JP2005039285A - 真空処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 真空容器にロードロック機構が設けられている。真空容器内に配置された保持機構が、処理対象物を保持し、処理位置から受渡位置に、及びその逆に移動させる。保持機構が、受渡位置に処理対象物を保持しているとき、受渡位置の処理対象物とロードロック機構に保持された処理対象物とを交換することができる内部アームが配置されている。内部アームは、相互に独立して旋回することができる第1のアームと第2のアームとを含む。第1のアームと第2のアームとは、旋回の軸方向に関して相互に異なる位置に支持されており、第1のアームが旋回することにより、処理対象物を受渡位置から第1のロードロック機構まで移動させると同時に、第2のアームが逆方向に旋回し、他の処理対象物をロードロック機構から受渡位置まで移動させる。
【選択図】 図1
Description
3、4 ロボットアーム
5 外部アーム
6 アライナ
7、8 内部アーム
9 スキャンアーム
10 プラテン
11 バッファ
12 回転軸
15 制御装置
20 スキャンモータ
21 チルトモータ
30 イオンビーム
31 ファラデーカップ
50 真空容器
51 フープ
52 ウエハ
55 開口
61 大気側仕切り弁
62 支軸
63 昇降テーブル
64 仕切り弁用エアシリンダ
65 昇降テーブル用エアシリンダ
71 真空側仕切り弁
72 仕切り弁用エアシリンダ
73 支軸
81、82 内部アーム用モータ
83 外部アーム用モータ
84 回転軸
85 給排気管
86 真空ポンプ
87 窒素ガスボンベ
Claims (1)
- 真空排気可能な内部空間を画定する真空容器と、
前記真空容器内の真空状態を維持した状態で、処理対象物を、該真空容器内へ搬入し、及び該真空容器内から搬出することができる第1のロードロック機構と、
前記真空容器内に配置され、処理対象物を保持し、該処理対象物が処理される処理位置から受渡位置に、及びその逆に移動させることができる保持機構と、
前記保持機構が前記受渡位置に処理対象物を保持しているとき、該受渡位置の処理対象物と前記第1のロードロック機構に保持された処理対象物とを交換することができる内部アームと
を有し、前記内部アームは、
相互に独立して旋回することができる第1のアームと第2のアームとを含み、該第1のアームと第2のアームとは、旋回の軸方向に関して相互に異なる位置に支持されており、該第1のアームが旋回することにより、処理対象物を前記受渡位置から前記第1のロードロック機構まで移動させると同時に、該第2のアームが逆方向に旋回し、他の処理対象物を前記第1のロードロック機構から前記受渡位置まで移動させる真空処理装置。
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JP2004242382A JP2005039285A (ja) | 2004-08-23 | 2004-08-23 | 真空処理装置 |
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2004
- 2004-08-23 JP JP2004242382A patent/JP2005039285A/ja active Pending
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