JP2002043395A - ウエハ搬送システム及びその搬送方法 - Google Patents
ウエハ搬送システム及びその搬送方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ロボット装置による搬送をウェハ1枚につき1
回で可能にすると共に、処理済みウエハと未処理ウエハ
の入れ替え時間の短縮を実現することを可能にしたウエ
ハ搬送システムを提供することにある。 【解決手段】 複数段のウエハ支持部２１を有する中間
カセット装置３０と、ウエハ２２の搬送を行うアーム式
ロボット装置５０と、ウェハ２２のアライニングを行う
アライナー装置と、ウエハ２２の供給収納カセット６０
とを有するウエハ搬送システムであって、中間カセット
装置３０に対して、アーム式ロボット装置５０に保持さ
れたウエハ２２を、アライナー装置に載せ替えすると共
にアライニングを実施した後、アライナー装置から、中
間カセット装置３０のウエハ支持部２１へと直接ウエハ
の受渡しを行うよう構成した。
回で可能にすると共に、処理済みウエハと未処理ウエハ
の入れ替え時間の短縮を実現することを可能にしたウエ
ハ搬送システムを提供することにある。 【解決手段】 複数段のウエハ支持部２１を有する中間
カセット装置３０と、ウエハ２２の搬送を行うアーム式
ロボット装置５０と、ウェハ２２のアライニングを行う
アライナー装置と、ウエハ２２の供給収納カセット６０
とを有するウエハ搬送システムであって、中間カセット
装置３０に対して、アーム式ロボット装置５０に保持さ
れたウエハ２２を、アライナー装置に載せ替えすると共
にアライニングを実施した後、アライナー装置から、中
間カセット装置３０のウエハ支持部２１へと直接ウエハ
の受渡しを行うよう構成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数段のウエハ支
持部を有する中間カセット装置と、ウエハの搬送を行う
アーム式ロボット装置と、ウェハのアライニングを行う
アライナー装置と、ウエハの供給収納カセットとを有す
るウエハ搬送システム及びその搬送方法に関する。
持部を有する中間カセット装置と、ウエハの搬送を行う
アーム式ロボット装置と、ウェハのアライニングを行う
アライナー装置と、ウエハの供給収納カセットとを有す
るウエハ搬送システム及びその搬送方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来は、図１０に示すように、アーム式
ロボット１０５により、ウェハカセット１０４からウエ
ハ１０１を一旦アライナー装置１０２に持っていき、そ
こでアライニングが終わったウェハ１０１を中間カセッ
ト（シャトル）１０３に持っていく。
ロボット１０５により、ウェハカセット１０４からウエ
ハ１０１を一旦アライナー装置１０２に持っていき、そ
こでアライニングが終わったウェハ１０１を中間カセッ
ト（シャトル）１０３に持っていく。
【０００３】すなわち、中間カセット１０３とは別の場
所にあるアライナー装置１０２にて、オリフラ、ノッチ
等の目印によるウェハ１０１の回転位置を適正にするた
めのにウェハ１０１に対してアライニングを行い、その
後、中間カセット１０３に載せる。ここで、１０５は主
カセット（バキュームカセット）であり、１０６はアン
ロード用カセット（シャトル）である。
所にあるアライナー装置１０２にて、オリフラ、ノッチ
等の目印によるウェハ１０１の回転位置を適正にするた
めのにウェハ１０１に対してアライニングを行い、その
後、中間カセット１０３に載せる。ここで、１０５は主
カセット（バキュームカセット）であり、１０６はアン
ロード用カセット（シャトル）である。
【０００４】例えば、ウェハカセット１０４から中間カ
セット１０３にウェハ１０１を搬送する場合、ウェハカ
セット１０４→（アーム式ロボット１０５による搬送）
→アライナー装置１０２→（アーム式ロボット装置１０
５による搬送）→中間カセット１０３という流れにな
り、ロボット搬送が2回必要になる。
セット１０３にウェハ１０１を搬送する場合、ウェハカ
セット１０４→（アーム式ロボット１０５による搬送）
→アライナー装置１０２→（アーム式ロボット装置１０
５による搬送）→中間カセット１０３という流れにな
り、ロボット搬送が2回必要になる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記従来技
術の問題点に鑑みて成されたものであり、その目的は、
ロボット装置による搬送をウェハ1枚につき1回で可能に
すると共に、処理済みウエハと未処理ウエハの入れ替え
時間の短縮を実現することを可能にしたウエハ搬送シス
テム及びその搬送方法を提供することにある。
術の問題点に鑑みて成されたものであり、その目的は、
ロボット装置による搬送をウェハ1枚につき1回で可能に
すると共に、処理済みウエハと未処理ウエハの入れ替え
時間の短縮を実現することを可能にしたウエハ搬送シス
テム及びその搬送方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、複数段のウエハ支持部を有する中間カ
セット装置と、ウエハの搬送を行うアーム式ロボット装
置と、ウェハのアライニングを行うアライナー装置と、
ウエハの供給収納カセットとを有するウエハ搬送システ
ムにおいて、前記中間カセット装置に対して、前記アー
ム式ロボット装置に保持されたウエハを、前記アライナ
ー装置に載せ替えすると共にアライニングを実施した
後、前記アライナー装置から、前記中間カセット装置の
ウエハ支持部へと直接ウエハの受渡しを行うよう構成し
た。
に、本発明では、複数段のウエハ支持部を有する中間カ
セット装置と、ウエハの搬送を行うアーム式ロボット装
置と、ウェハのアライニングを行うアライナー装置と、
ウエハの供給収納カセットとを有するウエハ搬送システ
ムにおいて、前記中間カセット装置に対して、前記アー
ム式ロボット装置に保持されたウエハを、前記アライナ
ー装置に載せ替えすると共にアライニングを実施した
後、前記アライナー装置から、前記中間カセット装置の
ウエハ支持部へと直接ウエハの受渡しを行うよう構成し
た。
【０００７】また、前記アライナー装置にポジショナー
を設け、ポジショナーによりウェハをセンタリングし
て、アライナーのウエハ保持回転部もしくはポジショナ
ーの上下動により、ウエハ保持回転部に載せ替えするよ
うにした。
を設け、ポジショナーによりウェハをセンタリングし
て、アライナーのウエハ保持回転部もしくはポジショナ
ーの上下動により、ウエハ保持回転部に載せ替えするよ
うにした。
【０００８】また、ポジショナーを同軸上に設けたアラ
イナー装置において、ポジショナーによりウェハをセン
タリングして、アライナーのウエハ保持回転部に載せ替
えし、アライナー装置全体の上下動により、次工程に受
け渡すよう構成にした。
イナー装置において、ポジショナーによりウェハをセン
タリングして、アライナーのウエハ保持回転部に載せ替
えし、アライナー装置全体の上下動により、次工程に受
け渡すよう構成にした。
【０００９】また、前記アライナー装置の中心と前記中
間カセット装置のウエハ載置の中心とがほぼ同軸上とな
るように配置するよう構成した。
間カセット装置のウエハ載置の中心とがほぼ同軸上とな
るように配置するよう構成した。
【００１０】また、前記アライナー装置が前記中間カセ
ット装置の方へ水平移動して、前記アライナー装置の中
心と中間カセット装置のウエハ載置の中心とをほぼ同軸
に位置できるよう構成した。
ット装置の方へ水平移動して、前記アライナー装置の中
心と中間カセット装置のウエハ載置の中心とをほぼ同軸
に位置できるよう構成した。
【００１１】また、前記中間カセット装置が前記アライ
ナー装置の方へ水平移動して、前記アライナー装置の中
心と前記中間カセット装置のウエハ載置の中心とをがほ
ぼ同軸に位置できるよう構成した。
ナー装置の方へ水平移動して、前記アライナー装置の中
心と前記中間カセット装置のウエハ載置の中心とをがほ
ぼ同軸に位置できるよう構成した。
【００１２】また、前記アライナー装置のポジショナー
の中心と前記アライナーのウエハ保持回転部の中心とを
垂直な同軸上に位置するように設置した。
の中心と前記アライナーのウエハ保持回転部の中心とを
垂直な同軸上に位置するように設置した。
【００１３】また、前記アライナー装置を上下に昇降可
能に構成し、アライナー装置の昇降により、前記中間カ
セット装置の複数段のウエハ支持部にウエハを順次上端
の段から下端の段へと載置するよう構成した。
能に構成し、アライナー装置の昇降により、前記中間カ
セット装置の複数段のウエハ支持部にウエハを順次上端
の段から下端の段へと載置するよう構成した。
【００１４】また、前記アライナー装置を前記中間カセ
ット装置のウエハ挿入経路上のウエハ載置中心軌道線上
に配置し、アライナー装置を水平移動させて、ウエハを
前記アーム式ロボット装置から受けるよう構成した。
ット装置のウエハ挿入経路上のウエハ載置中心軌道線上
に配置し、アライナー装置を水平移動させて、ウエハを
前記アーム式ロボット装置から受けるよう構成した。
【００１５】また、前記アライナー装置を水平移動させ
て、ウエハを前記アーム式ロボット装置から受け、前記
中間カセット装置が上下動してウエハを渡すように構成
した。
て、ウエハを前記アーム式ロボット装置から受け、前記
中間カセット装置が上下動してウエハを渡すように構成
した。
【００１６】また、前記中間カセット装置の複数段のウ
エハ支持部を、下方開放形状で空間部を有する構成と
し、前記アライナー装置をこの空間部の中を上下昇降可
能に構成した。
エハ支持部を、下方開放形状で空間部を有する構成と
し、前記アライナー装置をこの空間部の中を上下昇降可
能に構成した。
【００１７】また、前記アライナー装置のポジショナー
とウエハ保持回転部を、中間カセット装置の複数段の下
方開放形状のウエハ支持部の空間部の間を上下昇降可能
に構成した。
とウエハ保持回転部を、中間カセット装置の複数段の下
方開放形状のウエハ支持部の空間部の間を上下昇降可能
に構成した。
【００１８】また、前記中間カセット装置を上下に昇降
可能に構成し、中間カセット装置の昇降により、中間カ
セット装置の複数段のウエハ支持部に、アライナー装置
からウエハを順次上の段から下の段へと載置するよう構
成した。
可能に構成し、中間カセット装置の昇降により、中間カ
セット装置の複数段のウエハ支持部に、アライナー装置
からウエハを順次上の段から下の段へと載置するよう構
成した。
【００１９】また、前記アライナー装置を、前記中間カ
セット装置の水平移動線上もしくはシャトル駆動による
回転時のウエハ載置中心軌道線上に配置し、中間カセッ
ト装置を水平移動させてウエハを受け渡し、アライナー
装置が上下動すように構成した。
セット装置の水平移動線上もしくはシャトル駆動による
回転時のウエハ載置中心軌道線上に配置し、中間カセッ
ト装置を水平移動させてウエハを受け渡し、アライナー
装置が上下動すように構成した。
【００２０】また、前記中間カセット装置を水平移動さ
せてウエハを受け渡し、中間カセット装置が上下動する
ように構成した。
せてウエハを受け渡し、中間カセット装置が上下動する
ように構成した。
【００２１】また、前記アーム式ロボット装置から、上
下動して位置が変更できるアライナー装置に渡し、アラ
イナー装置または中間カセットが上下動してウエハを受
け取り載置するよう構成した。
下動して位置が変更できるアライナー装置に渡し、アラ
イナー装置または中間カセットが上下動してウエハを受
け取り載置するよう構成した。
【００２２】また、前記供給カセットからのウエハの搬
送途中において、前記アーム式ロボット装置が上下動
し、上下動して位置が変更できるアライナー装置に受け
渡し、アライナー装置または中間カセットが上下動して
ウエハを受け取り載置するよう構成した。
送途中において、前記アーム式ロボット装置が上下動
し、上下動して位置が変更できるアライナー装置に受け
渡し、アライナー装置または中間カセットが上下動して
ウエハを受け取り載置するよう構成した。
【００２３】また、前記中間カセット装置の上段のウエ
ハ支持部のスロット段より順に、搬送載置されたウェハ
をアライニングし、 同じウエハ支持部スロット段上に再
載置するように構成した。
ハ支持部のスロット段より順に、搬送載置されたウェハ
をアライニングし、 同じウエハ支持部スロット段上に再
載置するように構成した。
【００２４】また、前記ウェハのオリフラを検出するセ
ンサーを、前記アライナー装置に斜めに設置したよう構
成した。
ンサーを、前記アライナー装置に斜めに設置したよう構
成した。
【００２５】また、未処理のウエハを真空容器から真空
処理室内へ自動で搬入すると共に、処理済のウエハを真
空処理室内から真空容器へ自動で搬出するよう構成し
た。
処理室内へ自動で搬入すると共に、処理済のウエハを真
空処理室内から真空容器へ自動で搬出するよう構成し
た。
【００２６】また、主カセット装置は、真空処理室への
連続作業用密閉箱に収納されるよう構成した。
連続作業用密閉箱に収納されるよう構成した。
【００２７】また、前記供給収納カセット装置は、クリ
ーン室への連続作業用密閉箱に収納されるよう構成し
た。
ーン室への連続作業用密閉箱に収納されるよう構成し
た。
【００２８】また、前記主カセット装置の保持部をアラ
イナー装置が進入できる構成とし、主カセット装置また
はアライナー装置が上下動し、アライナー装置からウエ
ハを受け取るよう構成した。
イナー装置が進入できる構成とし、主カセット装置また
はアライナー装置が上下動し、アライナー装置からウエ
ハを受け取るよう構成した。
【００２９】また、前記アーム式ロボット装置は、複数
の前記供給収納カセット間を水平移動自在に構成した。
の前記供給収納カセット間を水平移動自在に構成した。
【００３０】また、本発明では、真空室内処理装置に備
えられた真空カセット装置における複数段のウエハ保持
棚との間で複数のウエハを一括して受け渡しをするため
のウエハ搬送装置であって、真空カセット装置の側方に
ウエハロード用のシャトル装置とウエハアンロード用の
シャトル装置とを配置し、各シャトル装置は、真空カセ
ット装置の複数段のウエハ保持棚に対応する複数のウエ
ハ支持部を有するシャトルカセットを備え、各シャトル
カセットは、カセット装置との間でウエハの受け渡しを
行う受渡し位置とそこから離れた待機位置との間を移動
可能に構成されており、複数段のウエハ保持棚はそれぞ
れウエハをその中央領域で保持し、複数のウエハ支持部
はそれぞれウエハをその直径方向の両側であって中央領
域から外れた箇所で支持したウエハ搬送システムにおい
て、シャトル装置への搬送経路中にアライナー装置を配
設するとともに、前記中間カセット装置であるシャトル
装置に対して、アーム式ロボット装置に保持されたウエ
ハをアライナー装置に載せ替えすると共に、アライニン
グを実施した後、前記アライナー装置から前記中間カセ
ット装置であるシャトル装置のウエハ支持部へと直接ウ
エハの受渡しを行うよう構成した。
えられた真空カセット装置における複数段のウエハ保持
棚との間で複数のウエハを一括して受け渡しをするため
のウエハ搬送装置であって、真空カセット装置の側方に
ウエハロード用のシャトル装置とウエハアンロード用の
シャトル装置とを配置し、各シャトル装置は、真空カセ
ット装置の複数段のウエハ保持棚に対応する複数のウエ
ハ支持部を有するシャトルカセットを備え、各シャトル
カセットは、カセット装置との間でウエハの受け渡しを
行う受渡し位置とそこから離れた待機位置との間を移動
可能に構成されており、複数段のウエハ保持棚はそれぞ
れウエハをその中央領域で保持し、複数のウエハ支持部
はそれぞれウエハをその直径方向の両側であって中央領
域から外れた箇所で支持したウエハ搬送システムにおい
て、シャトル装置への搬送経路中にアライナー装置を配
設するとともに、前記中間カセット装置であるシャトル
装置に対して、アーム式ロボット装置に保持されたウエ
ハをアライナー装置に載せ替えすると共に、アライニン
グを実施した後、前記アライナー装置から前記中間カセ
ット装置であるシャトル装置のウエハ支持部へと直接ウ
エハの受渡しを行うよう構成した。
【００３１】さらに、本発明では、複数段のウエハ支持
部を有する中間カセット装置と、ウエハ搬送を行うアー
ム式ロボット装置と、ウェハのアライニングを行うアラ
イナー装置と、ウエハの供給収納カセットとを有し、ウ
エハをアライニングした後にウエハ支持部にウエハを受
け渡すようにしたウエハ搬送方法において、前記中間カ
セット装置に対して、供給収納カセットからウエハを前
記アーム式ロボット装置により取り出して保持し、この
保持されたされたウエハを、前記中間カセット装置のウ
エハ支持部に載せ替えするとともに、このウエハを前記
アライナー装置に載せ換えてアライニングを実施し、ア
ライニングを実施したウエハを、前記アライナー装置か
ら前記中間カセット装置のウエハ支持部へと直接受渡し
するようにした。
部を有する中間カセット装置と、ウエハ搬送を行うアー
ム式ロボット装置と、ウェハのアライニングを行うアラ
イナー装置と、ウエハの供給収納カセットとを有し、ウ
エハをアライニングした後にウエハ支持部にウエハを受
け渡すようにしたウエハ搬送方法において、前記中間カ
セット装置に対して、供給収納カセットからウエハを前
記アーム式ロボット装置により取り出して保持し、この
保持されたされたウエハを、前記中間カセット装置のウ
エハ支持部に載せ替えするとともに、このウエハを前記
アライナー装置に載せ換えてアライニングを実施し、ア
ライニングを実施したウエハを、前記アライナー装置か
ら前記中間カセット装置のウエハ支持部へと直接受渡し
するようにした。
【００３２】
【作用】本発明は、イオン注入装置等の真空室内で被処
理物（シリコンウエハ）の処理作業を行う装置におい
て、処理済と未処理のシリコンウェハを真空容器から搬
出搬入する装置において、バキュームカセットと称する
シリコンウェハの載せ換え作業を一括で行うスイング式
カセット（以下、シャトルと称する）に載せるウェハの
ノッチ（オリフラ）合わせ（以下、この動作をアライニ
ングと称する）を、シヤトル内で昇降できるアライニン
グ装置〈以下、昇降型アライナーと称す）にて行うよう
にした。
理物（シリコンウエハ）の処理作業を行う装置におい
て、処理済と未処理のシリコンウェハを真空容器から搬
出搬入する装置において、バキュームカセットと称する
シリコンウェハの載せ換え作業を一括で行うスイング式
カセット（以下、シャトルと称する）に載せるウェハの
ノッチ（オリフラ）合わせ（以下、この動作をアライニ
ングと称する）を、シヤトル内で昇降できるアライニン
グ装置〈以下、昇降型アライナーと称す）にて行うよう
にした。
【００３３】これにより、シャトルヘのウェハの搬送時
間を短縮し、時間当たりのウェハ処理能力の向上が図れ
る。例えば、ウェハカセットからシャトルにウェハを搬
送する場合、カセット → （アーム式ロボット装置に
よる搬送） → アライナー装置→ 中間カセットとな
り、ロボット搬送を1回で行える。
間を短縮し、時間当たりのウェハ処理能力の向上が図れ
る。例えば、ウェハカセットからシャトルにウェハを搬
送する場合、カセット → （アーム式ロボット装置に
よる搬送） → アライナー装置→ 中間カセットとな
り、ロボット搬送を1回で行える。
【００３４】従来、シャトルとアライナーはそれそれ別
の場所にあるが、上記のような配置にすることで、装置
の省スペース化が図れる。
の場所にあるが、上記のような配置にすることで、装置
の省スペース化が図れる。
【００３５】
【発明の実施の形態】（第１の実施の形態）本発明の第
１の実施の形態を図により説明する。
１の実施の形態を図により説明する。
【００３６】まず、図１を参照して、本発明のウエハ搬
送システムの全体構成を説明する。
送システムの全体構成を説明する。
【００３７】図１において、このウエハ搬送システム
は、バッチ処理型のイオン注入装置における真空容器１
０に備えられた主カセット装置（バキュームカセット）
２０における、例えば１３段のウエハ保持棚との間で１
３枚のウエハを一括して受け渡しをするためのものであ
り、主カセット２０を間にして配置された中間カセット
（ウエハロード用のシャトル装置）３０とウエハアンロ
ード用のカセット装置（シャトル装置）４０とを含む。
なお、真空容器１０はその一部のみを示している。
は、バッチ処理型のイオン注入装置における真空容器１
０に備えられた主カセット装置（バキュームカセット）
２０における、例えば１３段のウエハ保持棚との間で１
３枚のウエハを一括して受け渡しをするためのものであ
り、主カセット２０を間にして配置された中間カセット
（ウエハロード用のシャトル装置）３０とウエハアンロ
ード用のカセット装置（シャトル装置）４０とを含む。
なお、真空容器１０はその一部のみを示している。
【００３８】中間カセット３０、ウエハアンロード用カ
セット４０はそれぞれ、１３段のウエハ保持棚に対応す
る１３段のウエハ支持部を有する。中間カセット３０、
ウエハアンロード用カセット４０は、主カセット２０と
の間でウエハの受け渡しを行う受渡し位置と、そこから
離れた待機位置との間を回動可能に構成されている。
セット４０はそれぞれ、１３段のウエハ保持棚に対応す
る１３段のウエハ支持部を有する。中間カセット３０、
ウエハアンロード用カセット４０は、主カセット２０と
の間でウエハの受け渡しを行う受渡し位置と、そこから
離れた待機位置との間を回動可能に構成されている。
【００３９】第１の実施の形態では、さらに、ウエハ供
給カセット６０から１３枚の未処理ウエハを１枚ずつ取
り出して、前記待機位置にある中間カセット装置３０に
渡すと共に、前記待機位置にあるウエハアンロード用の
カセット装置４０から１３枚の処理済みウエハを１枚ず
つ受け取って、ウエハカセット装置６０に渡すためのハ
ンドリング装置５０を備えている。ハンドリング装置５
０は、レール７０に沿って水平に移動自在に構成されて
いる。
給カセット６０から１３枚の未処理ウエハを１枚ずつ取
り出して、前記待機位置にある中間カセット装置３０に
渡すと共に、前記待機位置にあるウエハアンロード用の
カセット装置４０から１３枚の処理済みウエハを１枚ず
つ受け取って、ウエハカセット装置６０に渡すためのハ
ンドリング装置５０を備えている。ハンドリング装置５
０は、レール７０に沿って水平に移動自在に構成されて
いる。
【００４０】主カセット装置２０は、図２（ａ），
（ｂ）に示すように、１３段のウエハ保持棚２１を備
え、各ウエハ保持棚２１は、ウエハ２２をその中央領域
において複数点で保持するようになっている。主カセッ
ト装置２０は、さらに、真空容器１０の内外に出入り自
在に設けられており、複数のウエハ２２の受け渡しは、
主カセット装置２０を真空容器１０の外に出した状態で
行われる。
（ｂ）に示すように、１３段のウエハ保持棚２１を備
え、各ウエハ保持棚２１は、ウエハ２２をその中央領域
において複数点で保持するようになっている。主カセッ
ト装置２０は、さらに、真空容器１０の内外に出入り自
在に設けられており、複数のウエハ２２の受け渡しは、
主カセット装置２０を真空容器１０の外に出した状態で
行われる。
【００４１】図２に示すように、主カセット装置２０に
おける１３段のウエハ保持棚２１は、所定距離だけ上下
動可能に構成されている。そして、１３枚の未処理ウエ
ハ２２を一括して中間カセット装置３０から主カセット
装置２０に渡す場合には、１３段のウエハ保持棚２１は
前記所定距離だけ下動した位置にあって、１３段のウエ
ハ支持部が前記受渡し位置に来ると前記所定距離だけ上
動して１３枚の未処理ウエハを一括して受けることがで
きる。
おける１３段のウエハ保持棚２１は、所定距離だけ上下
動可能に構成されている。そして、１３枚の未処理ウエ
ハ２２を一括して中間カセット装置３０から主カセット
装置２０に渡す場合には、１３段のウエハ保持棚２１は
前記所定距離だけ下動した位置にあって、１３段のウエ
ハ支持部が前記受渡し位置に来ると前記所定距離だけ上
動して１３枚の未処理ウエハを一括して受けることがで
きる。
【００４２】このようにして、中間カセット装置３０は
主カセット装置２０に対して１３枚のウエハ（未処理）
２２を、一度に渡すことができるような構造になってい
る。ここで、２３は、ウエハ処理室である。ウエハ処理
室２３では、ウエハ２２に対してイオン注入装置（図示
せず）を使用してイオンが注入される。
主カセット装置２０に対して１３枚のウエハ（未処理）
２２を、一度に渡すことができるような構造になってい
る。ここで、２３は、ウエハ処理室である。ウエハ処理
室２３では、ウエハ２２に対してイオン注入装置（図示
せず）を使用してイオンが注入される。
【００４３】上記の構造は、ウエハアンロード用のカセ
ット装置４０についてもまったく同じであるので、図示
説明は省略するが、複数の処理済みウエハ２２を一括し
て主カセット装置２０からウエハアンロード用のカセッ
ト装置４０に渡す場合には、１３段のウエハ保持棚２１
は前記所定距離だけ上動した位置にあって、１３段のウ
エハ支持部が前記受渡し位置に来ると前記所定距離だけ
下動して１３枚の処理済みウエハを一括して１３段のウ
エハ支持部に渡すことができる。
ット装置４０についてもまったく同じであるので、図示
説明は省略するが、複数の処理済みウエハ２２を一括し
て主カセット装置２０からウエハアンロード用のカセッ
ト装置４０に渡す場合には、１３段のウエハ保持棚２１
は前記所定距離だけ上動した位置にあって、１３段のウ
エハ支持部が前記受渡し位置に来ると前記所定距離だけ
下動して１３枚の処理済みウエハを一括して１３段のウ
エハ支持部に渡すことができる。
【００４４】なお、ハンドリング装置５０については公
知のもの（例えば、特開平３−１５４７９１号）を利用
するので、図示及び説明は省略する。
知のもの（例えば、特開平３−１５４７９１号）を利用
するので、図示及び説明は省略する。
【００４５】次に、本搬送システムの一般的な動作につ
いて簡単に説明する。
いて簡単に説明する。
【００４６】（１）１３枚の未処理のウエハ２２をハン
ドリング装置５０で、中間カセット装置３０に載せて待
機させておく。
ドリング装置５０で、中間カセット装置３０に載せて待
機させておく。
【００４７】（２）真空容器１０においてイオン注入処
理が完了すると、処理済のウエハ２２を移し替えられた
主カセット装置２０が、真空容器１０の上方にせり出し
てくる。
理が完了すると、処理済のウエハ２２を移し替えられた
主カセット装置２０が、真空容器１０の上方にせり出し
てくる。
【００４８】（３）処理済のウエハ２２を受け取るため
に、アンロード用のカセット装置４０がウエハの受渡し
位置に回動されてくる。
に、アンロード用のカセット装置４０がウエハの受渡し
位置に回動されてくる。
【００４９】（４）主カセット装置２０が、所定距離
（ここでは１０ｍｍ）下がって処理済みのウエハ２２を
アンロード用のカセット装置４０に渡す。
（ここでは１０ｍｍ）下がって処理済みのウエハ２２を
アンロード用のカセット装置４０に渡す。
【００５０】（５）処理済みのウエハ２２を受け取ると
アンロード用のカセット装置４０は、元の待機位置に回
動する。このようにして処理済みのウエハ２２は、一括
して主カセット装置２０から搬出される。
アンロード用のカセット装置４０は、元の待機位置に回
動する。このようにして処理済みのウエハ２２は、一括
して主カセット装置２０から搬出される。
【００５１】（６）アンロード用のカセット装置４０が
待機位置に回動してから、（１）にて待機していた中間
カセット装置３０がウエハ２２の受渡し位置に回動され
てくる。
待機位置に回動してから、（１）にて待機していた中間
カセット装置３０がウエハ２２の受渡し位置に回動され
てくる。
【００５２】（７）主カセット装置２０が１０ｍｍ上が
って、未処理のウエハ２２を中間カセット装置３０から
一括して受け取る。
って、未処理のウエハ２２を中間カセット装置３０から
一括して受け取る。
【００５３】（８）中間カセット装置３０が、元の待機
位置に回動する。
位置に回動する。
【００５４】（９）未処理のウエハ２２を受け取った主
カセット装置２０は真空容器１０内に収納され、主カセ
ット装置２０からイオン注入位置に移し替えられてイオ
ン注入が開始する。
カセット装置２０は真空容器１０内に収納され、主カセ
ット装置２０からイオン注入位置に移し替えられてイオ
ン注入が開始する。
【００５５】（１０）ハンドリング装置５０で、アンロ
ード用のカセット装置４０の処理済みウエハ２２をウエ
ハ供給カセット装置６０に移し替え、新しいウエハカセ
ット６０から未処理のウエハ２２を中間カセット３０に
載せて待機させておく。
ード用のカセット装置４０の処理済みウエハ２２をウエ
ハ供給カセット装置６０に移し替え、新しいウエハカセ
ット６０から未処理のウエハ２２を中間カセット３０に
載せて待機させておく。
【００５６】次に、昇降型アライナー装置３００の構成
について、図３（ａ），（ｂ）を用いて説明する。
について、図３（ａ），（ｂ）を用いて説明する。
【００５７】昇降型アライナー装置３００は、ウェハ保
持回転部３１、ポジショナー３２、ノッチ（オリフラ）
検出部３３、昇降駆動部３４より構成される。
持回転部３１、ポジショナー３２、ノッチ（オリフラ）
検出部３３、昇降駆動部３４より構成される。
【００５８】ウエハ保持回転部３１はウエハの裏面を保
持し、ウエハを回転させる。ノッチ（オリフラ）検出の
ため、正転、逆転できるようになっている。この場合、
ウェハは真空チャックにより保持される。
持し、ウエハを回転させる。ノッチ（オリフラ）検出の
ため、正転、逆転できるようになっている。この場合、
ウェハは真空チャックにより保持される。
【００５９】ポジショナー３２は、ウェハの中心とウェ
ハ保持回転部３１の回転中心とが同芯軸上にくるように
配置されており、ウェハを載せるだけでウェハのセンタ
リングするとき、ロボットハンドと干渉しないような形
状となっている。
ハ保持回転部３１の回転中心とが同芯軸上にくるように
配置されており、ウェハを載せるだけでウェハのセンタ
リングするとき、ロボットハンドと干渉しないような形
状となっている。
【００６０】ノッチ（オリフラ）検出部３３は、ウェハ
の回転中にノッチもしくはオリフラの位置を検出するア
ライニング中、中間カセット（シャトル）３０にあるウ
ェハと干渉しないように、透過型センサーを図３及び図
４に示すように配置する。
の回転中にノッチもしくはオリフラの位置を検出するア
ライニング中、中間カセット（シャトル）３０にあるウ
ェハと干渉しないように、透過型センサーを図３及び図
４に示すように配置する。
【００６１】図（ｂ）に示す昇降駆動部３４は、上下に
昇降自在に構成されている。また、ウェハカセット内の
ウェハが手許に出てきている場合、ロボットで搬送する
と、手前にずれた（せり出した）位置に置いてしまこと
がある。このため、このせり出しを検知するセンサー
（せり出しセンサー）３５を取り付けてある。このせり
出しセンサー３５としては、透過型もしくは反射型、限
定反射型の光学式センサー、あるいはその他の電気式・
機械式等の精密位置決めセンサーなどが使用可能であ
る。
昇降自在に構成されている。また、ウェハカセット内の
ウェハが手許に出てきている場合、ロボットで搬送する
と、手前にずれた（せり出した）位置に置いてしまこと
がある。このため、このせり出しを検知するセンサー
（せり出しセンサー）３５を取り付けてある。このせり
出しセンサー３５としては、透過型もしくは反射型、限
定反射型の光学式センサー、あるいはその他の電気式・
機械式等の精密位置決めセンサーなどが使用可能であ
る。
【００６２】次に、図３を参照して、中間カセット装置
（シャトル）３０との位置関係を以下に説明する。
（シャトル）３０との位置関係を以下に説明する。
【００６３】中間カセット装置３０は門型になってお
り、昇降型アライナー装置３００は中間カセット装置
（シャトル）３０の間に位置する。昇降型アライナー装
置３００は、ポジショナー３２の中心と中間カセット装
置３０のウェハの中心とが垂直な同軸上にあるように設
置される。
り、昇降型アライナー装置３００は中間カセット装置
（シャトル）３０の間に位置する。昇降型アライナー装
置３００は、ポジショナー３２の中心と中間カセット装
置３０のウェハの中心とが垂直な同軸上にあるように設
置される。
【００６４】次に、図５を参照して、本発明のアライニ
ング及びポジショニング動作を説明する。
ング及びポジショニング動作を説明する。
【００６５】（１）昇降型アライナー３１はポジショナ
ー３２を下げた状態で中間カセット装置（シャトル）３
０の最上段のウェハアライニング位置に待機する。（図
５（ａ））。
ー３２を下げた状態で中間カセット装置（シャトル）３
０の最上段のウェハアライニング位置に待機する。（図
５（ａ））。
【００６６】（２）中間カセット装置３０にある未処理
のウェハをハンドリングロボット５０でウェハ保持回転
部３１に置く。ウェハを置いた後、ロボットハンド５０
は次のウェハをカセットに取りに行く。
のウェハをハンドリングロボット５０でウェハ保持回転
部３１に置く。ウェハを置いた後、ロボットハンド５０
は次のウェハをカセットに取りに行く。
【００６７】ここで、ポジショナー３２を下げた状態で
待機し、ウェハが搬送されたらポジショナー３２を上げ
てウェハを受け取るなどできる。もしくは、中間カセッ
ト（シャトル）３０のウェハ同士の間隔が広く、ウェハ
とポジショナー３２との隙間が十分とれる場合は、ポジ
ショナー３２を上げた状態で待機し、ロボットハンド５
０から搬送されたウェハを直接ポジショナー３２が受け
とることも可能である。いずれの場合もこの後に（４）
の動作に移る。（図５（ｂ））。
待機し、ウェハが搬送されたらポジショナー３２を上げ
てウェハを受け取るなどできる。もしくは、中間カセッ
ト（シャトル）３０のウェハ同士の間隔が広く、ウェハ
とポジショナー３２との隙間が十分とれる場合は、ポジ
ショナー３２を上げた状態で待機し、ロボットハンド５
０から搬送されたウェハを直接ポジショナー３２が受け
とることも可能である。いずれの場合もこの後に（４）
の動作に移る。（図５（ｂ））。
【００６８】（３）ポジショナー３２は上がり、ウェハ
をセンタリングする。（図５（ｃ））。
をセンタリングする。（図５（ｃ））。
【００６９】（４）ウェハ保持回転部３１のポジショナ
ー３２が下がり、ウェハをウェハ回転保持部３１で保持
する。（図５（ｃ））。
ー３２が下がり、ウェハをウェハ回転保持部３１で保持
する。（図５（ｃ））。
【００７０】（５）ウェハと共にウェハ保持回転部３１
が回転し、ノッチ（オリフラ）が検出され、必要な位置
で回転を停止する。（図５（ｄ））。
が回転し、ノッチ（オリフラ）が検出され、必要な位置
で回転を停止する。（図５（ｄ））。
【００７１】（６）真空チャックをOFFする。アライナ
ーユニット３１が13mm下がり、真空チャック上にあるウ
ェハは中間カセット（ロードシャトル）３０に受け渡さ
れる。同時に、このアライナー３１の停止位置が2枚目
のウェハアライニング位置になる。（図５（ｅ））。
ーユニット３１が13mm下がり、真空チャック上にあるウ
ェハは中間カセット（ロードシャトル）３０に受け渡さ
れる。同時に、このアライナー３１の停止位置が2枚目
のウェハアライニング位置になる。（図５（ｅ））。
【００７２】（７）2枚目のウェハがチャック上に置か
れる。これの繰り返しで上段から順に処理を行う。
れる。これの繰り返しで上段から順に処理を行う。
【００７３】（８）最下段のウェハのアライニングが終
わると、アライナー３１は中間カセット装置（シャト
ル）３０の回転運動との干渉をさけるられる位置まで下
降する。（図５（ｆ））。
わると、アライナー３１は中間カセット装置（シャト
ル）３０の回転運動との干渉をさけるられる位置まで下
降する。（図５（ｆ））。
【００７４】（９）中間カセット装置（シャトル）３０
が主カセット装置（バキュームカセット）２０に回転
し、ウェハを受け渡す。
が主カセット装置（バキュームカセット）２０に回転
し、ウェハを受け渡す。
【００７５】（１０）中間カセット装置（シャトル）３
０が空の状態で元の位置に帰ってくる。
０が空の状態で元の位置に帰ってくる。
【００７６】（１１）（１）の動作から繰り返す。
【００７７】（第２の実施の形態）次に、図６を参照し
て、本発明の第２の実施の形態を説明する。
て、本発明の第２の実施の形態を説明する。
【００７８】第２の実施の形態では、図６に示すよう
に、アライナー装置６００が、中間カセット装置３０の
方へ水平移動して、アライナー装置６００の中心と中間
カセット装置３０のウエハ載置の中心とをほぼ同軸に位
置できるようになっている。
に、アライナー装置６００が、中間カセット装置３０の
方へ水平移動して、アライナー装置６００の中心と中間
カセット装置３０のウエハ載置の中心とをほぼ同軸に位
置できるようになっている。
【００７９】このアライナー装置６００の水平移動は、
水平移動用シリンダ６１０を介して行われる。アライニ
ングの際には、ウエハは、アライナー装置６００に真空
チャックにより吸着された状態にある。
水平移動用シリンダ６１０を介して行われる。アライニ
ングの際には、ウエハは、アライナー装置６００に真空
チャックにより吸着された状態にある。
【００８０】（第３の実施の形態）次に、図７を参照し
て、本発明の第３の実施の形態を説明する。
て、本発明の第３の実施の形態を説明する。
【００８１】第３の実施の形態では、図７に示すよう
に、中間カセット装置３０が、アライナー装置７００の
方へ水平移動して、アライナー装置７００の中心と中間
カセット装置３０のウエハ載置の中心とをがほぼ同軸に
位置できるようになっている。アライニングの際には、
ウエハは、アライナー装置７００に真空チャックにより
吸着された状態にある。
に、中間カセット装置３０が、アライナー装置７００の
方へ水平移動して、アライナー装置７００の中心と中間
カセット装置３０のウエハ載置の中心とをがほぼ同軸に
位置できるようになっている。アライニングの際には、
ウエハは、アライナー装置７００に真空チャックにより
吸着された状態にある。
【００８２】（第４の実施の形態）次に、図８を参照し
て、本発明の第４の実施の形態を説明する。
て、本発明の第４の実施の形態を説明する。
【００８３】第４の実施の形態では、アライナー装置を
中間カセット装置３０のウエハ挿入経路上のウエハ載置
中心軌道線上に配置し、アライナー装置を水平移動させ
て、ウエハをアーム式ロボット装置５０から受けるよう
にした。
中間カセット装置３０のウエハ挿入経路上のウエハ載置
中心軌道線上に配置し、アライナー装置を水平移動させ
て、ウエハをアーム式ロボット装置５０から受けるよう
にした。
【００８４】そして、アライナー装置を水平移動させ
て、ウエハを前記アーム式ロボット装置５０から受け、
中間カセット装置３０が上下動してウエハを受け渡す。
て、ウエハを前記アーム式ロボット装置５０から受け、
中間カセット装置３０が上下動してウエハを受け渡す。
【００８５】（第５の実施の形態）次に、図９を参照し
て、本発明の第５の実施の形態を説明する。
て、本発明の第５の実施の形態を説明する。
【００８６】第５の実施の形態では、主カセット装置２
０の保持部をアライナー装置９００が進入できる構成と
し、主カセット装置２０またはアライナー装置９００が
上下動し、アライナー装置９００からウエハを受け取る
ようする。
０の保持部をアライナー装置９００が進入できる構成と
し、主カセット装置２０またはアライナー装置９００が
上下動し、アライナー装置９００からウエハを受け取る
ようする。
【００８７】第５の実施の形態では、中間カセット３０
は存在せずに、主カセット装置２０は、ウエハをアーム
ロボット装置５０を介してアライナー装置９００から直
接受け取る。
は存在せずに、主カセット装置２０は、ウエハをアーム
ロボット装置５０を介してアライナー装置９００から直
接受け取る。
【００８８】（その他の実施の形態）また、他の実施の
形態としては、アライナー装置を図１に示すウエハ供給
カセット６０に設置するようにしても良い。
形態としては、アライナー装置を図１に示すウエハ供給
カセット６０に設置するようにしても良い。
【００８９】また、上記実施例では、アライナー装置に
ポジショナーが設けられており、このポジショナーでウ
エハのセンタリングが行われていた。
ポジショナーが設けられており、このポジショナーでウ
エハのセンタリングが行われていた。
【００９０】しかし、その他の実施の形態として、アラ
イナー装置自体にはポジショナーを設けないで、他の場
所（例えば、シャトル棚等）にポジショナーを独立して
設けることにより、ウエハのセンタリングを行うように
しても良い。
イナー装置自体にはポジショナーを設けないで、他の場
所（例えば、シャトル棚等）にポジショナーを独立して
設けることにより、ウエハのセンタリングを行うように
しても良い。
【００９１】
【発明の効果】本発明によれば、12インチウェハ13枚を
例にすると、従来の方式で数分（ウェハ13枚）かかって
いたロード時間が約半分になる。
例にすると、従来の方式で数分（ウェハ13枚）かかって
いたロード時間が約半分になる。
【００９２】また、シャトルヘウェハを搬送する場合、
昇降型アライナーを使うと、ロボット搬送が一回で済
む。
昇降型アライナーを使うと、ロボット搬送が一回で済
む。
【００９３】また、ウェハをアライナーに搬送し終わっ
たロボットは、アライニングの動作を待つことなく、次
のウェハを取りに行くことができ、搬送能力を上げるこ
とができる。
たロボットは、アライニングの動作を待つことなく、次
のウェハを取りに行くことができ、搬送能力を上げるこ
とができる。
【００９４】さらに、昇降できるアライナーによりシャ
トルの各位置でウェハのアライニングができる。
トルの各位置でウェハのアライニングができる。
【００９５】さらに、ロボット装置による搬送をウェハ
1枚につき1回でできる。
1枚につき1回でできる。
【００９６】さらに、処理済みウエハと未処理ウエハの
入れ替え時間の短縮を実現することのできると共に、ウ
エハ搬送システムの省スペース化が図れる。
入れ替え時間の短縮を実現することのできると共に、ウ
エハ搬送システムの省スペース化が図れる。
【図１】本発明の第１の実施の形態によるウエハ搬送シ
ステムの全体構成を示す図である。
ステムの全体構成を示す図である。
【図２】主カセット（バキュームカセット）と中間カセ
ットの構成及びウエハの受け渡し状態を示す図である。
ットの構成及びウエハの受け渡し状態を示す図である。
【図３】中間カセットの詳細な構成を示す図であり、
（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。
（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。
【図４】アライナー装置に取り付けられたオリフラセン
サーを示す図である。
サーを示す図である。
【図５】本発明のウエハ搬送システムのアライニング・
ポジショニング動作を示す図である。
ポジショニング動作を示す図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態によるウエハ搬送シ
ステムを示す図である。
ステムを示す図である。
【図７】本発明の第３の実施の形態によるウエハ搬送シ
ステムを示す図である。
ステムを示す図である。
【図８】本発明の第４の実施の形態によるウエハ搬送シ
ステムを示す図である。
ステムを示す図である。
【図９】本発明の第５の実施の形態によるウエハ搬送シ
ステムを示す図である。
ステムを示す図である。
【図１０】従来のウエハ搬送システムを示す図である。
１０ 真空容器 ２０ 主カセット装置（バキュームカセット） ２１ ウエハ保持棚 ３０ 中間カセット装置（ウエハロード用のカセッ
ト） ４０ ウエハアンロード用のカセット（シャトル）装
置 ５０ ハンドロボット装置 ６０ ウエハ供給カセット
ト） ４０ ウエハアンロード用のカセット（シャトル）装
置 ５０ ハンドロボット装置 ６０ ウエハ供給カセット
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１３年４月２０日（２００１．４．２
０）
０）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１９
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２４】また、前記ウェハの目印を検出するセンサ
ーを、前記アライナー装置に斜めに設置したよう構成し
た。
ーを、前記アライナー装置に斜めに設置したよう構成し
た。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｃ Ｃ２３Ｃ 14/48 Ｃ２３Ｃ 14/48 Ｚ 14/50 14/50 Ｋ Ｈ０１Ｌ 21/22 ５０１ Ｈ０１Ｌ 21/22 ５０１Ｊ 21/265 ６０３ 21/265 ６０３Ｚ Ｆターム(参考） 3F022 CC02 EE05 KK10 KK20 LL12 LL19 MM01 MM13 QQ12 QQ13 4K029 AA24 CA10 KA02 KA09 5F031 CA02 DA01 FA01 FA07 FA09 FA12 FA14 GA02 GA30 GA43 GA47 GA48 GA49 HA08 HA13 HA42 HA57 HA58 HA59 HA60 JA02 JA05 JA06 JA15 JA28 JA29 JA34 JA35 KA03 KA06 KA08 KA11 KA13 KA14 KA20 MA31
Claims (26)
- 【請求項１】 複数段のウエハ支持部を有する中間カセ
ット装置と、ウエハの搬送を行うアーム式ロボット装置
と、ウェハのアライニングを行うアライナー装置と、ウ
エハの供給収納カセットとを有するウエハ搬送システム
において、 前記中間カセット装置に対して、前記アーム式ロボット
装置に保持されたウエハを、前記アライナー装置に載せ
替えすると共にアライニングを実施した後、前記アライ
ナー装置から、前記中間カセット装置のウエハ支持部へ
と直接ウエハの受渡しを行うよう構成したことを特徴と
するウエハ搬送システム。 - 【請求項２】 前記アライナー装置にポジショナーを設
け、ポジショナーによりウェハをセンタリングして、ア
ライナーのウエハ保持回転部もしくはポジショナーの上
下動により、該ウエハ保持回転部に載せ替えするように
したことを特徴とする請求項１のウエハ搬送システム。 - 【請求項３】 ポジショナーを同軸上に設けたアライナ
ー装置において、ポジショナーによりウェハをセンタリ
ングして、アライナーのウエハ保持回転部に載せ替え
し、アライナー装置全体の上下動により、次工程に受け
渡すよう構成にしたことを特徴とする請求項１のウエハ
搬送システム。 - 【請求項４】 前記アライナー装置の中心と前記中間カ
セット装置のウエハ載置の中心とがほぼ同軸上となるよ
うに配置するよう構成したことを特徴とする請求項１の
ウエハ搬送システム。 - 【請求項５】 前記アライナー装置が前記中間カセット
装置の方へ水平移動して、前記アライナー装置の中心と
中間カセット装置のウエハ載置の中心とをほぼ同軸に位
置できるよう構成したことを特徴とする請求項１のウエ
ハ搬送システム。 - 【請求項６】 前記中間カセット装置が前記アライナー
装置の方へ水平移動して、前記アライナー装置の中心と
前記中間カセット装置のウエハ載置の中心とをがほぼ同
軸に位置できるよう構成したことを特徴とする請求項１
のウエハ搬送システム。 - 【請求項７】 前記アライナー装置のポジショナーの中
心と前記アライナーのウエハ保持回転部の中心とを垂直
な同軸上に位置するように設置したことを特徴とする請
求項２のウエハ搬送システム。 - 【請求項８】 前記アライナー装置を上下に昇降可能に
構成し、アライナー装置の昇降により、前記中間カセッ
ト装置の複数段のウエハ支持部にウエハを順次上端の段
から下端の段へと載置するよう構成したことを特徴とす
る請求項１のウエハ搬送システム。 - 【請求項９】 前記アライナー装置を前記中間カセット
装置のウエハ挿入経路上のウエハ載置中心軌道線上に配
置し、アライナー装置を水平移動させて、ウエハを前記
アーム式ロボット装置から受けるよう構成したことを特
徴とする請求項１のウエハ搬送システム。 - 【請求項１０】 前記アライナー装置を水平移動させ
て、ウエハを前記アーム式ロボット装置から受け、前記
中間カセット装置が上下動してウエハを渡すように構成
したことを特徴とする請求項８のウエハ搬送システム。 - 【請求項１１】 前記中間カセット装置の複数段のウエ
ハ支持部を、下方開放形状で空間部を有する構成とし、
前記アライナー装置をこの空間部の中を上下昇降可能に
構成したことを特徴とする請求項１のウエハ搬送システ
ム。 - 【請求項１２】 前記アライナー装置のポジショナーと
ウエハ保持回転部を、中間カセット装置の複数段の下方
開放形状のウエハ支持部の空間部の間を上下昇降可能に
構成したことを特徴とする請求項２のウエハ搬送システ
ム。 - 【請求項１３】 前記中間カセット装置を上下に昇降可
能に構成し、中間カセット装置の昇降により、中間カセ
ット装置の複数段のウエハ支持部に、アライナー装置か
らウエハを順次上の段から下の段へと載置するよう構成
したことを特徴とする請求項１のウエハ搬送システム。 - 【請求項１４】 前記アライナー装置を、前記中間カセ
ット装置の水平移動線上もしくはシャトル駆動による回
転時のウエハ載置中心軌道線上に配置し、中間カセット
装置を水平移動させてウエハを受け渡し、アライナー装
置が上下動すように構成したことを特徴とする請求項１
のウエハ搬送システム。 - 【請求項１５】 前記中間カセット装置を水平移動させ
てウエハを受け渡し、中間カセット装置が上下動するよ
うに構成したことを特徴とする請求項１４のウエハ搬送
システム。 - 【請求項１６】 前記アーム式ロボット装置から、上下
動して位置が変更できるアライナー装置に渡し、アライ
ナー装置または中間カセットが上下動してウエハを受け
取り載置するよう構成したことを特徴とする請求項１の
ウエハ搬送システム。 - 【請求項１７】 前記供給カセットからのウエハの搬送
途中において、前記アーム式ロボット装置が上下動し、
上下動して位置が変更できるアライナー装置に受け渡
し、アライナー装置または中間カセットが上下動してウ
エハを受け取り載置するよう構成したことを特徴とする
請求項１のウエハ搬送システム。 - 【請求項１８】 前記中間カセット装置の上段のウエハ
支持部のスロット段より順に、搬送載置されたウェハを
アライニングし、 同じウエハ支持部スロット段上に再載
置するように構成したことを特徴とする請求項１のウエ
ハ搬送システム。 - 【請求項１９】 前記ウェハのオリフラを検出するセン
サーを、前記アライナー装置に斜めに設置したよう構成
したことを特徴とする請求項１のウエハ搬送システム。 - 【請求項２０】 未処理のウエハを真空容器から真空処
理室内へ自動で搬入すると共に、処理済のウエハを真空
処理室内から真空容器へ自動で搬出するよう構成したこ
とを特徴とする請求項１のウエハ搬送システム。 - 【請求項２１】 主カセット装置は、真空処理室への連
続作業用密閉箱に収納されるよう構成したことを特徴と
する請求項２０のウエハ搬送システム。 - 【請求項２２】 前記供給収納カセット装置は、クリー
ン室への連続作業用密閉箱に収納されるよう構成したこ
とを特徴とする請求項１のウエハ搬送システム。 - 【請求項２３】 前記主カセット装置の保持部をアライ
ナー装置が進入できる構成とし、主カセット装置または
アライナー装置が上下動し、アライナー装置からウエハ
を受け取るよう構成したことを特徴とする請求項２１の
ウエハ搬送システム。 - 【請求項２４】 前記アーム式ロボット装置は、複数の
前記供給収納カセット間を水平移動自在に構成したこと
を特徴とする請求項１のウエハ搬送システム。 - 【請求項２５】 真空室内処理装置に備えられた真空カ
セット装置における複数段のウエハ保持棚との間で複数
のウエハを一括して受け渡しをするためのウエハ搬送装
置であって、真空カセット装置の側方にウエハロード用
のシャトル装置とウエハアンロード用のシャトル装置と
を配置し、各シャトル装置は、真空カセット装置の複数
段のウエハ保持棚に対応する複数のウエハ支持部を有す
るシャトルカセットを備え、各シャトルカセットは、カ
セット装置との間でウエハの受け渡しを行う受渡し位置
とそこから離れた待機位置との間を移動可能に構成され
ており、複数段のウエハ保持棚はそれぞれウエハをその
中央領域で保持し、複数のウエハ支持部はそれぞれウエ
ハをその直径方向の両側であって中央領域から外れた箇
所で支持したウエハ搬送システムにおいて、 シャトル装置への搬送経路中にアライナー装置を配設す
るとともに、前記中間カセット装置であるシャトル装置
に対して、アーム式ロボット装置に保持されたウエハを
アライナー装置に載せ替えすると共に、アライニングを
実施した後、前記アライナー装置から前記中間カセット
装置であるシャトル装置のウエハ支持部へと直接ウエハ
の受渡しを行うよう構成したことを特徴とするウエハ搬
送システム。 - 【請求項２６】 複数段のウエハ支持部を有する中間カ
セット装置と、ウエハ搬送を行うアーム式ロボット装置
と、ウェハのアライニングを行うアライナー装置と、ウ
エハの供給収納カセットとを有し、ウエハをアライニン
グした後にウエハ支持部にウエハを受け渡すようにした
ウエハ搬送方法において、 前記中間カセット装置に対して、供給収納カセットから
ウエハを前記アーム式ロボット装置により取り出して保
持し、 この保持されたされたウエハを、前記中間カセット装置
のウエハ支持部に載せ替えするとともに、 このウエハを前記アライナー装置に載せ換えてアライニ
ングを実施し、 アライニングを実施したウエハを、前記アライナー装置
から前記中間カセット装置のウエハ支持部へと直接受渡
しするようにしたことを特徴とするウエハ搬送方法。
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