JP5268502B2 - 溶液の塗布装置及び塗布方法 - Google Patents
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Description
前記ノズルから溶液を液滴として吐出させる駆動手段と、
撮像手段を備え、当該撮像手段が撮像した前記ノズルから吐出された飛翔中の液滴の画像に基づいて前記ノズルから吐出された前記液滴の量を測定する測定装置と、を有し、前記ノズルから前記液滴を吐出させて基板に塗布する溶液の塗布装置において、
前記撮像手段の撮像光学系中に、前記液滴の吐出方向に沿う縦方向の倍率よりも該縦方向に直交する横方向の倍率を大きくする変倍レンズを備えるようにしたものである。
前記検査手段が求めた前記液滴の面積に基づいて前記駆動手段を制御し、前記ノズルからの吐出量を制御する制御手段をさらに有するようにしたものである。
前記ノズルから吐出された飛翔中の前記液滴を撮像手段により撮像する撮像工程と、
前記撮像手段が撮像した前記液滴の画像に基づいて前記ノズルから吐出された前記液滴の量を測定する測定工程と、を有し、
前記撮像工程においては、前記液滴の吐出方向に沿う縦方向の倍率よりも該縦方向に直交する横方向の倍率が大きくなるように撮像するようにしたものである。
前記測定工程にて求めた前記液滴の面積に基づいて前記ノズルからの吐出量を制御する制御工程をさらに有するようにしたものである。
図1と図2に示す本発明に係る塗布装置は直方体状のベース1を有する。このベース1の下面の所定位置にはそれぞれ脚2が設けられ、これら脚2によって上記ベース1は水平に支持されている。
(a)高速度カメラ47の撮像光学系中に液滴の吐出方向に沿う縦方向と、該縦方向に直交する横方向で倍率の異なる変倍レンズ48を配置し、横方向の倍率を縦方向の倍率に比して大きく、例えばN倍にした。従って、高速度カメラ47の撮像光学系中に等倍レンズ47Aを配置しただけのときに、塗布ヘッド22のノズル34から滴下される液滴の飛翔形状の縦横比がL対K(図8(A))であったものに比し、変倍レンズ48を配置したときには、塗布ヘッド22のノズル34から滴下される液滴の飛翔形状の縦横比がL対N×K(図8(B))になる。即ち、高速度カメラ47の視野範囲Aにおいて撮像された液滴の画像は、縦寸法L、横寸法N×Kの如くの広幅状になる。従って、高速度カメラ47の視野範囲Aの総画素数が限定されている中で、視野範囲Aの縦方向で、液滴の長い画像の撮像に多数の画素を用いると同時に、視野範囲Aの横方向でも、液滴の画像の幅が広くなった分だけ多数の画素を用いるものになる。よって、液滴の縦横全体の面積を算出して検査するに際し、視野範囲Aの横方向に設けられる画素の有効利用率が高くなり、分解能が向上し、検査精度を上げることができる。
34 ノズル
35 圧電素子(駆動手段)
47 高速度カメラ(撮像手段)
48 変倍レンズ
55 画像処理装置(検査手段)
Claims (6)
- ノズルを備えた塗布ヘッドと、
前記ノズルから溶液を液滴として吐出させる駆動手段と、
撮像手段を備え、当該撮像手段が撮像した前記ノズルから吐出された飛翔中の液滴の画像に基づいて前記ノズルから吐出された前記液滴の量を測定する測定装置と、を有し、前記ノズルから前記液滴を吐出させて基板に塗布する溶液の塗布装置において、
前記撮像手段の撮像光学系中に、前記液滴の吐出方向に沿う縦方向の倍率よりも該縦方向に直交する横方向の倍率を大きくする変倍レンズを備えることを特徴とする溶液の塗布装置。 - 前記測定装置は、前記撮像手段が撮像した液滴の画像に基づいて該液滴の面積を求める検査手段を備えてなり、
前記検査手段が求めた前記液滴の面積に基づいて前記駆動手段を制御し、前記ノズルからの吐出量を制御する制御手段をさらに有することを特徴とする請求項1に記載の溶液の塗布装置。 - 前記変倍レンズは、横方向の倍率を縦方向の倍率の2〜5倍とすることを特徴とする請求項1又は2に記載の溶液の塗布装置。
- 塗布ヘッドのノズルから溶液を液滴として吐出させて基板上に塗布する溶液の塗布方法において、
前記ノズルから吐出された飛翔中の前記液滴を撮像手段により撮像する撮像工程と、
前記撮像手段が撮像した前記液滴の画像に基づいて前記ノズルから吐出された前記液滴の量を測定する測定工程と、を有し、
前記撮像工程においては、前記液滴の吐出方向に沿う縦方向の倍率よりも該縦方向に直交する横方向の倍率が大きくなるように撮像することを特徴とする溶液の塗布方法。 - 前記測定工程においては、前記撮像手段が撮像した液滴の画像に基づいて該液滴の面積を求め、
前記測定工程にて求めた前記液滴の面積に基づいて前記ノズルからの吐出量を制御する制御工程をさらに有することを特徴とする請求項4に記載の溶液の塗布方法。 - 前記撮像工程においては、横方向の倍率を縦方向の倍率の2〜5倍にして撮像することを特徴とする請求項4又は5に記載の溶液の塗布方法。
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JP2008222083A JP5268502B2 (ja) | 2008-08-29 | 2008-08-29 | 溶液の塗布装置及び塗布方法 |
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