JP2002044932A - リニアモータとその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 製作や組立が容易であってコイルの発熱を効
率よく抑えることができるリニアモータとその製造方法
を提供する。 【解決手段】 磁極鉄心４ａは、ベースプレート３の長
さ方向に所定の間隔を開けて多数配列されている。磁極
鉄心４ａは、基部４ｂ側からその先端側に向かって厚み
が薄くなるテーパ面４ｃ，４ｄを備えている。コイル６
は、絶縁筒５のテーパ面５ｃ，５ｄに略均一な厚さで巻
き付けられており、コイルの外形寸法がテーパ面４ｃ，
４ｄ，５ｃ，５ｄと同様にテーパ状である。コイル６
は、所定の巻数で高密度に絶縁筒５に巻き付けらた状態
で、絶縁筒５とともに磁極鉄心４ａに嵌め込まれる。渡
し配管７１は、コイル６を冷却する冷却液が流れる管路
であり、隣り合うコイル６の間隙部に略密着した状態で
嵌め込まれる。その結果、リニアモータ１の推力を低下
させずに、コイル６を効率よく冷却することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、固定体に対して
移動体を相対移動させるリニアモータとその製造方法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】３相（Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相）のコイルが巻
き付けられた鉄心の磁極が所定ピッチで配列されたコイ
ル側リニアモータと、このコイル側リニアモータに隙間
（エアギャップ）を開けて対向する永久磁石が所定ピッ
チで配列された磁石側リニアモータとを有する３相交流
同期式リニアモータが知られている。このような３相交
流同期式リニアモータでは、組み合わせるコイル（磁極
鉄心）の数と磁石の数との比によってコギングやトルク
リップルが少なくなるために、これらの比によっては隣
り合う磁極鉄心間の間隙部を狭くする必要なくなり、極
歯先端部を厚くする必要がなくなる。

【０００３】通常、工作機械などの制御軸の送り装置に
リニアモータを採用する場合には、リニアモータのエア
ギャップに切削屑などが入り込まないように、リニアモ
ータが密閉空間内に設置される。その結果、コイルから
発生する熱が逃げ難くなるために、工作機械の構成部品
が熱膨張して移動軸の制御位置が熱変位し、加工精度が
低下することがあった。このように、リニアモータで
は、コイルの発熱を効率よく冷却することが解決すべき
重要な課題であった。

【０００４】そこで、特開昭６３−１５７６４３号公報
には、駆動用電磁石のコイル部に接する冷却用配管を設
け、この冷却用配管内を流れる熱伝送媒体によってコイ
ル部に発生する熱を除去するリニアモータが開示されて
いる。また、特開平９−２３８４４９号公報には、駆動
用コイルを冷却する冷却手段を駆動コイル毎に設けたリ
ニアモータが開示されている。これらのリニアモータ
は、いずれもコイルの発熱を冷媒によって冷却するため
に、冷却効率を向上させることができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
リニアモータでは、工作機械などに採用される場合にお
いてなお不十分であった。冷却配管が、各コイルの間に
あって、各コイルに全面に渡って直接当接していないか
らである。それで、従来の冷却構造をそのまま採用して
も十分な冷却効率を得ることができなかった。

【０００６】この発明の課題は、製作や組立が容易であ
ってコイルの発熱を効率よく抑えることができるリニア
モータとその製造方法を提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この発明は、以下のよう
な解決手段により、前記課題を解決する。なお、この発
明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これ
に限定するものではない。請求項１の発明は、基板
（３）上に所定の間隔を開けて形成された磁極鉄心（４
ａ）と、前記磁極鉄心に嵌め込まれた絶縁筒（５）と、
前記絶縁筒に巻き付けられたコイル（６）と、前記コイ
ルを冷却する冷却液が流れる冷却配管（７）とを含み、
前記磁極鉄心は、基部（４ｂ）側から前記磁極鉄心（４
ａ）の先端部側に向かって厚みが薄くなるテーパ面（４
ｃ，４ｄ）を有し、前記絶縁筒は、前記磁極鉄心のテー
パ面と傾斜角度が略同一のテーパ面（５ｃ，５ｄ）を有
し、前記コイルは、前記絶縁筒のテーパ面に略均一な厚
さで巻き付けられ、前記冷却配管は、隣り合う前記コイ
ルの間隙部に略密着した状態で嵌め込まれる渡し配管
（７１）と、前記渡し配管の一方の端部に前記冷却液を
供給する供給配管（７２）と、前記渡し配管の他方の端
部から前記冷却液を回収する回収配管（７３）とを含む
ことを特徴とするリニアモータ（１）である。

【０００８】請求項２の発明は、請求項１に記載のリニ
アモータにおいて、前記供給配管及び前記回収配管の断
面積が、前記渡し配管の断面積よりも大きいことを特徴
とするリニアモータである。

【０００９】請求項３の発明は、請求項１から請求項２
までのいずれか１項に記載のリニアモータの製造方法で
あって、前記冷却管をあらかじめ井桁状に形成する工程
と、前記基板上に所定の間隔を開けて前記磁極鉄心を形
成する工程と、前記絶縁筒に前記コイルを巻き付ける工
程と、前記コイルが巻き付けられた前記絶縁筒を前記磁
極鉄心に嵌め込む工程と、隣り合う前記コイルの間隙部
に前記冷却管の前記渡し配管を嵌め込む工程と、組み込
まれた前記コイルおよび前記冷却管とともに前記磁極鉄
心（４ａ）をモールドする工程と、を含むリニアモータ
（１）の製造方法である。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施形態について詳しく説明する。図１は、この発明
の実施形態に係るリニアモータの平面図である。図２
は、この発明の実施形態に係るリニアモータの一部を切
り欠いて示す側面図である。図３は、図１のIII-III線
で切断した状態を示す断面図である。図４は、図２のIV
部分を拡大して示す側面図である。図５は、この発明の
実施形態に係るリニアモータを分解した状態を示す図で
あり、図５（Ａ）は斜視図であり、図５（Ｂ）は断面図
である。

【００１１】リニアモータ１は、固定体に対して移動体
を相対移動させるための推力を発生する装置である。リ
ニアモータ１は、所定ピッチで永久磁石が配列された図
示しない磁石側リニアモータと、コイル側リニアモータ
２とから構成されている。この実施形態では、コイルに
３相交流が供給されるリニアモータが例示され、コギン
グが少なくなるように、コイルの個数と永久磁石の個数
とが９：８になるように構成されている。

【００１２】コイル側リニアモータ２は、磁石側リニア
モータを相対移動させるための推力を発生する装置であ
る。コイル側リニアモータ２は、磁石側リニアモータと
の間に隙間を開けて対向して配置されている。コイル側
リニアモータ２は、図１〜図５に示すように、ベースプ
レート３と、鉄心４と、絶縁筒５と、コイル６と、冷却
配管７と、磁気センサ８とを備えている。

【００１３】ベースプレート３は、鉄心４を固定する基
板である。ベースプレート３は、通常の鋼板で、その両
縁部には、図１に示すように、コイル側リニアモータ２
を固定するためのボルトを挿入する座ぐり穴３ａが形成
されている。

【００１４】鉄心４は、ベースプレート３上に所定の間
隔を開けて形成される極歯４ａを備えた部材である。鉄
心４は、例えば、薄板状の珪素鋼鈑などの電磁鋼鈑を櫛
歯形状に打ち抜いて、これらを積層して一体化したもの
であり、ベースプレート３との当接面に形成したタップ
穴を利用してベースプレート３上に固定・一体化され
る。鉄心４は、図４に示すように、磁石側リニアモータ
の永久磁石と対向する極歯４ａと、ベースプレート３に
固定される基部４ｂとを備え、極歯４ａの側面に基部４
ｂ側から極歯４ａの先端側に向かって厚みが薄くなるテ
ーパ面４ｃ，４ｄが形成されている。したがって、各極
歯４ａは、断面形状が略台形であり、極歯４ａの先端側
が僅かに厚みが薄いテーパ状の歯に形成されている。こ
の実施形態では、基部４ｂ上に極歯４ａが９個配列され
ており、これらの極歯４ａと対向する永久磁石が８個配
列される。その結果、隣り合うコイル６間の間隙部を狭
くしなくてもコギングが減少するために、僅かに側面が
傾斜したような単純な形状に極歯４ａを形成することが
できる。また、この実施形態では、極歯４ａの両側に対
称なテーパ面を形成する場合には、テーパ面のこう配を
それぞれ１／７０〜１／３５程度にすることが好まし
く、極歯４ａの片側のみにテーパ面を形成する場合に
は、このテーパ面のこう配を１／３５〜２／３５程度に
することが好ましい。極歯４ａとしては厚みが均一であ
るほうが好ましく、テーパ面４ｃ，４ｄを形成しないほ
うが好ましいが、後に説明するようにコイル６と冷却配
管７とを広い面積で密着させるために、テーパ面４ｃ，
４ｄに所定の傾斜角度が形成されている。テーパ面４
ｃ，４ｄは対称に形成してもよいし非対称に形成しても
よい。この実施形態では、テーパ面４ｃ，４ｄが極歯４
ａに形成されているために、次に詳述する絶縁筒５を鉄
心４に簡単に挿入することができる。

【００１５】絶縁筒５は、鉄心４に嵌め込まれる筒状の
絶縁体（インシュレータ）である。絶縁筒５は、図４及
び図５に示すように、開口端に形成されたフランジ部
（鍔部）５ａ，５ｂと、テーパ面４ｃ，４ｄと傾斜角度
が略同一のテーパ面５ｃ，５ｄとを備えている。絶縁筒
５は、断面形状が略長方形の薄肉の成形品である。絶縁
筒５は、例えば、液晶ポリマー樹脂などのように、鉄心
４とコイル６とを電気的に絶縁するとともに軟化温度の
高い材料で成形することが好ましい。絶縁筒５は、２枚
１組の断面Ｕ字状の成形品（分割品）を組み合わせて一
体に形成してもよい。

【００１６】コイル６は、絶縁筒５に巻き付けられる部
材である。コイル６は、図４及び図５に示すように、絶
縁筒５のテーパ面５ｃ，５ｄに略均一な厚さで巻き付け
られており、コイルの外形寸法がテーパ面４ｃ，４ｄ，
５ｃ，５ｄと同様にテーパ状になるように巻き付けられ
ている。コイル６は、１つの鉄心４に巻き付けられた部
分がいずれか１つの相となる単相巻きコイルである。コ
イル６は、所定の巻数で高密度に絶縁筒５に巻き付けら
た状態で、絶縁筒５とともに鉄心４に嵌め込まれる。こ
の実施形態では、絶縁筒５のテーパ面５ｃ，５ｄに自動
巻線機によってコイル６を簡単に巻き付けることができ
るとともに、所定の巻数や外形寸法に正確に品質管理す
ることができる。また、この実施形態では、コイル６が
予め絶縁筒５に巻き付けられた状態で、絶縁筒５が極歯
４ａ先端から嵌め込まれるので、コイル６に傷が付くの
を防止することができる。さらに、この実施形態では、
コイル６が高密度に巻線されるので、３個の鉄心毎に巻
線する従来の３相式リニアモータの推力に比べて推力の
低下を抑えることができる。

【００１７】図６は、この発明の実施形態に係るリニア
モータの結線状態を示す平面図である。例えば、３相交
流式リニアモータの場合には、図６に示すように、９個
の極歯４ａにコイル６がそれぞれ巻き付けられ結線され
る。そして、Ｕ，Ｖ，Ｗの３相線が順次それぞれのコイ
ル６に結線されて、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相のコイル６がＵ，
Ｖ，Ｗ，Ｕ，Ｖ，Ｗ，…の順に各極歯４ａに配列され
る。コイル６の他端側は、一つにまとめられて接続され
る。３相線は、３相入力線ケーブル６ａに結合されてコ
イル側リニアモータ２の外部に引き出され、３相入力線
ケーブル６ａの先端部には図示しないモータ駆動装置に
接続されるコネクタ６ｂが取り付けられている。もちろ
ん、ケーブル６ａの保護接地線も基部４ｂに接続され
る。

【００１８】図７は、この発明の実施形態に係るリニア
モータの冷却配管の斜視図である。図８は、この発明の
実施形態に係るリニアモータの冷却配管の正面図であ
る。図９は、この発明の実施形態に係るリニアモータの
冷却配管の背面図である。図１０は、この発明の実施形
態に係るリニアモータの冷却配管の断面図である。図１
１は、この発明の実施形態に係るリニアモータの渡し配
管の断面図である。図１２は、この発明の実施形態に係
るリニアモータの渡し配管を分解した状態を示す断面図
である。

【００１９】冷却配管７は、コイル６を冷却する冷却液
が流れる管路である。冷却配管７は、図７〜図１０にお
いて後に詳述するように、渡し配管７１と、供給配管７
２と、回収配管７３と、それらに接続するマニホールド
７４，７５と、供給配管７２と回収配管７３との間で連
通する渡し配管７１とを備えている。冷却配管７の材質
は、銅あるいはアルミニウムにするとよい。冷却配管７
が銅であれば、熱容量が大きく冷却効率に優れコストが
安い水などを冷却液としてそのまま使用することができ
る。また、冷却配管７がアルミニウムであれば、腐食防
止のために油性の冷却液が使用される。ただし、例え
ば、ニッケルなどによって冷却配管７の内周面をめっき
する場合には、水を冷却液に使用できる。

【００２０】渡し配管７１は、隣り合うコイル６の間隙
部においてコイル６に密着した状態で嵌め込まれる配管
である。渡し配管７１は、図１１に示すように、断面形
状が略扁平であり、アルミニウムの押し出し成型材によ
って、あるいは、図１２に示すように、銅などからなる
絞り引き抜き成形材を互いに溶着して形成される。渡し
配管７１は、図１０及び図１１に示すように、第１流路
７１ａと、第２流路７１ｂと、隔壁７１ｃと、テーパ面
７１ｄ，７１ｅとを備えている。第１流路７１ａは、図
４に示すように、鉄心４の極歯４ａ先端部側に沿って冷
却液を流す流路であり、第２流路７１ｂは、鉄心４の基
部４ｂ側に沿って冷却液を流す流路である。第１流路７
１ａ及び第２流路７１ｂは、図１１に示すように、いず
れも断面形状が略台形であり、それぞれの断面積は略等
しい。熱伝導度の大きい材料を使用するので、それぞれ
の流路に等しく冷却液が流れさえすればよい。隔壁７１
ｃは、渡し配管７１の補強部材として機能するものであ
る。小型のリニアモータにあっては渡し配管７１が小さ
いので、隔壁７１ｃが必ずしも必要ではない。テーパ面
７１ｄ，７１ｅは、コイル６と略緊密に密着する部分で
ある。テーパ面７１ｄ，７１ｅは、基部４ｂ側から極歯
４ａの先端側に向かって厚くなるように形成されてお
り、テーパ面４ｃ，４ｄ，５ｃ，５ｄの傾斜方向とは逆
方向に傾斜している。この実施形態では、テーパ面７１
ｄ，７１ｅのこう配を１／７０〜１／３５程度にするこ
とが好ましい。

【００２１】供給配管７２は、渡し配管７１の一方の端
部に冷却液を供給する配管であり、回収配管７３は、渡
し配管７１の他方の端部から冷却液を回収する配管であ
る。供給配管７２及び回収配管７３には、図７に示すよ
うに、これらの間にコイル６と密着可能な間隔で渡し配
管７１がろう付けされ固定されている。供給配管７２及
び回収配管７３は、図１０に示すように、断面形状が略
長方形に形成されており、その材質がアルミニウム、あ
るいは銅などからなる。供給配管７２及び回収配管７３
は、図７に示すように、一方の端部にマニホールド７
４，７５が接続されており、他方の端部が閉鎖されてい
る。供給配管７２及び回収配管７３の断面積は、図１０
に示すように、渡し配管７１の断面積よりも大きく、供
給配管７２及び回収配管７３は渡し配管７１よりも管路
が十分に太く形成されている。こうすることによって、
各渡し配管７１に供給される冷却液量のむらができるだ
け生じないようにしている。

【００２２】図７に示すマニホールド７４は、供給配管
７２に冷却液を供給する柱状体であり、マニホールド７
５は、回収配管７３から冷却液を集合して回収する柱状
体である。マニホールド７４，７５には、図１に示す配
管接続金具７４ａ，７５ａを装着するための図示しない
雌ねじ部が形成されており、この雌ねじ部を含む下穴を
通して供給配管７２に冷却液を供給したり冷却配管７３
から冷却液を回収したりする。マニホールド７４，７５
は、渡し配管７１がコイル６の間で密着する高さ位置に
止まり、後述するモールド樹脂によって固定される。

【００２３】以上説明した実施形態では、隣り合う極歯
４ａの先端の間隙部を狭くする必要がなく、かつ、極歯
４ａやコイル６を単純な形状に形成することができるよ
うにコイルと磁石の比が選定されているために、冷却配
管７の断面形状を単純な形状にすることができる。それ
で、図７で示されるように、あらかじめ、冷却管７を上
記部材によって井桁状に組み上げておいて、この冷却管
７を極歯４ａの先端側から挿入することによって、冷却
配管７をコイル６の間に簡単に組み込むことができ、コ
イル６に冷却管７を全面で密着させることができる。そ
して、冷却管７がコイル６に密着すると、冷却配管７が
鉄心４に対して所定の高さに位置して、冷却配管７と基
部４ｂとの間に配線が可能なような間隙が形成される。

【００２４】なお、図１に示す磁気センサ８は、コイル
側リニアモータ２に対する磁石側リニアモータの相対位
置を検出する装置である。磁気センサ８は、通常、２次
側部材が永久磁石列を有する３相式リニアモータの場合
には、コイル側と永久磁石列との相対位置を検出して位
置検出信号をフィードバックする。磁気センサ８は、検
出線８ａを介してコネクタ８ｂに接続されている。

【００２５】次に、この発明の実施形態に係るリニアモ
ータの製造方法を説明する。まず、ベースプレート３上
に鉄心４が一体に固定されて所定の間隔を開けて磁極４
ａが配置される。次に、コイル６が巻き付けられた絶縁
筒５が磁極鉄心４ａに嵌め込まれる。コイル６の電気配
線は、隣り合う磁極４ａの間隙部や側面に沿ってベース
プレート３上で配線されて３相入力線に結合される。コ
イル６の他端の電気配線は、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相の３相線
毎にまとめられて短絡される。３相入力線は、１本の３
相入力線ケーブル６ａに収容されて外部に引き出されコ
ネクタ６ｂに接続される。

【００２６】あらかじめ、渡し配管７１、供給配管７２
及び回収配管７３などを井桁状に組み立てた冷却配管７
は、渡し配管７１が隣り合うコイル６の間隙部に嵌め込
まれるようにして、極歯４ａの先端側から挿入される。
その結果、コイル６と渡し配管７１のテーパ面７１ｄ，
７１ｅとが略全面で密着した状態でベースプレート３上
に冷却配管７が取り付けられる。このときに、ベースプ
レート３と冷却配管７との間の間隙部に電気配線が位置
し、３相入力線ケーブル６ａが外部に引き出される。

【００２７】以上のように組み付けられたベースプレー
ト３上に型枠が設置されて、鉄心４、コイル６及び冷却
配管７などが型枠内に収容された後に、鉄心４の極歯４
ａ先端が埋没するまでモールド樹脂が注入される。この
実施形態では、反応硬化後に金属との間に優れた接着性
を示すとともに、電気絶縁性が高く機械的強度が大きく
寸法安定性があり、高温時にこれらの特性の低下が少な
い熱硬化性樹脂であるエポキシ系樹脂などを使用するこ
とが好ましい。次に、鉄心４、コイル６及び冷却配管７
などがモールド樹脂に埋没した状態で加熱されると、モ
ールド樹脂が流動性を増して隅々に行き渡り、やがて反
応し硬化する。例えば、エポキシ系樹脂は、５０°Ｃ程
度になると溶融して流動性が増し、コイル６と冷却配管
７との間の間隙部に浸透して、１５０°Ｃ程度に加熱す
ると硬化してコイル６や冷却配管７に接着し一体化す
る。モールド樹脂が硬化し冷却した後に、フライス盤な
どによってモールド樹脂の上面が所定の寸法に切削され
て平滑になる。この実施形態では、このような工程によ
ってコイル側リニアモータ２を組み立てるために、コイ
ル６の発熱を効率よく冷却可能なリニアモータ１を一定
の品質で容易に量産することができる。

【００２８】この発明の実施形態に係るリニアモータに
は、以下に記載するような効果がある。 (1) この実施形態では、磁極鉄心４ａのテーパ面４ｃ，
４ｄと傾斜角度が略同一のテーパ面５ｃ，５ｄを有する
絶縁筒５に、略均一な厚さでコイル６が巻き付けられて
おり、冷却液が流れる渡し配管７１が隣り合うコイル６
の間隙部に略密着した状態で嵌め込まれている。その結
果、リニアモータ１の推力を低下させずに、コイル６を
効率よく冷却することができる。また、この実施形態で
は、冷却配管７の断面形状が略扁平に形成され、冷却配
管７とコイル６とが略全面で接触可能なようにこれらが
テーパ状に形成されているために、磁極鉄心４ａの先端
部がより効果的に冷却されて冷却効率を向上させること
ができる。

【００２９】(2) この実施形態では、供給配管７２及び
回収配管７３の断面積が渡し配管７１の断面積よりも大
きいために、各渡し配管７１の第１流路７１ａ及び第２
流路７１ｂを流れる冷却液の流量に差が生じないように
することができる。

【００３０】この発明は、以上説明した実施形態に限定
するものではなく、種々の変形又は変更が可能であり、
これらもこの発明の範囲内である。例えば、この実施形
態では、３相交流同期式リニアモータを例に挙げて説明
したが、これに限定するものではなく、移動体が永久磁
石を備えず単なる誘導体である誘導形についても、コイ
ル側リニアモータ２と同様の構成にすることができる。
また、この実施形態では、一つの隔壁７１ｃによって冷
却配管７内を区画した場合を例に挙げて説明したが、隔
壁７１ｃを省略して冷却配管７内に１つの管路を形成し
てもよいし、２枚以上の隔壁によって冷却配管７内を区
画してもよい。

【００３１】

【発明の効果】以上説明したように、この発明による
と、極歯鉄心のテーパ面と傾斜角度が略同一のテーパ面
を有する絶縁筒に、略均一な厚さでコイルが巻き付けら
れており、冷却液が流れる渡し配管が隣り合うコイルの
間隙部に略密着した状態で嵌め込まれているので、コイ
ルの発熱を効率よく抑えることができる。加えて、冷却
配管７をあらかじめ井桁状に形成しておいて、これをコ
イルの間に挿入するので、冷却配管を容易に取り付ける
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施形態に係るリニアモータの平面
図である。

【図２】この発明の実施形態に係るリニアモータの一部
を省略して示す側面図である。

【図３】図１のIII-III線で切断した状態を示す断面図
である。

【図４】図２のIV部分を拡大して示す側面図である。

【図５】この発明の実施形態に係るリニアモータを分解
した状態を示す図であり、（Ａ）は斜視図であり、
（Ｂ）は断面図である。

【図６】この発明の実施形態に係るリニアモータの結線
状態を示す平面図である。

【図７】この発明の実施形態に係るリニアモータの冷却
配管の斜視図である。

【図８】この発明の実施形態に係るリニアモータの冷却
配管の正面図である。

【図９】この発明の実施形態に係るリニアモータの冷却
配管の背面図である。

【図１０】この発明の実施形態に係るリニアモータの冷
却配管の断面図である。

【図１１】この発明の実施形態に係るリニアモータの渡
し配管の断面図である。

【図１２】この発明の実施形態に係るリニアモータの渡
し配管を分解した状態を示す断面図である。

【符号の説明】

１ リニアモータ ２ コイル側リニアモータ ３ ベースプレート（基板） ４ 鉄心 ４ａ 極歯 ４ｂ 基部 ４ｃ，４ｄ テーパ面 ５ 絶縁筒 ５ｃ，５ｄ テーパ面 ６ コイル ７ 冷却配管 ７１ 渡し配管 ７１ａ 第１流路 ７１ｂ 第２流路 ７１ｄ，７１ｅ テーパ面 ７２ 供給配管 ７３ 回収配管

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板上に所定の間隔を開けて形成された
   磁極鉄心と、 前記磁極鉄心に嵌め込まれた絶縁筒と、 前記絶縁筒に巻き付けられたコイルと、 前記コイルを冷却する冷却液が流れる冷却配管とを含
   み、 前記磁極鉄心は、該磁極鉄心の基部側から該磁極鉄心の
   先端部側に向かって厚みが薄くなるテーパ面を有し、 前記絶縁筒は、前記磁極鉄心のテーパ面と傾斜角度が略
   同一のテーパ面を有し、 前記コイルは、前記絶縁筒のテーパ面に略均一な厚さで
   巻き付けられ、 前記冷却配管は、 隣り合う前記コイルの間隙部に略密着した状態で嵌め込
   まれる渡し配管と、 前記渡し配管の一方の端部に前記冷却液を供給する供給
   配管と、 前記渡し配管の他方の端部から前記冷却液を回収する回
   収配管とを含むこと、 を特徴とするリニアモータ。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のリニアモータにおい
   て、 前記供給配管及び前記回収配管の断面積は、前記渡し配
   管の断面積よりも大きいこと、 を特徴とするリニアモータ。
3. 【請求項３】 請求項１から請求項２までのいずれか１
   項に記載のリニアモータの製造方法であって、 前記冷却管をあらかじめ井桁状に形成する工程と、 前記基板上に所定の間隔を開けて前記磁極鉄心を形成す
   る工程と、 前記絶縁筒に前記コイルを巻き付ける工程と、 前記コイルが巻き付けられた前記絶縁筒を前記磁極鉄心
   に嵌め込む工程と、 隣り合う前記コイルの間隙部に前記冷却管の渡し配管を
   嵌め込む工程と、 組み込まれた前記冷却管とともに前記コイルおよび前記
   磁極をモールドする工程と、 を含むリニアモータの製造方法。