JP2015084619A - リニアモータ - Google Patents

Abstract

【課題】２軸方向のそれぞれにおける可動範囲を確保しながら小型化することができるリニアモータを提供する。【解決手段】リニアモータは、電機子を界磁に対してＸ軸方向及びＹ軸方向に駆動するリニアモータであって、Ｘ軸及びＹ軸に平行な主面１１Ａａを有するヨーク１１Ａ、Ｘ軸及びＹ軸に平行で主面１１Ａａに対向する主面１１Ｂａを有するヨーク１１Ｂ、Ｘ軸に沿って並列する主面１１Ａａ上の複数のＸ軸磁石１２、並びにＹ軸に沿って並列する主面１１Ｂａ上の複数のＹ軸磁石１３、を有する界磁と、主面１１Ａａと主面１１Ｂａとの間に配置され、Ｘ軸磁石１２，Ｙ軸磁石１３により形成された磁束Ｂｘ，Ｂｙを分離する磁束分離板３０と、主面１１Ａａと磁束分離板３０との間に配置されたＸ軸移動用コイル２１、及び主面１１Ｂａと磁束分離板３０との間に配置されたＹ軸移動用コイル２２を有する電機子と、を備える。【選択図】図４

Description

本発明は、リニアモータに関する。

産業機械の分野で利用され、２軸方向の動作が可能なリニアモータとして、例えば、特許文献１に記載のリニアモータが知られている。特許文献１に記載のリニアモータの界磁は、２つの平板状の界磁ヨークの長手方向に並べて配置された複数のＸ軸永久磁石と、界磁ヨークの長手方向と直交する向きに並べて配置された２個のＹ軸永久磁石とを備える。そして、特許文献１に記載のリニアモータでは、これらの永久磁石に対向するように電機子コイルが配置されている。

特開２０１０−７４９７６号公報

上述した２軸方向の動作が可能なリニアモータの分野では、２軸方向のそれぞれにおける可動範囲を確保しながらリニアモータをさらに小型化することが求められている。

そこで、本発明は、２軸方向のそれぞれにおける可動範囲を確保しながら小型化することができるリニアモータを提供することを目的とする。

本発明の一側面に係るリニアモータは、可動子を固定子に対して第一軸方向及び第一軸に直交する第二軸方向に駆動するリニアモータであって、第一軸及び第二軸に平行に配置される第一の主面を有する第一のヨーク、第一軸及び第二軸に平行に配置され第一の主面に対向する第二の主面を有する第二のヨーク、第一軸に沿って並列するように第一の主面上に配置された複数の第一軸磁石、並びに第二軸に沿って並列するように第二の主面上に配置された複数の第二軸磁石、を有する界磁と、第一の主面と第二の主面との間に配置され、第一軸磁石により形成された磁束と第二軸磁石により形成された磁束とを分離する磁束分離部材と、第一の主面と磁束分離部材との間に配置された少なくとも一つの第一軸移動用コイル、及び第二の主面と磁束分離部材との間に配置された少なくとも一つの第二軸移動用コイルを有する電機子と、を備え、電機子及び界磁のいずれか一方が可動子であり、他方が固定子である。

磁束分離部材が、第一の主面側に配置された第一の板状部材、第二の主面側に配置された第二の板状部材、及び第一の板状部材と第二の板状部材との間に設けられ磁性を有しない非磁性部を有していてもよい。

第一の板状部材及び第二の板状部材が電磁鋼板であってもよい。

第一の板状部材が、第二軸方向に積層された複数の電磁鋼板であり、第二の板状部材が、第一軸方向に積層された複数の電磁鋼板であってもよい。

磁束分離部材には、リニアモータを冷却する冷媒が流動する冷媒流路が設けられていてもよい。

磁束分離部材が、電機子に固定されていてもよい。

磁束分離部材が、界磁に固定されていてもよい。

磁束分離部材が、電機子及び界磁のいずれに対しても可動であってもよい。

本発明によれば、２軸方向のそれぞれにおける可動範囲を確保しながら小型化することができるリニアモータを提供することができる。

第１実施形態に係るリニアモータの界磁の構成を示す斜視図である。 第１実施形態に係るリニアモータの電機子の構成を示す斜視図である。 磁束分離部材の分解斜視図である。 第１実施形態に係るリニアモータにおける磁束を模式的に示す図である。 第２実施形態に係るリニアモータの界磁の構成を示す斜視図である。 第２実施形態に係るリニアモータの電機子の構成を示す斜視図である。

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。

（第１実施形態）
第１実施形態に係るリニアモータ１は、界磁１０と、電機子２０と、を備えて構成される（図４参照）。リニアモータ１は、例えば半導体製造装置や工作機械などの各種産業機械において、第一軸方向と、第一軸に直交する第二軸方向と、の二方向への自由度を有しながら、テーブル等の可動部分を移動させるために用いられる駆動装置である。リニアモータ１は、界磁１０及び電機子２０のいずれか一方を可動子とするとともに他方を固定子として、可動子を固定子に対して第一軸方向及び第二軸方向に駆動する。可動子には、例えば産業機械におけるテーブル等の可動部分が取り付けられる。以下の説明では、界磁１０を固定子とし、電機子２０を可動子とする。また、第一軸をＸ軸とし、第二軸をＹ軸とし、第一軸及び第二軸の両方に垂直な第三軸をＺ軸とする。

図１を参照して、界磁１０の構成について説明する。界磁１０は、ヨーク（第一のヨーク）１１Ａと、ヨーク（第二のヨーク）１１Ｂと、Ｘ軸磁石（第一軸磁石）１２と、Ｙ軸磁石（第二軸磁石）１３と、を有する。一対のヨーク１１Ａ，１１Ｂは、平板状の部材であり、それぞれＸＹ平面に平行に配置されている。ヨーク１１Ａは、ヨーク１１Ｂに対して、Ｚ軸方向における負の側に配置されている。ヨーク１１Ｂは、ヨーク１１Ａに対して、Ｚ軸方向における正の側に配置されている。ヨーク１１Ａは、主面（第一の主面）１１Ａａを有する。ヨーク１１Ｂは、主面（第二の主面）１１Ｂａを有する。ヨーク１１Ａの主面１１Ａａ及びヨーク１１Ｂの主面１１Ｂａは、ＸＹ平面に平行となっている。ヨーク１１Ａの主面１１Ａａは、ヨーク１１Ｂの主面１１Ｂａに対向している。ヨーク１１Ａとヨーク１１Ｂとは、Ｘ軸方向に延びるヨークベース１４に取り付けられている。これにより、ヨーク１１Ａ、ヨーク１１Ｂ、及びヨークベース１４は、これらを一体としてＸ軸方向から見た場合には、略Ｕ字状の形状を呈する。ヨーク１１Ａとヨーク１１Ｂとの間には、空隙Ｓが形成されている。この空隙Ｓには、電機子２０が収容される。電機子２０は、空隙Ｓの内部においてＸ軸方向及びＹ軸方向に駆動されて移動する。

Ｘ軸磁石１２は、Ｙ軸方向に沿って延びる板状（或いは直方体）の永久磁石であり、Ｘ軸方向に並列するようにヨーク１１Ａの主面１１Ａａ上に複数配置されている。隣り合うＸ軸磁石１２は、互いにＺ軸方向における逆の極性を有している。例えば、１つのＸ軸磁石１２の極性がＺ軸方向の正の側にＮ極を有していれば、当該Ｘ軸磁石１２の隣のＸ軸磁石１２の極性は、Ｚ軸方向の負の側にＮ極を有する。

Ｙ軸磁石１３は、Ｘ軸方向に沿って延びる板状（或いは直方体）の永久磁石であり、Ｙ軸方向に並列するようにヨーク１１Ｂの主面１１Ｂａ上に複数配置されている。隣り合うＹ軸磁石１３は、互いにＺ軸方向における逆の極性を有している。例えば、１つのＹ軸磁石１３の極性がＺ軸方向の正の側にＮ極を有していれば、当該Ｙ軸磁石１３の隣のＹ軸磁石１３の極性は、Ｚ軸方向の負の側にＮ極を有する。

なお、Ｘ軸磁石１２及びＹ軸磁石１３として、永久磁石に代えて電磁石を用いてもよい。

次に、図２を参照して、電機子２０の構成について説明する。電機子２０は、Ｘ軸移動用コイル（第一軸移動用コイル）２１と、Ｙ軸移動用コイル（第二軸移動用コイル）２２と、を有する。

Ｘ軸移動用コイル２１は、Ｙ軸方向に長く延び、ＸＹ平面に平行な長円状のコイルである。本実施形態では、Ｘ軸移動用コイル２１として、Ｘ軸方向に平行に３個のコイル２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃが配列されている。コイル２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃのそれぞれには、不図示の給電ケーブルを介して、三相電流の各相の電流が外部から供給される。

Ｙ軸移動用コイル２２は、Ｘ軸方向に長く延び、ＸＹ平面に平行な長円状のコイルである。本実施形態では、Ｙ軸移動用コイル２２として、Ｙ軸方向に平行に３個のコイル２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃが配列されている。コイル２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃのそれぞれには、不図示の給電ケーブルを介して、三相電流の各相の電流が外部から供給される。

なお、Ｘ軸移動用コイル２１及びＹ軸移動用コイル２２として、コイル２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃのような３個のコイルの組合せを複数設けてもよい。また、Ｘ軸移動用コイル２１及びＹ軸移動用コイル２２に供給する電流が単相交流や直流である場合には、Ｘ軸移動用コイル２１及びＹ軸移動用コイル２２は、３個のコイルの組合せでなくてもよく、少なくとも一つのコイルがあれば足りる。

電機子２０には、磁束分離板（磁束分離部材）３０が固定されている。磁束分離板３０は、ＸＹ平面に平行に配置された平板状の部材である。磁束分離板３０は、第一の主面３０ａと、第一の主面３０ａの反対側に位置する第二の主面３０ｂと、を有する。磁束分離板３０は、磁束分離板３０の第一の主面３０ａ側における磁束と、磁束分離板３０の第二の主面３０ｂ側における磁束とを分離する。第一の主面３０ａ上にはＸ軸移動用コイル２１が配置されており、第二の主面３０ｂ上にはＹ軸移動用コイル２２が配置されている。Ｘ軸移動用コイル２１、Ｙ軸移動用コイル２２及び磁束分離板３０は、例えばモールド樹脂（不図示）により一体成形される。

ここで、図３に分解斜視図として示すように、磁束分離板３０は、第一の板状部材３１と、第二の板状部材３２と、から構成される。第一の板状部材３１及び第二の板状部材３２は、いずれもＸＹ平面に平行な平板状の部材である。第一の板状部材３１及び第二の板状部材は、いずれも磁性材料からなる。好ましくは、第一の板状部材３１及び第二の板状部材３２は、電磁鋼板である。より好ましくは、第一の板状部材３１は、Ｙ軸方向に積層された複数の電磁鋼板であり、第二の板状部材３２は、Ｘ軸方向に積層された複数の電磁鋼板である。さらに好ましくは、第一の板状部材３１は、Ｘ軸方向を磁化容易方向とする方向性電磁鋼板がＹ軸方向に複数積層されて構成されており、第二の板状部材３２は、Ｙ軸方向を磁化容易方向とする方向性電磁鋼板がＸ軸方向に複数積層されて構成されている。

第一の板状部材３１と第二の板状部材３２との間には、磁性を有しない非磁性部が設けられる。この非磁性部は、例えば空気を含む空洞であってもよいし、非磁性材料からなる平板状の部材であってもよい。

なお、磁束分離板３０は、上述した構成を有するものに限定されない。磁束分離板３０は、例えば、ＸＹ平面に平行な１枚の金属板において、Ｚ軸方向における中央部に、Ｘ軸方向に延在する長穴を設けたものであってもよい。

また、磁束分離板３０には、リニアモータ１を冷却する冷媒が流動する冷媒流路が設けられていてもよい。例えば、第一の板状部材３１と第二の板状部材３２との間に空洞３３を設け（図４参照）、この空洞に冷媒を流動させてもよい。第一の板状部材３１又は第二の板状部材３２の内部に配管を設け、この配管に冷媒を流動させてもよい。冷媒としては、例えば空気等の気体、又は水等の液体が用いられ得る。

上述した構成を有するリニアモータ１において、外部からＸ軸移動用コイル２１に三相交流電流が供給された場合、Ｘ軸移動用コイル２１に供給された三相交流電流と、Ｘ軸磁石１２により形成される磁界と、の相互作用による力がＸ軸移動用コイル２１に作用し、電機子２０は、Ｘ軸方向に移動する。同様に、外部からＹ軸移動用コイル２２に三相交流電流が供給された場合、Ｙ軸移動用コイル２２に供給された三相交流電流と、Ｙ軸磁石１３により形成される磁界と、の相互作用による力がＹ軸移動用コイル２２に作用し、電機子２０は、Ｙ軸方向に移動する。このようにして、電機子２０は、界磁１０に対して、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の二方向への自由度を有しながら移動する。

次に、上述した構成を有するリニアモータ１における磁束の分布について、図４を参照して説明する。図４は、図１におけるIV-IV線に沿ったリニアモータ１の断面図である。

磁束分離板３０に対してＺ軸方向の正の側、すなわちヨーク１１Ｂが配置された側では、Ｙ軸磁石１３により磁束Ｂｙが発生している。磁束Ｂｙは、ＹＺ平面に平行な、次のようなループを形成する。まず、磁束Ｂｙは、一つのＹ軸磁石１３のＮ極から磁束分離板３０の第二の板状部材３２に向かう。次いで、磁束Ｂｙは、第二の板状部材３２をＹ軸に平行な方向に進む。さらに、磁束Ｂｙは、上述の一つのＹ軸磁石１３と隣り合うように配置されたＹ軸磁石１３のＳ極に向かう。そして、磁束Ｂｙは、ヨーク１１Ｂの内部をＹ軸に平行な方向に進み、上述の一つのＹ軸磁石１３のＳ極に向かう。

一方、磁束分離板３０に対してＺ軸方向の負の側、すなわちヨーク１１Ａが配置された側では、Ｘ軸磁石１２により磁束Ｂｘが発生している。磁束Ｂｘは、ＸＺ平面に平行な、次のようなループを形成する。まず、磁束Ｂｘは、一つのＸ軸磁石１２のＮ極から磁束分離板３０の第一の板状部材３１に向かう。次いで、磁束Ｂｘは、第一の板状部材３１をＸ軸に平行な方向に進む。さらに、磁束Ｂｘは、上述の一つのＸ軸磁石１２と隣り合うように配置されたＸ軸磁石１２のＳ極に向かう。そして、磁束Ｂｘは、ヨーク１１Ａの内部をＸ軸に平行な方向に進み、上述の一つのＸ軸磁石１２のＳ極に向かう。

このように、リニアモータ１では、磁束分離板３０に対してＺ軸方向の負の側では、Ｘ軸に平行な磁束Ｂｘが発生している。一方、磁束分離板３０に対してＺ軸方向の正の側では、Ｙ軸に平行な磁束Ｂｙが発生している。すなわち、磁束分離板３０は、Ｘ軸磁石１２により形成された磁束Ｂｘと、Ｙ軸磁石１３により形成された磁束Ｂｙと、を分離している。

これにより、Ｘ軸移動用コイル２１には、Ｘ軸に平行な方向の駆動力が作用する。また、Ｙ軸移動用コイル２２には、Ｙ軸に平行な方向の駆動力が作用する。

本実施形態のリニアモータ１では、Ｘ軸磁石１２により形成された磁束によりＸ軸移動用コイル２１にＸ軸方向への駆動力が発生し、Ｙ軸磁石１３により形成された磁束によりＹ軸移動用コイル２２にＹ軸方向への駆動力が発生することで、電機子２０が界磁１０に対してＸ軸方向及びＹ軸方向に駆動される。ここで、Ｘ軸磁石１２により形成された磁束と、Ｙ軸磁石１３により形成された磁束とは、磁束分離板３０により分離されている。したがって、電機子２０をＸ軸方向及びＹ軸方向のいずれの方向に移動させたとしても、Ｘ軸磁石１２により形成された磁束がＹ軸移動用コイル２２に干渉したり、Ｙ軸磁石１３により形成された磁束がＸ軸移動用コイル２１に干渉したりすることが抑制される。したがって、Ｘ軸磁石１２及びＹ軸磁石１３により形成された磁束と、Ｘ軸移動用コイル２１及びＹ軸移動用コイル２２と、の干渉を抑制するために不要な空間を設ける必要がないため、２軸方向のそれぞれにおける可動範囲を確保しながら、リニアモータ１を小型化することができる。

特に、リニアモータ１では、Ｘ軸磁石１２は、ヨーク１１Ａの主面１１Ａａ上に配置されており、Ｙ軸磁石１３は、ヨーク１１Ｂの主面１１Ｂａ上に配置されている。したがって、主面１１Ａａ上においてＸ軸磁石１２とＹ軸磁石１３とが混在していない。このため、電機子２０が移動しても、Ｙ軸磁石１３により形成される磁束をＸ軸移動用コイル２１が横切ることがない。同様に、主面１１Ｂａ上においてもＸ軸磁石１２とＹ軸磁石１３とが混在していない。このため、電機子２０が移動しても、Ｘ軸磁石１３により形成される磁束をＹ軸移動用コイル２２が横切ることがない。したがって、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のいずれの方向についても、電機子２０の移動が制約されることがなく、電機子２０の可動範囲を大きく確保することができる。

さらに、ヨーク１１Ａの主面１１Ａａ上には、Ｘ軸に沿って並列する複数のＸ軸磁石１２が設けられ、ヨーク１１Ｂの主面１１Ｂａ上には、Ｙ軸に沿って並列する複数のＹ軸磁石１３が設けられている。この構成により、異なる方向に並列するＸ軸磁石１２とＹ軸磁石１３とをヨーク１１Ａの主面１１Ａａ上やヨーク１１Ｂの主面１１Ｂａ上に混在させて配列する必要がなくなるため、界磁１０の製造を容易に行うことができる。

また、磁束分離板３０が、ヨーク１１Ａの主面１１Ａａ側に配置された第一の板状部材３１、ヨーク１１Ｂの主面１１Ｂａ側に配置された第二の板状部材３２、及び第一の板状部材３１と第二の板状部材３２との間に設けられ磁性を有しない非磁性部を有している。この構成により、Ｘ軸磁石１２により形成される磁束Ｂｘと、Ｙ軸磁石１３により形成される磁束Ｂｙと、の分離を好適に行うことができる。

また、磁束分離板３０が電磁鋼板である。このため、磁束分離板３０を磁束が通ることによる磁束分離板３０における発熱を抑制することができる。

さらに、磁束分離板３０において、第一の板状部材３１が、Ｙ軸方向に積層された複数の電磁鋼板であり、第二の板状部材３２が、Ｘ軸方向に積層された複数の電磁鋼板である。このため、磁束分離板３０における発熱をさらに抑制することができる。

また、磁束分離板３０に、リニアモータ１を冷却する冷媒が流動する空洞３３が設けられている場合には、磁束分離板３０の内部の空間を有効に利用してリニアモータ１を冷却することができる。

また、本実施形態のリニアモータ１では、磁束分離板３０が電機子２０に固定されている。このため、電機子２０と磁束分離板３０とを、例えばモールド樹脂を用いて一体成形することにより、電機子２０と磁束分離板３０とを別体とした場合と比較して、電機子２０及び磁束分離板３０の構成を簡便なものとすることができる。

（第２実施形態）
第２実施形態に係るリニアモータ１０１は、界磁１１０と、電機子１２０と、を備えて構成される。第２実施形態に係るリニアモータは、磁束分離部材としての磁束分離板３０を界磁１１０側に備える点で、磁束分離板３０を電機子２０側に備える第１実施形態に係るリニアモータ１と異なる。

図５に示すように、界磁１１０は、図１に示した界磁１０と異なり、ヨークベース１４に磁束分離板３０が取り付けられている。磁束分離板３０は、ヨーク１１Ａの主面１１Ａａとヨーク１１Ｂの主面１１Ｂａとの間の略中央部において、ヨーク１１Ａの主面１１Ａａ及びヨーク１１Ｂの主面１１Ｂａに平行に配置されている。ヨーク１１Ａの主面１１Ａａと磁束分離板３０との間の空隙Ｓ１には、Ｘ軸移動用コイル２１が収容される。ヨーク１１Ｂの主面１１Ｂａと磁束分離板３０との間の空隙Ｓ２には、Ｙ軸移動用コイル２２が収容される。

図６に示すように、電機子１２０は、図２に示した電機子２０と異なり、磁束分離板３０とは別体として構成されている。電機子１２０におけるＸ軸移動用コイル２１及びＹ軸移動用コイル２２の配置は、電機子２０におけるＸ軸移動用コイル２１及びＹ軸移動用コイル２２の配置と同様である。Ｘ軸移動用コイル２１とＹ軸移動用コイル２２とは、例えばモールド樹脂（不図示）により一体成形される。このとき、Ｘ軸移動用コイル２１とＹ軸移動用コイル２２との間には、二点鎖線で示すように磁束分離板３０を挿入することが可能な空隙が設けられる。

このような第２実施形態に係るリニアモータ１０１においても、第１実施形態に係るリニアモータ１００と略同様の作用効果が得られる。また、リニアモータ１０１では、電機子１２０が磁束分離板３０とは別体であるため、電機子１２０を軽くすることができ、これにより高い加減速度での動作が可能となる。したがって、リニアモータ１０１を備えた産業機械におけるタクトタイムを短縮し、生産性を向上させることができる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、第２実施形態に係るリニアモータ１０１において、磁束分離板３０が界磁１１０から独立していてもよい。この場合には、磁束分離板３０は、例えば界磁１１０及び電機子１２０のいずれとも固定されていないこととなる。すなわち、磁束分離板３０が、界磁１１０及び電機子１２０のいずれに対しても可動となる。具体的には、磁束分離板３０を外部筐体に固定し、界磁１１０及び電機子１２０のそれぞれを磁束分離板３０に対して可動とした構成とすることができる。

このような構成では、エアーを電機子１２０に向けて吹き出す吹出口と、この吹出口にエアーを供給する冷媒流路と、を磁束分離板３０に設けやすいため、電機子１２０を容易に空冷することができる。また、界磁１１０や電機子１２０等の可動部に冷却配管を有しないため、冷却配管の引き回しや駆動系の設計をしやすくすることができる。

１，１０１…リニアモータ、１０，１１０…界磁（固定子）、１１Ａ…ヨーク（第一のヨーク）、１１Ｂ…ヨーク（第二のヨーク）、１１Ａａ…主面（第一の主面）、１１Ｂａ…主面（第二の主面）、１２…Ｘ軸磁石（第一軸磁石）、１３…Ｙ軸磁石（第二軸磁石）、２０，１２０…電機子（可動子）、３０…磁束分離板（磁束分離部材）、３１…第一の板状部材、３２…第二の板状部材、３３…空洞（冷媒流路）。

Claims (8)

1. 可動子を固定子に対して第一軸方向及び前記第一軸に直交する第二軸方向に駆動するリニアモータであって、
   前記第一軸及び前記第二軸に平行に配置される第一の主面を有する第一のヨーク、前記第一軸及び前記第二軸に平行に配置され前記第一の主面に対向する第二の主面を有する第二のヨーク、前記第一軸に沿って並列するように前記第一の主面上に配置された複数の第一軸磁石、並びに前記第二軸に沿って並列するように前記第二の主面上に配置された複数の第二軸磁石、を有する界磁と、
   前記第一の主面と前記第二の主面との間に配置され、前記第一軸磁石により形成された磁束と前記第二軸磁石により形成された磁束とを分離する磁束分離部材と、
   前記第一の主面と前記磁束分離部材との間に配置された少なくとも一つの第一軸移動用コイル、及び前記第二の主面と前記磁束分離部材との間に配置された少なくとも一つの第二軸移動用コイルを有する電機子と、
   を備え、
   前記電機子及び前記界磁のいずれか一方が前記可動子であり、他方が前記固定子である、リニアモータ。
2. 前記磁束分離部材が、前記第一の主面側に配置された第一の板状部材、前記第二の主面側に配置された第二の板状部材、及び前記第一の板状部材と前記第二の板状部材との間に設けられ磁性を有しない非磁性部を有する、請求項１に記載のリニアモータ。
3. 前記第一の板状部材及び前記第二の板状部材が電磁鋼板である、請求項２に記載のリニアモータ。
4. 前記第一の板状部材が、前記第二軸方向に積層された複数の電磁鋼板であり、
   前記第二の板状部材が、前記第一軸方向に積層された複数の電磁鋼板である、請求項３に記載のリニアモータ。
5. 前記磁束分離部材には、前記リニアモータを冷却する冷媒が流動する冷媒流路が設けられている、請求項１〜４のいずれか一項に記載のリニアモータ。
6. 前記磁束分離部材が、前記電機子に固定された、請求項１〜５のいずれか一項に記載のリニアモータ。
7. 前記磁束分離部材が、前記界磁に固定された、請求項１〜５のいずれか一項に記載のリニアモータ。
8. 前記磁束分離部材が、前記電機子及び前記界磁のいずれに対しても可動である、請求項１〜５のいずれか一項に記載のリニアモータ。

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