JP2005237078A - リニア同期モータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】リニア同期モータの冷却効果を高める構造をとる。すなわち、リニア同期モータは、一対の上下部のヨーク10a、10bを備えており、上下部のヨーク10a、10bの対向面には複数個の永久磁石が配置されている。上下部のヨーク10a、10b間の中央部分にはセンターヨーク50が配置され、このセンターヨーク50の外周には環状の第1、第2の三相コイル6a、6bが配置されている。上下部のヨーク1a、1bの対向面に配置される上部永久磁石S1a、N1a、…および下部永久磁石S1b、N1b…が、同一の鉛直線上においては同一極性の永久磁石が対向するように配置されている。センターヨーク50は、冷却通路500としての筒状体500aを備えている。
【選択図】図1
Description
(a)平行に離間して配置された一対のヨーク1a、1b
(b)上記一対のヨーク1a、1bのうち、図3(A)の上部位置に配置された一方のヨーク1a(以下「上部のヨーク1a」という。)の対向面に長手方向に沿って配置された複数個の永久磁石S1a、N1a、S2a、N2a、…(以下「上部永久磁石S1a、N1a、S2a、N2a、…」と言い、永久磁石S1aを「第1のS極の上部永久磁石」と言い、永久磁石N1aを「第1のN極の上部永久磁石」と言い、永久磁石S2aを「第2のS極の上部永久磁石」と言い、永久磁石N2aを「第2のN極の上部永久磁石2a」という。)、
(c)下部位置に配置されたヨーク1b(以下「下部のヨーク1b」という。)の対向面に長手方向に沿って配置された複数個の永久磁石S1b、N1b、S2b、N2b、…(以下「下部永久磁石S1b、N1b、S2b、N2b、…」と言い、以下、永久磁石S1bを「第1のS極の下部永久磁石1b」と言い、永久磁石N1bを「第1のN極の下部永久磁石1b」と言い、永久磁石S2bを「第2のS極の下部永久磁石S2b」と言い、永久磁石N2bを「第2のN極の下部永久磁石N2b」という。)
(d)上下部のヨーク1a、1b間の中央部分に、上下部のヨーク1a、1bと平行に(以下「X方向」という。)移動可能に配置された可動部2
また、上部永久磁石S1a、N1a、S2a、N2a、…は、長手方向に沿って相異なる極性の永久磁石が交互に位置するように、たとえば、第1のN極の上部永久磁石N1aに隣接して第1のS極の上部永久磁石S1aが、第1のS極の上部永久磁石S1aに隣接して第2のN極の上部永久磁石N2aが位置するように配置されている。
同様に、下部永久磁石S1b、N1b、S2b、N2b、…も、長手方向に沿って相異なる極性の永久磁石が交互に位置するように、たとえば、第1のS極の下部永久磁石S1bに隣接して第1のN極の下部永久磁石N1bが、第1のN極の下部永久磁石N1bに隣接して第2のS極の下部永久磁石S2b位置するように配置されている。
従って、このような磁界中に配置されたU相コイル4U、V相コイル4VおよびW相コイル4Wに三相交流電流を流すと、三相コイル4a、4bにフレミング左手の法則に基づく推力が発生することになる。
第1の不利益は、可動部2がフラット状で、その厚さも薄く設計されていることから、捩り剛性が低く、可動部2に微振動が発生し易くなる。
第2の不利益は、可動部2に発生する微振動に起因して可動部2の速度や現在位置が変動し、かかる変動が位置センサーを介してフィードバックされ、より一層振動が増幅されることから、制御ゲインが低くなり、ひいては、ナノメートル単位での制御が困難になる。
第3の不利益は、磁石の磁界中に非磁性ボビンが介在し、磁石の磁束密度が低下し、大きな推力が得難い。さらに、リニア同期モータの出力を大きくしようとすると、発熱が多くなり、ひいては、周囲の温度が上昇し、熱膨張による誤差が生じ易くなる。
また好ましくは、、本発明のリニア同期モータにおける筒状体は、センターヨークの長手方向に沿って2分割されたもので構成されている。
さらに好ましくは、本発明のリニア同期モータにおける筒状体は、鉛直面と平行な面でセンターヨークの長手方向に沿って分割されている。
さらに好ましくは、本発明のリニア同期モータにおける筒状体の内部には、パイプがセンターヨークの長手方向に沿って挿入されている。
また好ましくは、前記三相コイルは、u相、−u相、W相、−W相、V相、−V相に配列されている。
さらに、センターヨークの外周に環状の三相コイルが装着されていることから、コイルの剛性を高くすることができ、ひいては推力変動を小さくすることができる。
さらに、超精密制御を容易に行なうことができる上、モータ定数や耐外乱性能を向上させることができる。
また三相コイルは、u相、−u相、W相、−W相、V相、−V相に配列すると、推力の立ち上がり特性を急峻にできる。
図1(A)〜(C)は、本発明の1実施の形態のリニア同期モータの概略構成図であり、図2は本実施の形態のリニア同期モータにおける三相コイルの斜視図を示している。
なお、図1〜図2において、図3および図4と共通する部分には同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
(a)筒状の外部ヨーク10
(b)外部ヨーク10の上部内面10a(以下「上部のヨーク10a」という。)に長手方向に沿って配置された複数個の第1群の永久磁石S1a、N1a、S2a、N2a、…(上部永久磁石群S1a、N1a、S2a、N2a、…)
(c)外部ヨーク10の下部内面10b(以下「下部のヨーク10b」という。)に長手方向に沿って配置された複数個の第2群の永久磁石S1b、N1b、S2b、N2b、…(以下、「下部永久磁石群S1b、N1b、S2b、N2b、…)
(d)外部ヨーク10内に外部ヨーク10の軸線に沿って移動可能に配置されたセンターヨーク50
(e)センターヨーク50の外周に装着された環状の第1、第2の三相コイル6a、6b
なお、透孔200a、200bの口径は、センターヨーク50の外径より若干大径に設定されている。
また、上部永久磁石S1a、N1a、S2a、N2a、…は、長手方向に沿って相異なる極性の永久磁石が交互(S極、N極、…S極)に位置するように配置されている。
同様に、下部永久磁石S1b、N1b、S2b、N2b、…も、長手方向に沿って相異なる極性の永久磁石が交互(S極、N極、…S極)に位置するように配置されている。
センターヨーク50は、それ自身の内部に、センターヨーク50の長手方向に沿って冷却通路500が設けられ、冷却通路500内には冷却媒体60が流通されている。
センターヨーク50は、冷却通路500としての筒状体500aを備えており、この筒状体500aは、横断面視で略矩形状に形成されている。
本実施の形態においては、冷却通路500としての筒状体500aが鉛直面(X方向と直交する面)と平行な面で分割したもので構成されている。ここで、筒状体500aを鉛直面と平行な面で分割したのは、上下部永久磁石の磁気吸引力からセンターヨーク50(冷却通路500としての筒状体500a)の変形を防止するためである。
なお、図中符号50a、50bは、それぞれ分割された筒状体の半部(半体または半筒状体)を示している。
本実施の形態においては、筒状体500aを往路とし、パイプ500bを復路として冷却媒体60を循環させることができる。
同様に、第2の三相コイル6bは、図2に示すように、たとえば、矩形環状に形成された−U相コイル6U、−V相コイル6Vおよび−W相コイル6Wを備えている。これらの−U相コイル6U、−V相コイル6Vおよび−W相コイル6Wは、第1の三相コイル6aと同様にそれぞれ同一の仕様で形成され、接着剤により矩形環状の形状を維持した状態で固着されている。
すなわち、第1の三相コイル6aのU相コイル6Uaに第2の三相コイル6bの−U相コイル6Ubが隣接して配置され、第1の三相コイル6aのV相コイル6Vaに第2の三相コイル6bの−V相コイル6Vbが隣接して配置され、第1の三相コイル6aのW相コイル6Waに第2の三相コイル6bの−W相コイル6Wbが隣接して配置され、これらの各相のコイルがそれぞれ中空部62の軸芯を一致させてかつX方向に沿ってU相、V相、W相の相順で積層状態に配列されている。
また、各相のコイル間には非磁性の絶縁部材61a、61b、61c、61d、61eが介挿されている。
また、第1のN極の下部永久磁石N1bから発生する磁束は、三相コイル6を通り抜けセンターヨーク50を経由して隣接する第2のS極の下部永久磁石S2bを通り、元の第1のN極の下部永久磁石N1bに戻る。
したがって、このような磁界中に配置されたU相コイル6U、V相コイル6VおよびW相コイル6Wを一組とする第1の三相コイル6aおよび−U相コイル6U、−V相コイル6Vおよび−W相コイル6Wを一組とする第2の三相コイル6bに三相交流電流を流すと、各相のコイルに「フレミング左手の法則」に基づく推力が発生し、これにより可動子としてのセンターヨーク50がX方向に移動し、リニア同期モータとして効果的に動作する。
また、第1、第2の三相コイルの相順はU相コイル、W相コイルおよびV相コイルの相順でもよい。
さらに、三相コイルはセンターヨークの外周に固着したものに限定されず、三相コイルをセンターヨークの外周に長手方向に移動可能に遊嵌してもよい。
冷却材は、液体、気体など種々のものを用いることができる。
さらに、超精密制御を容易に行なうことができる上モータ定数や耐外乱性能(ロバスト性)を向上させることができる。
さらに、三相コイルを、u相、−u相、W相、−W相、V相、−V相に配列すると、過渡的な推力の立ち上がり特性を急峻にできた。
10a…上部内面(上部のヨーク)、10b…下部内面(下部のヨーク)
S1a、N1a、S2a、N2a…永久磁石(上部永久磁石)
S1b、N1b、S2b、N2b…永久磁石(下部永久磁石)
5…センターヨーク
6…三相コイル
6a…第1の三相コイル、6b…第2の三相コイル
6Ua…U相コイル、6Wa…W相コイル、6Va…V相コイル
6Ub…−U相コイル、6Wb…−W相コイル、6Vb…−V相コイル
50…センターヨーク
500…冷却通路、500a…筒状体、500b…パイプ
50a、50b…分割された筒状体
60…冷却媒体(冷却材、冷却剤)
Claims (6)
- 平行に離間して配置された一対のヨークと、
前記各ヨークの対向面に長手方向に沿ってそれぞれ配置された複数個の永久磁石からなる永久磁石群と、
前記一対のヨーク間に前記ヨークと平行に配置されたセンターヨークと、
前記センターヨークの外周に装着された環状の三相コイルと
を備え、
前記各永久磁石群にはそれぞれ、前記ヨークの対向位置においては同一極性の永久磁石が配置され、前記ヨークの長手方向においては相異なる極性の永久磁石が交互に配置されており、
前記センターヨークは、その内部に、前記センターヨークの長手方向に沿って冷却剤が通過する冷却通路を備えている、
リニア同期モータ。 - 前記冷却通路は、矩形状の筒状体で構成されている、
請求項1記載のリニア同期モータ。 - 前記筒状体は、前記センターヨークの長手方向に沿って2分割されたもので構成されている、
請求項2項記載のリニア同期モータ。 - 前記筒状体は、鉛直面と平行な面で前記センターヨークの長手方向に沿って分割されている、
請求項1記載のリニア同期モータ。 - 前記筒状体の内部には、冷却剤が通過するパイプが前記センターヨークの長手方向に沿って挿入されている、
請求項4記載のリニア同期モータ。 - 前記三相コイルは、u相、−u相、W相、−W相、V相、−V相に配列されている、
請求項1〜5のいずれかに記載のリニア同期モータ。
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