 8
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 8
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 2
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 2
- 125000003903 2-propenyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 1
- CFNMUZCFSDMZPQ-GHXNOFRVSA-N 7-[(z)-3-methyl-4-(4-methyl-5-oxo-2h-furan-2-yl)but-2-enoxy]chromen-2-one Chemical compound C=1C=C2C=CC(=O)OC2=CC=1OC/C=C(/C)CC1OC(=O)C(C)=C1 CFNMUZCFSDMZPQ-GHXNOFRVSA-N 0.000 description 1
- HGINCPLSRVDWNT-UHFFFAOYSA-N Acrolein Chemical compound C=CC=O HGINCPLSRVDWNT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000255925 Diptera Species 0.000 description 1
- 241000872198 Serjania polyphylla Species 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000000475 acetylene derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 125000003172 aldehyde group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N boric acid Chemical compound OB(O)O KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004327 boric acid Substances 0.000 description 1
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 1
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011304 carbon pitch Chemical group 0.000 description 1
- 125000002843 carboxylic acid group Chemical group 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000000468 ketone group Chemical group 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- LAIZPRYFQUWUBN-UHFFFAOYSA-L nickel chloride hexahydrate Chemical compound O.O.O.O.O.O.[Cl-].[Cl-].[Ni+2] LAIZPRYFQUWUBN-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- RRIWRJBSCGCBID-UHFFFAOYSA-L nickel sulfate hexahydrate Chemical compound O.O.O.O.O.O.[Ni+2].[O-]S([O-])(=O)=O RRIWRJBSCGCBID-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229940116202 nickel sulfate hexahydrate Drugs 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229940070891 pyridium Drugs 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 1
Description
従来は、電子機器内に装着したファン等の排熱装置によって強制的に熱を外部に排出していた。
しかし、電子機器の小型化、薄型化に伴なって、電子機器内に排熱装置を設置できるスペースの確保が極めて困難になりつつあること、排熱装置の騒音解消の要望が強いこと等のため、電子機器の密閉化等が考えられている。
一方、電子機器を密閉化した場合には、半導体素子から発生する熱を速やかに外部に放熱する放熱部材としてのヒートシンクの性能が重要である。
かかるヒートシンクとしては、下記特許文献1に、金属板の表面にカーボンブラックとチタニア(TiO2)とが配合された塗膜を形成したヒートシンクが提案されている。
この様に、短波長側の放射強度が良好のカーボンブラックと、長波長側の放射強度が良好のチタニアとが配合された塗膜を形成したヒートシンクでは、カーボンブラックとチタニアとの各々の放射強度が劣る部分を補うことができる結果、幅広い波長での放射強度を向上でき、放熱性を向上できるというものである。
また、二種の熱放射材を用いることは、その均一混合等に多大の注意を払うことを要するため、一種の熱放射材を用いることによって熱放射特性が向上されたヒートシンクが望まれている。
そこで、本発明の課題は、金属部品の表面に、一種類の熱放射材を金属マトリックス中に配合された皮膜を形成した放熱部材及びその製造方法を提供とすることにある。
すなわち、本発明は、カーボンナノファイバが分散されためっき液を用いためっきによって形成された、前記カーボンナノファイバとめっき金属とから成る複合めっき皮膜層が、金属部品の表面に形成されている放熱部材であって、前記複合めっき皮膜層の表面を形成するカーボンナノファイバには、前記めっき金属で覆われている部分と前記カーボンナノファイバの表面が露出している部分とが併存し、且つ前記複合めっき皮膜層の波長3〜30μmの領域における熱放射率が、黒体の波長3〜30μmの領域における熱放射率に対して0.3以上となるように、前記カーボンナノファイバの表面が露出していることを特徴とする放熱部材にある。
また、本発明は、カーボンナノファイバが分散された電解めっき液を用いた電解めっきによって、前記カーボンナノファイバとめっき金属とから成る複合めっき皮膜層が金属部品の表面に形成された放熱部材を製造する際に、前記電解めっき液には、カーボンナノファイバを分散する分散剤として、アルキンジオール分子中にオキシエチレン側鎖を有するアルキンジオール化合物であって、前記アルキンジオール化合物の分子量の少なくとも20重量%をオキシエチレン側鎖が占める分散剤を用い、且つ陰極に接続された金属部品のめっき面を電解めっき液の液面に対して水平に載置すると共に、前記金属部品のめっき面の上方に陽極を配設し、前記金属部品及び陽極を上下方向に揺動しつつ、電解めっき液を攪拌して、前記金属部品に電解めっきを施すことを特徴とする放熱部材の製造方法でもある。
この様に、複合めっき皮膜層の表面を形成するカーボンナノファイバに、めっき金属で覆われている部分と露出している部分とを併存させるには、複合めっき被膜に配されたカーボンナノファイバを、前記複合めっき皮膜の表面に対して横向きに配することが有利である。
また、めっき液中のカーボンナノファイバの混合量を、100ppm以上とすることによって、所望の熱放射率の複合めっき皮膜を容易に形成できる。
更に、カーボンナノファイバとして、径が100〜300nmで且つ長さが1〜20μmのカーボンナノファイバを好適に用いることができる。
尚、金属部品のめっき面に電解めっきを施して複合めっき皮膜を形成した後、前記複合めっき皮膜にエッチングを施すことによっても、前記複合めっき皮膜層の表面を形成するカーボンナノファイバに、前記めっき金属で覆われている部分と露出している部分とを併存させることができる。
更に、カーボンナノファイバとめっき金属とから成る複合めっき皮膜層の表面には、放熱特性に優れたカーボンナノファイバの一部が露出し、複合めっき皮膜の表面に到達した熱を迅速に外部に放熱できるため、放熱部材の放熱性を向上できる。
しかも、複合めっき皮膜層の波長3〜30μmの領域における熱放射率が、黒体の波長3〜30μmの領域における熱放射率に対して0.3以上となるように、カーボンナノファイバの表面が露出しているため、放熱部材の放熱性を更に向上できる。
その結果、放熱性が向上された放熱部材としてのヒートシンクを具備する筐体内に、半導体素子等を密閉化した電子機器では、半導体素子等から発生する熱を速やかに筐体外に放熱でき、電子機器の更なる小型化、薄肉化を図ることができる。
尚、半導体素子等を密閉する筐体自体を、本発明に係る放熱部材で形成することによっても、半導体素子等から発生する熱を速やかに筐体外に放熱できる。
この金属部品としては、熱伝導率が良好な金属、例えば銅、鉄又はこれらの合金から成る金属部品を好適に用いることができる。かかる金属部品の全表面に、金属部品を形成する金属よりも熱伝導率が良好な金属、例えば銅、ニッケル、銀、すず等の金属から成る金属層をめっきによって形成してもよい。
また、CNFとしては、中実体のカーボンナノファイバ、或いはカーボンナノチューブを用いることができ、両者を混合してもよい。このCNFとしては、径が100〜300nmで且つ長さが1〜20μmのCNFを好適に用いることができる。
尚、CNFに代えて汎用されているPAN系炭素繊維やピッチ系炭素繊維を用いた場合には、複合めっき被膜の表面を平滑面に形成することが困難である。
かかる電解めっき液には、カーボンナノファイバを分散する分散剤としてのアルカンジオール化合物、アルケンジオール化合物又はアルキンジオール化合物が配合されている。特に、アルキンジオール分子中にオキシエチレン側鎖を有するアルキンジオールであって、このアルキンジオール化合物の分子量の少なくとも20重量%をオキシエチレン側鎖が占める分散剤を好適に用いることができる。このオキシエチレン側鎖が占める割合を85重量%以下とすることが好ましい。
更に、電解めっき液には、界面活性剤としてのケトン基、アルデヒド基又はカルボン酸基を有する有機化合物、カーボンモノオキサイド化合物、クマリン誘導体、アリルアルデヒドのスルホン化物、アリル基を有するスルホン化合物、アルキレンカルボキシエステル、アルキレンアルデヒド、アセチレン誘導体、ピリジウム化合物、アルカンスルホン化合物又はアゾ化合物が配合されていてもよい。
かかる電解めっき液にCNFを分散するには、予め分散剤溶液に浸漬して分散性を向上したCNFを電解めっき液に混合することが好ましい。
この様にCNFが分散された電解めっき液を用いて電解めっきを施す際には、CNFの分散状態を維持するため、電解めっき液を攪拌しつつ、電流密度を3A/dm2以下で施すことが好ましい。電流密度を3A/dm2を越える条件で電解めっきを施すと、形成される複合めっき皮膜層の表面が凹凸面になり易い傾向にある。
更に、直流電源の陰極に接続されて電解めっき液の液面に対して水平に載置した金属部品のめっき面の上方に直流電源の陽極に接続された陽極板を載置し、金属部品と陽極板とを上下方向に揺動させつつ電解めっきを施すことによって、CNFを金属部品のめっき面に均一に配設できる。
かかる電解めっきによって、金属部品の表面には、CNFとめっき金属とから成る複合めっき皮膜層を形成できる。この複合めっき被膜層は、その表面が平滑であって、CNFの多数本が複合めっき皮膜の表面に対して横向きに配されている。
この露出するCNFの露出面積を、電子顕微鏡の顕微鏡写真から投影面積として算出すると、露出するCNFの投影面積は、複合めっき皮膜層の表面に対して3%以上となる。
かかる複合めっき皮膜層が金属板の表面に形成された放熱部材では、波長3〜30μmの領域における熱放射率を、黒体の波長3〜30μmの領域における熱放射率に対して0.3以上とすることができる。
つまり、複合部材を構成する金属部品の表面に形成された複合めっき皮膜では、熱伝導率等の熱特性に優れたCNFが、熱伝導率等の熱特性に優れためっき金属から成る金属マトリックス中に横向きに配されているため、金属部材の表面から複合めっき皮膜層の表面に熱が迅速に伝達される。
更に、複合めっき皮膜層の表面に、めっき金属で覆われている部分と露出している部分とが併存するCNFが存在しており、かかるCNFの露出面からは、めっき金属から伝熱された熱が直ちに放熱されるため、複合めっき皮膜層の放熱性を向上できるものと考えられる。
尚、金属部品のめっき面に電解めっきを施して複合めっき皮膜を形成した後、この複合めっき皮膜にエッチングを施すことによっても、複合めっき皮膜層の表面に、めっき金属で覆われている部分と露出している部分とが併存するCNFを存在させることができる。
この電解めっき液には、径が100〜300nmで且つ長さが10〜20μmのCNFを、100ppmとなるように混合した。
かかるCNFが混合された電解めっき液は、図1に示す様に、めっき槽10に貯留される。この電解めっき液12には、めっき面にマスキングテープによって有効面積が18cm2となるように面積規制された金属部品としての銅板14を、このめっき面と電解めっき液12の液面とが平行となるように浸漬すると共に、銅板14のめっき面の上方にニッケル板18を浸漬する。その後、直流電源16の陰極に銅板14を接続すると共に、直流電源16の陽極にニッケル板18を接続し、電流密度を1A/dm2に調整しつつ、電解ニッケルめっきを施した。この電解ニッケルめっきの際には、めっき液温度を50℃に維持しつつ、電解めっき液に攪拌機19によって攪拌を施すと共に、銅板14とニッケル板18とを上下方向(矢印A方向)に揺動した。
かかる電解ニッケルめっきは、銅板14のめっき面に厚さ20μmの複合めっき皮膜層が形成されるまで継続した。
銅板14のめっき面に所定厚さの複合めっき皮膜層が形成されて放熱部材としてのヒートシンクが得られたとき、電解めっきを終了した。めっき液から取り出して洗浄したヒートシンクの複合めっき被覆層の表面が平滑であった。
かかる複合めっき皮膜層の表面を電子顕微鏡で約5000倍に拡大して観察した。この電子顕微鏡による拡大写真を図2に示す。図2からも判る様に、複合めっき皮膜層の表面には、複合めっき皮膜層の表面に対して多数本の横向きに配設されたCNFが存在している。この様に、複合めっき皮膜層の表面に配設されたCNFには、めっき金属としてのニッケルが析出して覆われている部分と露出している部分とが併存するCNFが存在している。
図2に示す露出するCNFの投影面積を、図2に示す電子顕微鏡写真から測定すると、複合めっき皮膜層の表面に対して3%であった。
電子顕微鏡による拡大写真を図3に示す。図3からも判る様に、複合めっき皮膜層の表面には、複合めっき皮膜層の表面に対して多数本の横向きに配設されたCNFが存在している。この様に、複合めっき皮膜層の表面に配設されたCNFの露出部分が、図2に示す複合めっき皮膜層の表面に比較して拡大されている。
図3に示す露出するCNFの投影面積を、図3に示す電子顕微鏡写真から測定すると、複合めっき皮膜層の表面に対して7%であった。
電子顕微鏡による拡大写真を図4に示す。図4からも判る様に、複合めっき皮膜層の表面には、複合めっき皮膜層の表面に対して多数本の横向きに配設されたCNFが存在している。この様に、複合めっき皮膜層の表面に配設されたCNFの露出部分が、図2及び図3に示す複合めっき皮膜層の表面に比較して拡大されている。
図4に示す露出するCNFの投影面積を、図4に示す電子顕微鏡写真から測定すると、複合めっき皮膜層の表面に対して10%であった。
電子顕微鏡による拡大写真を図5に示す。図5からも判る様に、エッチングが施された複合めっき皮膜層の表面にも、図4に示す複合めっき被膜層の表面と同様に、CNFは複合めっき皮膜層の表面に対して横向きに配設されているものである。
図6に示す厚さ5μmの複合めっき皮膜層の表面状態は、実施例3で得た厚さ20μmの複合めっき皮膜層の表面状態(図4)と同様に、複合めっき皮膜層の表面に対して多数本のCNFは横向きに配設されているものである。
更に、実施例4において得られた、銅板の表面に形成したCNFとニッケルとから成る複合めっき皮膜層にエッチングを施して得たヒートシンクについても、その示差放射スペクトルを図8に示した。この図8には、実施例4において得られたヒートシンクの示差放射スペクトルも併せて示した。
また、比較例1として、実施例1において、CNFを混合しなかった他は、実施例1と同様に電解ニッケルめっきを施し、銅板14のめっき面に厚さ20μmのニッケルめっき皮膜層が形成されたヒートシンクについても、その示差放射スペクトルを図7に併せて示した。
図7及び図8から明らかな様に、CNFを100ppm以上混合しためっき液を用いて電解めっきを施した実施例1〜4のニッケルとCNFとから成る複合めっき皮膜層が銅板14のめっき面に形成されたヒートシンクでは、波長3〜30μmの領域における熱放射率は、黒体の波長3〜30μmの領域における熱放射率に対して0.3以上となり、比較例1の銅板14のめっき面にニッケルめっき皮膜層が形成されたヒートシンクに比較して、放熱性に優れていることが判る。
尚、図8に示す実施例4で得たヒートシンクの熱放射率は、実施例3で得たヒートシンクの熱放射率よりも低い値を示したが、エッチングによっては、CNFの一部が脱落したことによるものと考えられる。
図9から明らかな様に、比較例2のヒートシンクは、実施例3のヒートシンクに比較して、長波長側での放熱性が劣ることが判る。
また、ヒートシンク24の下方10mmの箇所に、温度測定装置26の熱センサを挿入して断熱性筐体20内の温度を測定した。
ここで、銅板の表面にCNFとニッケルとから成る複合めっき皮膜層を形成したヒートシンク24(実施例3)を用いた場合の断熱性筐体20内の温度変化を図10(b)に示す。
更に、銅板の表面に厚さ20μmのニッケルめっき皮膜層を形成したヒートシンク(比較例1)を用いた場合の断熱性筐体20内の温度変化も図10(b)に併せて示す。
図10(b)から明らかな様に、銅板の表面にCNFとニッケルとから成る複合めっき皮膜層が形成されたヒートシンク24(実施例3)を用いることによって、銅板の表面に厚さ20μmのニッケルめっき皮膜層を形成したヒートシンク24(比較例1)に比較して、放熱性が向上されていることが判る。
12 電解めっき液
14 銅板(金属部品)
16 直流電源
18 ニッケル板
19 攪拌機
20 断熱性筐体
22 ヒータ
24 ヒートシンク
26 温度測定装置
Claims (9)
- カーボンナノファイバが分散されためっき液を用いためっきによって形成された、前記カーボンナノファイバとめっき金属とから成る複合めっき皮膜層が、金属部品の表面に形成されている放熱部材であって、
前記複合めっき皮膜層の表面を形成するカーボンナノファイバには、前記めっき金属で覆われている部分と前記カーボンナノファイバの表面が露出している部分とが併存し、
且つ前記複合めっき皮膜層の波長3〜30μmの領域における熱放射率が、黒体の波長3〜30μmの領域における熱放射率に対して0.3以上となるように、前記カーボンナノファイバの表面が露出していることを特徴とする放熱部材。 - 露出するカーボンナノファイバの投影面積が、複合めっき皮膜層の表面に対して3%以上である請求項1記載の放熱部材。
- 複合めっき皮膜に配されたカーボンナノファイバが、前記複合めっき皮膜の表面に対して横向きに配されている請求項1又は請求項2記載の放熱部材。
- めっきが、電解めっきである請求項1〜3のいずれか一項記載の放熱部材。
- カーボンナノファイバが、径が100〜300nmで且つ長さが1〜20μmのカーボンナノファイバである請求項1〜4のいずれか一項記載の放熱部材。
- カーボンナノファイバが分散された電解めっき液を用いた電解めっきによって、前記カーボンナノファイバとめっき金属とから成る複合めっき皮膜層が金属部品の表面に形成された放熱部材を製造する際に、
前記電解めっき液には、カーボンナノファイバを分散する分散剤として、アルキンジオール分子中にオキシエチレン側鎖を有するアルキンジオール化合物であって、前記アルキンジオール化合物の分子量の少なくとも20重量%をオキシエチレン側鎖が占める分散剤を用い、
且つ陰極に接続された金属部品のめっき面を電解めっき液の液面に対して水平に載置すると共に、前記金属部品のめっき面の上方に陽極を配設し、
前記金属部品及び陽極を上下方向に揺動しつつ、電解めっき液を攪拌して、前記金属部品に電解めっきを施すことを特徴とする放熱部材の製造方法。 - 電解めっき液中のカーボンナノファイバの混合量を、100ppm以上とする請求項6記載の放熱部材の製造方法。
- 金属部品のめっき面に電解めっきを施して複合めっき皮膜を形成した後、前記複合めっき皮膜層の表面を形成するカーボンナノファイバに、前記めっき金属で覆われている部分と露出している部分とが併存するように、前記複合めっき皮膜にエッチングを施す請求項6又は請求項7記載の放熱部材の製造方法。
- カーボンナノファイバとして、径が100〜300nmで且つ長さが1〜20μmのカーボンナノファイバを用いる請求項6〜8のいずれか一項記載の放熱部材の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003325859A JP4324434B2 (ja) | 2003-09-18 | 2003-09-18 | 放熱部材及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003325859A JP4324434B2 (ja) | 2003-09-18 | 2003-09-18 | 放熱部材及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005089836A JP2005089836A (ja) | 2005-04-07 |
JP4324434B2 true JP4324434B2 (ja) | 2009-09-02 |
Family
ID=34456193
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003325859A Expired - Fee Related JP4324434B2 (ja) | 2003-09-18 | 2003-09-18 | 放熱部材及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4324434B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005320579A (ja) * | 2004-05-07 | 2005-11-17 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 塊状粒状物、線状粒状物及び粒状物の製造方法 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008169402A (ja) * | 2005-04-28 | 2008-07-24 | Tokyo Univ Of Agriculture & Technology | 電気化学的反応方法 |
JP4878452B2 (ja) * | 2005-08-02 | 2012-02-15 | 東京特殊電線株式会社 | 複合被覆銅線及び複合被覆エナメル銅線 |
JP4719646B2 (ja) * | 2006-08-25 | 2011-07-06 | 日精樹脂工業株式会社 | 複合めっき製品の製造方法 |
US8846201B2 (en) | 2009-03-05 | 2014-09-30 | Nissei Industrial Plastic Co., Ltd. | Composite plated product |
JP5736270B2 (ja) | 2010-09-14 | 2015-06-17 | 新光電気工業株式会社 | 放熱部品及びその製造方法 |
JP5631775B2 (ja) * | 2011-02-24 | 2014-11-26 | 新光電気工業株式会社 | 複合めっき液 |
JP2014033104A (ja) * | 2012-08-03 | 2014-02-20 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 放熱部品及びその製造方法 |
JP6118540B2 (ja) * | 2012-11-08 | 2017-04-19 | 新光電気工業株式会社 | 放熱部品及びその製造方法 |
-
2003
- 2003-09-18 JP JP2003325859A patent/JP4324434B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005320579A (ja) * | 2004-05-07 | 2005-11-17 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 塊状粒状物、線状粒状物及び粒状物の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005089836A (ja) | 2005-04-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101300442B1 (ko) | 강화 투명 전도성 코팅 및 이의 제조 방법 | |
JP4324434B2 (ja) | 放熱部材及びその製造方法 | |
KR101035279B1 (ko) | 강판 표면처리용 수지 조성물 및 이를 이용한 표면처리 강판 | |
US9476138B2 (en) | Composite plating liquid | |
US9136200B2 (en) | Heat radiating component and method of producing same | |
JP2004156074A (ja) | めっき構造物とその製造方法 | |
CN1297992C (zh) | 透明导电膜和该透明导电膜形成用涂敷液及透明导电性叠层结构体和显示装置 | |
US11515055B2 (en) | Composite sheet for shielding electromagnetic and radiating heat including graphene sheet | |
JP4599565B2 (ja) | 電解めっき方法および電解めっき液 | |
TW201016920A (en) | Fibers including nanoparticles and a method of producing the nanoparticles | |
Wang et al. | A bio-inspired MXene/quaternary chitosan membrane with a “brick-and-mortar” structure towards high-performance photothermal conversion | |
WO2022153931A1 (ja) | 液状組成物の製造方法及び組成物 | |
WO2006118006A1 (ja) | 電気化学的反応方法及び複合材料形成方法 | |
CN111777777A (zh) | 一种碳纳米复合薄膜的制备方法及用途 | |
Lu et al. | Characterization of polypyrrole-CdSe/CdTe nanocomposite films prepared with an all electrochemical deposition process | |
JP5453605B2 (ja) | 無電解Cuめっき液および無電解Cuめっき方法 | |
JP2014025100A (ja) | リン、ホウ素及びカーボンナノチューブを含む無電解めっき皮膜 | |
KR102221095B1 (ko) | 그래핀-필러 복합 방열 소재의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 그래핀-필러 복합 방열 소재 | |
JP4392506B2 (ja) | 放熱体 | |
Peddamallu et al. | Understanding the fundamental properties of epoxy molybdenum disulfide nanocomposites | |
CN108102381B (zh) | 一种高导热硅橡胶复合材料及其制备方法 | |
Gao et al. | Investigation of ethylene glycol, α-terpineol, and polyethylene glycol 400 on the sintering properties of Cu–Ag core–shell micro/nano-mixed paste | |
JP5760915B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子の陽極用分散液、および有機エレクトロルミネッセンス素子の陽極の製造方法 | |
KR102163334B1 (ko) | 금 나노구조체의 제조방법 및 제조장치 | |
JP2010027916A (ja) | プリント配線板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060612 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061212 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090113 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090226 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090331 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090507 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090602 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090608 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4324434 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120612 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120612 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130612 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |