JP4228910B2 - 機能液滴吐出検査方法、機能液滴吐出検査装置およびこれを備えた液滴吐出装置 - Google Patents

Description

本発明は、機能液滴吐出ヘッドのノズルの吐出状態を検査する機能液滴吐出検査方法、機能液滴吐出検査装置およびこれを備えた液滴吐出装置に関するものである。

従来、カラーフィルタ製造装置（液滴吐出装置）に備えられたインクジェットヘッド（機能液滴吐出ヘッド）に対し、カメラおよびストロボから成る光学検査装置を用いてノズルから吐出されたインク滴（機能液滴）を撮像することにより、インク滴の飛行状態、すなわち飛行曲がり、サテライト（吐出された液体に起因して霧状に浮遊する微粒子）や不吐出（ドット抜け）の有無等を検出してノズルの吐出状態を検査する方法が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
特開平１０−２０６６２４号公報

従来の検査方法では、ノズルから吐出された飛行中のインク滴を観察するため、ノズルからインク滴を吐出する必要があり、検査の度にインクが無駄に消費されると。特に、高価な機能液を吐出してカラーフィルタ等を製造するカラーフィルタ製造装置では、上記の検査方法を実行して機能液が無駄に消費されることになると、カラーフィルタ等の製造コストを押し上げる要因となるため、問題となっていた。さらに、吐出したインク滴を受ける部品が必要になり、その部品の清掃や交換の手間が存在していた。そのため、機能液滴吐出ヘッドに対し、ノズルからの機能液滴の吐出を伴わない微振動波形を印加し、律動しているノズルのメニスカスの変位をメニスカスの複数の変位測定位置で測定することにより、面で律動しているメニスカスの変形状態（立体的変位）を把握することで、機能液を無駄に消費することなく、ノズルの吐出特性を検査することが考えられる。

しかしながら、このような検査方法では、各変位測定位置におけるメニスカスの変位から直接的に立体的変位を求めるとすると、複数の変位測定位置において非律動時のメニスカスが平坦でない場合（通常は逆凹形状）には、求められたメニスカスの立体的変位と、実際のメニスカスの立体的変位とが、異なるものとなってしまう。

本発明は、律動しているメニスカスの立体的変位を精度よく求めることができる機能液滴吐出検査方法、機能液滴吐出検査装置およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することを目的とする。

本発明の機能液滴吐出検査方法は、機能液滴吐出ヘッドに対し、ノズルからの機能液滴の吐出を伴わない微振動波形を印加し、律動しているノズルのメニスカスの変位を測定してノズルの吐出特性を検査する機能液滴吐出検査方法において、機能液滴吐出ヘッドに対し、微振動波形を印加してメニスカスを律動させると共に、メニスカス変位測定手段により、律動しているメニスカスの変位を複数の変位測定位置で測定するメニスカス変位測定工程と、距離測定手段により、非律動時におけるメニスカスとの離間距離を複数の変位測定位置で測定する距離測定工程と、各変位測定位置で測定した離間距離に基づいて、各変位測定位置で測定したメニスカスの変位を補正する変位補正工程と、補正したメニスカスの変位の最大変位量と、複数の変位測定位置の分布とに基づいて、最大変位時のメニスカスの立体的変位を表す最大変位面データを合成する最大変位面データ合成工程と、
を備えたことを特徴とする。
そして、合成した最大変位面データに基づいて、メニスカスの立体画像を表示する静止画像表示工程を、さらに備えたことが好ましい。

また、本発明の機能液滴吐出検査装置は、機能液滴吐出ヘッドに対し、ノズルからの機能液滴の吐出を伴わない微振動波形を印加し、律動しているノズルのメニスカスの変位を測定してノズルの吐出特性を検査する機能液滴吐出検査装置において、機能液滴吐出ヘッドに対し、微振動波形を印加してメニスカスを律動させる微振動波形印加手段と、律動しているメニスカスの変位を複数の変位測定位置で測定するメニスカス変位測定手段と、微振動波形印加手段およびメニスカス変位測定手段を制御する制御手段と、非律動時におけるメニスカスとの離間距離を複数の変位測定位置で測定する距離測定手段と、各変位測定位置で測定された離間距離に基づいて、各変位測定位置で測定されたメニスカスの変位を補正する変位補正手段と、補正されたメニスカスの変位の最大変位量と、複数の変位測定位置の分布とに基づいて、最大変位時のメニスカスの立体的変位を表す最大変位面データを合成する最大変位面データ合成手段と、を備えたことを特徴とする。
そして、合成された最大変位面データに基づいて、メニスカスの立体画像を表示する静止画像表示手段を、さらに備えたことが好ましい。

これらの構成によれば、複数の変位測定位置における離間距離に基づいて補正されたメニスカスの変位から、律動しているメニスカスの最大変位時における立体的変位を表す最大変位面データが合成されることで、複数の変位測定位置において非律動時のメニスカスが平坦でない場合であっても、律動しているメニスカスの立体的変位を精度よく求めることができる。すなわち、各変位測定位置において、距離測定手段と非律動時のメニスカスとの離間距離に基づいて、変位補正手段によりメニスカスの変位の測定結果を補正して経過時間変位量を求めることで、各変位測定位置におけるメニスカスの絶対的な高さ位置の変化を、経過時間変位量により把握することができる。そして、最大変位面データに基づいて、メニスカスの立体的な静止画像が表示されるため、最大変位時におけるメニスカスの変形状態を視覚的に認識することができる。したがって、メニスカスがその中心点を中心として点対称に律動しない場合であっても、その異常を的確に把握することができる。
なお、メニスカスの律動とは、機能液滴吐出ヘッドに対し微振動波形を印加したときのメニスカスの周期的な微振動を意味するが、ノズル詰まり等の異常を示すノズルにおけるメニスカスの不規則な変動も含む概念である。また、非律動時とは、微振動波形を印加する前（または、微振動波形の印加による律動が完全に収束した後）のメニスカスの状態をいう。

また、上記の機能液滴吐出検査方法において、最大変位面データ合成工程に代えて、補正したメニスカスの変位のうちメニスカスの変位の測定開始後の複数の経過時間における複数の経過時間変位量と、複数の変位測定位置の分布とに基づいて、各経過時間におけるメニスカスの立体的変位を表す経過時間面データを合成する経過時間面データ合成工程を、備えたことが好ましい。
そして、合成した複数の経過時間面データに基づいて、メニスカスの律動をアニメーション化して画像表示する動画表示工程を、さらに備えたことが好ましい。

また、上記の機能液滴吐出検査装置において、最大変位面データ合成手段に代えて、補正されたメニスカスの変位のうちメニスカスの変位の測定開始後の複数の経過時間における複数の経過時間変位量と、複数の変位測定位置の分布とに基づいて、各経過時間におけるメニスカスの立体的変位を表す経過時間面データを合成する経過時間面データ合成手段を、備えたことが好ましい。
そして、合成された複数の経過時間面データに基づいて、メニスカスの律動をアニメーション化して画像表示する動画表示手段を、さらに備えたことが好ましい。

これらの構成によれば、複数の変位測定位置における離間距離に基づいて補正されたメニスカスの変位から、律動しているメニスカスの最大変位時における立体的変位を表す最大変位面データが合成されることで、複数の変位測定位置において非律動時のメニスカスが平坦でない場合であっても、律動しているメニスカスの立体的変位を各経過時間毎に精度よく把握することができる。そして、複数の経過時間面データに基づいて、メニスカスの律動がアニメーション化されて立体的に動画表示されるため、メニスカスの立体的変位をより詳細に認識することができる。したがって、メニスカスがその中心点を中心として点対称に律動しない場合であっても、その異常を的確且つ容易に把握することができる。

上記の機能液滴吐出検査装置において、制御手段にタイミング信号を供給するタイミング信号供給手段を、さらに備え、
制御手段は、微振動波形印加手段を制御して、供給されたタイミング信号に同期して微振動波形を印加させると共に、メニスカス変位測定手段を制御して、供給されたタイミング信号に同期して測定を開始させることが好ましい。

この構成によれば、微振動波形の印加によるメニスカスの律動の開始に合わせて、メニスカス変位測定手段によるメニスカスの変位の測定を開始できるため、律動しているメニスカスの変位を的確に測定することができる。

上記の機能液滴吐出検査方法において、メニスカス変位測定工程において、各変位測定位置毎に微振動波形の印加とメニスカスの変位の測定とが行われることが好ましい。
そして、メニスカス変位測定手段は、律動しているメニスカスの変位速度を経時的に複数回に亘って計測し、この複数回の計測結果からメニスカスの変位を求めるレーザドップラ振動計で構成されていることが好ましい。

上記の機能液滴吐出検査装置において、メニスカス変位測定手段により複数の変位測定位置におけるメニスカスの変位が順に測定されるように、機能液滴吐出ヘッドに対しメニスカス変位測定手段を相対的に移動させる測定系移動手段を、さらに備え、制御手段は、各変位測定位置毎に微振動波形の印加とメニスカスの変位の測定とが行われるように、微振動波形印加手段およびメニスカス変位測定手段を制御することが好ましい。
そして、メニスカス変位測定手段は、律動しているメニスカスの変位速度を経時的に複数回に亘って計測し、この複数回の計測結果からメニスカスの変位を求めるレーザドップラ振動計で構成されていることが好ましい。

これらの構成によれば、メニスカスは暗くて狭いノズル内において律動しているため、ＣＣＤカメラ等を用いてこれを撮像・観察することが困難であるところ、レーザドップラ振動計によりレーザ光をメニスカスに照射することで、メニスカスの変位を簡便に測定することができる。

上記の機能液滴吐出検査方法において、複数回に亘る計測は、メニスカス変位測定工程において、微振動波形を複数回印加し、各印加に対しタイミングを所定時間ずつずらして計測することで行われることが好ましい。

上記の機能液滴吐出検査装置において、制御手段は、微振動波形印加手段を制御して、微振動波形を複数回印加させ、メニスカス変位測定手段を制御して、各印加に対しタイミングを所定時間ずつずらして、律動しているメニスカスの変位速度を経時的に複数回に亘って計測させることが好ましい。

これらの構成によれば、メニスカス変位測定手段が、メニスカスの微振動の周期に比べてサンプリング周期の長いレーザドップラ振動計により構成されている場合であっても、律動しているメニスカスの変位速度を経時的に複数回に亘って適切に計測することが可能となる。

上記の機能液滴吐出検査方法において、複数の変位測定位置は、メニスカスの中心点を含むと共に、当該中心点を中心とした１または複数の同心円上に分布していることが好ましい。

この構成によれば、複数の変位測定位置がメニスカスの中心点およびその同心円上に均等に分布するため、微振動しているメニスカスの立体的変位を適切に捉えることができる。

上記の機能液滴吐出検査装置において、ノズルを撮像してメニスカスの中心点を検出する中心点検出手段と、撮像されたノズルと、検出された中心点を中心としてノズルを均等に区分する格子状の罫線とを画像表示するノズル画像表示手段と、罫線により区分されたノズルの画像上で、複数の変位測定位置を選択する選択手段と、をさらに備えたことが好ましい。

この構成によれば、罫線により区分されたノズルの画像上で、複数の変位測定位置を選択することができるため、複数の変位測定位置を任意の位置に適切に分布させることができる。
なお、通常は、複数の変位測定位置がメニスカスの中心点およびその同心円上に均等に分布するように選択することが好ましい。

本発明の液滴吐出装置は、上記した機能液滴吐出検査装置と、ワークに対し機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら機能液滴を吐出させる描画装置と、を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、律動しているメニスカスの立体的変位を把握することができる機能液滴吐出検査を備えているので、機能液滴吐出ヘッドのノズルが機能液滴を正常に吐出させ得るか否かを適切に検査することができる。また、機能液の吐出を伴うことなく検査が可能となり、液滴吐出装置のランニングコストを削減することができる。

この場合、機能液滴吐出ヘッドの保守を行うヘッド保守手段を、さらに備え、制御手段は、機能液滴吐出検査装置による検査結果に基づいて、ヘッド保守手段を制御して機能液滴吐出ヘッドの保守を行うことが好ましい。

この構成によれば、ノズルの吐出状態に応じて機能液滴吐出ヘッドの保守動作を行うことが可能となる。すなわち、ノズルが機能液滴を正常に吐出し得ないときのみ保守動作を行うようにすることができるため、ノズルが機能液滴を正常に吐出し得るときに無駄に保守動作を行うことがなく、液滴吐出装置を効率的に稼動させることができる。

本発明の機能液滴吐出検査方法およびその装置によれば、律動しているメニスカスの状態を立体的に把握することができ、機能液滴吐出ヘッドのノズルの吐出特性を適切に検査することができる。

以下、添付の図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、本発明を適用した液滴吐出装置１を模式的に表した平面図である。この液滴吐出装置１は、特殊なインクや発光性の樹脂液等の機能液を機能液滴吐出ヘッド１６に導入して、基板等のワークＷ上に機能液滴による成膜部を形成するものである。

液滴吐出装置１は、機台２と、機台２上の全域に広く載置された描画装置３と、機台２上の端部に設置されたヘッド機能回復装置４と、ヘッド機能回復装置４の各種ユニットを一括載置して機台２上を移動させるメンテナンス系移動テーブル５と、描画装置３とヘッド機能回復装置４との間に配設された機能液滴吐出検査装置６と、を備え、機能液滴吐出検査装置６により機能液滴吐出ヘッド１６の吐出特性を検査し、その検査結果に基づいてヘッド機能回復装置４により機能液滴吐出ヘッド１６の保守動作を行うと共に、描画装置３によりワークＷ上に機能液滴による描画を行うようにしている。さらに、図１では図示省略したが、この液滴吐出装置１には、各機能液滴吐出ヘッド１６に機能液を供給する給液タンク等を備える機能液供給機構７（図３参照）や、上記の描画装置３や機能液滴吐出検査装置６等の構成装置を統括制御する制御装置８（図３参照）等が組み込まれている。

描画装置３は、Ｘ軸テーブル１２およびＸ軸テーブル１２に直交するＹ軸テーブル１３から成るＸＹ移動機構１１と、Ｙ軸テーブル１３に移動自在に取り付けたメインキャリッジ１４と、メインキャリッジ１４に垂設したヘッドユニット１５とを有している。そして、ヘッドユニット１５には、サブキャリッジ（図示省略）を介して、機能液滴吐出ヘッド１６が搭載されている。この場合、基板であるワークＷは、Ｘ軸テーブル１２の端部に臨む一対のワーク認識カメラ１７，１７により、Ｘ軸テーブル１２に位置決めされた状態で搭載されている。なお、機能液滴吐出ヘッド１６は、ワークＷに対して機能液滴の十分な塗布密度を確保するために副走査方向（Ｙ軸方向）に対して所定角度傾けて配設することが可能である。また、図示のヘッドユニット１５には、１個の機能液滴吐出ヘッド１６が搭載されているが、これが複数であってもよい。

Ｘ軸テーブル１２は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＸ軸スライダ２１を有し、これにワークＷを吸着搭載する吸着テーブル２３およびワークθ軸テーブル２４等から成るワークテーブル２２を移動自在に搭載して、構成されている。同様に、Ｙ軸テーブル１３は、Ｙ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＹ軸スライダ３１を有し、これにヘッドθ軸テーブル３２を介して上記のメインキャリッジ１４を移動自在に搭載して、構成されている。

この場合、Ｘ軸テーブル１２は、機台２上に直接支持される一方、Ｙ軸テーブル１３は、機台２上に立設した左右の支柱３３，３３に支持されている。Ｘ軸テーブル１２とメンテナンス系移動テーブル５とは、Ｘ軸方向に相互に平行に配設されており、Ｙ軸テーブル１３は、Ｘ軸テーブル１２とメンテナンス系移動テーブル５とを跨ぐように延在している。

そして、Ｙ軸テーブル１３は、これに搭載したヘッドユニット１５を、Ｘ軸テーブル１２の直上部に位置する描画エリア４１と、メンテナンス系移動テーブル５の直上部に位置する機能回復エリア４２と、機能液滴吐出検査装置６の直上部に位置する吐出検査エリア４３との相互間で、適宜移動させる。すなわち、Ｙ軸テーブル１３は、Ｘ軸テーブル１２に導入したワークＷに描画を行う場合には、ヘッドユニット１５を描画エリア４１に臨ませ、機能液滴吐出ヘッド１６の機能回復処理を行う場合には、ヘッドユニット１５を機能回復エリア４２に臨ませ、機能液滴吐出ヘッド１６の各ノズル６５の吐出特性を検査する場合には、吐出検査エリア４３に臨ませる。

一方、Ｘ軸テーブル１２の一方の端部は、ワークＷをＸ軸テーブル１２にセットするためのワーク導入エリア４４となっており、このワーク導入エリア４４には、上記一対のワーク認識カメラ１７，１７が配設されている。そして、この一対のワーク認識カメラ１７，１７により、吸着テーブル２３上に供給されたワークＷの２箇所の基準マークが同時に認識され、この認識結果に基づいて、ワークＷのアライメントがなされる。

図２に示すように、機能液滴吐出ヘッド１６は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針５２，５２を有する機能液導入部５１と、機能液導入部５１に連なる２連のヘッド基板５３と、機能液導入部５１の下方（同図では上方）に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体５４と、を備えている。各接続針５２は、配管アダプタ（図示省略）を介して機能液を貯留する機能液供給機構７（の給液タンク）に接続されており、機能液導入部５１は、各接続針５２から機能液の供給を受けるようになっている。また、ヘッド本体５４は、圧電振動子等で構成される２連のポンプ部６１と、２本のノズル列６４，６４を相互に平行に形成したノズル面６３を有するノズルプレート６２と、を有している。各ノズル列６４は、多数（１８０個）のノズル６５が等ピッチで並べられて構成されている。

ノズルプレート６２はステンレス等で構成されており、そのノズル面６３および各ノズル６５の内面には共晶メッキにより撥水膜が形成されており、機能液によって侵食されないようになっている。また、各ノズル６５の直径は、例えば、２５μｍである。

ヘッド基板５３には、２連のコネクタ６６，６６が設けられており、各コネクタ６６はフレキシブルフラットケーブ（図示省略）を介してヘッドドライバ２１１（図３参照）に接続されている。そして、後述するタイミング信号供給手段１２１（図３参照）から出力されたタイミング信号が制御装置８に供給されることにより、ヘッドドライバ２１１を介して各ポンプ部６１に駆動波形が印加される。なお、詳細は後述するが、本実施形態では、タイミング信号供給手段１２１により、本吐出を行う場合の駆動波形と検査用の微振動波形との２種類の駆動波形が生成される。

ポンプ部６１を構成する圧電振動子には、例えば縦振動横効果のピエゾ素子が用いられ、充電されると収縮し、放電すると伸張し、ヘッド内流路を構成する圧力発生室に圧力変動を生じさせるようになっている。そして、吐出する機能液滴の重量を少なくし描画ドット径が小さくなるように、機能液を収容した圧力発生室を膨張させてから収縮させるという、いわゆる「引き打ち」が常用されている。そして、圧力発生室に圧力変動が生ずると、各ノズル６５のメニスカスＭ（図７参照）が一旦引き込まれた後、ノズル６５の吐出面（ノズル面６３）から突出し、機能液滴が吐出される（詳細は後述する）。このようにして、制御装置８によりヘッドドライバ２１１を介して機能液滴吐出ヘッド１６の駆動が制御されている。
なお、ポンプ部６１は、外部から与えられる信号に応じて、圧力発生室に圧力変動を生じさせる素子あれば、他の構成であってもよい。例えば、圧電振動子は、縦振動横効果のピエゾ素子に限らず、たわみ振動型のピエゾ素子でもよい。また、圧電振動子に限らず、磁歪素子等の他の素子を用いてもよい。さらに、ヒータ等の熱源によって機能液を加熱させ、加熱により生じた気泡によって圧力を変化させる構成であってもよい。

ここで、図１を参照して、描画装置３によるワークＷへの吐出動作、すなわち描画動作について簡単に説明する。まず、機能液滴を吐出する前の準備として、吸着テーブル２３にセットされたワークＷの位置補正が、Ｘ軸テーブル１２によるＸ軸方向の位置補正およびワークθ軸テーブル２４によるθ軸方向の位置補正によりなされると共に、メインキャリッジ１４にセットされたヘッドユニット１５の位置補正が、Ｙ軸テーブル１３によるＹ軸方向の位置補正およびヘッドθ軸テーブル３２によるθ軸方向の位置補正によりなされる。

次に、ワークＷをＸ軸テーブル１２により主走査方向（Ｘ軸方向）に往復動させると共に、これに同期して機能液滴吐出ヘッド１６を選択的に駆動させて、ワークＷに対する機能液の吐出が行われる。そして、ワークＷを復動させた後、ヘッドユニット１５をＹ軸テーブル１３により副走査方向（Ｙ軸方向）に移動させ、再度ワークＷの主走査方向への往復移動と機能液滴吐出ヘッド１６の駆動とが行われる。そして、これを複数回繰り返すことで、ワークＷの端から端まで描画が行われる。
なお、本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｘ軸方向へのワークＷの移動を主走査とし、Ｙ軸方向へのヘッドユニット１５の移動を副走査として、描画動作が行われるが、ヘッドユニット１５を主走査方向に移動させる構成であってもよい。また、ワークＷを固定とし、ヘッドユニット１５をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させる構成であってもよい。

メンテナンス系移動テーブル５は、機台２本体の長手方向（Ｘ軸方向）に延在しており、ヘッド機能回復装置４の各種ユニットを分散して載置する共通ベース７１と、共通ベース７１をＸ軸方向にスライド自在に支持する一対のガイドレール７２と、モータ駆動のＸ軸移動機構（図示省略）とを備えており、共通ベース７１上に分散して載置されたヘッド機能回復装置４の各種ユニットをＸ軸方向に移動させる。

ヘッド機能回復装置４は、上記のメンテナンス系移動テーブル５上に互いに隣接して載置した保管ユニット８１と、吸引ユニット８２と、ワイピングユニット８３と、上記のワークテーブル２２に配設したフラッシングユニット８４と、を備えている。このヘッド機能回復装置４による機能液滴吐出ヘッド１６の機能回復処理（保守動作）は、上述したように機能液滴吐出検査装置６の検査結果に基づいて行われると共に、定期的にも行われるものである。

保管ユニット８１は、液滴吐出装置１の稼動停止時に、機能液滴吐出ヘッド１６のノズル６５の乾燥を防止すべくこれを封止する。すなわち、保管ユニット８１には、機能液滴吐出ヘッド１６に対応する封止キャップ９１と、これを昇降させる昇降機構（図示省略）とが設けられており、装置の稼動停止時にヘッドユニット１５に臨んで上昇し、機能液滴吐出ヘッド１６のノズル面６３に封止キャップ９１を密着させて、これを封止する。これにより、機能液滴吐出ヘッド１６のノズル面６３における機能液の溶剤の気化が抑制され、いわゆるノズル詰まりが防止される。

吸引ユニット８２は、機能液滴吐出ヘッド１６をノズル６５側から吸引するものであり、機能液滴吐出ヘッド１６内で増粘した機能液を除去するための吸引（クリーニング）を行う場合に用いられる。すなわち、吸引ユニット８２には、機能液滴吐出ヘッド１６に対応して位置し、底部位に液体吸収材が敷設された吸引キャップ１０１と、図示しないが、吸引キャップ１０１を介して機能液滴吐出ヘッド１６の吸引を行う吸引ポンプと、吸引キャップ１０１を昇降させる昇降機構とが設けられており、吸引キャップ１０１を上昇させ機能液滴吐出ヘッド１６のノズル面６３に密着させて、ポンプ吸引を行う。そして、吸引した機能液は、後述する機能液回収装置７の回収タンク１２１に導かれるようになっている。

ワイピングユニット８３は、シート供給ユニット１１１と、拭取りユニット１１２とを備えており、ワイピングシート１１３が繰出し且つ巻取り自在に設けられている。また、図示しないが、洗浄液タンクに貯留する洗浄液（機能液の溶媒等）を洗浄液散布ノズルを介してワイピングシート１１３に供給する洗浄液供給装置を備えている。シート供給ユニット１１１と拭取りユニット１１２とは、メンテナンス系移動テーブル５上に、拭取りユニット１１２を上記の吸引ユニット８２側に位置させてＸ軸方向に並べて配置されており、機能回復エリア４２に存するヘッドユニット１５に向けてメンテナンス系移動テーブル５の動きにより拭取りユニット１１２がシート供給ユニット１１１と一体に払拭方向たるＸ軸方向の一方（図１では上方）に移動し、洗浄液を染み込ませたワイピングシート１１３を介して、ヘッドユニット１５の機能液滴吐出ヘッド１６のノズル面６３を払拭する。

これらの各ユニットにより機能液滴吐出ヘッド１６の機能回復を行う場合には、メンテナンス系移動テーブル５により吸引ユニット８２を機能回復エリア４２に移動させると共に、上述したようにＹ軸テーブル１３によりヘッドユニット１５を機能回復エリア４２に移動させ、機能液滴吐出ヘッド１６のクリーニング（ポンプ吸引）を行う。またクリーニングを行った場合には、続いてメンテナンス系移動テーブル５によりワイピングユニット８３を機能回復エリア４２に移動させ、クリーニングによりノズル面６３が汚れた機能液滴吐出ヘッド１６のワイピングを行う。

一方、フラッシングユニット８４は、上記の描画装置３が描画動作を行う場合、前回の描画動作からかなりの時間が経っていると、ノズル６５内の機能液が乾燥により増粘してしまい、ノズル詰まりや過小径の機能液滴が吐出される等の吐出不良が生ずるおそれがあるため、ワークＷに吐出する直前に、機能液滴のフラッシング（捨て吐出）を行うためのものである。フラッシングユニット８４は、その内部に液体吸収材が敷設された一対のフラッシングボックス１１６，１１６を有しており、この一対のフラッシングボックス１１６，１１６は、上記のワークテーブル２２の吸着テーブル２３をＸ軸方向に挟むように配設されている。すなわち、一対のフラッシングボックス１１６，１１６は、Ｘ軸テーブル１２によりワークテーブル２２（ワークＷ）と共に移動するようになっている。

上述したワークＷへの描画動作において、ワークＷがセットされたワークテーブル２２と共にフラッシングユニット８４が往動していくと、最初に図示の上側のフラッシングボックス１１６がヘッドユニット１５の直下を通過する。このとき、機能液滴吐出ヘッド１６が多数発の機能液滴のフラッシングを行い、機能液滴吐出ヘッド１６は、そのまま通常の液滴吐出動作に移行する。同様に、フラッシングユニット８４が復動していくと、最初に図示下側のフラッシングボックス１１６がヘッドユニット１５の直下を通過する。このとき、機能液滴吐出ヘッド１６がフラッシングを行い、機能液滴吐出ヘッド１６は、そのまま通常の液滴吐出動作に移行する。このようにして、主走査のための往復動中に適宜フラッシングを行うことで、ノズル６５のノズル詰まり等を防止することができる。

さらに、ワークＷの交換時のように、ワークＷに対する機能液の吐出が一時的に休止されるときには、上記の吸引キャップ１０１をフラッシングボックスとして、機能液滴吐出ヘッド１６から僅かに離間させておいてフラッシングを行う。これにより、ノズル詰まりが防止されあるいはノズル詰まりの生じた機能液滴吐出ヘッド１６の機能回復が図られる。
なお、このように、フラッシングには、ワークＷに機能液を吐出させる直前にフラッシングボックス１１６に対して行われる吐出前フラッシングと、機能液の吐出を休止するときに吸引キャップ１０１に対して定期的に行われる定期フラッシングとがある。

ここで、制御装置８により構成される液滴吐出装置１の制御系について説明する。図３に示すように、液滴吐出装置１の制御系は、基本的に、各種データをその操作により入力するキーボードやマウス等を有する入力部２０１と、機能液滴吐出検査装置６の検査結果等を画面表示するモニター２０３を有する表示部２０２と、機能液滴吐出ヘッド１６やモニター２０３等を駆動する各種ドライバを有する駆動部２０４と、これら各部を含め液滴吐出装置１を統括制御する制御部２０５と、を備えている。

駆動部２０４は、機能液滴吐出ヘッド１６を吐出駆動制御するヘッドドライバ２１１と、モニター２０３を駆動制御するモニタードライバ２１２と、ＸＹ移動機構１１の各モータを駆動制御する描画系移動用ドライバ２１３と、メンテナンス系移動テーブル５を駆動制御するメンテナンス系移動用ドライバ２１４と、ヘッド機能回復装置４の吸引ユニット８２およびワイピングユニット８３を駆動制御するメンテナンス用ドライバ２１５と、機能液滴吐出検査装置６のレーザドップラ振動計１３１、レーザ距離計１３２、撮像ユニット１３３およびＸＹステージ１３４（測定系移動手段）をそれぞれ駆動制御する振動計用ドライバ２１６、距離計用ドライバ２１７、撮像用ドライバ２１８および測定系移動用ドライバ２１９とを備えている。

制御部２０５は、ＣＰＵ２２１と、ＲＯＭ２２２と、ＲＡＭ２２３と、Ｐ−ＣＯＮ２２４とを備え、これらは互いにバス２２５を介して接続されている。ＲＯＭ２２２は、ＣＰＵ２２１で処理する制御プログラムや制御データを記憶する制御プログラム領域や、検査作業や描画作業を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域を有している。ＲＡＭ２２３は、各種レジスタ群や、オペレーターが入力部２０１により入力した各種データ等を記憶する記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。

Ｐ−ＣＯＮ２２４には、駆動部２０４の各種ドライバや入力部２０１の他、上記の機能液供給機構７等が接続されている。Ｐ−ＣＯＮ２２４には、ＣＰＵ２２１の機能を補うと共に周辺回路とのインターフェース信号を取り扱うための論理回路が、ゲートアレイやカスタムＬＳＩなどにより構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ２２４には、入力部２０１からの各種指令や画像データなどをそのままあるいは加工してバスに取り込むと共に、ＣＰＵ２２１と連動して、ＣＰＵ２２１等からバス２２５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部２０４に出力する。

そして、ＣＰＵ２２１は、上記の構成により、ＲＯＭ２２２内の制御プログラムにしたがって、Ｐ−ＣＯＮ２２４を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ２２３内の各種データ等を処理した後、Ｐ−ＣＯＮ２２４を介して駆動部２０４に各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置１全体を制御している。

例えば、ＣＰＵ２２１は、ワークＷに対し描画動作を行う場合には、機能液滴吐出ヘッド１６の吐出駆動をそれぞれ制御すると共に、ＸＹ移動機構１１によりワークＷおよびヘッドユニット１５の走査範囲の移動動作等を制御する。また、機能液滴吐出ヘッド１６の機能回復を行う場合には、ヘッド機能回復装置４の機能回復測定エリア４２にてＸＹ移動機構１１により機能液滴吐出ヘッド１６の移動動作を制御すると共に、機能液滴吐出ヘッド１６の吐出駆動、メンテナンス系移動テーブル５の移動動作等を制御する。さらに、詳細は後述するが、機能液滴吐出ヘッド１６の各ノズル６５の吐出特性を検査する場合には、機能液滴吐出検査装置６への微振動波形の印加、レーザドップラ振動計１３１の測定動作等を制御する。

次に、液滴吐出装置１に備えられる機能液滴吐出検査装置６について詳細に説明する。機能液滴吐出検査装置６は、例えば描画動作（吐出前フラッシング）の直前に、機能液滴吐出ヘッド１６の各ノズル６５のメニスカスＭの変位を複数の変位測定位置において測定し、メニスカスＭの立体的変位を求めるものである。

図４に示すように、機能液滴吐出検査装置６は、吐出検査エリア４３（図１参照）に位置して、機台２上に固定されたスタンド（図示省略）上に主要部が載置されており、制御装置８にタイミング信号を供給するタイミング信号供給手段１２１と、機能液滴吐出ヘッド１６に対し、ノズル６５からの機能液滴の吐出を伴わない微振動波形を印加して、メニスカスＭを律動させる微振動波形印加手段と、律動しているメニスカスＭの変位を測定するレーザドップラ振動計１３１や撮像ユニット１３３等で構成された測定部１２２と、メニスカスＭの立体画像や撮像されたノズル６５の撮像画面を表示する上記のモニター２０３と、ノズル６５の撮像画面上で複数の変位測定位置を選択する上記の入力部２０１（選択手段）と、これらを統括・制御すると共に、メニスカスの立体的変位を表す面データを合成する経過時間面データ合成手段１２３（面データ合成手段）や変位補正手段１２４等を有する上記の制御装置８とを備えている。なお、この微振動波形印加手段としては、上記のヘッドドライバ２１１を機能させている。また、タイミング信号供給手段１２１は、ＣＰＵ２２１等のクロック発生回路から分周により所定のタイミング信号（トリガーパルス）を生成する。

ヘッドドライバ２１１は、機能液滴吐出ヘッド１６の各ポンプ部６１に対し、供給されたタイミング信号（ＰＴＳ）に同期して、タイミング信号の供給から所定時間（例えば２マイクロ秒）後に、駆動波形および微振動波形を選択的に印加する（図５および図６参照）。上述したように、駆動波形は、各ノズル６５から機能液滴を吐出させるためのものであり、微振動波形は、各ノズル６５から機能液滴を吐出させることなく、メニスカスを律動させるためのものである。

駆動波形は、図５に示すように、その電圧値が中間電位Ｖｍからスタートし（Ｐ１１）、中間電位Ｖｍから所定の電圧勾配θＣＭ１で（例えば３マイクロ秒かけて）最大電位Ｖｈまで上昇し（Ｐ１２）、最大電位Ｖｈを所定時間（例えば３マイクロ秒）だけ維持する（Ｐ１３）。次に、駆動波形の電圧値は、最大電位Ｖｈから所定の電圧勾配θＤＭ１をもって（例えば５マイクロ秒かけて）最低電位Ｖｌまで降下する（Ｐ１４）。なお、充電時の電圧勾配θＣＭ１よりも放電時の電圧勾配θＤＭ１の方が大きくなるように設定されている。そして、駆動波形は、最低電位Ｖｌを所定時間（例えば３マイクロ秒）だけ保持した後（Ｐ１５）、再び中間電位Ｖｍまで上昇する（Ｐ１６）。

駆動波形の印加によるメニスカスＭ（ノズル６５付近の機能液）の状態の変化を図７に示す。中間電位ＶｍにあるＰ１１の状態では、メニスカスＭは、ノズルプレート６２に形成された撥水膜と機能液との表面張力等によって、ノズル６５の吐出面から若干引き込まれた（逆凹形状）状態にある。次に、中間電位Ｖｍから最大電位Ｖｈに上昇するＰ１２の状態では、ポンプ部６１が収縮して圧力発生室が膨張し、メニスカスＭがノズル６５の奥に引き込まれる。Ｐ１３の状態では、一旦引き込まれたメニスカスＭが、引き込まれる直前の位置に復帰しない程度の時間だけ、最大電位Ｖｈを維持する。Ｐ１４の状態では、メニスカスＭをノズル６５の奥に引き込んだ状態で、ポンプ部６１を最大電位Ｖｈから最低電位Ｖｌまで急速に放電させる。これにより、ポンプ部６１が伸張して圧力発生室が収縮し、メニスカスＭがノズル６５の吐出面から突出し始める。最低電位Ｖｌを維持するＰ１５の状態でも、慣性によりメニスカスＭの突出が続く。そして、Ｐ１６の状態では、メニスカスＭが突出した状態でポンプ部６１（圧電振動子）を再び中間電位Ｖｍまで充電する。これにより、ポンプ部６１が収縮して圧力発生室が膨張し、ノズル６５から外部に突出した機能液が引きちぎられて、機能液滴が吐出される。

一方、微振動波形は、図６に示すように、駆動波形と同様に、中間電位Ｖｍからスタートして（Ｐ２１）、中間電位Ｖｍから所定の電圧勾配θＣＭ２で（例えば３．５マイクロ秒かけて）微振動電位Ｖｖまで上昇する（Ｐ２２）。そして、この微振動電位Ｖｖを所定時間（例えば３マイクロ秒）維持した後（Ｐ２３）、所定の電圧勾配θＤＭ２で（例えば３．５マイクロ秒かけて）中間電位Ｖｍまで下降する（Ｐ２４）。ここで、微振動波形は、機能液滴を吐出しない程度の微振動を与えるものであるから、微振動電位Ｖｖは、駆動波形の最大電位Ｖｈよりも小さい（（Ｖｖ−Ｖｍ）は（Ｖｈ−Ｖｍ）の１／２程度）。また、微振動波形の充電時の電圧勾配θＣＭ２と放電時の電圧勾配θＤＭ２とは略等しい。

微振動波形の印加によるノズル６５付近のメニスカスＭの状態の変化を図８に示す。中間電位ＶｍにあるＰ２１の状態では、上記のＰ１１の状態と同様に、メニスカスＭはノズル６５から若干引き込んだ位置にある。次に、中間電位Ｖｍから微振動電位Ｖｖまでポンプ部６１（圧電振動子）を充電すると（Ｐ２２）、ポンプ部６１が収縮して圧力発生室が膨張するため、メニスカスＭがノズル６５内に引き込まれる。もっとも、微振動電位Ｖｖは最大電位Ｖｈに比べて小さいため、メニスカスＭの引き込み量は僅かである。微振動電位Ｖｖを短時間だけ保持するＰ２３の状態では、メニスカスＭはノズル６５内に少しだけ引き込まれた状態を維持している。そして、微振動電位Ｖｖから中間電位Ｖｍまでポンプ部６１（圧電振動子）を放電させるＰ２４の状態では、圧力発生室が収縮するため、メニスカスＭはノズル６５の吐出面に向けて押し戻される。このように、微振動波形は、浅い放充電を行わせるため、圧力発生室内の圧力変化が少なく、ノズル６５から機能液滴を吐出させずにメニスカスＭを律動させることができる。

測定部１２２は、各変位測定位置毎に律動しているメニスカスＭの変位を測定するレーザドップラ振動計１３１と、非律動時におけるメニスカスＭとの離間距離を複数の変位測定位置で測定するレーザ距離計１３２と、レーザドップラ振動計１３１に搭載されてその対物レンズ１５４と一体にセンサヘッド部（図示省略）を構成し、ノズル６５を下方から撮像する撮像ユニット１３３と、機能液滴吐出ヘッド１６に対し、レーザドップラ振動計１３１およびレーザ距離計１３２を一体として移動させるモータ駆動のＸＹステージ１３４とを備えている。
なお、詳細は後述するが、この測定部１２２により測定される複数の変位測定位置は、上記の入力部２０１の操作により選択され、メニスカスの中心点を含むと共に、当該中心点を中心とした１または複数の同心円上に分布しており、微振動しているメニスカスの立体的変位を適切に捉えることができるようになっている。

レーザドップラ振動計１３１は、律動しているメニスカスＭの変位速度を経時的に複数回に亘って計測し、この複数回の計測結果からメニスカスＭの変位を求めるものである。図９は、レーザドップラ振動計１３１の測定原理を示すブロック図である。レーザドップラ振動計１３１は、メニスカスＭにレーザ光（照射光）を照射する照射部１４１と、メニスカスＭで反射したレーザ光（反射光）と参照するための参照光を生成する参照光生成部１４２、反射光および参照光を受光する受光部１４３と、反射光と参照光との干渉光に基づいて、メニスカスＭの変位速度を求める信号処理部１４４とを備えている。

照射部１４１は、Ｈｅ−Ｎｅレーザ（波長６３２．８ｎｍ）等で構成されるレーザ光源１５１と、レーザ光源１５１から出射したレーザ光を第１レーザ光と第２レーザ光とに二分する第１スプリッタ１５２と、二分されたレーザ光のうち一方の第１レーザ光を透過する偏光スプリッタ１５３と、第１レーザ光を照射光としてメニスカスＭに集光する対物レンズ１５４と、を備えている。対物レンズ１５４により集光された照射光のスポット径は、略２〜３μｍである。そして、メニスカスＭから反射されたレーザ光（反射光）が偏光スプリッタ１５３およびミラー１５５を介して受光部１４３の第２スプリッタ１５６に送られる。

参照光生成部１４２は、上記の第１スプリッタ１５２で二分されたレーザ光のうち他方の第２レーザ光の周波数を、音響光学的にシフトする周波数シフタ１５７を備えている。第２レーザ光は、反射光側の光路長と略同一の光路長にして反射光との干渉性を保持するため、図示せぬ光路を経由した後、周波数シフタ１５７に入射し、周波数シフタ１５７で周波数シフトされた第２レーザ光が、参照光として第２スプリッタ１５６に送られる。

受光部１４３は、照射部１４１および参照光生成部１４２からそれぞれ送られた反射光および参照光を透過して、信号処理部１４４に入射させる。信号処理部１４４では、上記の周波数シフタ１５７により一定の周波数シフトを与えられたレーザ光が参照光として使用され、この参照光とメニスカスＭからの反射光とが光干渉を起こす。これにより、正・負の符号をもった速度信号として、メニスカスＭの変位速度に比例した電圧信号が得られる。そして、得られた電圧信号を積分処理することによりメニスカスＭの変位を算出し、求められたメニスカスＭの変位が制御装置８に出力される。なお、メニスカスＭの変位速度に比例した電圧信号をそのまま制御装置８に出力し、制御装置８に組み込まれた計算ソフトウェアによりメニスカスＭの変位を求めるようにしてもよい。

また、上述したように、レーザドップラ振動計１３１による変位速度の計測は、第１回目のタイミング信号の印加に対し、タイミング信号の供給から１マイクロ秒後に開始される（同図では、計測のタイミングを矢印で示す。）。すなわち、ヘッドドライバ２１１からポンプ部６１への微振動波形の印加は、タイミング信号の供給から２マイクロ秒後に開始されることから、レーザドップラ振動計１３１により、メニスカスＭが微振動波形の印加によりノズル６５内への引き込みを開始する１マイクロ秒前から、メニスカスＭの変位の測定が行われる。これによれば、微振動波形の印加によるメニスカスＭの律動の開始に合わせて、レーザドップラ振動計１３１によるメニスカスＭの変位の測定を開始できるため、律動しているメニスカスＭの変位を的確に測定することができる。なお、タイミング信号の供給から微振動波形が印加されるタイミングおよびレーザドップラ振動計１３１による測定が開始されるタイミングは、使用する機能液滴吐出ヘッド１６や機能液の種類等によって変更可能な構成とすることが好ましい。

図６に示すように、このレーザドップラ振動計１３１による変位速度の計測は、１回の微振動波形の印加に対し、経時的に複数回に亘って行われる。もっとも、レーザドップラ振動計１３１が、メニスカスＭの微振動の周期（例えば５マイクロ秒）に比べてサンプリング周期の長い（例えば２０マイクロ秒）ものである場合には、経時的に複数回に亘る測定を、微振動波形を複数回印加し、各印加に対しタイミングを所定時間（例えば、１マイクロ秒）ずつずらして計測すること行うようにする。すなわち、制御装置８に供給される第１回目のタイミング信号の印加に対しては、タイミング信号の供給から１マイクロ秒後に計測され、第２回目のタイミング信号の印加に対しては、タイミング信号の供給から２マイクロ後に計測され、以後同様に行う。

このようにして測定されたメニスカスＭの変位を、タイミング信号および微振動波形のタイムチャートと共に図６に示す。なお、同図のメニスカスＭの変位は、機能液滴を正常に吐出し得るノズル６５に対し微振動波形を印加した場合のものである。

なお、本実施形態では、外部から画像認識することが困難なノズル６５内において、数マイクロ秒という瞬時の周期で律動するメニスカスＭの変位を測定するため、その測定手段として、外部からレーザ光を照射して計測でき、且つサンプリング周期の比較的短いレーザドップラ振動計１３１を用いたが、ノズル６５内における瞬時のメニスカスＭの律動を観察できるものであれば、他の測定手段を用いてもよい。

レーザ距離計１３２は、ＸＹステージ１３４上にレーザドップラ振動計１３１に併設されている。そして、内部にレーザ発振器を備え、レーザ光を測定として、その反射光の位相を利用して、各変位測定位置において、非律動時におけるメニスカスＭとの距離を測定する。この測定結果は、制御装置８に出力される。
なお、非律動時とは、微振動波形を印加する前（または、微振動波形の印加による律動が完全に収束した後）のメニスカスＭの状態をいう（図１１（ａ）参照）。また、機能液と機能液滴吐出ヘッド１６の種類により非律動時におけるメニスカスＭの形状（レーザ距離計１３２との離間距離）が一定である場合には、逐次レーザ距離計１３２によりメニスカスＭとの離間距離を各変位測定位置で測定しなくともよい。

撮像ユニット１３３は、レーザドップラ振動計１３１のセンサヘッド部に搭載され、ノズル６５を撮像する照明付きのＣＣＤカメラ（図示省略）と、ＣＣＤカメラで画像認識したノズル６５の認識画像を例えばテンプレート等により画像処理して、メニスカスＭの中心点を検出する画像処理手段１６２とを備えている。この画像処理手段１６２は、上記の制御装置８に組み込まれるいわゆる画像処理ソフトウェアで構成されたものである。また、図１０に示すように、ＣＣＤカメラによるノズル６５の撮像結果は、検出された中心点を中心としてノズルを均等に区分する格子状の罫線Ｌ（５行５列）と共に、上記のモニタードライバ２１２を介してモニター２０３上に表示される。すなわち、ノズル６５の撮像画像上で、罫線Ｌによりノズル６５が均等に２５個のマス（マトリクス）に区分される。なお、罫線Ｌは、変位測定位置を適切に選択するため、５行５列以上であることが好ましい。もちろん、モニター２０３には、機能液滴吐出ヘッド１６や機能液の種別、対象ノズル６５の番号等も表示される（図示省略）。

そして、入力部２０１のマウス等により、罫線Ｌにより区分されたノズル６５の画像上で、複数の変位測定位置が選択される。この際、複数の変位測定位置が、メニスカスの中心点を含むと共に、当該中心点を中心とした１または複数の同心円上に分布するように、例えば、罫線Ｌによって区分された２５マスのうち、「行，列」が「２，２」、「２，４」、「３，３」、「４，２」および「４，４」に位置する５マスを選択する（図１０では、選択したマスが塗りつぶされている。）。また、検査の目的等に応じて、複数の変位測定位置を任意の位置（例えば、ノズルの周縁部のみ）に分布させてもよい。このように、罫線Ｌが表示されることで、複数の変位測定位置を任意の位置に適切に分布させることができる。
なお、常に一定の複数の変位測定位置において測定する場合には、複数の変位測定位置を制御装置８に記憶させておき、逐次選択することなく測定されるようにしてもよい。

ＸＹステージ１３４は、選択された複数の変位測定位置（選択した各マスの中心位置）におけるメニスカスＭの変位が順に測定されるように、機能液滴吐出ヘッド１６に対しレーザドップラ振動計１３１およびレーザ距離計１３２を一体として移動させるものである。すなわち、１の変位測定位置におけるレーザドップラ振動計１３１との離間距離が測定されるようにレーザ距離計１３２をレーザドップラ振動計１３１と共に移動させ、離間距離の測定後、その変位測定位置におけるメニスカスＭの変位が測定されるようにレーザドップラ振動計１３１をレーザ距離計１３２と共に移動させ、メニスカスＭの変位の測定後、次の変位測定位置における離間距離が測定されるようにレーザ距離計１３２をレーザドップラ振動計１３１と共に移動させる。
なお、独自のＸＹステージ１３４を備える代わりに、機能液滴吐出検査装置６を描画装置３のＸテーブル１２に搭載し、描画装置３のＸＹ移動機構１１を利用することで、機能液滴吐出ヘッド１６に対しレーザドップラ振動計１３１を相対的に移動させる構成であってもよい。また、ＸＹステージ１３４に加えて、θテーブルを備え、各変位測定位置間を移動するときはＸＹステージ１３４を用い、各変位測定位置にレーザ距離計１３２またはレーザドップラ振動計１３１を選択的に位置させるときはθテーブルを用いる構成としてもよい。

制御装置８は、各変位測定位置で測定した離間距離に基づいて、各変位測定位置で測定したメニスカスＭの変位を補正する変位補正手段１２４と、変位補正手段１２４により補正されたメニスカスＭの変位のうち、メニスカスＭの変位の測定開始後の複数の経過時間（例えば、１マイクロ秒、３マイクロ秒、５マイクロ秒、７マイクロ秒、９マイクロ秒、１１マイクロ秒）における複数の経過時間変位量、および複数の変位測定位置の分布とに基づいて、各経過時間におけるメニスカスＭの立体的変位を表す経過時間面データを合成する経過時間面データ合成手段１２３と、合成された複数の経過時間面データに基づいて、メニスカスＭの律動をアニメーション化して画像表示する動画表示手段１２５とを有している。これによれば、律動しているメニスカスＭの各経過時間における立体的変位を表す経過時間面データが各経過時間毎に合成されることで、律動しているメニスカスＭの立体的変位を各経過時間毎に把握することができる。そして、複数の経過時間面データに基づいて、メニスカスＭの律動がアニメーション化されて立体的に動画表示されるため、メニスカスＭの立体的変位をより詳細に認識することができる。したがって、メニスカスＭがその中心点を中心として点対称に律動しない場合に、その異常を的確且つ容易に把握することができる。

図１１は、正常なノズルに対するメニスカスの律動を、経過時間変位量に基づいてアニメーション化して画像表示した画面である。図１１からわかるように、正常なノズル６５では、メニスカスＭがその中心点を中心として点対称に律動している様子を立体的に視認することができる（同図の（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）は、それぞれ図８のＰ２１、Ｐ２２、Ｐ２３、Ｐ２４にほぼ対応する。）。そして、メニスカスＭの変位の補正を行うことで、各変位測定位置におけるメニスカスＭの絶対的な高さ位置が把握されることから、実際の形状に沿った画像が得られる。すなわち、非律動時のメニスカスＭが平坦でない場合であっても（同図（ａ）参照）、律動しているメニスカスＭの立体的変位を精度よく求めることができる。
なお、同図は、罫線Ｌによって区分された２５マスの全てを選択して変位測定位置とした場合のものである。また、同図では、メニスカスの立体的変位が棒グラフ状に表されているが、各変位測定位置における経過時間変位量を演算処理することにより、各変位測定位置を滑らかな曲線で結ぶようにしてもよい。

ここで、機能液滴吐出検査装置６を用いて、機能液滴吐出ヘッド１６の各ノズル６５の吐出特性を検査する一連の動作について説明する。まず、描画装置３のＹ軸テーブル１３により、ヘッドユニット１５を吐出検査エリア４３に移動させる（図１参照）。次に、撮像ユニット１３３により、測定対象となる一方のノズル列６４の左端のノズル６５を撮像し、その撮像画像上に表示された罫線Ｌにより区分された２５マスのうち、「行，列」が「２，２」、「２，４」、「３，３」、「４，２」および「４，４」に位置する５マスを選択する。続いて、ＸＹステージ１３４により、１番目の変位測定位置となるマス（「行，列」：「２、２」）にレーザ距離計１３２を移動して、この変位測定位置におけるメニスカスＭとの離間距離を測定する。次に、ＸＹステージ１３４により、この変位測定位置にレーザドップラ振動計１３１を移動して、この変位測定位置におけるメニスカスＭの変位を測定する。１番目の変位測定位置における離間距離およびメニスカスＭの変位の測定が終了すると、ＸＹステージ１３４により、２番目の変位測定位置となるマス（「行，列」：「２、４」）にレーザ距離計１３２を移動する。以下、同様にして、１個のノズル６５に対し、５つの変位測定位置における測定を行う。

１個のノズル６５に対し、５つの変位測定位置における測定が終了すると、ＸＹステージ１３４により、左端から２番目のノズル６５の１番目の変位測定位置となるマス（「行，列」：「２、２」）にレーザ距離計１３２を移動する。そして、上記のようにして、左端から２番目のノズル６５についても、５つの変位測定位置における測定を行う。以下、同様にして、全ノズル６５について測定が行われる。

なお、この際、制御装置８は、ヘッドドライバ２１１を制御して、レーザドップラ振動計１３１により複数のノズル６５のメニスカスＭの変位が順に測定される間、測定対象となる各ノズル６５を含む全ノズル６５に対し微振動波形を印加させるようになっている。これによれば、各メニスカスＭを律動させることにより、メニスカスＭを構成する機能液が撹拌されて、メニスカスＭに新鮮な機能液が供給されることになるため、検査中に機能液が増粘することを効果的に防止できる。したがって、機能液滴吐出検査装置６による検査結果が全ノズル６５について正常であれば、検査終了の後、良好なメニスカスＭの状態を維持した状態で、即座に描画動作を行うことができる。

続いて、このようにして測定した離間距離およびメニスカスの変位の測定結果に基づいて、経過時間面データを合成する処理について、具体的な例を挙げて説明する。図１４に、各変位測定位置におけるレーザ距離計１３２との離間距離と、補正前のメニスカスＭの変位のうち、微振動波形の印加後の各経過時間における変位量（補正前経過時間変位量）とを示す。そして、変位補正手段１２４により、この離間距離に基づいて補正されたメニスカスＭの変位のうち、微振動波形の印加後の各経過時間における変位量（経過時間変位量、同図には５０ｍｍ分を差し引いた値を示す。）を示す。このように、各変位測定位置において、レーザ距離計１３２と非律動時のメニスカスＭとの離間距離に基づいて、変位補正手段１２４によりメニスカスＭの変位の測定結果を補正して経過時間変位量を求めることで、各変位測定位置におけるメニスカスＭの絶対的な高さ位置の変化を、経過時間変位量により把握することができる。

そして、経過時間面データ合成手段１２３により、複数の経過時間変位量、および複数の変位測定位置の分布（罫線Ｌの２５マスのうち、「行，列」が「２，２」、「２，４」、「３，３」、「４，２」および「４，４」に位置する５マス）とに基づいて、各経過時間（１マイクロ秒、３マイクロ秒、５マイクロ秒、７マイクロ秒、９マイクロ秒、１１マイクロ秒）におけるメニスカスＭの立体的変位を表す経過時間面データを合成する。すなわち、各経過時間面データは、経過時間変位量（絶対的な高さ位置）を示すデータと、複数の変位測定位置の分布を示すデータとにより構成されている。

なお、経過時間面データ合成手段１２３により、複数の経過時間変位量に代えて、複数の補正前経過時間変位量に基づいて、各経過時間におけるメニスカスＭの立体的変位を表す経過時間面データを合成する構成としてもよい。この場合、メニスカスＭが変位から直接経過時間面データが合成されるため、非律動時におけるメニスカスＭは平坦なものとして処理される。すなわち、実際には、各変位測定位置におけるメニスカスＭは異なる高さ位置から律動を開始するが、同じ高さ位置から律動を開始するものとして処理されることとなる。

このように補正前経過時間変位量に基づいて得られた、異常を示すノズルおよび正常なノズルに対するアニメーション画像を、それぞれ図１２および図１３に示す。この場合、非律動時のメニスカスＭが逆凹形状である（図１１（ａ）参照）にもかかわらず、平坦なものとして処理されるため、メニスカスＭの中心点付近において実際よりも下方にへこんだ形状となる。
しかしながら、通常、非律動時のメニスカスＭは、その中心点を中心として点対称に逆凹形状を為していることから、メニスカスＭの変位の補正を行わない場合であっても、得られる経過時間面データに中心点から軸ブレした歪みはなく、メニスカスがその中心点を中心として点対称に律動しない場合の異常（例えば飛行曲がり）の原因を的確に把握することは可能である。図１２からわかるように、異常を示すノズル６５では、律動しているメニスカスＭの振動方向に軸ブレが生じている。このように、メニスカスＭの立体的変位の変位量、振動方向の中心軸からのずれの有無等を観察することにより、機能液中の気泡の有無、ノズル６５の内面における機能液塊（機能液の溶剤が揮発して乾燥して生成した塊）の有無を判別することが可能となる。例えば、変位量が少ない場合には、機能液に気泡が混入していることが考えられ、振動方向に軸ブレが生じている場合には、ノズル６５の内面に機能液塊が存在することが考えられる。すなわち、描画動作において飛行曲がり等の異常が発生した場合に、機能液滴吐出検査装置６による吐出特性の検査を行うことで、その原因を推測ないし特定することが可能となる。もちろん、経過時間変位量に基づいて得られたアニメーション画像からも、精度良く求められた立体的変位によって、吐出異常の原因を推測ないし特定することが可能である。

なお、本実施形態では、経過時間面データ合成手段１２３により、各経過時間毎に経過時間面データを合成し、動画表示手段１２５により、これをアニメーション化したが、経過時間面データ合成手段１２３に代えて、補正したメニスカスＭの変位の最大変位量と、複数の変位測定位置の分布とに基づいて、最大変位時のメニスカスＭの立体的変位を表す最大変位面データを合成する最大変位面データ合成手段を備え、また、動画表示手段１２５に代えて、合成した最大面変位面データに基づいて、メニスカスＭの立体画像を表示する静止画像表示手段を備える構成としてもよい。これによれば、最大変位時におけるメニスカスＭの変形状態を視覚的に認識することができることから、メニスカスＭの律動をアニメーション化せずとも、メニスカスＭがその中心点を中心として点対称に律動しないような異常の原因を的確に把握することができる。
そして、この場合も、変位補正手段により測定されたメニスカスＭの変位を補正せずに、メニスカスＭの変位の測定結果の最大変位量に基づいて、最大変位面データを合成する構成とすることが可能である。

以上説明したように、本発明に係る機能液滴吐出検査装置６によれば、複数の変位測定位置において律動しているメニスカスＭの変位を測定することで、律動しているメニスカスＭの状態を立体的に把握することができ、機能液滴吐出ヘッド１６のノズル６５の吐出特性を適切に検査することができる。さらに、レーザ距離計１３２により、非律動時におけるメニスカスＭとの離間距離を複数の変位測定位置で測定し、その離間距離に基づいてメニスカスＭの変位の測定結果を補正することで、このメニスカスＭの変位を精度よく求めることができる。

ところで、液滴吐出装置１は、上述したように、制御装置８により、機能液滴吐出検査装置６の検査結果に基づいて、機能回復装置４による保守動作を行うように制御されている。例えば、機能液がやや増粘しているノズル６５が認められた場合には、吐出前フラッシングを行った後、描画動作を行うようにする。また、機能液がかなり増粘しているノズル６５や機能液に気泡が混入しているノズル６５が認められた場合には、吸引ユニット８２による吸引を行って増粘している機能液を吸い出し、その後ワイピングユニット８３によるワイピングを行った上で、描画動作を行うようにする。一方、このような異常を示すノズル６５が認められない場合は、即座に描画動作に移行する。これによれば、本発明に係る液滴吐出装置１は、機能液を無駄に消費することなく、機能液滴吐出ヘッド１６のノズル６５が機能液滴を正常に吐出させ得るか否かを検査できる機能液滴吐出検査６を備えているので、機能液の吐出を伴うことなく検査が可能となり、液滴吐出装置１のランニングコストを削減することができると共に、ノズル６５の吐出特性に応じて機能液滴吐出ヘッド１６の保守動作を行うことが可能となるため、ノズル６５が機能液滴を正常に吐出し得るときに無駄に保守動作を行うことがなく、液滴吐出装置１を効率的に稼動させることができる。

次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。

まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１５は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１６は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１１）では、図１６（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。

続いて、バンク形成工程（Ｓ１２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１６（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１６（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１６により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。

以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。

次に、着色層形成工程（Ｓ１３）では、図１６（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１６によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１６を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１４）に移り、図１６（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。

図１７は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１６に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。

この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１７において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。

液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。

実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１６で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１６で行うことも可能である。

図１８は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。

液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

図１９は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。

この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。

対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。

また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。

なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。

次に、図２０は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。

この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。

回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。

また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。

そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。

このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。

上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。

バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ_２、ＴｉＯ_２等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。

上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。

発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。

そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。

陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。

次に、上記の表示装置６００の製造工程を図２１〜図２９を参照して説明する。
この表示装置６００は、図２１に示すように、バンク部形成工程（Ｓ２１）、表面処理工程（Ｓ２２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）、発光層形成工程（Ｓ２４）、および対向電極形成工程（Ｓ２５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。

まず、バンク部形成工程（Ｓ２１）では、図２２に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図２３に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。

表面処理工程（Ｓ２２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１６を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。

そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のワークテーブル２２に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）および発光層形成工程（Ｓ２４）が行われる。

図２４に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）では、機能液滴吐出ヘッド１６から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２５に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。

次に発光層形成工程（Ｓ２４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。

そして次に、図２６に示すように、各色のうちのいずれか（図２６の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。

その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２７に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。

同様に、機能液滴吐出ヘッド１６を用い、図２８に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ２５）に移行する。

対向電極形成工程（Ｓ２５）では、図２９に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ_２、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。

このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。

次に、図３０は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。

第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。

放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。

第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。

本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のワークテーブル２２に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１６により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。

補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。

ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１６から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。

次に、図３１は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。

第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。

第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。

そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。

この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。

第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図３２（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図３２（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。

また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。

実施形態に係る液滴吐出装置を模式的に表した平面図である。 実施形態に係る機能液滴吐出ヘッドの斜視図である。 実施形態に係る液滴吐出装置の制御構成を示すブロック図である。 実施形態に係る機能液滴吐出検査装置を表すブロック図である。 タイミング信号および駆動波形を示すタイムチャートである。 タイミング信号、微振動波形およびレーザドップラ振動計による計測のタイミングを示すタイムチャートである。 駆動波形を機能液滴吐出ヘッドに印加した場合のメニスカスの律動を示す説明図である。 微振動波形を機能液滴吐出ヘッドに印加した場合のメニスカスの律動を示す説明図である。 レーザドップラ振動計の測定原理を示すブロック図である。 撮像ユニットによりノズルを撮像した撮像画面を表した図である。 正常なノズルに対するメニスカスの律動を、経過時間変位量に基づいてアニメーション化して画像表示した画面を表した図である。 異常を示すノズルに対するメニスカスの律動を、補正前経過時間変位量に基づいてアニメーション化して画像表示した画面を表した図である。 正常なノズルに対するメニスカスの律動を、補正前経過時間変位量に基づいてアニメーション化して画像表示した画面を表した図である。 各変位測定位置における離間距離、補正前経過時間変位量および経過時間変位量を示した図である。 カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。 （ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。 有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。 無機物バンク層の形成を説明する工程図である。 有機物バンク層の形成を説明する工程図である。 正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。 正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。 青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。 青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。 各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。 陰極の形成を説明する工程図である。 プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。 電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。 表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。

符号の説明

１…液滴吐出装置 ３…描画装置 ４…ヘッド機能回復装置 ６…機能液滴吐出検査装置 ８…制御装置 １６…機能液滴吐出ヘッド ６５…ノズル １２１…タイミング信号供給手段 １２３…経過時間面データ合成手段 １２４…変位補正手段 １２５…動画表示手段 １３１…レーザドップラ振動計 １３２…レーザ距離計 １３３…撮像ユニット １３４…ＸＹステージ ２０１…入力部 ２０３…モニター ２１１…ヘッドドライバ ５００…カラーフィルタ ５０８…着色層 ＣＰ…中心点 Ｍ…メニスカス Ｗ…ワーク

Claims (19)

1. 機能液滴吐出ヘッドに対し、ノズルからの機能液滴の吐出を伴わない微振動波形を印加し、律動している前記ノズルのメニスカスの変位を測定して前記ノズルの吐出特性を検査する機能液滴吐出検査方法において、
   前記機能液滴吐出ヘッドに対し、前記微振動波形を印加して前記メニスカスを律動させると共に、メニスカス変位測定手段により、律動している前記メニスカスの変位を複数の変位測定位置で測定するメニスカス変位測定工程と、
   距離測定手段により、非律動時における前記メニスカスとの離間距離を前記複数の変位測定位置で測定する距離測定工程と、
   前記各変位測定位置で測定した離間距離に基づいて、前記各変位測定位置で測定した前記メニスカスの変位を補正する変位補正工程と、
   補正した前記メニスカスの変位の最大変位量と、前記複数の変位測定位置の分布とに基づいて、最大変位時の前記メニスカスの立体的変位を表す最大変位面データを合成する最大変位面データ合成工程と、
   を備えたことを特徴とする機能液滴吐出検査方法。
2. 合成した前記最大変位面データに基づいて、前記メニスカスの立体画像を表示する静止画像表示工程を、さらに備えたことを特徴とする請求項１に記載の機能液滴吐出検査方法。
3. 前記最大変位面データ合成工程に代えて、補正した前記メニスカスの変位のうち前記メニスカスの変位の測定開始後の複数の経過時間における複数の経過時間変位量と、前記複数の変位測定位置の分布とに基づいて、前記各経過時間における前記メニスカスの立体的変位を表す経過時間面データを合成する経過時間面データ合成工程を、備えたことを特徴とする請求項１に記載の機能液滴吐出検査方法。
4. 合成した前記複数の経過時間面データに基づいて、前記メニスカスの律動をアニメーション化して画像表示する動画表示工程を、さらに備えたことを特徴とする請求項３に記載の機能液滴吐出検査方法。
5. 前記メニスカス変位測定工程において、前記各変位測定位置毎に前記微振動波形の印加と前記メニスカスの変位の測定とが行われることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の機能液滴吐出検査方法。
6. 前記メニスカス変位測定手段は、律動している前記メニスカスの変位速度を経時的に複数回に亘って計測し、この複数回の計測結果から前記メニスカスの変位を求めるレーザドップラ振動計で構成されていることを特徴とする請求項５に記載の機能液滴吐出検査方法。
7. 前記複数回に亘る計測は、
   前記メニスカス変位測定工程において、前記微振動波形を複数回印加し、各印加に対しタイミングを所定時間ずつずらして計測することで行われることを特徴とする請求項６に記載の機能液滴吐出検査方法。
8. 前記複数の変位測定位置は、前記メニスカスの中心点を含むと共に、当該中心点を中心とした１または複数の同心円上に分布していることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の機能液滴吐出検査方法。
9. 機能液滴吐出ヘッドに対し、ノズルからの機能液滴の吐出を伴わない微振動波形を印加し、律動している前記ノズルのメニスカスの変位を測定して前記ノズルの吐出特性を検査する機能液滴吐出検査装置において、
   前記機能液滴吐出ヘッドに対し、前記微振動波形を印加して前記メニスカスを律動させる微振動波形印加手段と、
   律動している前記メニスカスの変位を複数の変位測定位置で測定するメニスカス変位測定手段と、
   前記微振動波形印加手段および前記メニスカス変位測定手段を制御する制御手段と、
   非律動時における前記メニスカスとの離間距離を前記複数の変位測定位置で測定する距離測定手段と、
   前記各変位測定位置で測定された離間距離に基づいて、前記各変位測定位置で測定された前記メニスカスの変位を補正する変位補正手段と、
   補正された前記メニスカスの変位の最大変位量と、前記複数の変位測定位置の分布とに基づいて、最大変位時の前記メニスカスの立体的変位を表す最大変位面データを合成する最大変位面データ合成手段と、
   を備えたことを特徴とする機能液滴吐出検査装置。
10. 合成された前記最大変位面データに基づいて、前記メニスカスの立体画像を表示する静止画像表示手段を、さらに備えたことを特徴とする請求項９に記載の機能液滴吐出検査装置。
11. 前記最大変位面データ合成手段に代えて、補正された前記メニスカスの変位のうち前記メニスカスの変位の測定開始後の複数の経過時間における複数の経過時間変位量と、前記複数の変位測定位置の分布とに基づいて、前記各経過時間における前記メニスカスの立体的変位を表す経過時間面データを合成する経過時間面データ合成手段を、備えたことを特徴とする請求項９に記載の機能液滴吐出検査装置。
12. 合成された前記複数の経過時間面データに基づいて、前記メニスカスの律動をアニメーション化して画像表示する動画表示手段を、さらに備えたことを特徴とする請求項１１に記載の機能液滴吐出検査装置。
13. 前記制御手段にタイミング信号を供給するタイミング信号供給手段を、さらに備え、
    前記制御手段は、前記微振動波形印加手段を制御して、供給されたタイミング信号に同期して微振動波形を印加させると共に、前記メニスカス変位測定手段を制御して、供給されたタイミング信号に同期して測定を開始させることを特徴とする請求項９ないし１２のいずれかに記載の機能液滴吐出検査装置。
14. 前記メニスカス変位測定手段により前記複数の変位測定位置における前記メニスカスの変位が順に測定されるように、前記機能液滴吐出ヘッドに対しメニスカス変位測定手段を相対的に移動させる測定系移動手段を、さらに備え、
    前記制御手段は、前記各変位測定位置毎に前記微振動波形の印加と前記メニスカスの変位の測定とが行われるように、前記微振動波形印加手段および前記メニスカス変位測定手段を制御することを特徴とする請求項１３に記載の機能液滴吐出検査装置。
15. 前記メニスカス変位測定手段は、律動している前記メニスカスの変位速度を経時的に複数回に亘って計測し、この複数回の計測結果から前記メニスカスの変位を求めるレーザドップラ振動計で構成されていることを特徴とする請求項１４に記載の機能液滴吐出検査装置。
16. 前記制御手段は、前記微振動波形印加手段を制御して、前記微振動波形を複数回印加させ、前記メニスカス変位測定手段を制御して、各印加に対しタイミングを所定時間ずつずらして、律動している前記メニスカスの変位速度を経時的に複数回に亘って計測させることを特徴とする請求項１５に記載の機能液滴吐出検査装置。
17. 前記ノズルを撮像して前記メニスカスの中心点を検出する中心点検出手段と、
    撮像された前記ノズルと、検出された中心点を中心として前記ノズルを均等に区分する格子状の罫線とを画像表示するノズル画像表示手段と、
    前記罫線により区分された前記ノズルの画像上で、前記複数の変位測定位置を選択する選択手段と、
    をさらに備えたことを特徴とする請求項９ないし１６のいずれかに記載の機能液滴吐出検査装置。
18. 請求項９ないし１７のいずれかに記載の機能液滴吐出検査装置と、前記ワークに対し前記機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら機能液滴を吐出させる描画装置と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
19. 前記機能液滴吐出ヘッドの保守を行うヘッド保守手段を、さらに備え、
    前記制御手段は、前記機能液滴吐出検査装置による検査結果に基づいて、前記ヘッド保守手段を制御して前記機能液滴吐出ヘッドの保守を行うことを特徴とする請求項１８に記載の液滴吐出装置。

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