JP2005022222A - 液滴飛行状態観測方法および液滴飛行状態観測装置 - Google Patents
液滴飛行状態観測方法および液滴飛行状態観測装置 Download PDFInfo
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Abstract
【課題】液滴吐出ヘッドのノズルから吐出されて飛行する液滴の飛行状態を、簡単な構成で、かつ正確に観測することができる液滴飛行状態観測方法および液滴飛行状態観測装置を提供すること。
【解決手段】本発明の液滴飛行状態観測装置1は、液滴吐出ヘッド100のノズルから吐出されて飛行する液滴200の飛行状態を観測する装置であって、液滴200の吐出時から第1ディレイ時間後に液滴200に第1の閃光を照射する第1の閃光照射手段2と、第1の閃光の照射時から第2ディレイ時間後に液滴200に第2の閃光を照射する第2の閃光照射手段3と、第1の閃光の照射時と、第2の閃光の照射時とを含む露光時間で液滴200の飛行領域400の電子画像を撮像するカメラ4と、カメラ4により撮像された電子画像を画像処理することにより、液滴200の飛行状態に関する情報を得る画像処理装置5とを備える。
【選択図】図1
【解決手段】本発明の液滴飛行状態観測装置1は、液滴吐出ヘッド100のノズルから吐出されて飛行する液滴200の飛行状態を観測する装置であって、液滴200の吐出時から第1ディレイ時間後に液滴200に第1の閃光を照射する第1の閃光照射手段2と、第1の閃光の照射時から第2ディレイ時間後に液滴200に第2の閃光を照射する第2の閃光照射手段3と、第1の閃光の照射時と、第2の閃光の照射時とを含む露光時間で液滴200の飛行領域400の電子画像を撮像するカメラ4と、カメラ4により撮像された電子画像を画像処理することにより、液滴200の飛行状態に関する情報を得る画像処理装置5とを備える。
【選択図】図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液滴吐出ヘッドのノズルから吐出されて飛行する液滴の飛行状態を観測する液滴飛行状態観測方法および液滴飛行状態観測装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、液滴吐出装置(インクジェット描画装置)を用いて、液晶表示装置、有機EL(Electro−Luminescence)装置、電子放出装置、PDP(Plasma Display
Panel)装置、電気泳動表示装置等を製造することが提案されている。
このような液滴吐出装置では、各液滴をワーク上の正確な位置に着弾させる必要があるので、液滴吐出装置の制御を行う場合、あるいは液滴吐出装置の開発・設計を行う場合などには、液滴吐出ヘッドのノズルから吐出されて飛行する液滴の飛行状態(飛行曲がり、飛行速度等)を観測する必要がある。
【0003】
従来、液滴の飛行速度を計測するに当たっては、レーザー光を液滴の飛行領域に照射し、ノズルから吐出された液滴がこのレーザー光を遮るまでの時間を検出することにより、飛行速度を算出している(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、上記従来の方法では、高価なレーザー装置を使用する必要があり、コスト高となるという問題がある。また、ノズル先端からレーザー光の位置までの正確な距離を把握していないと正確な液滴の飛行速度が得られないので、飛行速度の観測に手間と時間がかかるという問題もある。
【0004】
【特許文献1】
特開2003−94629号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、液滴吐出ヘッドのノズルから吐出されて飛行する液滴の飛行状態を、簡単な構成で、かつ正確に観測することができる液滴飛行状態観測方法および液滴飛行状態観測装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の液滴飛行状態観測方法は、液滴吐出ヘッドのノズルから吐出されて飛行する液滴の飛行状態を観測する液滴飛行状態観測方法であって、
前記液滴の吐出時から第1ディレイ時間後に第1の閃光照射手段により前記液滴に第1の閃光を照射し、
前記第1の閃光の照射時から第2ディレイ時間後に第2の閃光照射手段により前記液滴に第2の閃光を照射し、
前記第1の閃光の照射時と、前記第2の閃光の照射時とを含む露光時間で前記液滴の飛行領域の電子画像を撮像し、
前記電子画像を画像処理することにより、前記液滴の飛行状態に関する情報を得ることを特徴とする。
【0007】
これにより、液滴吐出ヘッドのノズルから吐出されて飛行する液滴の飛行状態を、簡単な構成で、かつ正確に観測することができる液滴飛行状態観測方法を提供することができる。また、この液滴飛行状態観測方法によれば、液滴の飛行状態をインラインで(リアルタイムに)観測することができる。そして、この液滴飛行状態観測方法による観測データは、液滴吐出装置を用いて製品を量産する場合、液滴吐出ヘッドをクリーニングしたりメンテナンスしたりするタイミングを知るのに利用することができる。また、この観測データは、ヘッド駆動波形を開発する装置において、駆動波形の変更による液滴の飛行状態の変化を観測する場合にも利用することができ、効率的なヘッド駆動波形の開発を実現することができる。
【0008】
本発明の液滴飛行状態観測装置は、液滴吐出ヘッドのノズルから吐出されて飛行する液滴の飛行状態を観測する液滴飛行状態観測装置であって、
前記液滴の吐出時から第1ディレイ時間後に前記液滴に第1の閃光を照射する第1の閃光照射手段と、
前記第1の閃光の照射時から第2ディレイ時間後に前記液滴に第2の閃光を照射する第2の閃光照射手段と、
前記第1の閃光の照射時と、前記第2の閃光の照射時とを含む露光時間で前記液滴の飛行領域の電子画像を撮像するカメラと、
前記カメラにより撮像された電子画像を画像処理することにより、前記液滴の飛行状態に関する情報を得る画像処理手段とを備えることを特徴とする。
【0009】
これにより、液滴吐出ヘッドのノズルから吐出されて飛行する液滴の飛行状態を、簡単な構成で、かつ正確に観測することができる液滴飛行状態観測装置を提供することができる。また、この液滴飛行状態観測装置を液滴吐出装置と一体化することにより、液滴の飛行状態をインラインで(リアルタイムに)観測することができる。また、この液滴飛行状態観測装置による観測データは、液滴吐出装置を用いて製品を量産する場合、液滴吐出ヘッドをクリーニングしたりメンテナンスしたりするタイミングを知るのに利用することができる。さらに、この観測データは、ヘッド駆動波形を開発する装置において、駆動波形の変更による液滴の飛行状態の変化を観測する場合にも利用することができ、効率的なヘッド駆動波形の開発を実現することができる。
【0010】
本発明の液滴飛行状態観測装置では、前記第1ディレイ時間および前記第2ディレイ時間は、前記電子画像中に同一の液滴が2箇所に写るような時間であることが好ましい。
これにより、液滴の飛行状態をより正確に観測することができる。
本発明の液滴飛行状態観測装置では、前記画像処理手段は、前記液滴の飛行曲がりに関する情報を得ることが好ましい。
これにより、液滴の飛行曲がりを正確に観測することができる。
【0011】
本発明の液滴飛行状態観測装置では、前記画像処理手段は、前記液滴の飛行速度に関する情報を得ることが好ましい。
これにより、液滴の飛行速度を正確に観測することができる。
本発明の液滴飛行状態観測装置では、前記画像処理手段は、前記電子画像中の、前記第1の閃光の照射時における前記液滴の位置と、前記第2の閃光の照射時における液滴の位置とに基づいて、前記液滴の飛行状態に関する情報を得ることが好ましい。
これにより、液滴の飛行状態をより正確に観測することができる。
【0012】
本発明の液滴飛行状態観測装置では、前記液滴に対する前記第1の閃光の照射方向と、前記第2の閃光の照射方向とは、ほぼ同じになっていることが好ましい。
これにより、第1の閃光と第2の閃光とが同等の条件で液滴に照射され、電子画像中において液滴がより正確な位置に写るようにすることができるので、液滴の飛行状態をより正確に観測することができる。
【0013】
本発明の液滴飛行状態観測装置では、前記第1の閃光の光路の一部と、前記第2の閃光の光路の一部とを重ね合わせる光学素子をさらに備えることが好ましい。
これにより、第1の閃光と第2の閃光とが同等の条件で液滴に照射され、電子画像中において液滴がより正確な位置に写るようにすることができるので、液滴の飛行状態をより正確に観測することができる。
【0014】
本発明の液滴飛行状態観測装置では、前記第1の閃光照射手段および前記第2の閃光照射手段は、前記液滴の飛行領域を介して前記カメラと反対側から閃光を照射することが好ましい。
これにより、電子画像中において液滴がより明確に写るようにすることができるので、液滴の飛行状態をより正確に観測することができる。
【0015】
本発明の液滴飛行状態観測装置では、前記第1の閃光の照射タイミングと、前記第2の閃光の照射タイミングとを制御する制御手段をさらに備えることが好ましい。
これにより、第1の閃光の照射タイミングと、第2の閃光の照射タイミングとをそれぞれ自由に制御することができるので、液滴吐出ヘッドの駆動条件等に応じて、第1の閃光の照射タイミングと、第2の閃光の照射タイミングとをそれぞれ最適に制御することができる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の液滴飛行状態観測方法および液滴飛行状態観測装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
図1および図2は、それぞれ、本発明の液滴飛行状態観測装置の実施形態を示す側面図および平面図、図3は、図1および図2に示す液滴飛行状態観測装置におけるタイミングチャートを示す図、図4は、カメラにより撮像された電子画像を示す図、図5は、図4中の一点鎖線で囲まれた部分を拡大して示す図である。なお、便宜上、図1は、ブロック図も兼ねている。
【0017】
図1に示すように、液滴飛行状態観測装置1は、液滴吐出ヘッド100のノズル101から吐出されて飛行する液滴200の飛行状態を観測する装置である。この液滴飛行状態観測装置1は、ノズル101から吐出された液滴200に第1の閃光23を照射する第1の閃光照射手段2と、液滴200に第2の閃光33を照射する第2の閃光照射手段3と、液滴200の飛行領域400の電子画像を撮像するカメラ4と、カメラ4により撮像された電子画像を画像処理する画像処理装置(画像処理手段)5と、各部の作動を制御する制御装置(制御手段)6と、プリズム(光学素子)7と、外部記憶装置11と、ディスプレイ12とを備えている。
【0018】
図4に示すように、液滴吐出ヘッド100のノズル面(ノズルプレート)102には、複数のノズル101が一列(または二列以上)に並べて形成されている。各ノズル101には、これに連通する圧力室とこの圧力室内に充填された液体の圧力を変化させるアクチュエータ(いずれも図示せず)が設けられている。液滴吐出ヘッド100は、このアクチュエータを駆動することにより、圧力室内の液体をノズル101から液滴200として吐出する。液滴吐出ヘッド100が備えるアクチュエータは、特に限定されず、圧電アクチュエータで構成されていても、液体を加熱して気泡を生じさせる発熱体で構成されていてもよい。
【0019】
この液滴吐出ヘッド100は、ヘッド駆動装置(ヘッドドライバ)300により駆動される。ヘッド駆動装置300は、制御装置6の制御に基づき、所定のタイミング(駆動周波数)でヘッド駆動信号を生成する。液滴吐出ヘッド100は、ヘッド駆動装置300から入力されたヘッド駆動信号によりアクチュエータが作動し、液滴200を吐出する。
【0020】
液滴吐出ヘッド100が吐出する液体(分散液を含む)としては、特に限定されるものではなく、例えば、インク、カラーフィルタのフィルタ材料、有機EL装置におけるEL発光層を形成するための蛍光材料、PDP装置における蛍光体を形成するための蛍光材料、電気泳動表示装置における泳動体を形成する泳動体材料、基板の表面にバンクを形成するためのバンク材料、各種コーティング材料、電極を形成するための液状電極材料、2枚の基板間に微小なセルギャップを構成するためのスペーサを構成する粒子材料、金属配線を形成するための液状金属材料、マイクロレンズを形成するためのレンズ材料、レジスト材料、光拡散体を形成するための光拡散材料等が挙げられる。
【0021】
制御装置6は、第1の閃光照射手段2、第2の閃光照射手段3、カメラ4、画像処理装置5、外部記憶装置11、ディスプレイ12およびヘッド駆動装置300をそれぞれ制御する。この制御装置6は、CPU(Central Processing Unit)61と、記憶部(記憶手段)62とを有している。記憶部62は、CPU61に読み取り可能な記憶媒体(記録媒体)を有しており、この記憶媒体は、磁気的、光学的記録媒体、もしくは半導体メモリ等で構成されている。
【0022】
ディスプレイ12は、例えばCRT(Cathode−Ray Tube)、液晶ディスプレイなどで構成されており、例えば操作画面、データ入力画面、カメラ4により撮像された電子画像等を表示することができる。
外部記憶装置11は、例えばFDD(Floppy Disk Drive(「Floppy」は登録商標))などで構成されている。この外部記憶装置11は、液滴200の飛行状態の観測結果等を出力する出力手段として機能する。
【0023】
図1に示すように、第1の閃光照射手段2は、第1のストロボ発光部21と、この第1のストロボ発光部21を発光させる発光信号を生成するパルス発生器22とを有している。パルス発生器22は、制御装置6の制御に基づき、所定のタイミングで発光信号を生成して第1のストロボ発光部21に通電し、第1のストロボ発光部21を発光させる。
【0024】
図2に示すように、第1のストロボ発光部21と、液滴200の飛行領域400との間には、プリズム7が設置されている。第1のストロボ発光部21から放たれた第1の閃光23は、プリズム7を透過して直進し、液滴200に照射される。この場合、第1の閃光23は、液滴吐出ヘッド100におけるノズル101の配列方向と直交する方向(図4の紙面に垂直な方向)から液滴200に照射される。
【0025】
図1に示すように、第2の閃光照射手段3は、第2のストロボ発光部31と、この第2のストロボ発光部31を発光させる発光信号を生成するパルス発生器32とを有している。パルス発生器32は、制御装置6の制御に基づき、所定のタイミングで発光信号を生成して第2のストロボ発光部31に通電し、第2のストロボ発光部31を発光させる。
【0026】
図2に示すように、第2のストロボ発光部31は、第1のストロボ発光部21に対し向きが90°異なる姿勢で設置されている。そして、第2のストロボ発光部31から放たれた第2の閃光33は、プリズム7で反射して90°屈曲し、第1の閃光23と同方向から液滴200に照射される。すなわち、プリズム7は、第1の閃光23の光路の一部(プリズム7以降)と、第2の閃光33の光路の一部(プリズム7以降)とを重ね合わせる機能を発揮する。なお、プリズム7は、同様の機能を発揮するものであれば、例えばハーフミラー等の他の光学素子で構成されていてもよい。
【0027】
カメラ4は、例えばCCD(Charge Coupled Device)等の固体撮像素子と、カメラレンズとを有しており、飛行領域400を飛行する液滴200の電子画像を撮像する。図示の構成では、カメラ4は、液滴200の飛行領域400を介してプリズム7の反対側に設置されている。すなわち、第1の閃光23および第2の閃光33は、飛行領域400を介してカメラ4と反対側から照射される。
【0028】
制御装置6は、図3に示すようなタイミングチャートで、第1の閃光照射手段2、第2の閃光照射手段3およびカメラ4を制御する。まず、制御装置6は、ヘッド駆動装置300を制御してヘッド駆動信号を発生させ、液滴吐出ヘッド100の各ノズル101から液滴200を吐出させる。そして、制御装置6は、パルス発生器22を制御して、ヘッド駆動信号の発生時(すなわち液滴200の吐出時)から所定の第1ディレイ時間Td1(例えば200μ秒)後に第1のストロボ発光信号を発生させ、第1のストロボ発光部21を発光させて第1の閃光23を液滴200に照射する。さらに、制御装置6は、パルス発生器32を制御して、第1のストロボ発光信号の発生時(すなわち第1の閃光23の照射時)から所定の第2ディレイ時間Td2(例えば100μ秒)後に第2のストロボ発光信号を発生させ、第2のストロボ発光部31を発光させて第2の閃光33を液滴200に照射する。また、制御装置6は、カメラ4を制御して、第1の閃光23の照射時と、第2の閃光33の照射時とを含む露光時間(電荷蓄積時間)で、液滴200の飛行領域400の電子画像を撮像する。
【0029】
上記のような制御によって撮像された電子画像には、図4および図5に示すように、各ノズル101から吐出された同一の液滴200がそれぞれ2箇所に写っている。すなわち、この電子画像中の上側の液滴200は、第1の閃光23の照射時における液滴200が写ったものであり、下側の液滴200は、第2の閃光33の照射時における同じ液滴200が写ったものである。
【0030】
このように、同一の液滴200が2箇所に写るようにするためには、第2ディレイ時間Td2を極めて短い時間に設定する必要があるが、本発明では、第1の閃光照射手段2と第2の閃光照射手段3との2つを設けたことにより、第2ディレイ時間Td2を自由に設定することができるので、第2ディレイ時間Td2を同一の液滴200が2箇所に写るような時間に設定することが可能となっている。
【0031】
これに対し、本発明と異なり、閃光照射手段が1つだけの場合には、同一の液滴200が2箇所に写るような短時間の間隔で閃光を2回発生させることはできない(ストロボのチャージ時間をそれほど短くできないため)ので、上記のような電子画像を撮像することは不可能である。
なお、図4中には、液滴吐出ヘッド100のノズル面102が入っているが、カメラ4で撮像する電子画像には、ノズル面102が写らなくてもよい。
【0032】
また、図3に示すタイムチャートでは、各ノズル101につき、1滴の液滴200のみを撮像しているが、例えばカメラ4での撮像に際して光量が不足しているような場合には、液滴吐出ヘッド100を複数回駆動して液滴200を複数回吐出するとともに、前記と同様に第1ディレイ時間Td1および第2ディレイ時間Td2のタイミングで第1の閃光23および第2の閃光33を各回の液滴200に照射し、これら複数回に渡って液滴200が吐出された時間を含む露光時間でカメラ4の撮像を行ってもよい。これにより、電子画像には、各回に吐出された複数の液滴200が同じ位置に重なって写るので、光量不足を解消することができる。
【0033】
上記のようにして撮像された電子画像は、画像処理装置5の記憶部51に取り込まれる。画像処理装置5は、次に説明するように、この電子画像を画像処理することにより、液滴200の飛行状態に関する情報を得るように構成されている。
本実施形態では、画像処理装置5は、液滴200の飛行状態に関する情報として、液滴200の飛行速度を算出する。この場合、画像処理装置5は、まず、2箇所に写った同一の液滴200間の距離(ノズル面102に垂直な方向の距離)を計測する。この距離は、第2ディレイ時間Td2の間に液滴200が移動した距離に相当する。よって、画像処理装置5は、この移動距離を第2ディレイ時間Td2で除算することにより、液滴200の飛行速度を得ることができる。例えば、この移動距離が300μm、第2ディレイ時間Td2が100μ秒であった場合、液滴200の飛行速度は、3m/秒となる。
【0034】
さらに、本実施形態では、画像処理装置5は、液滴200の飛行状態に関する情報として、液滴200の飛行曲がりに関する情報を得る。この場合、画像処理装置5は、2箇所に写った同一の液滴200うちの一方の中心を通ってノズル面102に垂直な直線と、他方の液滴200の中心を通ってノズル面102に垂直な直線との距離Wを計測する。この距離Wにより、液滴200の飛行曲がりの程度を確認することができる。なお、液滴200の飛行曲がりに関する情報としては、距離Wに限らず、例えば、2箇所に写った同一の液滴200の中心同士を結ぶ直線の傾斜角度を算出するようにしたり、液滴200が1mm飛行したときの左右の曲がり量に換算した数値を算出したりしてもよい。
【0035】
また、画像処理装置5は、液滴200の飛行速度に関する情報と、飛行曲がりに関する情報との一方のみを得るように構成されたものでもよい。
このように、本発明では、電子画像中に2箇所に写った同一の液滴200の位置に基づいて液滴200の飛行状態に関する情報を得ることができ、これにより、液滴200の飛行状態をより正確に観測することができる。
【0036】
なお、画像処理装置5は、電子画像中の目的とする場所に液滴200が写っていない場合には、ノズル101の目詰まり等の原因によって当該ノズル101から液滴200が吐出されなかったものと判断する。
液滴吐出ヘッド100の全ノズル101について液滴200の飛行状態を観測するに当たっては、図示しない移動機構によって液滴吐出ヘッド100を図2中の上下方向に移動して複数回繰り返し観測を行う。
【0037】
画像処理装置5は、上述のようにして得られた観測データを制御装置6へ出力し、制御装置6は、この観測データを記憶部62に記憶するとともに、所定の形式のファイルにまとめて、外部記憶装置11に出力する。なお、観測データの出力手段は、外部記憶装置11に限定されず、ディスプレイ12に表示(出力)したり、プリンタに印刷して出力してもよい。また、ネットワークを接続して他のPCに送ることも効率的な出力方法となる。
【0038】
図6は、本発明の液滴飛行状態観測装置の他の実施形態を示す平面図である。以下、同図に基づいて本発明の液滴飛行状態観測装置の他の実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。
図6に示す液滴飛行状態観測装置1’は、第1の閃光照射手段2’と、第2の閃光照射手段3’の構成が異なること以外は、前述した実施形態と同様である。本実施形態では、第1の閃光照射手段2’は、第1の高輝度LED(Light−Emitting Diode)24と、この第1の高輝度LED24が放つ光を集光する集光レンズ25とを有している。同様に、第2の閃光照射手段3’は、第2の高輝度LED34と、この第2の高輝度LED34が放つ光を集光する集光レンズ35とを有している。
【0039】
このように、本実施形態では、第1の閃光照射手段2’および第2の閃光照射手段3’の光源に高輝度LEDを用いているので、消費電力を少なくすることができ、また、寸法も小さくでき、小型化が図れる。また、集光レンズ25、35を設けたことにより、照射する閃光をより明るくすることができ、より正確な液滴200の飛行状態の観測に寄与する。なお、集光レンズ25、35は、なくてもよい。
【0040】
以上、本発明の液滴飛行状態観測方法および液滴飛行状態観測装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。液滴飛行状態観測装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
また、本発明では、閃光照射手段を3つ以上設け、電子画像中に同一の液滴が3箇所以上に写るようにし、それらの液滴の位置からその飛行状態を観測するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の液滴飛行状態観測装置の実施形態を示す側面図。
【図2】本発明の液滴飛行状態観測装置の実施形態を示す平面図。
【図3】図1および図2に示す液滴飛行状態観測装置におけるタイミングチャートを示す図。
【図4】カメラにより撮像された電子画像を示す図。
【図5】図4中の一点鎖線で囲まれた部分を拡大して示す図。
【図6】本発明の液滴飛行状態観測装置の他の実施形態を示す平面図。
【符号の説明】
1、1’……液滴飛行状態観測装置 2……第1の閃光照射手段 21……第1のストロボ発光部 22……パルス発生器 23……第1の閃光 24……第1の高輝度LED 25……集光レンズ 3……第2の閃光照射手段 31……第2のストロボ発光部 32……パルス発生器 33……第2の閃光 34……第2の高輝度LED 35……集光レンズ 4……カメラ 5……画像処理装置51……記憶部 6……制御装置 61……CPU 62……記憶部 7……プリズム 11……外部記憶装置 12……ディスプレイ 100……液滴吐出ヘッド 101……ノズル 102……ノズル面 200……液滴 300……ヘッド駆動装置 400……飛行領域
【発明の属する技術分野】
本発明は、液滴吐出ヘッドのノズルから吐出されて飛行する液滴の飛行状態を観測する液滴飛行状態観測方法および液滴飛行状態観測装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、液滴吐出装置(インクジェット描画装置)を用いて、液晶表示装置、有機EL(Electro−Luminescence)装置、電子放出装置、PDP(Plasma Display
Panel)装置、電気泳動表示装置等を製造することが提案されている。
このような液滴吐出装置では、各液滴をワーク上の正確な位置に着弾させる必要があるので、液滴吐出装置の制御を行う場合、あるいは液滴吐出装置の開発・設計を行う場合などには、液滴吐出ヘッドのノズルから吐出されて飛行する液滴の飛行状態(飛行曲がり、飛行速度等)を観測する必要がある。
【0003】
従来、液滴の飛行速度を計測するに当たっては、レーザー光を液滴の飛行領域に照射し、ノズルから吐出された液滴がこのレーザー光を遮るまでの時間を検出することにより、飛行速度を算出している(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、上記従来の方法では、高価なレーザー装置を使用する必要があり、コスト高となるという問題がある。また、ノズル先端からレーザー光の位置までの正確な距離を把握していないと正確な液滴の飛行速度が得られないので、飛行速度の観測に手間と時間がかかるという問題もある。
【0004】
【特許文献1】
特開2003−94629号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、液滴吐出ヘッドのノズルから吐出されて飛行する液滴の飛行状態を、簡単な構成で、かつ正確に観測することができる液滴飛行状態観測方法および液滴飛行状態観測装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の液滴飛行状態観測方法は、液滴吐出ヘッドのノズルから吐出されて飛行する液滴の飛行状態を観測する液滴飛行状態観測方法であって、
前記液滴の吐出時から第1ディレイ時間後に第1の閃光照射手段により前記液滴に第1の閃光を照射し、
前記第1の閃光の照射時から第2ディレイ時間後に第2の閃光照射手段により前記液滴に第2の閃光を照射し、
前記第1の閃光の照射時と、前記第2の閃光の照射時とを含む露光時間で前記液滴の飛行領域の電子画像を撮像し、
前記電子画像を画像処理することにより、前記液滴の飛行状態に関する情報を得ることを特徴とする。
【0007】
これにより、液滴吐出ヘッドのノズルから吐出されて飛行する液滴の飛行状態を、簡単な構成で、かつ正確に観測することができる液滴飛行状態観測方法を提供することができる。また、この液滴飛行状態観測方法によれば、液滴の飛行状態をインラインで(リアルタイムに)観測することができる。そして、この液滴飛行状態観測方法による観測データは、液滴吐出装置を用いて製品を量産する場合、液滴吐出ヘッドをクリーニングしたりメンテナンスしたりするタイミングを知るのに利用することができる。また、この観測データは、ヘッド駆動波形を開発する装置において、駆動波形の変更による液滴の飛行状態の変化を観測する場合にも利用することができ、効率的なヘッド駆動波形の開発を実現することができる。
【0008】
本発明の液滴飛行状態観測装置は、液滴吐出ヘッドのノズルから吐出されて飛行する液滴の飛行状態を観測する液滴飛行状態観測装置であって、
前記液滴の吐出時から第1ディレイ時間後に前記液滴に第1の閃光を照射する第1の閃光照射手段と、
前記第1の閃光の照射時から第2ディレイ時間後に前記液滴に第2の閃光を照射する第2の閃光照射手段と、
前記第1の閃光の照射時と、前記第2の閃光の照射時とを含む露光時間で前記液滴の飛行領域の電子画像を撮像するカメラと、
前記カメラにより撮像された電子画像を画像処理することにより、前記液滴の飛行状態に関する情報を得る画像処理手段とを備えることを特徴とする。
【0009】
これにより、液滴吐出ヘッドのノズルから吐出されて飛行する液滴の飛行状態を、簡単な構成で、かつ正確に観測することができる液滴飛行状態観測装置を提供することができる。また、この液滴飛行状態観測装置を液滴吐出装置と一体化することにより、液滴の飛行状態をインラインで(リアルタイムに)観測することができる。また、この液滴飛行状態観測装置による観測データは、液滴吐出装置を用いて製品を量産する場合、液滴吐出ヘッドをクリーニングしたりメンテナンスしたりするタイミングを知るのに利用することができる。さらに、この観測データは、ヘッド駆動波形を開発する装置において、駆動波形の変更による液滴の飛行状態の変化を観測する場合にも利用することができ、効率的なヘッド駆動波形の開発を実現することができる。
【0010】
本発明の液滴飛行状態観測装置では、前記第1ディレイ時間および前記第2ディレイ時間は、前記電子画像中に同一の液滴が2箇所に写るような時間であることが好ましい。
これにより、液滴の飛行状態をより正確に観測することができる。
本発明の液滴飛行状態観測装置では、前記画像処理手段は、前記液滴の飛行曲がりに関する情報を得ることが好ましい。
これにより、液滴の飛行曲がりを正確に観測することができる。
【0011】
本発明の液滴飛行状態観測装置では、前記画像処理手段は、前記液滴の飛行速度に関する情報を得ることが好ましい。
これにより、液滴の飛行速度を正確に観測することができる。
本発明の液滴飛行状態観測装置では、前記画像処理手段は、前記電子画像中の、前記第1の閃光の照射時における前記液滴の位置と、前記第2の閃光の照射時における液滴の位置とに基づいて、前記液滴の飛行状態に関する情報を得ることが好ましい。
これにより、液滴の飛行状態をより正確に観測することができる。
【0012】
本発明の液滴飛行状態観測装置では、前記液滴に対する前記第1の閃光の照射方向と、前記第2の閃光の照射方向とは、ほぼ同じになっていることが好ましい。
これにより、第1の閃光と第2の閃光とが同等の条件で液滴に照射され、電子画像中において液滴がより正確な位置に写るようにすることができるので、液滴の飛行状態をより正確に観測することができる。
【0013】
本発明の液滴飛行状態観測装置では、前記第1の閃光の光路の一部と、前記第2の閃光の光路の一部とを重ね合わせる光学素子をさらに備えることが好ましい。
これにより、第1の閃光と第2の閃光とが同等の条件で液滴に照射され、電子画像中において液滴がより正確な位置に写るようにすることができるので、液滴の飛行状態をより正確に観測することができる。
【0014】
本発明の液滴飛行状態観測装置では、前記第1の閃光照射手段および前記第2の閃光照射手段は、前記液滴の飛行領域を介して前記カメラと反対側から閃光を照射することが好ましい。
これにより、電子画像中において液滴がより明確に写るようにすることができるので、液滴の飛行状態をより正確に観測することができる。
【0015】
本発明の液滴飛行状態観測装置では、前記第1の閃光の照射タイミングと、前記第2の閃光の照射タイミングとを制御する制御手段をさらに備えることが好ましい。
これにより、第1の閃光の照射タイミングと、第2の閃光の照射タイミングとをそれぞれ自由に制御することができるので、液滴吐出ヘッドの駆動条件等に応じて、第1の閃光の照射タイミングと、第2の閃光の照射タイミングとをそれぞれ最適に制御することができる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の液滴飛行状態観測方法および液滴飛行状態観測装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
図1および図2は、それぞれ、本発明の液滴飛行状態観測装置の実施形態を示す側面図および平面図、図3は、図1および図2に示す液滴飛行状態観測装置におけるタイミングチャートを示す図、図4は、カメラにより撮像された電子画像を示す図、図5は、図4中の一点鎖線で囲まれた部分を拡大して示す図である。なお、便宜上、図1は、ブロック図も兼ねている。
【0017】
図1に示すように、液滴飛行状態観測装置1は、液滴吐出ヘッド100のノズル101から吐出されて飛行する液滴200の飛行状態を観測する装置である。この液滴飛行状態観測装置1は、ノズル101から吐出された液滴200に第1の閃光23を照射する第1の閃光照射手段2と、液滴200に第2の閃光33を照射する第2の閃光照射手段3と、液滴200の飛行領域400の電子画像を撮像するカメラ4と、カメラ4により撮像された電子画像を画像処理する画像処理装置(画像処理手段)5と、各部の作動を制御する制御装置(制御手段)6と、プリズム(光学素子)7と、外部記憶装置11と、ディスプレイ12とを備えている。
【0018】
図4に示すように、液滴吐出ヘッド100のノズル面(ノズルプレート)102には、複数のノズル101が一列(または二列以上)に並べて形成されている。各ノズル101には、これに連通する圧力室とこの圧力室内に充填された液体の圧力を変化させるアクチュエータ(いずれも図示せず)が設けられている。液滴吐出ヘッド100は、このアクチュエータを駆動することにより、圧力室内の液体をノズル101から液滴200として吐出する。液滴吐出ヘッド100が備えるアクチュエータは、特に限定されず、圧電アクチュエータで構成されていても、液体を加熱して気泡を生じさせる発熱体で構成されていてもよい。
【0019】
この液滴吐出ヘッド100は、ヘッド駆動装置(ヘッドドライバ)300により駆動される。ヘッド駆動装置300は、制御装置6の制御に基づき、所定のタイミング(駆動周波数)でヘッド駆動信号を生成する。液滴吐出ヘッド100は、ヘッド駆動装置300から入力されたヘッド駆動信号によりアクチュエータが作動し、液滴200を吐出する。
【0020】
液滴吐出ヘッド100が吐出する液体(分散液を含む)としては、特に限定されるものではなく、例えば、インク、カラーフィルタのフィルタ材料、有機EL装置におけるEL発光層を形成するための蛍光材料、PDP装置における蛍光体を形成するための蛍光材料、電気泳動表示装置における泳動体を形成する泳動体材料、基板の表面にバンクを形成するためのバンク材料、各種コーティング材料、電極を形成するための液状電極材料、2枚の基板間に微小なセルギャップを構成するためのスペーサを構成する粒子材料、金属配線を形成するための液状金属材料、マイクロレンズを形成するためのレンズ材料、レジスト材料、光拡散体を形成するための光拡散材料等が挙げられる。
【0021】
制御装置6は、第1の閃光照射手段2、第2の閃光照射手段3、カメラ4、画像処理装置5、外部記憶装置11、ディスプレイ12およびヘッド駆動装置300をそれぞれ制御する。この制御装置6は、CPU(Central Processing Unit)61と、記憶部(記憶手段)62とを有している。記憶部62は、CPU61に読み取り可能な記憶媒体(記録媒体)を有しており、この記憶媒体は、磁気的、光学的記録媒体、もしくは半導体メモリ等で構成されている。
【0022】
ディスプレイ12は、例えばCRT(Cathode−Ray Tube)、液晶ディスプレイなどで構成されており、例えば操作画面、データ入力画面、カメラ4により撮像された電子画像等を表示することができる。
外部記憶装置11は、例えばFDD(Floppy Disk Drive(「Floppy」は登録商標))などで構成されている。この外部記憶装置11は、液滴200の飛行状態の観測結果等を出力する出力手段として機能する。
【0023】
図1に示すように、第1の閃光照射手段2は、第1のストロボ発光部21と、この第1のストロボ発光部21を発光させる発光信号を生成するパルス発生器22とを有している。パルス発生器22は、制御装置6の制御に基づき、所定のタイミングで発光信号を生成して第1のストロボ発光部21に通電し、第1のストロボ発光部21を発光させる。
【0024】
図2に示すように、第1のストロボ発光部21と、液滴200の飛行領域400との間には、プリズム7が設置されている。第1のストロボ発光部21から放たれた第1の閃光23は、プリズム7を透過して直進し、液滴200に照射される。この場合、第1の閃光23は、液滴吐出ヘッド100におけるノズル101の配列方向と直交する方向(図4の紙面に垂直な方向)から液滴200に照射される。
【0025】
図1に示すように、第2の閃光照射手段3は、第2のストロボ発光部31と、この第2のストロボ発光部31を発光させる発光信号を生成するパルス発生器32とを有している。パルス発生器32は、制御装置6の制御に基づき、所定のタイミングで発光信号を生成して第2のストロボ発光部31に通電し、第2のストロボ発光部31を発光させる。
【0026】
図2に示すように、第2のストロボ発光部31は、第1のストロボ発光部21に対し向きが90°異なる姿勢で設置されている。そして、第2のストロボ発光部31から放たれた第2の閃光33は、プリズム7で反射して90°屈曲し、第1の閃光23と同方向から液滴200に照射される。すなわち、プリズム7は、第1の閃光23の光路の一部(プリズム7以降)と、第2の閃光33の光路の一部(プリズム7以降)とを重ね合わせる機能を発揮する。なお、プリズム7は、同様の機能を発揮するものであれば、例えばハーフミラー等の他の光学素子で構成されていてもよい。
【0027】
カメラ4は、例えばCCD(Charge Coupled Device)等の固体撮像素子と、カメラレンズとを有しており、飛行領域400を飛行する液滴200の電子画像を撮像する。図示の構成では、カメラ4は、液滴200の飛行領域400を介してプリズム7の反対側に設置されている。すなわち、第1の閃光23および第2の閃光33は、飛行領域400を介してカメラ4と反対側から照射される。
【0028】
制御装置6は、図3に示すようなタイミングチャートで、第1の閃光照射手段2、第2の閃光照射手段3およびカメラ4を制御する。まず、制御装置6は、ヘッド駆動装置300を制御してヘッド駆動信号を発生させ、液滴吐出ヘッド100の各ノズル101から液滴200を吐出させる。そして、制御装置6は、パルス発生器22を制御して、ヘッド駆動信号の発生時(すなわち液滴200の吐出時)から所定の第1ディレイ時間Td1(例えば200μ秒)後に第1のストロボ発光信号を発生させ、第1のストロボ発光部21を発光させて第1の閃光23を液滴200に照射する。さらに、制御装置6は、パルス発生器32を制御して、第1のストロボ発光信号の発生時(すなわち第1の閃光23の照射時)から所定の第2ディレイ時間Td2(例えば100μ秒)後に第2のストロボ発光信号を発生させ、第2のストロボ発光部31を発光させて第2の閃光33を液滴200に照射する。また、制御装置6は、カメラ4を制御して、第1の閃光23の照射時と、第2の閃光33の照射時とを含む露光時間(電荷蓄積時間)で、液滴200の飛行領域400の電子画像を撮像する。
【0029】
上記のような制御によって撮像された電子画像には、図4および図5に示すように、各ノズル101から吐出された同一の液滴200がそれぞれ2箇所に写っている。すなわち、この電子画像中の上側の液滴200は、第1の閃光23の照射時における液滴200が写ったものであり、下側の液滴200は、第2の閃光33の照射時における同じ液滴200が写ったものである。
【0030】
このように、同一の液滴200が2箇所に写るようにするためには、第2ディレイ時間Td2を極めて短い時間に設定する必要があるが、本発明では、第1の閃光照射手段2と第2の閃光照射手段3との2つを設けたことにより、第2ディレイ時間Td2を自由に設定することができるので、第2ディレイ時間Td2を同一の液滴200が2箇所に写るような時間に設定することが可能となっている。
【0031】
これに対し、本発明と異なり、閃光照射手段が1つだけの場合には、同一の液滴200が2箇所に写るような短時間の間隔で閃光を2回発生させることはできない(ストロボのチャージ時間をそれほど短くできないため)ので、上記のような電子画像を撮像することは不可能である。
なお、図4中には、液滴吐出ヘッド100のノズル面102が入っているが、カメラ4で撮像する電子画像には、ノズル面102が写らなくてもよい。
【0032】
また、図3に示すタイムチャートでは、各ノズル101につき、1滴の液滴200のみを撮像しているが、例えばカメラ4での撮像に際して光量が不足しているような場合には、液滴吐出ヘッド100を複数回駆動して液滴200を複数回吐出するとともに、前記と同様に第1ディレイ時間Td1および第2ディレイ時間Td2のタイミングで第1の閃光23および第2の閃光33を各回の液滴200に照射し、これら複数回に渡って液滴200が吐出された時間を含む露光時間でカメラ4の撮像を行ってもよい。これにより、電子画像には、各回に吐出された複数の液滴200が同じ位置に重なって写るので、光量不足を解消することができる。
【0033】
上記のようにして撮像された電子画像は、画像処理装置5の記憶部51に取り込まれる。画像処理装置5は、次に説明するように、この電子画像を画像処理することにより、液滴200の飛行状態に関する情報を得るように構成されている。
本実施形態では、画像処理装置5は、液滴200の飛行状態に関する情報として、液滴200の飛行速度を算出する。この場合、画像処理装置5は、まず、2箇所に写った同一の液滴200間の距離(ノズル面102に垂直な方向の距離)を計測する。この距離は、第2ディレイ時間Td2の間に液滴200が移動した距離に相当する。よって、画像処理装置5は、この移動距離を第2ディレイ時間Td2で除算することにより、液滴200の飛行速度を得ることができる。例えば、この移動距離が300μm、第2ディレイ時間Td2が100μ秒であった場合、液滴200の飛行速度は、3m/秒となる。
【0034】
さらに、本実施形態では、画像処理装置5は、液滴200の飛行状態に関する情報として、液滴200の飛行曲がりに関する情報を得る。この場合、画像処理装置5は、2箇所に写った同一の液滴200うちの一方の中心を通ってノズル面102に垂直な直線と、他方の液滴200の中心を通ってノズル面102に垂直な直線との距離Wを計測する。この距離Wにより、液滴200の飛行曲がりの程度を確認することができる。なお、液滴200の飛行曲がりに関する情報としては、距離Wに限らず、例えば、2箇所に写った同一の液滴200の中心同士を結ぶ直線の傾斜角度を算出するようにしたり、液滴200が1mm飛行したときの左右の曲がり量に換算した数値を算出したりしてもよい。
【0035】
また、画像処理装置5は、液滴200の飛行速度に関する情報と、飛行曲がりに関する情報との一方のみを得るように構成されたものでもよい。
このように、本発明では、電子画像中に2箇所に写った同一の液滴200の位置に基づいて液滴200の飛行状態に関する情報を得ることができ、これにより、液滴200の飛行状態をより正確に観測することができる。
【0036】
なお、画像処理装置5は、電子画像中の目的とする場所に液滴200が写っていない場合には、ノズル101の目詰まり等の原因によって当該ノズル101から液滴200が吐出されなかったものと判断する。
液滴吐出ヘッド100の全ノズル101について液滴200の飛行状態を観測するに当たっては、図示しない移動機構によって液滴吐出ヘッド100を図2中の上下方向に移動して複数回繰り返し観測を行う。
【0037】
画像処理装置5は、上述のようにして得られた観測データを制御装置6へ出力し、制御装置6は、この観測データを記憶部62に記憶するとともに、所定の形式のファイルにまとめて、外部記憶装置11に出力する。なお、観測データの出力手段は、外部記憶装置11に限定されず、ディスプレイ12に表示(出力)したり、プリンタに印刷して出力してもよい。また、ネットワークを接続して他のPCに送ることも効率的な出力方法となる。
【0038】
図6は、本発明の液滴飛行状態観測装置の他の実施形態を示す平面図である。以下、同図に基づいて本発明の液滴飛行状態観測装置の他の実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。
図6に示す液滴飛行状態観測装置1’は、第1の閃光照射手段2’と、第2の閃光照射手段3’の構成が異なること以外は、前述した実施形態と同様である。本実施形態では、第1の閃光照射手段2’は、第1の高輝度LED(Light−Emitting Diode)24と、この第1の高輝度LED24が放つ光を集光する集光レンズ25とを有している。同様に、第2の閃光照射手段3’は、第2の高輝度LED34と、この第2の高輝度LED34が放つ光を集光する集光レンズ35とを有している。
【0039】
このように、本実施形態では、第1の閃光照射手段2’および第2の閃光照射手段3’の光源に高輝度LEDを用いているので、消費電力を少なくすることができ、また、寸法も小さくでき、小型化が図れる。また、集光レンズ25、35を設けたことにより、照射する閃光をより明るくすることができ、より正確な液滴200の飛行状態の観測に寄与する。なお、集光レンズ25、35は、なくてもよい。
【0040】
以上、本発明の液滴飛行状態観測方法および液滴飛行状態観測装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。液滴飛行状態観測装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
また、本発明では、閃光照射手段を3つ以上設け、電子画像中に同一の液滴が3箇所以上に写るようにし、それらの液滴の位置からその飛行状態を観測するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の液滴飛行状態観測装置の実施形態を示す側面図。
【図2】本発明の液滴飛行状態観測装置の実施形態を示す平面図。
【図3】図1および図2に示す液滴飛行状態観測装置におけるタイミングチャートを示す図。
【図4】カメラにより撮像された電子画像を示す図。
【図5】図4中の一点鎖線で囲まれた部分を拡大して示す図。
【図6】本発明の液滴飛行状態観測装置の他の実施形態を示す平面図。
【符号の説明】
1、1’……液滴飛行状態観測装置 2……第1の閃光照射手段 21……第1のストロボ発光部 22……パルス発生器 23……第1の閃光 24……第1の高輝度LED 25……集光レンズ 3……第2の閃光照射手段 31……第2のストロボ発光部 32……パルス発生器 33……第2の閃光 34……第2の高輝度LED 35……集光レンズ 4……カメラ 5……画像処理装置51……記憶部 6……制御装置 61……CPU 62……記憶部 7……プリズム 11……外部記憶装置 12……ディスプレイ 100……液滴吐出ヘッド 101……ノズル 102……ノズル面 200……液滴 300……ヘッド駆動装置 400……飛行領域
Claims (10)
- 液滴吐出ヘッドのノズルから吐出されて飛行する液滴の飛行状態を観測する液滴飛行状態観測方法であって、
前記液滴の吐出時から第1ディレイ時間後に第1の閃光照射手段により前記液滴に第1の閃光を照射し、
前記第1の閃光の照射時から第2ディレイ時間後に第2の閃光照射手段により前記液滴に第2の閃光を照射し、
前記第1の閃光の照射時と、前記第2の閃光の照射時とを含む露光時間で前記液滴の飛行領域の電子画像を撮像し、
前記電子画像を画像処理することにより、前記液滴の飛行状態に関する情報を得ることを特徴とする液滴飛行状態観測方法。 - 液滴吐出ヘッドのノズルから吐出されて飛行する液滴の飛行状態を観測する液滴飛行状態観測装置であって、
前記液滴の吐出時から第1ディレイ時間後に前記液滴に第1の閃光を照射する第1の閃光照射手段と、
前記第1の閃光の照射時から第2ディレイ時間後に前記液滴に第2の閃光を照射する第2の閃光照射手段と、
前記第1の閃光の照射時と、前記第2の閃光の照射時とを含む露光時間で前記液滴の飛行領域の電子画像を撮像するカメラと、
前記カメラにより撮像された電子画像を画像処理することにより、前記液滴の飛行状態に関する情報を得る画像処理手段とを備えることを特徴とする液滴飛行状態観測装置。 - 前記第1ディレイ時間および前記第2ディレイ時間は、前記電子画像中に同一の液滴が2箇所に写るような時間である請求項2に記載の液滴飛行状態観測装置。
- 前記画像処理手段は、前記液滴の飛行曲がりに関する情報を得る請求項2または3に記載の液滴飛行状態観測装置。
- 前記画像処理手段は、前記液滴の飛行速度に関する情報を得る請求項2ないし4のいずれかに記載の液滴飛行状態観測装置。
- 前記画像処理手段は、前記電子画像中の、前記第1の閃光の照射時における前記液滴の位置と、前記第2の閃光の照射時における液滴の位置とに基づいて、前記液滴の飛行状態に関する情報を得る請求項2ないし5のいずれかに記載の液滴飛行状態観測装置。
- 前記液滴に対する前記第1の閃光の照射方向と、前記第2の閃光の照射方向とは、ほぼ同じになっている請求項2ないし6のいずれかに記載の液滴飛行状態観測装置。
- 前記第1の閃光の光路の一部と、前記第2の閃光の光路の一部とを重ね合わせる光学素子をさらに備える請求項7に記載の液滴飛行状態観測装置。
- 前記第1の閃光照射手段および前記第2の閃光照射手段は、前記液滴の飛行領域を介して前記カメラと反対側から閃光を照射する請求項2ないし8のいずれかに記載の液滴飛行状態観測装置。
- 前記第1の閃光の照射タイミングと、前記第2の閃光の照射タイミングとを制御する制御手段をさらに備える請求項2ないし9のいずれかに記載の液滴飛行状態観測装置。
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