JP2005142982A - 高周波memsスイッチ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板3上に形成された第一のアンカ7-2-1と、第一のアンカに連接した第一のバネ7-3-1と、第一のバネに連接し、第一のバネに弾性変形を与えて基板3の上方で運動をする上部電極7-1と、上部電極の下方に位置する基板上に形成された下部電極1と、上部電極に連接した第二のバネ7-3-2と、第二のバネに連接した第二のアンカ7-2-2とを備え、上部電極と下部電極との間に電圧が印加されて上部電極が下方に運動するとき、第二のアンカが基板に接触して第二のバネが弾性変形を起こし、続いて上部電極が下部電極に接触することにより、上部電極と下部電極とが電気的に接続される。第一、二のアンカ、第一、二のバネ及び上部電極が同一金属によって一体構造で作製され、メンブレン7となる。
【選択図】 図1
Description
上部電極7-1と信号線1が平行でない場合の両者間の静電容量Cは、式(1)のように、
Claims (9)
- 基板と、
上記基板上に形成された第一のアンカと、
上記第一のアンカに連接した第一のバネと、
上記第一のバネに連接し、上記第一のバネに弾性変形を与えて上記基板の上方で運動をする上部電極と、
上記上部電極の下方に位置する上記基板上に形成された下部電極と、
上記上部電極に連接した第二のバネと、
上記第二のバネに連接した第二のアンカとを具備し、
上記上部電極と上記下部電極との間に電圧が印加されて上記上部電極が下方に運動するとき、上記第二のアンカが上記基板に接触して上記第二のバネが弾性変形を起こし、続いて上記上部電極が上記下部電極に接触することにより、上記上部電極と上記下部電極とが電気的に接続されることを特徴とするMEMSスイッチ。 - 上記第一のバネと上記第一のアンカと上記第二のバネと上記第二のアンカと上記上部電極とが一体構造を成し、且つ連続した金属体によって形成されていることを特徴とする請求項1に記載のMEMSスイッチ。
- 上記下部電極は絶縁体膜を表面に含み、上記上部電極が表面に絶縁体膜を含んだ上記下部電極に接触することにより、上記上部電極と上記下部電極との間に電気的容量が形成されることを特徴とする請求項1に記載のMEMSスイッチ。
- 上記金属がアルミニウムを主成分とする金属であることを特徴とする請求項2に記載のMEMSスイッチ。
- 上記第一のバネの主な復元力が固体のねじれに対する弾性力であり、第二のバネの主な復元力が固体のたわみに対する弾性力であることを特徴とする請求項1に記載のMEMSスイッチ。
- 上記第二のアンカの下方の上記基板上に金属体が形成されていることを特徴とする請求項1に記載のMEMSスイッチ。
- 上記上部電極は、該上部電極の厚さよりも大きいディップを有することを特徴とする請求項1に記載のMEMSスイッチ。
- 上記第一のバネを挟んで両側に上記上部電極と上記第二のバネと上記第二のアンカとがこの順に取り付けられてプッシュプル構造を成すことを特徴とする請求項1に記載のMEMSスイッチ。
- 基板と、
上記基板上に形成された第一のアンカ構造と、
上記第一のアンカ構造に連接した第一のバネと、
上記第一のバネに連接し、上記第一のバネに弾性変形を与えて上記基板の上方で運動をする上部電極と、
上記上部電極の下方に位置する上記基板上に形成された下部電極と、
上記上部電極に連接した第二のバネと、
上記第二のバネに連接した第二のアンカとを具備し、
上記上部電極と上記下部電極との間に電圧が印加されて上記上部電極が下方に運動するとき、上記第二のアンカが上記基板に接触して上記第二のバネが弾性変形を起こし、続いて上記上部電極が上記下部電極に接触することにより、上記上部電極と上記下部電極とが電気的に接続されるMEMSスイッチの製造方法であって、
上記下部電極を上記基板上に形成する工程と、
上記下部電極を形成した上記基板上に、成膜とパタンニングを行なって少なくとも2層の犠牲膜を形成する工程と、
上記犠牲膜の上に1回の金属膜の成膜とそのパタンニングにより、上記第一のバネと上記第一のアンカと上記第二のバネと上記第二のアンカと上記上部電極とを一体構造で形成する工程と、
上記犠牲膜を除去する工程とを具備することを特徴とするMEMSスイッチの製造方法。
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