JP2005277356A - 回路装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】スタックタイプの実装において、上層のICチップと下層のICチップは絶縁性接着剤などにより絶縁されるため、上層にアナログICチップを積層すると基板がフローティング状態となり、所望の特性が得られない問題があった。
【解決手段】ICチップの上に導電層を配置し、導電層上にアナログICチップを固着する。導電層は、固定電位パターンにボンディングワイヤ等で接続することにより、アナログICチップ裏面(基板)に固定電位を印加することができる。これにより、アナログICチップを上段に積層する実装構造が実現でき、アナログICチップを含む回路装置のスタック実装の汎用性が高まると共に実装面積が低減し、かつ特性を向上させることができる。
【選択図】 図1
【解決手段】ICチップの上に導電層を配置し、導電層上にアナログICチップを固着する。導電層は、固定電位パターンにボンディングワイヤ等で接続することにより、アナログICチップ裏面(基板)に固定電位を印加することができる。これにより、アナログICチップを上段に積層する実装構造が実現でき、アナログICチップを含む回路装置のスタック実装の汎用性が高まると共に実装面積が低減し、かつ特性を向上させることができる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、複数のICチップを積層する回路装置に係り、特に上層に基板電位が固定されるICチップを積層する回路装置に関する。
半導体集積回路の高集積化、コンパクト化に伴ない、スタックタイプの回路装置は高集積ICとして注目される構成の一つである。
図6は、従来のスタックタイプの回路装置の構成を示す断面図である。
基板150の一方の面に複数の配線156が設けられ、第1のICチップ151が接着部材159により固着される。さらにその上に絶縁性の接着部材160を介して第2のICチップ152が積層されている。各ICチップ151、152の表面にはそれぞれ電極パッド(不図示)が設けられ、基板150上に設けられた配線156に、ボンディングワイヤ153等により接続している。各配線156は基板1に設けられたスルーホールTHを介して基板150の裏面に設けられた、はんだボール等の外部端子154に接続する。
これら積層ICチップ151、152及びボンディングワイヤ153、配線156は封止樹脂155により封止され、パッケージ化されている(例えば特許文献1参照。)。
特開2002−368189号公報
上記のようなスタックタイプの回路装置において、第2のICチップ152の固着は、第1のICチップ151との絶縁のためダイアタッチシートまたは絶縁性接着剤等により固着されている。すなわち、第2のICチップ152の基板は、フローティング状態で実装されている。
しかし、例えば第2のICチップ152にバイポーラIC等、基板電位を固定して使用するICチップを採用したい場合、このチップを上層に積層すると基板電位がフローティング状態となり、十分な特性が得られない問題がある。
このため、バイポーラIC等、固定電位で使用するICを含む回路装置においては、スタック実装の場合には固定電位で使用するICは常に最下層に配置しており、スタック実装の汎用性に限界があった。
また、スタック実装ができないものについては固定電位で使用するICをほぼ平面上に配置するなどしており、実装面積が増大する問題もあった。
本発明は、かかる課題に鑑みてなされ、第1に、固定電位パターンを含む複数の導電パターンと、基板電位が固定されるICチップ含む複数のICチップと、導体層とを具備し、前記基板電位が固定されるICチップを前記導体層上に固着して該ICチップが上層になるように前記複数のICチップを積層実装し、該導体層を前記固定電位パターンに接続することにより解決するものである。
また、前記複数の導電パターンは、支持基板に設けられることを特徴とするものである。
また、前記複数の導電パターンは、裏面を露出して絶縁性樹脂に埋め込まれ、支持されることを特徴とするものである。
また、前記複数の導電パターンは、絶縁性樹脂で封止されることを特徴とするものである。
また、前記導体層と下層の前記ICチップの間に絶縁層が配置されることを特徴とするものである。
また、前記固定電位はGND電位またはVDD電位であることを特徴とするものである。
本発明によれば、複数のICチップを積層実装する回路装置において、基板電位を固定するICチップをフローティング状態にせずに2層目以上に積層させることができる。
これにより、基板電位を固定するICチップを含む回路装置のスタック実装の汎用性が高まると共に実装面積が低減し、かつ当該ICチップのベアチップの特性を維持することができる。
図1から図5を参照して、本発明の一実施形態を説明する。
図1は本実施形態の回路装置を示す断面図である。
回路装置20は、複数の導電パターンと、複数のICチップと、導体層とから構成される。複数のICチップには基板電位を固定するICチップが含まれており、本実施形態では基板電位を固定するICチップ8と、他のICチップ4との2つのチップを積層実装した例に説明する。
複数の導電パターン2は所定の配線パターンで配置され、そのうち少なくとも1つにGND電位(またはVDD電位)が印加される固定電位パターン2aを含んでいる。尚、固定電位パターンは以下GNDパターンとして説明する。
1層目となる第1のICチップ4は、ベアチップであり表面側に電極パッド(不図示)を有しており裏面は例えば導電パターン2に固着される。尚、第1のICチップ4と絶縁基板1との固着は、第1のICチップ4の構成により絶縁性または導電性の接着材料3にて固着される。また、第1のICチップ4はその構成により導電パターン2上に固着されなくてもよい。
第1のICチップ4の電極パッドは、所定の導電パターン2とボンディングワイヤ10等により接続される。
第1のICチップ4表面には、絶縁性接着剤などの絶縁層5を介して導体層6が配置される。導体層6は、ワイヤボンドの圧着に耐えられる所定の強度が必要であり、例えばシリコン基板、ポリイミド、エポキシ樹脂等をコアとして、その表面にアルミニウムなどを導電箔として接着したり、金属蒸着膜を形成するなどした構成となっている。
また、銅箔などで所定の強度が得られればコアは不要であり、絶縁層5に直接固着して導体層6としてもよい。銅箔を用いる場合には、採用するボンディングワイヤによりワイヤボンド領域に所定のメッキ処理等が施される。
導体層6上には、導電性の接着剤7により2層目の第2のICチップ8が固着される。第2のICチップ8は、バイポーラトランジスタ等のように基板(チップ裏面)に固定電位を印加して用いるICチップであり、例えばアナログICのベアチップである。尚、本明細書においては以下アナログICチップを例に説明するが、これに限らず、上記の如く基板に固定電位を印可する必要のあるICチップであればよい。また、固定電位とは、ここではGND電位、VDD電位、等、電位が変動しないものをいう。
第2のICチップ8の表面にも電極パッド(不図示)が設けられ、所定の導電パターン2とボンディングワイヤ10等により接続される。
そして導体層6は、ボンディングワイヤ10等により、GNDパターン2aに接続される。GNDパターン2aは前述の如く固定電位が印加される導電パターンであり、これにより、第2のICチップ8は、導体層6とGNDパターン2aを介して基板がGND電位に固定され、フローティング状態とならないため、十分な特性を得ることができる。
例えば、デジタルテレビ受像機に使用される回路装置の場合、デジタル信号処理用のICチップと受信用のICチップを一体的にモールドする場合がある。この場合、第1のICチップ4がデジタル信号用のICチップであり、第2のICチップ8が受信用のICチップである。
バイポーラトランジスタ等のアナログICは、一般的に基板の電位を固定して用いるが、図6のごとき従来のスタック構造においては基板を固定電位にすることができないため、アナログICを上層にスタックすることは困難であった。
しかし、本実施形態によれば、上層の第2のICチップ8の裏面(基板)に導体層6をコンタクトさせ、導体層6にGND電位を印加することができる。これにより、アナログICチップを、ベアチップの状態の特性を落とさずに上層に積層することができ、スタック実装の汎用性が高まると共に、実装面積の小型化に寄与できる。
次に図2および図3を参照して本実施形態の製造方法の一例を示す。
第1工程(図2(A)参照):固定電位パターン2aを含む導電パターン2を絶縁性樹脂に埋め込んで支持した支持材1を準備する。支持材1の表裏面には、導電パターン2の表裏面が露出する。支持材1はプリント基板、またはリードフレーム等で、その表面に導電パターン2を形成したものであってもよい。
第2工程(図2(B)参照):導電パターン2上に、接着剤3を塗布する。この場合、実装される第1のICチップの用途に応じて、絶縁性/導電性の何れでもよい。そして、第1のICチップ4を固着する。
第3工程(図3(A)参照):次に導体層6を準備する。ここでは、導体層6は、シリコン基板6aをコアとして表面に例えばアルミニウムなどの金属蒸着膜6bを形成した構造とする。そして導体層6(シリコン基板6a)裏面は絶縁性の接着シート5を貼り付けておく。
そして、図3(B)の如く導体層6を第1のICチップ4上に搭載し、絶縁性の接着シート5(または接着剤)により固着する。尚、第1のICチップ4表面には電極パッドが配置されているので、当然ながら導体層6は、その電極パッドが露出する様なパターンに形成されている。
第4工程(図3(C)参照):その後、金属蒸着膜6bの上に導電性接着剤7を塗布等する。その上に第2のICチップ8を固着する。このとき、導電性接着剤7は、導体層6上で、ワイヤボンドの固着領域分を残して塗布等する。
そして、第1のICチップ4の電極パッドと所定の導電パターン2、および第2のICチップ8の電極パッド9と所定の導電パターン2とをボンディングワイヤ10等で接続する。更に、導体層6と、GNDパターン2aとをボンディングワイヤ10等で接続し、図1に示す構造を得る。固定電位パターンにはGND、VDD等の固定電位を印加することにより、第2のIC8の基板電位が固定される。
次に、図4から図5を参照して上記の回路装置のパッケージ例を説明する。
まず、図4を参照して、図4(A)は、実装基板を不要にしたタイプの回路装置であり、図4(B)は導電パターンを有する樹脂シートを用いてパッケージしたものであり、図4(C)は多層配線構造の基板を用いた場合の断面図である。
図4(A)は、例えば所望の導電パターンを有した支持基板上に、図示の如き素子を実装、モールドした後、支持基板を剥がすことで可能である。またCu箔をハーフエッチングして、素子を実装、モールドした後、パッケージの裏面に存在するCu箔をエッチバックすることにより可能である。さらには、打ち抜きリードフレームの裏面を下金型に当接しながら、モールドしても実現できる。ここでは2番目のハーフエッチングを採用した場合を例に説明する。
つまり、図4(A)の如く、導電パターン2は、絶縁性樹脂31に埋め込まれて支持され、裏面は絶縁性樹脂31から露出する。この場合導電パターン2は、Cuを主材料とした導電箔、Alを主材料とした導電箔、またはFe−Ni等の合金から成る導電箔等であるが、他の導電材料でも可能であり、特にエッチングできる導電材が好ましい。
この場合、製造工程においてシート状の導電箔に、導電箔の厚みに達しない分離溝32をハーフエッチングで設けることで、導電パターン2が形成される。そして分離溝32は絶縁性樹脂31が充填されて導電パターン側面の湾曲構造と嵌合して強固に結合する。その後、分離溝32下方の導電箔をエッチングすることにより導電パターン2は個々に分離し、絶縁性樹脂31により支持されるものである。
すなわち絶縁性樹脂31は、導電パターン2の裏面を露出させて、回路装置20、ボンディングワイヤ10を封止している。絶縁性樹脂31としては、トランスファーモールドにより形成される熱硬化性樹脂や、インジェクションモールドにより形成される熱可塑性樹脂を採用することができる。具体的には、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂、ポリイミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド等の熱可塑性樹脂を用いることができる。また絶縁性樹脂は、金型を用いて固める樹脂、ディップ、塗布をして被覆できる樹脂であれば、全ての樹脂が採用できる。このパッケージにおいて、絶縁性樹脂31は回路装置20等を封止すると同時に、回路モジュール全体を支持する働きも有する。このように、全体を絶縁性樹脂31で封止することにより、回路装置が導電パターン2から分離してしまうのを防止することができる。
回路装置20は導電パターン(ランド)2上に、その用途に応じて絶縁性または導電性接着剤3で固着され、電極パッドにはボンディングワイヤ10が熱圧着され、導電パターン2と接続される。また、導体層6にもボンディングワイヤ10が熱圧着され、GNDパターン2aと接続される。
なお、絶縁性樹脂31の厚さは、回路装置20のボンディングワイヤ10の最頂部から約100μm程度が被覆されるように調整されている。この厚みは、強度を考慮して厚くすることも、薄くすることも可能である。
絶縁性樹脂31の裏面と導電パターン2の裏面は、実質一致している構造となっている。そして、裏面には所望の領域を開口した絶縁樹脂(例えば半田レジスト)33を設け、露出した導電パターン2に半田等の導電材を被着して裏面電極34を形成し、回路装置として完成する。
次に図4(B)の如き構造によれば、導電パターン2の配線の自由度を向上させることができる。
導電パターン2は回路装置10と一体で絶縁性樹脂31に埋め込まれて支持される。後述するがこの場合の導電パターン2は、絶縁樹脂41の表面に導電膜42を形成した絶縁樹脂シート43を準備し、導電膜42をパターニングすることにより形成される。
絶縁樹脂41の材料は、ポリイミド樹脂またはエポキシ樹脂等の高分子から成る絶縁材料で成る。また熱伝導性が考慮され、中にフィラーが混入されても良い。材料としては、ガラス、酸化Si、酸化アルミニウム、窒化Al、Siカーバイド、窒化ボロン等が考えられる。絶縁樹脂41の膜厚はペースト状のものを塗ってシートとするキャスティング法の場合、10m〜100μm程度である。また、市販のものは25μmが最小の膜厚である。
導電膜42は、好ましくは、Cuを主材料とするもの、Al、Fe、Fe−Ni、または公知のリードフレームの材料であり、メッキ法、蒸着法またはスパッタ法で絶縁樹脂2に被覆されたり、圧延法やメッキ法により形成された金属箔が貼着されても良い。
導電パターン2は、導電膜42上を所望のパターンのホトレジストで被覆し、ケミカルエッチングにより所望のパターンを形成する。
導電パターン2は、ボンディングワイヤの固着領域を露出して他の部分をオーバーコート樹脂44で被覆される。オーバーコート樹脂44は溶剤で溶かしたエポキシ樹脂等をスクリーン印刷で付着し、熱硬化させたものである。
また、固着領域上にはボンディング性を考慮して、Au、Ag等のメッキ膜45が形成される。このメッキ膜45は例えばオーバーコート樹脂44をマスクとして固着領域上に選択的に無電界メッキされる。
回路装置20はベアチップのままオーバーコート樹脂44上に接着剤3でダイボンドされる。
そして回路装置20の各電極パッドおよび導体層6はボンディングワイヤ10により導電パターン2およびGNDパターン2aの固着領域に接続する。
絶縁樹脂シート43は、絶縁性樹脂31により被覆され、これにより導電パターン2も絶縁性樹脂31に埋め込まれる。モールド方法としては、トランスファーモールド、インジェクションモールド、塗布、ディピング等でも可能である。しかし、量産性を考慮すると、トランスファーモールド、インジェクションモールドが適している。
裏面は絶縁樹脂シート43の裏面すなわち絶縁樹脂41が露出しており、絶縁樹脂41の所望の位置を開口して導電パターン2の露出部分に外部電極34を設ける。
この構造によれば、回路装置20とその下の導電パターン2とはオーバーコート樹脂44で電気的に絶縁されるので、導電パターン2は回路装置の下でも自由に配線できる。
以上、導電パターン2を形成した絶縁樹脂シート43の場合を例に説明したが、これに限らず、図4(A)の導電パターン2上をオーバーコート樹脂44で被覆する構造でもよい。またフレキシブルシートなどの支持基板上に設けた導電パターン2上をオーバーコート樹脂44で被覆した構造でもよく、何れの場合においても、導電パターン2を回路装置下方に配線できるので、配線の自由度が向上するパッケージを実現できる。
次に、図4(C)は、導電パターン2の多層配線構造を実現したものである。なお、図4(B)と同一構成要素は同一符号で示し、説明は省略する。
導電パターン2は回路装置20と一体で絶縁性樹脂31に埋め込まれて支持される。後述するがこの場合の導電パターン2は、絶縁樹脂41表面の実質全域に第1の導電膜42aが形成され、裏面にも実質全域に第2の導電膜42bが形成された絶縁樹脂シート43を準備し、これらの導電膜42をパターニングすることにより形成される。
絶縁樹脂41、導電膜42の材料は図4(B)の場合と同様であり、導電パターン2は、第1の導電膜42a、第2の導電膜42b上を所望のパターンのホトレジストで被覆し、ケミカルエッチングにより所望のパターンを形成する。
また、図4(C)においては、多層接続手段46により絶縁樹脂41を介して上層、下層に分離されている導電パターン2を電気的に接続する。多層接続手段46はCu等のメッキ膜を貫通孔47に埋め込んだものである。メッキ膜は、ここではCuを採用したが、Au、Ag、Pd等を採用しても良い。
実装面側の導電パターン2は、ボンディングワイヤ10の固着領域を露出して他の部分をオーバーコート樹脂44で被覆され、固着領域にはメッキ膜45が設けられる。
回路装置10はベアチップのままオーバーコート樹脂44上に接着剤9でダイボンドされる。
そして回路装置10の電極パッドおよび導体層6はボンディングワイヤ10により導電パターン2およびGNDパターン2aに接続する。
絶縁樹脂シート43は、絶縁性樹脂31により被覆され、これにより第1の導電膜42aからなる導電パターン2も絶縁性樹脂31に埋め込まれ、一体で支持される。
絶縁樹脂下方の第2の導電膜42bからなる導電パターン2は、絶縁性樹脂31からは露出しているが、絶縁性樹脂31で絶縁シート43の一部を被覆することにより一体で支持され、第1の導電膜42aからなる導電パターン2と多層接続手段12を介して電気的に接続されて多層配線構造を実現している。下層の導電パターン2は外部電極34を形成する部分を露出して溶剤で溶かしたエポキシ樹脂等をスクリーン印刷してオーバーコート樹脂48で大部分が被覆され、半田のリフローあるいは半田クリームのスクリーン印刷によりこの露出部分に外部電極34が設けられる。
また外部電極34は第2の導電膜42bをエッチングしてその表面を金あるいはパラジウムメッキ膜で被覆したバンプ電極でも達成できる。
次に、図5を用いて、支持基板を用いたチップサイズパッケージの一例を示す。図5(A)は、図4(C)に示すパッケージにおいてオーバーコート樹脂44を不要とした場合のパッケージであり、図5(B)は3層以上の多層配線構造の場合である。
支持基板51は例えばガラスエポキシ基板等の絶縁性基板である。なお支持基板51としてフレキシブルシートを採用しても同様である。
ガラスエポキシ基板51の表面には、Cu箔を圧着し、パターニングした導電パターン2が配置され、基板51裏面には外部接続用の裏面電極34が設けられる。そしてスルーホールTHを介して、導電パターン2と裏面電極34が電気的に接続されている。
基板51表面にはベアの回路装置10が接着剤3により固着される。回路装置10の電極パッドおよび導体層6にはボンディングワイヤ10が圧着され、導電パターン2、GNDパターン2aと接続する。
そして、回路装置10、導電パターン2、ボンディングワイヤ10は、絶縁性樹脂31により封止され、基板51と一体で支持される。絶縁性樹脂31の材料としては、トランスファーモールドにより形成される熱硬化性樹脂や、インジェクションモールドにより形成される熱可塑性樹脂を採用することができる。このように、全体を絶縁性樹脂31で封止することにより、回路装置が基板から分離してしまうのを防止することができる。
一方、支持基板51としてセラミック基板を用いても良く、この場合は、導電パターン2および裏面電極34は、導電ペーストにより基板51の表面と裏面に印刷、焼結して設けられ、スルーホールTHを介して接続され、絶縁性樹脂31により基板31と回路装置10を一体で支持する。
また、図5(B)のごとく、複数の支持基板51毎に配線層となる導電パターン2を設け、スルーホールTHを介して上層と下層の導電パターン2を接続することにより、支持基板51を有する場合でも多層配線構造が可能となる。
また、図示は省略するが、支持基板にリードフレームを採用し、樹脂モールドしてもよいし、金属ケースや他のケーシング材による封止でもよい。
尚、本実施形態は2段のスタック実装構造を例に説明したが、基板電位を固定電位としたいICチップの裏面に導体層6を設け、導電層6を固定電位パターン2aと接続することにより、2層以上のスタック実装も可能である。また、第2のICチップ8であるアナログICチップが複数層スタックされた構造であってもよい。
1 支持材
2 導電パターン
2a 固定電位パターン
3 接着剤
4 第1のICチップ
5 絶縁層
6 導体層
7 導電性接着剤
8 第2のICチップ
10 ボンディングワイヤ
20 回路装置
31 絶縁性樹脂
33 絶縁樹脂
34 裏面電極
41 絶縁樹脂
42 導電膜
43 樹脂シート
44 オーバーコート樹脂
45 メッキ膜
46 多層接続手段
47 貫通孔
48 オーバーコート樹脂
51 基板
TH スルーホール
2 導電パターン
2a 固定電位パターン
3 接着剤
4 第1のICチップ
5 絶縁層
6 導体層
7 導電性接着剤
8 第2のICチップ
10 ボンディングワイヤ
20 回路装置
31 絶縁性樹脂
33 絶縁樹脂
34 裏面電極
41 絶縁樹脂
42 導電膜
43 樹脂シート
44 オーバーコート樹脂
45 メッキ膜
46 多層接続手段
47 貫通孔
48 オーバーコート樹脂
51 基板
TH スルーホール
Claims (6)
- 固定電位パターンを含む複数の導電パターンと、
基板電位が固定されるICチップ含む複数のICチップと、
導体層とを具備し、
前記基板電位が固定されるICチップを前記導体層上に固着して該ICチップが上層になるように前記複数のICチップを積層実装し、該導体層を前記固定電位パターンに接続することを特徴とする回路装置。 - 前記複数の導電パターンは、支持基板に設けられることを特徴とする請求項1に記載の回路装置。
- 前記複数の導電パターンは、裏面を露出して絶縁性樹脂に埋め込まれ、支持されることを特徴とする請求項1に記載の回路装置。
- 前記複数の導電パターンは、絶縁性樹脂で封止されることを特徴とする請求項1に記載の回路装置。
- 前記導体層と下層の前記ICチップの間に絶縁層が配置されることを特徴とする請求項1に記載の回路装置。
- 前記固定電位はGND電位またはVDD電位であることを特徴とする請求項1に記載の回路装置。
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