JP2008278147A - 可変フィルタ素子、可変フィルタモジュール、およびこれらの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の例えば可変フィルタ素子X1は、例えば、基板10と、基板10上において並列して延びる、二本のグラウンド線22およびグラウンド線22間の信号線21と、グラウンド線22間を架橋し、信号線21と対向する部位24aを有する、可動キャパシタ電極24と、信号線21およびグラウンド線22の間に位置して可動キャパシタ電極24との間に静電引力を発生させるための駆動電極25と、基板10内に設けられ、信号線21と対向する部位を有し、グラウンド線22と電気的に接続している、グラウンド線12aとを備える。可動キャパシタ電極24およびグラウンド線12a,22は、グラウンド配線部を構成し、信号線21およびグラウンド配線部は、分布定数伝送線路を構成する。
【選択図】図2
Description
前記基板上において並列して延びる、二本の基板上グラウンド線および当該基板上グラウンド線間の信号線と、
前記二本の基板上グラウンド線を架橋し、前記信号線と対向する部位を有する、可動キャパシタ電極と、
前記信号線および前記基板上グラウンド線の間に位置し、前記可動キャパシタ電極との間に静電引力を発生させるための、駆動電極と、
前記基板内に設けられ、前記信号線と対向する部位を有し、前記二本の基板上グラウンド線と電気的に接続している、基板内グラウンド線と、を備え、
前記基板上グラウンド線、前記可動キャパシタ電極、および前記基板内グラウンド線は、グラウンド配線部を構成し、
前記信号線および前記グラウンド配線部は、分布定数伝送線路を構成する、可変フィルタ素子。
(付記2)基板と、
前記基板上において並列して延びる信号線と、
前記基板上に立設され、前記信号線と対向する部位を有する、可動キャパシタ電極と、
前記基板上に設けられ、前記可動キャパシタ電極との間に静電引力を発生させるための、駆動電極と、
前記基板内に設けられ、前記信号線と対向する部位を有し、前記可動キャパシタ電極と電気的に接続している、基板内グラウンド線と、を備え、
前記可動キャパシタ電極、および前記基板内グラウンド線は、グラウンド配線部を構成し、
前記信号線および前記グラウンド配線部は、分布定数伝送線路を構成する、可変フィルタ素子。
(付記3)前記信号線に並列して前記基板上に設けられ且つ前記基板内グラウンド線と電気的に接続している基板上グラウンド線を更に備える、付記2に記載の可変フィルタ素子。
(付記4)前記信号線上に誘電体部を更に備える、付記1から3のいずれか一つに記載の可変フィルタ素子。
(付記5)前記基板は、複数の絶縁層および各絶縁層間の配線パターンからなる積層構造を有する多層配線基板である、付記1から4のいずれか一つに記載の可変フィルタ素子。
(付記6)前記基板内グラウンド線は、前記多層配線基板において前記信号線に最も近い配線パターンに含まれる、付記5に記載の可変フィルタ素子。
(付記7)前記絶縁層はセラミックよりなる、付記5または6に記載の可変フィルタ素子。
(付記8)前記基板における前記信号線とは反対側の表面に電極パッドを更に備える、付記5から7のいずれか一つに記載の可変フィルタ素子。
(付記9)前記基板を貫通する導電連絡部を更に備える、付記5から8のいずれか一つに記載の可変フィルタ素子。
(付記10)付記1から9のいずれかに記載された複数の可変フィルタ素子を含み、当該複数の可変フィルタ素子は、直列に配されているか、或は、互いに並列に配されている、可変フィルタ素子。
(付記11)付記1から10のいずれかに記載の可変フィルタ素子と、
前記基板上に設けられた複数の受動素子と、を含む可変フィルタモジュール。
(付記12)前記複数の受動素子は、インダクタ、キャパシタ、または抵抗を含む、付記11に記載の可変フィルタモジュール。
(付記13)付記1から10のいずれか一つに記載の可変フィルタ素子を製造するための方法であって、
各々が基板内グラウンド線を含む複数の可変フィルタ素子形成区画を有する配線基板ウエハを作製する工程と、
前記複数の可変フィルタ素子形成区画の各々において、前記配線基板ウエハ上に少なくとも信号線、駆動電極、および可変キャパシタ電極を形成する工程と、
前記配線基板ウエハを分割する工程と、を含む可変フィルタ素子製造方法。
(付記14)付記11または12に記載の可変フィルタモジュールを製造するための方法であって、
各々が基板内グラウンド線を含む複数の可変フィルタモジュール形成区画を有する配線基板ウエハを作製する工程と、
前記複数の可変フィルタモジュール形成区画の各々において、前記配線基板ウエハ上に少なくとも信号線、駆動電極、可変キャパシタ電極、および複数の受動素子群を形成する工程と、
前記配線基板ウエハを分割する工程と、を含む可変フィルタモジュール製造方法。
(付記15)前記分割工程より前に、前記形成区画ごとに封止キャップを搭載する工程を含む、付記13または14に記載の方法。
10 配線基板
10’ 配線基板ウエハ
10a 第1面
10b 第2面
11 絶縁層
12 配線パターン
12a グラウンド線
13 ビア
14,77 電極パッド
16 絶縁膜
17 犠牲層
21,72 信号線
22,73 グラウンド線
23,74 シャントインダクタ
24,28,75 可変キャパシタ電極
24a,28a 厚肉部
25,76 駆動電極
26 誘電体ドット
27 パッケージング部材
Claims (8)
- 基板と、
前記基板上において並列して延びる、二本の基板上グラウンド線および当該基板上グラウンド線間の信号線と、
前記二本の基板上グラウンド線を架橋し、前記信号線と対向する部位を有する、可動キャパシタ電極と、
前記信号線および前記基板上グラウンド線の間に位置し、前記可動キャパシタ電極との間に静電引力を発生させるための、駆動電極と、
前記基板内に設けられ、前記信号線と対向する部位を有し、前記二本の基板上グラウンド線と電気的に接続している、基板内グラウンド線と、を備え、
前記基板上グラウンド線、前記可動キャパシタ電極、および前記基板内グラウンド線は、グラウンド配線部を構成し、
前記信号線および前記グラウンド配線部は、分布定数伝送線路を構成する、可変フィルタ素子。 - 基板と、
前記基板上において並列して延びる信号線と、
前記基板上に立設され、前記信号線と対向する部位を有する、可動キャパシタ電極と、
前記基板上に設けられ、前記可動キャパシタ電極との間に静電引力を発生させるための、駆動電極と、
前記基板内に設けられ、前記信号線と対向する部位を有し、前記可動キャパシタ電極と電気的に接続している、基板内グラウンド線と、を備え、
前記可動キャパシタ電極、および前記基板内グラウンド線は、グラウンド配線部を構成し、
前記信号線および前記グラウンド配線部は、分布定数伝送線路を構成する、可変フィルタ素子。 - 前記信号線上に誘電体部を更に備える、請求項1または2に記載の可変フィルタ素子。
- 前記基板は、複数の絶縁層および各絶縁層間の配線パターンからなる積層構造を有する多層配線基板である、請求項1から3のいずれか一つに記載の可変フィルタ素子。
- 請求項1から4のいずれかに記載された複数の可変フィルタ素子を含み、当該複数の可変フィルタ素子は、直列に配されているか、或は、互いに並列に配されている、可変フィルタ素子。
- 請求項1から5のいずれかに記載の可変フィルタ素子と、
前記基板上に設けられた複数の受動素子と、を含む可変フィルタモジュール。 - 請求項1から5のいずれか一つに記載の可変フィルタ素子を製造するための方法であって、
各々が基板内グラウンド線を含む複数の可変フィルタ素子形成区画を有する配線基板ウエハを作製する工程と、
前記複数の可変フィルタ素子形成区画の各々において、前記配線基板ウエハ上に少なくとも信号線、駆動電極、および可変キャパシタ電極を形成する工程と、
前記配線基板ウエハを分割する工程と、を含む可変フィルタ素子製造方法。 - 請求項6に記載の可変フィルタモジュールを製造するための方法であって、
各々が基板内グラウンド線を含む複数の可変フィルタモジュール形成区画を有する配線基板ウエハを作製する工程と、
前記複数の可変フィルタモジュール形成区画の各々において、前記配線基板ウエハ上に少なくとも信号線、駆動電極、可変キャパシタ電極、および複数の受動素子群を形成する工程と、
前記配線基板ウエハを分割する工程と、を含む可変フィルタモジュール製造方法。
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